JP2007285898A - レーザ振動計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光ドップラー周波数の変位分を検出するために、光ヘテロダインを構成する方法として、安価なピエゾ素子などの振動素子を使用し、レーザ光源部から出力される所定波長のレーザ光の周波数と、振動素子が発生する所定の周波数とを、混合してレーザ光の周波数をシフトさせ、前記振動素子が発生する所定の周波数をキャリア周波数として被測定物の振動する周波数成分により変調された変調波から、前記光検出器、前記周波数変調波復調器及び前記信号処理装置を通じて、前記変調波から前記被測定物の振動する周波数成分を抽出する。
【選択図】 図1
Description
一方、振動「速度」を計測する方法であれば、周波数の低いバックグランドノイズの速度値は対象物の振動速度より小さい為、対象物の振動波形の観察が容易になる。高速で振動する物ほど、速度出力で計測するとバックグランドノイズの影響を受けにくくなる。
フラッグの条件:2λsSinθ=λ
の条件が満たされるとき、角度θ方向にレーザ光が回折される。回折に伴い、
光波と音波の間でエネルギーの授受が起こり、光波のエネルギーすなわち周波数シフトが生ずる。
所定波長のレーザ光を出力するレーザ光源部と、
偏光ビームスプリッタと、
λ/4板と、
反射鏡と、
所定の周波数を発生させる振動素子と、
入射した光の一部を透過させ残りを反射させるハーフミラーと、
光を電気信号に変換する光検出器と、
周波数変調波復調器と、
信号処理装置と
を備え、
前記レーザ光源部から出力される所定波長のレーザ光の光軸上に、前記ハーフミラーと前記偏光ビームスプリッタと前記λ/4板と前記反射鏡と前記振動素子とが順次配置され、前記偏光ビームスプリッタで反射される光軸方向に前記被測定物が配置され、前記ハーフミラーで反射される光軸方向に前記光検出器が配置されたこと
を特徴としている。
前記ハーフミラーを透過した前記所定波長のレーザ光を複数の光に分岐する複数の無偏光ビームスプリッタを備え、
前期無偏光ビームスプリッタにより生成された複数の光の光軸上それぞれに、前記偏光ビームスプリッタと前記λ/4板と前記反射鏡と前記振動素子とが順次配置され、前記偏光ビームスプリッタで反射される光軸方向に前記被測定物が配置され、前記ハーフミラーで反射される光軸方向に前記光検出器が配置されたこと
を特徴としている。
図1は、本発明のレーザ振動計の第1の実施例を示すブロック図である。本発明のレーザ振動計は、レーザ101と、ハーフミラー102と、偏光ビームスプリッタ103と、λ/4板104と、反射鏡105と、振動素子106と、被測定物107と、フォトダイオード108とから構成される。
V=2Safm (三角波) ・・・(2)
キャリア周波数fc=4V/λ=(8Sa/λ)fm (三角波) ・・・(4)
図1は、本発明のレーザ振動計の第2の実施例を示すブロック図である。本発明のレーザ振動計の第2の実施例が本発明のレーザ振動計の第1の実施例と異なる点は、以下のとおりである。
図3は、本発明のレーザ振動計の第3の実施例を示すブロック図である。本発明のレーザ振動計は、複数の被測定物の振動を同時に測定するものである。レーザ101から出射されたレーザ光は、ハーフミラー102を透過し、複数の無偏光109、209、n9により複数に分岐される。その後は、それぞれの分岐された光は、前記第1の実施形態と同様に、偏光ビームスプリッタ103と、λ/4板104と、反射鏡105と、振動素子106と、被測定物107とを経由する。
102、122 ハーフミラー
103、203、n3 偏光ビームスプリッタ
104、204、n4 λ/4板 直線偏波
105、125、205、n5 反射鏡
106、206、n6 振動素子
107、207、n7 ターゲット
108 フォトダイオード(光検出器)
109、209、n9 無偏光ビームスプリッタ
111、112、114、115 直線偏光円偏光
113 円偏光
Claims (9)
- 所定波長のレーザ光を出力するレーザ光源部と、
偏光ビームスプリッタと、
λ/4板と、
反射鏡と、
所定の周波数を発生させる振動素子と、
入射した光の一部を透過させ残りを反射させるハーフミラーと、
光を電気信号に変換する光検出器と、
周波数変調波復調器と、
信号処理装置と
を備え、
前記レーザ光源部から出力される所定波長のレーザ光の光軸上に、前記ハーフミラーと前記偏光ビームスプリッタと前記λ/4板と前記反射鏡と前記振動素子とが順次配置され、前記偏光ビームスプリッタで反射される光軸方向に前記被測定物が配置され、前記ハーフミラーで反射される光軸方向に前記光検出器が配置されたこと
を特徴とするレーザ振動計。 - 前記ハーフミラーで反射される光軸方向の一方に前記光検出器が配置され、他方に反射鏡が配置されたこと
を特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。 - 前記振動素子はピエゾ素子であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。
- 前記振動素子は水晶振動子であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。
- 前記振動子が発振する波形は、三角波形であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。
- 前記振動子が発振する波形は、のこぎり波形であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。
- 前記レーザ光源部は、半導体レーザからなることを特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。
- 前記レーザ光源部は、半導体レーザにより励起される固体レーザからなることを特徴とする請求項1に記載のレーザ振動計。
- 前記ハーフミラーを透過した前記所定波長のレーザ光を複数の光に分岐する複数の無偏光ビームスプリッタを備え、
前期無偏光ビームスプリッタにより生成された複数の光の光軸上それぞれに、前記偏光ビームスプリッタと前記λ/4板と前記反射鏡と前記振動素子とが順次配置され、前記偏光ビームスプリッタで反射される光軸方向に前記被測定物が配置され、前記ハーフミラーで反射される光軸方向に前記光検出器が配置されたこと
を特徴とするレーザ振動計。
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---|---|
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105241539A (zh) * | 2015-07-25 | 2016-01-13 | 中国计量科学研究院 | 用于角振动测量的衍射光栅外差激光测振仪 |
JP2016119071A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | イマージョン コーポレーションImmersion Corporation | マルチメディアデータで使用する触覚データを記録するシステムおよび方法 |
CN107132015A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-05 | 华南理工大学 | 一种柔性板的振动测量与控制装置及方法 |
US9778096B2 (en) | 2014-11-05 | 2017-10-03 | Fujitsu Limited | Method of measuring characteristics of crystal unit |
CN110044462A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-23 | 北京工业大学 | 一种激光外差干涉多普勒振动测量光学结构 |
JP2020165700A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 周波数シフター型光変調器及びレーザードップラー計測装置 |
CN114111998A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | 精工爱普生株式会社 | 激光干涉仪 |
EP4095482A1 (en) | 2021-05-27 | 2022-11-30 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer |
US11668555B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-06-06 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer |
US11879730B2 (en) | 2020-08-27 | 2024-01-23 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer having a vibrator to modulate light for displacement and vibration velocity measurement |
JP7491142B2 (ja) | 2020-08-27 | 2024-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | レーザー干渉計およびレーザー干渉計の制御方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243819A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Japan Radio Co Ltd | 微小振動測定装置 |
JPH05157514A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | 微小変形計測装置 |
JPH06117914A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-04-28 | Toshiba Corp | レーザドプラ方式振動計 |
-
2006
- 2006-04-17 JP JP2006113804A patent/JP2007285898A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63243819A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Japan Radio Co Ltd | 微小振動測定装置 |
JPH05157514A (ja) * | 1991-12-06 | 1993-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | 微小変形計測装置 |
JPH06117914A (ja) * | 1992-10-06 | 1994-04-28 | Toshiba Corp | レーザドプラ方式振動計 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9778096B2 (en) | 2014-11-05 | 2017-10-03 | Fujitsu Limited | Method of measuring characteristics of crystal unit |
JP2016119071A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | イマージョン コーポレーションImmersion Corporation | マルチメディアデータで使用する触覚データを記録するシステムおよび方法 |
US10650859B2 (en) | 2014-12-19 | 2020-05-12 | Immersion Corporation | Systems and methods for recording haptic data for use with multi-media data |
CN105241539A (zh) * | 2015-07-25 | 2016-01-13 | 中国计量科学研究院 | 用于角振动测量的衍射光栅外差激光测振仪 |
CN107132015A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-09-05 | 华南理工大学 | 一种柔性板的振动测量与控制装置及方法 |
US11609331B2 (en) | 2019-03-28 | 2023-03-21 | Seiko Epson Corporation | Frequency shift light modulator and laser doppler measuring device |
JP2020165700A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | 周波数シフター型光変調器及びレーザードップラー計測装置 |
CN110044462A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-23 | 北京工业大学 | 一种激光外差干涉多普勒振动测量光学结构 |
US11733027B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-08-22 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer |
US11668555B2 (en) | 2020-08-26 | 2023-06-06 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer |
CN114111998A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | 精工爱普生株式会社 | 激光干涉仪 |
CN114111998B (zh) * | 2020-08-26 | 2024-02-06 | 精工爱普生株式会社 | 激光干涉仪 |
US11879730B2 (en) | 2020-08-27 | 2024-01-23 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer having a vibrator to modulate light for displacement and vibration velocity measurement |
JP7491142B2 (ja) | 2020-08-27 | 2024-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | レーザー干渉計およびレーザー干渉計の制御方法 |
US20220390755A1 (en) * | 2021-05-27 | 2022-12-08 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer |
EP4095482A1 (en) | 2021-05-27 | 2022-11-30 | Seiko Epson Corporation | Laser interferometer |
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