JP2007276090A - Positioning stage - Google Patents

Positioning stage Download PDF

Info

Publication number
JP2007276090A
JP2007276090A JP2006109259A JP2006109259A JP2007276090A JP 2007276090 A JP2007276090 A JP 2007276090A JP 2006109259 A JP2006109259 A JP 2006109259A JP 2006109259 A JP2006109259 A JP 2006109259A JP 2007276090 A JP2007276090 A JP 2007276090A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
axis direction
stage
positioning stage
suction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006109259A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirotsuyo Fujii
大剛 藤井
Taishin Morisada
泰臣 森貞
Satoshi Sekijima
聡 関島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2006109259A priority Critical patent/JP2007276090A/en
Publication of JP2007276090A publication Critical patent/JP2007276090A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Machine Tool Units (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positioning stage capable of correcting the slippage of a workpiece on an arm member even if the slippage of the workpiece in the horizontal θ direction occurs. <P>SOLUTION: In the positioning stage, a pair of X-axis linear motors 31 and 32 for moving sliders in the X-axis direction are arranged in parallel with each other and a Y-axis linear motor 300 is provided in a bridge member bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors 31 and 32 to perform predetermined treatment to the workpiece 2 by using a tool mounted to the slider of the Y-axis linear motor. The positioning stage is provided with a workpiece conveying means for moving the workpiece 2 in the X-axis direction, while supporting it, to deliver the workpiece 2 outside the stage, and the conveying means is provided with a turning means for turning the workpiece 2 in the horizontal θ direction. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対
のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、
Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所
定の処理をする位置決めステージを用いたワークの位置決めステージに関し、更に詳しくは前記ワークをアームに支持した状態で水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えた位置決めステージに関する。
本発明の加工対象となるワークは、板状のガラス基板、ＬＣＤパネル、プラズマパネル等である。 In the present invention, a pair of X-axis linear motors that move the slider in the X-axis direction are arranged in parallel, and a Y-axis linear motor is provided on a bridge member that is bridged between the sliders of the pair of X-axis linear motors.
The present invention relates to a workpiece positioning stage using a positioning stage that performs predetermined processing on a workpiece to be machined using a tool mounted on a slider of a Y-axis linear motor. More specifically, the workpiece is horizontally supported with the workpiece supported by an arm. The present invention relates to a positioning stage provided with a rotating means for rotating in the (θ) direction.
The workpiece to be processed in the present invention is a plate-like glass substrate, an LCD panel, a plasma panel, or the like.

本発明の基礎となるリニアモータに関連する先行技術文献としては、下記の特許文献１及び特許文献２があり、ワークをアームで支持して移動させるものとして本出願人が出願した特許文献３がある。   As prior art documents related to the linear motor that is the basis of the present invention, there are the following Patent Document 1 and Patent Document 2, and Patent Document 3 filed by the applicant of the present application for moving a work supported by an arm. is there.

特開昭６３−２１３４９０号公報JP 63-213490 A 特開２０００−６５９７０号公報JP 2000-65970 A 特願２００５−２９４５４３号（未公開）Japanese Patent Application No. 2005-294543 (unpublished)

図３は本発明が適用される位置決めステージの従来例を示すもので、本出願人が平成１７年１０月７日に出願した特願２００５−２９４５４３（未公開）に記載されたものである。この従来例はワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を、位置決めステージ自身に備える構成を特徴としている。
図３により、ワーク搬送手段の構成を説明する。 FIG. 3 shows a conventional example of a positioning stage to which the present invention is applied, and is described in Japanese Patent Application No. 2005-294543 (unpublished) filed on October 7, 2005 by the present applicant. This conventional example is characterized in that the positioning stage itself includes a workpiece transfer means that supports the workpiece and moves in the X-axis direction and delivers the workpiece to the outside of the stage.
With reference to FIG. 3, the structure of the workpiece transfer means will be described.

ワーク搬送手段の基本構成は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材１０１，１０２と、この搬送スライダ部材間に橋渡しした搬送ブリッジ部材２００と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持するアーム部材５０１，５０２を備えている。   The basic structure of the workpiece conveying means includes a pair of conveying slider members 101 and 102 that move in the X-axis direction along the pair of X-axis linear motors 31 and 32, and a conveying bridge member 200 that bridges between the conveying slider members. Arm members 501 and 502 are attached to the transfer bridge member and support the lower surface of the workpiece.

一対の搬送スライダ部材１０１，１０２は、スライダ４１，４２と共通に、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２上をＸ軸方向に移動操作される。これら一対の搬送スライダ部材１０１，１０２間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材２００が配置されている。   The pair of transport slider members 101 and 102 are operated to move in the X-axis direction on the pair of X-axis linear motors 31 and 32 in common with the sliders 41 and 42. A transport bridge member 200 is disposed so as to bridge between the pair of transport slider members 101 and 102.

３００はＹ軸リニアモータであり、搬送ブリッジ部材２００上にＹ軸方向に配置されている。このＹ軸リニアモータ３００は、ブリッジ部材５に配置されたＹ軸リニアモータ６と同一構造のものである。   Reference numeral 300 denotes a Y-axis linear motor, which is disposed on the transport bridge member 200 in the Y-axis direction. This Y-axis linear motor 300 has the same structure as the Y-axis linear motor 6 disposed on the bridge member 5.

４０１，４０２は一対のスライダであり、Ｙ軸リニアモータ３００上を夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。これらスライダも、Ｙ軸リニアモータ６上に配置されたスライダ７と同一構造のものである。   Reference numerals 401 and 402 denote a pair of sliders that are independently moved on the Y-axis linear motor 300 in the Y-axis direction. These sliders also have the same structure as the slider 7 disposed on the Y-axis linear motor 6.

５０１，５０２は一対のアーム部材であり、リフトアップされたワーク２の下面を支持して凹部１ｃの面に平行にＸ軸方向に伸び、ステージ外にワーク２を搬出又はステージ外よりワーク２を搬入する。これら一対のアーム部材５０１，５０２は、連結部材５０１ａ，５０２ａにより、一対のスライダ４０１，４０２に結合され、これら一対のスライダ４０１，４０２により、夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。   Reference numerals 501 and 502 denote a pair of arm members that support the lower surface of the lifted workpiece 2 and extend in the X-axis direction in parallel to the surface of the recess 1c, and carry the workpiece 2 out of the stage or remove the workpiece 2 from outside the stage. Carry in. The pair of arm members 501 and 502 are coupled to the pair of sliders 401 and 402 by connecting members 501a and 502a, and the pair of sliders 401 and 402 are independently operated to move in the Y-axis direction.

これら一対のアーム部材５０１，５０２は、ワーク２の加工処理中は待機状態とされ、ワークの加工処理位置外のＹ軸方向にシフト配置され、搬送ブリッジ部材２００もステージのＸ軸方向の上流側端部にシフト配置され、ワーク２の加工処理の障害とならない位置にセットされる。   The pair of arm members 501 and 502 are in a standby state during the processing of the workpiece 2, are shifted in the Y-axis direction outside the workpiece processing position, and the transport bridge member 200 is also upstream of the stage in the X-axis direction. It is shifted at the end and set at a position that does not hinder the processing of the workpiece 2.

これら一対のアーム部材５０１，５０２は、ワーク２の搬出・搬入時には、Ｚ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に生じた空隙をＹ軸方向に移動操作され、ワーク２を下面から支持した状態でＸ軸方向に移動操作される形態となる。   The pair of arm members 501 and 502 supports the workpiece 2 from the lower surface by moving the gap generated in the lower surface of the workpiece 2 lifted up in the Z-axis direction in the Y-axis direction when the workpiece 2 is carried out / in. In this state, it is moved in the X-axis direction.

図４乃至図６は、ワーク加工用のブリッジ部材５及びワーク移送用の搬送ブリッジ部材２００の移動を説明する平面図である。図４はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図５はワーク加工中の状態を示す平面図、図６はワーク移送中の状態を示す平面図である。   FIGS. 4 to 6 are plan views for explaining the movement of the workpiece processing bridge member 5 and the workpiece transfer conveyance bridge member 200. 4 is a plan view showing a standby state before workpiece processing, FIG. 5 is a plan view showing a state during workpiece machining, and FIG. 6 is a plan view showing a state during workpiece transfer.

図４に示す待機状態において、搬送ブリッジ部材２００は、ステージの上流側端部にシフト配置されている。６００は吸着盤であり、凹部１ｃ面上にワーク２（図示せず）の形状に合わせてＺ軸方向に所定の高さで形成されている。ワーク２は、この吸着盤６００の上面に真空吸着手段（図示せず）により吸着固定されて加工処理される。   In the standby state shown in FIG. 4, the transport bridge member 200 is shifted at the upstream end of the stage. Reference numeral 600 denotes a suction disk, which is formed on the surface of the recess 1c at a predetermined height in the Z-axis direction in accordance with the shape of the work 2 (not shown). The work 2 is processed by being fixed to the upper surface of the suction disk 600 by vacuum suction means (not shown).

７００は、吸着盤６００の下面側空間に複数個配置されたリフトピン手段であり、吸着盤の上面に形成された孔よりＺ軸方向にピンを突出させ、ワーク２をＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作する。   Reference numeral 700 denotes a plurality of lift pin means arranged in the lower surface side space of the suction disk 600. The pins protrude in the Z-axis direction from holes formed on the upper surface of the suction disk 600, and the workpiece 2 is lifted up in the Z-axis direction. Lift up.

複数個のリフトピン手段７００は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔で格子状に配列されている。Ｘ軸方向の一対の列７００Ａ及び７００Ａ´は、Ｙ軸方向で一番外側の列Ａ及び列Ａ´である。Ｘ軸方向の一対の列７００Ｂ及び７００Ｂ´は、列Ａ及びＡ´の内側の列Ｂ及び列Ｂ´である。列の数は任意である。   The plurality of lift pin means 700 are arranged in a grid at predetermined intervals in the X-axis direction and the Y-axis direction. The pair of rows 700A and 700A ′ in the X-axis direction is the outermost row A and row A ′ in the Y-axis direction. The pair of rows 700B and 700B ′ in the X-axis direction are the rows B and B ′ inside the rows A and A ′. The number of columns is arbitrary.

図５に示すワーク加工中の状態では、ブリッジ部材５がＸ軸方向に吸着盤６００に固定されたワーク２（図示せず）上を移動操作され、所定の加工処理を実行する。加工期間中は、搬送ブリッジ手段２００は、図４の待機位置を維持している。   In the state during the workpiece machining shown in FIG. 5, the bridge member 5 is moved on the workpiece 2 (not shown) fixed to the suction disk 600 in the X-axis direction, and a predetermined machining process is executed. During the processing period, the transport bridge means 200 maintains the standby position shown in FIG.

図６は加工処理が終了したブリッジ部材５の状態を示すもので、ステージのＸ軸方向最下流位置まで移動してその位置で停止される（図示の状態）。加工処理が終了すると、ワーク２はリフトピン手段７００によってＺ軸方向にリフトアップされる。   FIG. 6 shows the state of the bridge member 5 that has been processed. The bridge member 5 moves to the most downstream position in the X-axis direction of the stage and is stopped at that position (shown state). When the processing is completed, the workpiece 2 is lifted up in the Z-axis direction by the lift pin means 700.

即ち、待機状態ではワークの加工処理位置外にＹ軸方向端部に配置されていたアーム部材５０１，５０２は、リフトアップにより生じたワーク２と吸着盤６００の空隙をＹ軸方向の中心部に向かって所定位置まで移動操作される。   That is, in the standby state, the arm members 501 and 502 arranged at the end in the Y-axis direction outside the workpiece processing position allow the gap between the work 2 and the suction plate 600 generated by the lift-up to be the center in the Y-axis direction. Moving to a predetermined position.

そして、アーム部材の移動操作が終了すると、ワーク２はリフトピン手段７００によってリフトダウンされ、アーム部材５０１，５０２上に搭載される。搭載が完了すると、搬送ブリッジ手段２００がＸ軸方向（矢印Ｐ）に下流側に移動操作され、ワーク２はアーム部材５０１，５０２上に搭載された状態で図示のようにステージ外に搬出され、次工程の装置に渡される。   When the arm member moving operation is completed, the workpiece 2 is lifted down by the lift pin means 700 and mounted on the arm members 501 and 502. When the mounting is completed, the transfer bridge means 200 is moved to the downstream side in the X-axis direction (arrow P), and the work 2 is unloaded from the stage as shown in the state of being mounted on the arm members 501 and 502, Passed to the next process equipment.

図７乃至図９は、リフトピン手段７００によるワーク２のリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材５０１，５０２の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。簡単のため、Ａ列とＢ列のリフトピン各１個及びアーム部材５０１の部分を図示している。   FIGS. 7 to 9 are image diagrams for explaining the transition of the lift-up and lift-down of the workpiece 2 and the movement operations of the arm members 501 and 502 by the lift pin means 700. For the sake of simplicity, one lift pin in each of the A row and the B row and a portion of the arm member 501 are shown.

図７（Ａ）乃至図７（Ｊ）は、アーム部材５０１，５０２が待機状態にある初期位置からワーク２を支持するまでの遷移を示している。図７（Ａ）の初期位置では、ワーク２は吸着盤６００上に吸着保持されている。   FIGS. 7A to 7J show the transition from the initial position where the arm members 501 and 502 are in the standby state to the time when the workpiece 2 is supported. At the initial position in FIG. 7A, the work 2 is held by suction on the suction disk 600.

吸着盤６００の下面空間に設置されたリフトピン手段は、Ｚ軸方向に延びるピン７０１とピン操作部７０２よりなり、この初期位置ではピン７０１は最下部まで引き込まれた状態である。アーム部材５０１（５０２も同じ、以下同様）は、ワーク２の加工処理位置よりＹ軸方向に外れた位置にある。   The lift pin means installed in the lower surface space of the suction board 600 is composed of a pin 701 extending in the Z-axis direction and a pin operation unit 702, and the pin 701 is pulled down to the lowest position at this initial position. The arm member 501 (same for 502, the same applies hereinafter) is located at a position deviating from the processing position of the workpiece 2 in the Y-axis direction.

図７（Ｂ）では、リフトピン手段７００の全ピンがＺ軸方向に伸ばされ、吸着が解除されたワーク２を吸着盤６００の面からＺ軸方向にリフトアップする。図７（Ｃ）ではＡ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＢ列までの移動スペースが出現する。   In FIG. 7B, all the pins of the lift pin means 700 are extended in the Z-axis direction, and the workpiece 2 whose suction is released is lifted up from the surface of the suction disk 600 in the Z-axis direction. In FIG. 7C, since only the A-row pins are pulled to the initial position, a movement space of the arm member 501 to the B-row appears.

図７（Ｄ）では、アーム部材５０１がＢ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。図５（Ｅ）では、引き込まれていたＡ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図７（Ｆ）では、Ｂ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＣ列（図示せず）までの移動スペースが出現する。   In FIG. 7D, the arm member 501 is moved in the Y-axis direction to the front of the B row. In FIG. 5E, the pins in the A row that have been drawn are extended to the lower surface of the workpiece 2. In FIG. 7F, only the B-row pins are pulled to the initial position, so that a movement space to the C-row (not shown) of the arm member 501 appears.

図７（Ｇ）では、アーム部材５０１がＣ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。図７（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図７（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材５０１を目的のＹ軸方向位置まで順次移動操作する。   In FIG. 7G, the arm member 501 is moved in the Y-axis direction to the front of the C row. In FIG. 7H, the pins in the B row that have been drawn are extended to the lower surface of the workpiece 2. FIG. 7 (I) shows the repetition of the above operations, and this operation sequentially moves the arm member 501 to the target Y-axis direction position.

図７（Ｊ）では、アーム部材５０１の移動操作が終了し、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は移動操作されたアーム部材５０１に支持された状態となる。この状態で搬送ブリッジ部材２００がＸ軸方向に移動操作されて、アーム部材５０１に支持されたワーク２をステージ外に搬出する。   FIG. 7J shows a state in which the movement operation of the arm member 501 is completed and all the pins of the lift pin means 700 are pulled to the initial position, and the workpiece 2 is supported by the arm member 501 that has been moved. It becomes a state. In this state, the transfer bridge member 200 is moved in the X-axis direction, and the work 2 supported by the arm member 501 is carried out of the stage.

図８（Ａ）乃至図８（Ｊ）は、リフトアップしたワーク２を吸着盤６００上にリフトダウンさせ、アーム部材５０１を待機位置に移動させる遷移を示している。図８（Ａ）の初期位置では、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク２はアーム部材５０１で支持されている。   FIGS. 8A to 8J show a transition in which the lifted workpiece 2 is lifted down onto the suction disk 600 and the arm member 501 is moved to the standby position. 8A, the workpiece 2 is supported by the arm member 501 in a state where all the pins of the lift pin means 700 are drawn to the initial position.

図８（Ｂ）では、リフトピン手段７００の全ピンがＺ軸方向に伸ばされてワーク２をアーム部材５０１の支持面から更にＺ軸方向にリフトアップする。図８（Ｃ）ではＢ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＡ列までの移動スペースが出現する。   In FIG. 8B, all the pins of the lift pin means 700 are extended in the Z-axis direction, and the workpiece 2 is further lifted up from the support surface of the arm member 501 in the Z-axis direction. In FIG. 8C, since only the pins in the B row are drawn to the initial position, a movement space to the A row of the arm members 501 appears.

図８（Ｄ）では、アーム部材５０１がＡ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。図８（Ｅ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図８（Ｆ）では、Ａ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１の待機位置までの移動スペースが出現する。   In FIG. 8D, the arm member 501 is moved and operated in the Y-axis direction up to the front of the A row. In FIG. 8 (E), the pins in the B row that have been drawn are extended to the lower surface of the workpiece 2. In FIG. 8F, since only the pins in the A row are drawn to the initial position, a movement space to the standby position of the arm member 501 appears.

図８（Ｇ）では、アーム部材５０１が待機位置までＹ軸方向に移動操作される。図８
（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図８（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材５０１は待機位置までＹ軸方向位置に移動する。 In FIG. 8G, the arm member 501 is moved in the Y-axis direction to the standby position. FIG.
In (H), the pins in the B row that have been pulled in are extended to the lower surface of the workpiece 2. FIG. 8I shows the repetition of the above operation, and by this operation, the arm member 501 moves to the Y-axis direction position to the standby position.

図８（Ｊ）では、アーム部材５０１の待機位置への移動操作が終了し、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は吸着盤６００の上面に保持された状態となる。   FIG. 8J shows a state in which the operation of moving the arm member 501 to the standby position is completed, and all the pins of the lift pin means 700 are pulled to the initial position, and the work 2 is held on the upper surface of the suction disk 600. It will be in the state.

図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）は、連結された移送システムで、上流側のステージから搬出されたワーク２を下流側ステージスの吸着盤上に載せる遷移を示している。図９（Ａ）は、上流側ステージのアーム部材５０１によりワーク２が下流側ステージスの吸着盤６００の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれている。８０１は、下流側ステージのアーム部材を示す。   FIG. 9A to FIG. 9D show a transition in which the work 2 unloaded from the upstream stage is placed on the suction plate of the downstream stage in the coupled transfer system. FIG. 9A shows a state in which the workpiece 2 is transferred to the position of the suction plate 600 of the downstream stage by the arm member 501 of the upstream stage, and all the pins of the lift pin means 700 of the downstream stage are in the initial position. Has been drawn into. Reference numeral 801 denotes an arm member of the downstream stage.

図９（Ｂ）では、引き込まれていた全ピンがワーク２の下面まで伸ばされ、ワーク２はアーム部材５０１により離れてＺ軸方向にリフトアップされる。図９（Ｃ）では、上流側ステージのアーム部材５０１が上流側ステージに戻される。図９（Ｄ）では、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク２は吸着盤６００の上面に保持された状態となる。   In FIG. 9B, all the pins that have been pulled in are extended to the lower surface of the work 2, and the work 2 is separated by the arm member 501 and lifted up in the Z-axis direction. In FIG. 9C, the arm member 501 of the upstream stage is returned to the upstream stage. In FIG. 9D, all the pins of the lift pin means 700 are drawn to the initial position, and the workpiece 2 is held on the upper surface of the suction disk 600.

ところで上記従来例においては、何らかの理由によりＸ方向に対するワークの平行度にずれが生じた場合、これを補正する手段がなかった。従って本発明が解決しようとする課題は、ワークにずれが生じてもアーム部材上でずれを補正することが可能な位置決めステージを実現することにある。   By the way, in the above-mentioned conventional example, when a deviation occurs in the parallelism of the workpiece with respect to the X direction for some reason, there is no means for correcting this. Therefore, the problem to be solved by the present invention is to realize a positioning stage that can correct the displacement on the arm member even if the workpiece is displaced.

このような課題を達成するための本発明の構成は請求項１においては、
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸
リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ
軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いてワークに対して所定の処理をする位
置決めステージにおいて、前記ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を備え、該搬送手段は前記ワークを水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えたことを特徴とする。 The configuration of the present invention for achieving such a problem is as follows.
A pair of X-axis linear motors that move the slider in the X-axis direction are arranged in parallel, and a Y-axis linear motor is provided on a bridge member that bridges between the sliders of the pair of X-axis linear motors.
In a positioning stage that performs predetermined processing on a workpiece using a tool mounted on a slider of an axis linear motor, the workpiece is moved in the X-axis direction while supporting the workpiece, and the workpiece is transferred to the outside of the stage. It has a conveyance means, and this conveyance means was equipped with the rotation means which rotates the said workpiece | work in a horizontal ((theta)) direction, It is characterized by the above-mentioned.

請求項２においては、請求項１に記載の位置決めステージにおいて、
前記ステージに前記ワークのＸ軸方向の平行度検出手段を設けたことを特徴とする。 In claim 2, in the positioning stage according to claim 1,
The stage is provided with means for detecting parallelism in the X-axis direction of the workpiece.

請求項３においては、請求項１又は２に記載の位置決めステージにおいて、
前記搬送手段はＹ軸方向に独立して操作されるとともにＸ方向に伸びた少なくとも２本のアームを備え、前記アームのそれぞれに少なくとも４個の吸着手段を備えたことを特徴とする。 In claim 3, in the positioning stage according to claim 1 or 2,
The conveying means is provided with at least two arms that are independently operated in the Y-axis direction and extend in the X direction, and each of the arms has at least four suction means.

請求項４においては、請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決めステージにおいて、
前記少なくとも４個の吸着手段は対向して配置され前記ワークを回動させるに際しては対角線上のいずれかの吸着手段の吸着を解除するとともに前記搬送手段をＹ軸方向に移動させるようにしたことを特徴とする。 In Claim 4, in the positioning stage according to any one of Claims 1 to 3,
The at least four suction means are arranged to face each other, and when rotating the workpiece, the suction of any suction means on the diagonal line is released and the transport means is moved in the Y-axis direction. Features.

以上説明したことから明らかなように、本発明によれば、
ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を備えるとともに、その搬送手段はワークを水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えており、ステージにワークのＸ軸方向の平行度を検出する平行度検出手段を備えている。そして、搬送手段をＹ軸方向に独立して操作し、Ｘ方向に伸びた２本のアームに設けた少なくとも４個の吸着手段のうち、対角線上のいずれかの吸着を解除するようにしたので、ワークをアームに載せた状態で水平（θ）方向のＸ軸に対する平衡度の微調整が可能となる。 As is clear from the above description, according to the present invention,
The apparatus includes a work conveying means that supports the work and moves in the X-axis direction and delivers the work to the outside of the stage, and the conveying means includes a rotating means for rotating the work in the horizontal (θ) direction. The stage is provided with a parallelism detecting means for detecting the parallelism of the workpiece in the X-axis direction. And since the conveying means is operated independently in the Y-axis direction, one of the at least four suction means provided on the two arms extending in the X direction is released from the diagonal line. Further, it is possible to finely adjust the degree of balance with respect to the X axis in the horizontal (θ) direction with the work placed on the arm.

以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明を適用した位置決めステージの一実施形態を示す要部平面図（ａ）、正面図（ｂ）、側面図（ｃ）である。なお、従来例で示した部品と同一要素には同一符号を付している。また、アーム部材をリフトピン手段７００を用いてワーク２と吸着盤６００の間に出し入れしたり、Ｘ軸方向に搬送する
操作については、従来例と同様なのでここでの説明は省略する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view (a), a front view (b), and a side view (c) of a main part showing an embodiment of a positioning stage to which the present invention is applied. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same element as the component shown in the prior art example. Further, operations for moving the arm member in and out of the workpiece 2 and the suction disk 600 using the lift pin means 700 and transporting the arm member in the X-axis direction are the same as those in the conventional example, and thus description thereof is omitted here.

なお、図３とはスライダの取り付け場所が異なっており、図１に示す状態はリフトピン手段が操作され、アーム部材５０１，５０２がワーク２をリフトアップした状態を示している。   3 is different from that shown in FIG. 3 in the state where the slider is attached. The state shown in FIG. 1 shows a state where the lift pin means is operated and the arm members 501 and 502 lift up the workpiece 2.

これらの図において、７０ａ〜７０ｂは筐体１に形成された凹部1ｃの内側面に設けられた平行度検出手段であり、ワーク２がリフトアップされた状態でワークのＸ方向のずれを検出する。なお、この平行度検出手段はワークの側面の例えば４箇所に設けられている。   In these drawings, reference numerals 70a to 70b denote parallelism detection means provided on the inner surface of the recess 1c formed in the housing 1, and detects the deviation of the workpiece in the X direction when the workpiece 2 is lifted up. . In addition, this parallelism detection means is provided, for example in four places on the side surface of a workpiece | work.

また、これらの平行度検出手段はワークの全長よりわずかに短い長さの範囲に設置されており、ワーク２がリフトアップされた状態におけるワーク２の側面（厚さ部分）までの４箇所の距離を検出する。検出した結果は図示しない演算手段に送信され、ずれ量が演算される。ずれ量は例えばワークの全長が１０００ｍｍの長さに対して１ｍｍ程度である。   These parallelism detecting means are installed in a range slightly shorter than the entire length of the workpiece, and the four distances to the side surface (thickness portion) of the workpiece 2 when the workpiece 2 is lifted up. Is detected. The detected result is transmitted to a calculation means (not shown), and the deviation amount is calculated. The amount of deviation is, for example, about 1 mm with respect to the total length of the workpiece of 1000 mm.

６０ａ〜６０ｂはアーム部材２にそれぞれ２箇所設けられた吸引パッドである。これらの吸引パッドは平行度検出手段と同様にワークの全長よりわずかに短い長さの範囲に設置されており、チューブ５０３ａ〜５０３ｄにより吸引と解放が行われる。   Reference numerals 60 a to 60 b denote suction pads provided on the arm member 2 at two locations. These suction pads are installed in a range slightly shorter than the entire length of the workpiece as in the parallelism detection means, and suction and release are performed by the tubes 503a to 503d.

図２は平行度検出手段７０によりずれが検出された場合のスライダ４０１と４０２と吸引パッド６０ａ〜６０ｄの動作を示すものである。その場合、例えば吸引パッド６０ａ（又は６０ｂ）とその対角線上の６０ｄ（又は６０ｃ）の吸引を解除しスライダ４０１又は４０２の両方を矢印Ａ方向に遷移させる。その結果ワーク２は矢印Ｂ（θ）の水平方向に回動する。   FIG. 2 shows the operations of the sliders 401 and 402 and the suction pads 60a to 60d when the deviation is detected by the parallelism detecting means 70. In that case, for example, suction of the suction pad 60a (or 60b) and 60d (or 60c) on the diagonal line is released, and both the slider 401 or 402 is shifted in the arrow A direction. As a result, the workpiece 2 rotates in the horizontal direction of the arrow B (θ).

なお、ずれの方向と量に対していずれのスライダをどの程度動かすかについては、ワークの長さやずれ量によって随時決定するものとする。   It should be noted that the extent to which the slider is moved with respect to the direction and amount of displacement is determined as needed depending on the length of the workpiece and the amount of displacement.

なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。本発明ではアーム部材に形成する吸引パッドを４個として表示したが吸引パッドは４個以上でもよく要はスライダの動きに対して水平方向に回動出来ればよい。
また吸引に用いるチューブ５０３はアーム部材の下方に配置しているが、それぞれのアーム部材の空洞部に収納してもよい。
また、平行度検出手段７０の方式および検出方法については適宜最適なものを使用するものとする。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。 The above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention. In the present invention, four suction pads formed on the arm member are displayed, but four or more suction pads may be used as long as they can be rotated in the horizontal direction with respect to the movement of the slider.
Moreover, although the tube 503 used for suction is disposed below the arm member, it may be accommodated in the cavity of each arm member.
In addition, as for the method and detection method of the parallelism detecting means 70, the optimum one is used as appropriate.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.

本発明を適用した位置決めステージの一実施形態を示す図である。It is a figure which shows one Embodiment of the positioning stage to which this invention is applied. スライダの動きと吸着パッドの位置及び水平（θ）方向への回動を示す図である。It is a figure which shows the movement of a slider, the position of a suction pad, and rotation to a horizontal ((theta)) direction. 位置決めステージの従来例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the prior art example of a positioning stage. ブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の動作を説明する平面図である。It is a top view explaining operation of a bridge and a work conveyance bridge member. ブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の動作を説明する平面図である。It is a top view explaining operation of a bridge and a work conveyance bridge member. リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。It is a figure explaining the lift of the workpiece | work by a lift pin means, lift down, and operation | movement of an arm member. リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。It is a figure explaining the lift of the workpiece | work by a lift pin means, lift down, and operation | movement of an arm member. リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。It is a figure explaining the lift of the workpiece | work by a lift pin means, lift down, and operation | movement of an arm member. リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。It is a figure explaining the lift of the workpiece | work by a lift pin means, lift down, and operation | movement of an arm member.

符号の説明Explanation of symbols

１ 筐体
１ｃ 凹部
２ ワーク
３１，３２ Ｘ軸リニアモータ
６０ 吸引パッド
７０ 平行度検出手段
３００ Ｙ軸リニアモータ
４０１，４０２ スライダ
５０１，５０２ アーム部材
５０３ チューブ
６００ 吸着盤
７００ リフトピン手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Case 1c Concave part 2 Workpieces 31, 32 X-axis linear motor 60 Suction pad 70 Parallelism detection means 300 Y-axis linear motor 401,402 Slider 501,502 Arm member 503 Tube 600 Suction board 700 Lift pin means

Claims (4)

Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸
リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ
軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いてワークに対して所定の処理をする位
置決めステージにおいて、前記ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を備えるとともに、該搬送手段は前記ワークを水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えたことを特徴とする位置決めステージ。 A pair of X-axis linear motors that move the slider in the X-axis direction are arranged in parallel, and a Y-axis linear motor is provided on a bridge member that bridges between the sliders of the pair of X-axis linear motors.
In a positioning stage that performs predetermined processing on a workpiece using a tool mounted on a slider of an axis linear motor, the workpiece is moved in the X-axis direction while supporting the workpiece, and the workpiece is transferred to the outside of the stage. A positioning stage characterized by comprising conveying means, and said conveying means comprising rotating means for rotating said workpiece in a horizontal (θ) direction. 前記ステージに前記ワークのＸ軸方向の平行度検出手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の位置決めステージ。   The positioning stage according to claim 1, wherein the stage is provided with means for detecting parallelism in the X-axis direction of the workpiece. 前記搬送手段はＹ軸方向に独立して操作されるとともにＸ方向に伸びた少なくとも２本のアームを備え、前記アームのそれぞれに少なくとも４個の吸着手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決めステージ。   2. The conveying means is provided with at least two arms that are independently operated in the Y-axis direction and extend in the X direction, and each of the arms has at least four suction means. Or the positioning stage of 2. 前記少なくとも４個の吸着手段は対向して配置され前記ワークを回動させるに際しては対角線上のいずれかの吸着手段の吸着を解除するとともに前記搬送手段をＹ軸方向に移動させるようにしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決めステージ。
The at least four suction means are arranged to face each other, and when rotating the workpiece, the suction of any suction means on the diagonal line is released and the transport means is moved in the Y-axis direction. The positioning stage according to claim 1, wherein the positioning stage is characterized in that:
JP2006109259A 2006-04-12 2006-04-12 Positioning stage Pending JP2007276090A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006109259A JP2007276090A (en) 2006-04-12 2006-04-12 Positioning stage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006109259A JP2007276090A (en) 2006-04-12 2006-04-12 Positioning stage

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007276090A true JP2007276090A (en) 2007-10-25

Family

ID=38678100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006109259A Pending JP2007276090A (en) 2006-04-12 2006-04-12 Positioning stage

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007276090A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4426276B2 (en) Conveying device, coating system, and inspection system
JP4855427B2 (en) Paste coating apparatus and paste coating method
JP4652351B2 (en) Substrate support apparatus and substrate support method
JP4723204B2 (en) Integrated large glass handling system
JP2008147291A (en) Substrate supporting apparatus, substrate supporting method, substrate working apparatus, substrate working method, and manufacturing method of display device component
JP5386238B2 (en) Panel substrate transfer device and display panel module assembly device
JP5303129B2 (en) Coating apparatus and coating method
JP7456633B2 (en) Workpiece edge clean roller device
JP2007281285A (en) Substrate transport apparatus
JP5013816B2 (en) Surface mount equipment
JP4494910B2 (en) Surface mount equipment
JP2007276090A (en) Positioning stage
JP4117793B2 (en) Paste applicator
JP2007266393A (en) Substrate positioning method and device, and method of manufacturing backboard for plasma display
JP2010256578A (en) Display panel conveying apparatus and display panel module assembly apparatus
JP2005017386A (en) Device for inspecting and correcting flat plate work
JP2000236009A (en) Substrate treating apparatus
JP4552144B2 (en) Positioning stage and transfer system using the same
JP4523550B2 (en) Component mounting method
JP4884032B2 (en) Nozzle type recognition control method and component mounting apparatus
JP6700124B2 (en) Conveying method for conveying objects to be conveyed
JP4842348B2 (en) Conveying device, coating system, coating method, inspection system, and holding mechanism
JP2012002994A (en) Display panel assembling apparatus
JP2011033953A (en) Substrate conveying device and display panel module assembling device
JP5214369B2 (en) Coating device and nozzle guard