JP2007285804A - 渦電流式膜厚計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物からの熱(輻射熱、空気の熱対流)を遮蔽板を用いて検出コイルに到達するのを防止することにより熱の影響によるインピ−ダンスの変化が生じないようにする。または、被測定物からの熱(輻射熱、空気の熱対流)を、積極的に検出コイル及び参照コイルに導いて熱の影響によるインピ−ダンスの変化を後段のブリッジにて相殺する。これらの手段により、被測定物が高温でも膜厚が正しく計れるようになった。
【選択図】図1
Description
また、前記熱シ−ルドにスリットを設けたので、前記熱シ−ルドでの渦電流の前記ブリッジ回路出力への影響は小さくなった。
また、前記参照コイル近くにも前記熱シ−ルドと同じ形状のダミ−を置くので、前記熱シ−ルドの前記ブリッジ回路出力への影響は相殺される。
図1及び2の構成に関する例を述べる。熱シールド5による感度低下を簡略化したモデル(図14)で見積もった。
10・・・インダクタンスブリッジ(ブリッジ)、14・・・基準抵抗、15・・・基準抵抗、
20・・・渦電流センサ−(渦電流式膜厚計)、21・・・並列接続点、22・・・並列接続点、23・・・接続中点、24・・・接続中点、26・・・交流電圧源、27・・・測定回路
30・・・レ−ザ変位センサ−、
50・・・基板、51・・・導電膜、
71・・・渦電流センサ−(渦電流式膜厚計)、72・・・本体部、72a・・・凹部、73・・・平面コイル(検出コイル)、74・・・平面コイル(参照コイル)
91・・・膜厚測定装置、92・・・測定部、92a・・・支持部、93・・・駆動系(移動機構)、93a・・・基板ステ−ジ、94・・・コンピュ−タ、95・・・インダクタンスメ−タ、96・・・レ−ザセンサコントロ−ラ、
Claims (15)
- 参照コイルと検出コイルが直列に接続された回路と、2個の基準抵抗が直列に接続されたインダクタンスブリッジを用い、測定対象物の表面に形成された導電膜の近傍の所定の位置に配置可能に構成され、前記参照コイルよりも前記基準コイルを前記導電膜に近接した位置に配置可能であり、前記導電膜に対して所定の渦電流を発生させ且つ当該渦電流による磁界を検出する渦電流コイルセンサであって、前記測定対象物からの熱をコイルに対し遮蔽するか、又は前記熱を前記コイルに対し導くかのいずれかの手段を有することを特徴とする渦電流式膜厚計。
- 前記手段として、前記測定対象物から前記熱を遮蔽するために前記検出コイルと前記測定対象物の間に熱シ−ルドを有することを特徴とする請求項1に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドが、前記導電膜に発生する前記渦電流による磁界の検出ができるように、前記熱シ−ルドに発生する渦電流の径を小さくするためのスリットを有することを特徴とする請求項2に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記参照コイルの近傍に前記熱シ−ルドに対応するダミ−を有することを特徴とする請求項2または3に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドに接続して前記熱シ−ルドの熱を逃がす熱浴を有することを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドと前記ダミ−が導電性の材料からなる厚膜を有することを特徴とする請求項2乃至5のいずれかに記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドと前記ダミ−の厚膜の導電性の材料が、銅、アルミニウム、ニッケル、亜鉛、錫、鉛、金、銀のいずれかであることを特徴とする請求項2乃至6のいずれかに記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドと前記ダミ−の厚膜の導電性の材料が同じ材料であることを特徴とする請求項7に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドと前記ダミ−の厚膜の導電性の材料が異なる材料であることを特徴とする請求項7に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルドと前記ダミ−を接続し、前記参照コイルと前記検出コイルの温度差を小さくすることを特徴とする請求項2乃至9のいずれかに記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルド及び前記ダミ−を接続し、さらに熱浴に接続するのに、前記熱シ−ルド及び前記ダミ−と熱浴の間に熱抵抗を挿入したことを特徴とする請求項2乃至10のいずれかに記載の渦電流式膜厚計。
- 前記熱シ−ルド及び前記ダミ−を接続し、さらに熱浴に接続するのに、前記熱シ−ルド及び前記ダミ−と前記熱浴の間に前記熱抵抗を挿入し、前記熱抵抗の値が設定可能であることを特徴とする請求項11に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記手段として、前記測定対象物からの前記熱を前記参照コイルに導く構造を有することを特徴とする請求項1に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記構造が、前記渦電流コイルセンサの本体部に形成されていることを特徴とする請求項13に記載の渦電流式膜厚計。
- 前記構造が、前記本体部に形成された凹部、貫通孔、段差のいずれかであることを特徴とする請求項14に記載の渦電流式膜厚計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006111841A JP5065614B2 (ja) | 2006-04-14 | 2006-04-14 | 渦電流式膜厚計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006111841A JP5065614B2 (ja) | 2006-04-14 | 2006-04-14 | 渦電流式膜厚計 |
Publications (2)
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JP2007285804A true JP2007285804A (ja) | 2007-11-01 |
JP5065614B2 JP5065614B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=38757722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006111841A Active JP5065614B2 (ja) | 2006-04-14 | 2006-04-14 | 渦電流式膜厚計 |
Country Status (1)
Country | Link |
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