JP2007265704A - Manufacturing method of complex conductive sheet - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of complex conductive sheet equipped with rigid conductors capable of moving in a thickness direction of an insulating sheet and easy to handle as a single body without fear of the rigid conductors falling off the insulating sheet. <P>SOLUTION: In the manufacturing method of the complex conductive sheet comprising an insulating sheet with a plurality of through-holes formed extended in a thickness direction, and rigid conductors arranged so as to protrude from each side of the insulating sheet, with each rigid conductor having a terminal part with a diameter larger the through-hole of the insulating sheet at either end of its body part inserted into the insulating sheet and enabled to move in a thickness direction of the insulating sheet, an intermediate body is manufactured in each of the through-hole of the insulating sheet with a rigid conductor arranged with its body part bonded or adhered on an inner face, an etching treatment is applied by a solvent on the inner face of the through-hole of the insulating sheet, and the rigid conductor is separated from the inner face of the though-hole of the insulating sheet. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えばプリント回路基板などの回路装置の電気的検査に好適に用いることができる複合導電性シートの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a composite conductive sheet that can be suitably used for electrical inspection of a circuit device such as a printed circuit board.

一般に、ＢＧＡやＣＳＰ等のパッケージＬＳＩ、ＭＣＭ、その他の集積回路装置などの電子部品を構成するための或いは搭載するための回路基板については、電子部品を組み立てる以前に或いは電子部品を搭載する以前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有することを確認するためにその電気的特性を検査することが必要である。
従来、回路基板の電気的検査を実行する方法としては、縦横に並ぶ格子点位置に従って複数の検査電極が配置されてなる検査電極装置と、この検査電極装置の検査電極に検査対象である回路基板の被検査電極を電気的に接続するアダプターとを組み合わせて用いる方法などが知られている。この方法において用いられるアダプターは、ピッチ変換ボードと称されるプリント配線板よりなるものである。
このアダプターとしては、一面に検査対象である回路基板の被検査電極に対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極を有し、他面に検査電極装置の検査電極と同一のピッチの格子点位置に配置された複数の端子電極を有するもの、一面に検査対象である回路基板の被検査電極に対応するパターンに従って配置された、電流供給用接続用電極および電圧測定用接続用電極よりなる複数の接続用電極対を有し、他面に検査電極装置の検査電極と同一のピッチの格子点位置に配置された複数の端子電極を有するものなどが知られており、前者のアダプターは、例えば回路基板における各回路のオープン・ショート試験などに用いられ、後者のアダプターは、回路基板における各回路の電気抵抗測定試験に用いられている。
而して、回路基板の電気的検査においては、一般に、検査対象である回路基板とアダプターとの安定な電気的接続を達成するために、検査対象である回路基板とアダプターとの間に、コネクターとして異方導電性エラストマーシートを介在させることが行われている。 In general, for circuit boards for configuring or mounting electronic components such as package LSIs such as BGA and CSP, MCM, and other integrated circuit devices, before assembling the electronic components or before mounting the electronic components In order to confirm that the wiring pattern of the circuit board has the desired performance, it is necessary to inspect its electrical characteristics.
Conventionally, as a method of performing an electrical inspection of a circuit board, a test electrode device in which a plurality of test electrodes are arranged according to lattice point positions arranged vertically and horizontally, and a circuit board to be inspected on the test electrodes of this test electrode device A method of using a combination with an adapter for electrically connecting the electrodes to be inspected is known. The adapter used in this method is a printed wiring board called a pitch conversion board.
This adapter has a plurality of connection electrodes arranged in accordance with a pattern corresponding to the inspection target electrode of the circuit board to be inspected on one surface, and a lattice point having the same pitch as the inspection electrode of the inspection electrode device on the other surface. A plurality of terminals having a plurality of terminal electrodes arranged at positions, and comprising a current supply connection electrode and a voltage measurement connection electrode arranged in accordance with a pattern corresponding to an electrode to be inspected on a circuit board to be inspected on one side Are known, and the other adapter has, for example, a plurality of terminal electrodes arranged at lattice point positions at the same pitch as the inspection electrodes of the inspection electrode device on the other surface. It is used for an open / short test of each circuit on a circuit board, and the latter adapter is used for an electrical resistance measurement test for each circuit on the circuit board.
Therefore, in the electrical inspection of a circuit board, generally, in order to achieve a stable electrical connection between the circuit board to be inspected and the adapter, a connector is provided between the circuit board to be inspected and the adapter. As an example, an anisotropic conductive elastomer sheet is interposed.

この異方導電性エラストマーシートは、厚さ方向にのみ導電性を示すもの、あるいは加圧されたときに厚さ方向にのみ導電性を示す多数の加圧導電性導電部を有するものである。
このような異方導電性エラストマーシートとしては、従来、種々の構造のものが知られており、例えば特許文献１には、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態でかつ当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「分散型異方導電性シート」という。）が開示され、特許文献２には、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子を不均一に分散させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形成部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「偏在型異方導電性シート」という。）が開示され、特許文献３には、導電路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成された偏在型異方導電性シートが開示されている。
これらの異方導電性エラストマーシートは、例えば硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなる成形材料層に対して、その厚み方向に磁場を作用させながら或いは磁場を作用させた後に硬化処理を行うことにより得られるものである。この異方導電性エラストマーシートにおいては、弾性高分子物質よりなる基材中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されており、厚み方向に加圧されることによって導電性粒子の連鎖による導電路が形成される。 This anisotropically conductive elastomer sheet has conductivity only in the thickness direction, or has a number of pressurized conductive portions that show conductivity only in the thickness direction when pressed.
As such an anisotropically conductive elastomer sheet, those having various structures are conventionally known. For example, in Patent Document 1, conductive particles exhibiting magnetism are arranged in the thickness direction in an elastic polymer substance. An anisotropic conductive elastomer sheet (hereinafter referred to as “dispersed anisotropic conductive sheet”) that is contained in a state in which a chain is formed by orientation and the chain of the conductive particles is dispersed in the plane direction. ) Is disclosed, and Patent Document 2 insulates a plurality of conductive path forming portions extending in the thickness direction from each other by dispersing non-uniformly conductive particles exhibiting magnetism in an elastic polymer material. An anisotropic conductive elastomer sheet formed with an insulating portion (hereinafter referred to as an “unevenly anisotropic conductive sheet”) is disclosed, and Patent Document 3 discloses the surface of the conductive path forming portion and the insulating portion. There is a step between Made the uneven distribution type anisotropically conductive sheet is disclosed.
These anisotropically conductive elastomer sheets are, for example, in the thickness direction with respect to a molding material layer in which conductive particles exhibiting magnetism are contained in a liquid polymer substance-forming material that is cured to become an elastic polymer substance. It is obtained by performing a curing treatment while applying a magnetic field to or after applying a magnetic field. In this anisotropic conductive elastomer sheet, the conductive particles are contained in a base material made of an elastic polymer substance in a state in which the conductive particles are aligned in a thickness direction to form a chain, and are pressed in the thickness direction. Thus, a conductive path is formed by a chain of conductive particles.

そして、分散型異方導電性シートおよび偏在型異方導電性シートを比較すると、分散型異方導電性シートは、特殊で高価な金型を用いずに小さいコストで製造することが可能なものである点、接続すべき電極のパターンに関わらず使用することができ、汎用性を有するものである点で、偏在型異方導電性シートに比較して有利である。
一方、偏在型異方導電性シートは、隣接する導電路形成部間にこれらを相互に絶縁する絶縁部が形成されているため、隣接する電極間の離間距離が小さい接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能が高いものである点で、分散型異方導電性シートに比較して有利である。
而して、分散型異方導電性シートにおいて、分解能を向上させるためには、当該分散型異方導電性シートの厚みを小さくすることが肝要である。
然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートにおいては、接続すべき電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマーシートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの２０％程度であり、例えば厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが２０μｍ程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが１０μｍを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。 And comparing the dispersion-type anisotropic conductive sheet and the uneven distribution-type anisotropic conductive sheet, the dispersion-type anisotropic conductive sheet can be manufactured at a low cost without using a special and expensive mold. This is advantageous compared to the unevenly distributed anisotropic conductive sheet in that it can be used regardless of the pattern of electrodes to be connected and has versatility.
On the other hand, since the unevenly anisotropic anisotropic conductive sheet is formed with an insulating portion that insulates them from each other between adjacent conductive path forming portions, the connection object with a small separation distance between adjacent electrodes is also adjacent. Compared to the dispersive anisotropic conductive sheet in terms of performance that can achieve electrical connection to each of the electrodes in a state where necessary insulation is ensured between the electrodes to be performed, that is, high resolution. It is advantageous.
Thus, in order to improve the resolution of the dispersed anisotropic conductive sheet, it is important to reduce the thickness of the dispersed anisotropic conductive sheet.
However, the anisotropic conductive elastomer sheet having a small thickness absorbs unevenness in the height level of each electrode to be connected, and can achieve electrical connection to each of the electrodes, that is, absorbs unevenness. There is a problem that performance is low. Specifically, the unevenness-absorbing ability of the anisotropic conductive elastomer sheet is about 20% of the thickness of the anisotropic conductive elastomer sheet. For example, in the anisotropic conductive elastomer sheet having a thickness of 100 μm, the height of the electrode is high. A stable electrical connection can be achieved even for a connection object having a thickness variation of about 20 μm. However, in the anisotropic conductive elastomer sheet having a thickness of 50 μm, the variation in the height level of the electrode is 10 μm. It is difficult to achieve stable electrical connection for objects to be connected that exceed.

このような問題を解決するため、絶縁性シートに形成されたテーパ状の貫通孔内に、当該貫通孔に適合するテーパ状の可動導体が絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能に設けられた複合導電性シートと、この複合導電性シートの一面および他面の各々に配置された２つの異方導電性エラストマーシートとよりなる異方導電性コネクターが提案されている（例えば特許文献４等参照。）。
このような複合導電性シートを有する異方導電性コネクターによれば、複合導電性シートにおける可動電極が厚み方向に移動可能とされているため、厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面および他面の各々に配置された２つの異方導電性エラストマーシートが互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクターの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。
また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、２つの異方導電性エラストマーシートの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。 In order to solve such a problem, a tapered movable conductor adapted to the through hole is provided in the tapered through hole formed in the insulating sheet so as to be movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet. An anisotropic conductive connector comprising a composite conductive sheet and two anisotropic conductive elastomer sheets disposed on one side and the other side of the composite conductive sheet has been proposed (for example, Patent Document 4) reference.).
According to the anisotropic conductive connector having such a composite conductive sheet, since the movable electrode in the composite conductive sheet is movable in the thickness direction, when the pressure is applied in the thickness direction, the composite conductive sheet Since the two anisotropically conductive elastomer sheets placed on one side and the other side of each other are compressed and deformed in conjunction with each other, the sum of the unevenness absorption capacity of both is expressed as the unevenness absorption capacity of the anisotropically conductive connector. Therefore, a high unevenness absorbing ability can be obtained.
In addition, the thickness necessary to obtain the required unevenness absorbing capacity may be ensured by the total thickness of the two anisotropic conductive elastomer sheets, and each anisotropic conductive elastomer sheet has a small thickness. Since it can be used, high resolution can be obtained.

しかしながら、上記の異方導電性コネクターにおいては、実用上、以下のような問題がある。
上記の異方導電性コネクターにおいて、複合導電性シートの可動導体は、絶縁性シートおよび異方導電性エラストマーシートの両方に支持されており、複合導電性シートと異方導電性エラストマーシートとを分離した場合には、可動導体が絶縁性シートから脱落するおそれがあるため、複合導電性シートを単独で取り扱うことは実際上極めて困難である。従って、異方導電性コネクターにおける複合導電性シートおよび異方導電性エラストマーシートのいずれか一方に故障が生じたときには、当該複合導電性シートまたは当該異方導電性エラストマーシートのみを新たなものに交換することができず、異方導電性コネクター全体を新たなものに交換しなければならない。
また、複合導電性シートの可動導体は、絶縁性シートに形成されたテーパ状の貫通孔内にメッキ処理によって金属を堆積させて金属体を形成し、この金属体を機械的に押圧することにより、貫通孔の内面に接着していた金属体を分離させることによって得られる。然るに、多数の可動導体を有する異方導電性コネクターを製造する場合には、絶縁性シートに形成された全ての金属体を当該絶縁性シートの内面から確実に分離させることが困難であるため、一部の可動導体の機能に不具合が生じる。 However, the anisotropic conductive connector described above has the following problems in practice.
In the above anisotropic conductive connector, the movable conductor of the composite conductive sheet is supported by both the insulating sheet and the anisotropic conductive elastomer sheet, and the composite conductive sheet and the anisotropic conductive elastomer sheet are separated. In this case, since the movable conductor may fall off the insulating sheet, it is actually very difficult to handle the composite conductive sheet alone. Therefore, when a failure occurs in either the composite conductive sheet or the anisotropic conductive elastomer sheet in the anisotropic conductive connector, only the composite conductive sheet or the anisotropic conductive elastomer sheet is replaced with a new one. The entire anisotropically conductive connector must be replaced with a new one.
In addition, the movable conductor of the composite conductive sheet is formed by depositing a metal by plating in a tapered through hole formed in the insulating sheet to form a metal body and mechanically pressing the metal body. It is obtained by separating the metal body adhered to the inner surface of the through hole. However, when manufacturing an anisotropic conductive connector having a large number of movable conductors, it is difficult to reliably separate all the metal bodies formed on the insulating sheet from the inner surface of the insulating sheet. A malfunction occurs in the function of some movable conductors.

特開昭５１−９３３９３号公報JP 51-93393 A 特開昭５３−１４７７７２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 53-147772 特開昭６１−２５０９０６号公報JP-A-61-250906 特開２００１−３５１７０２号公報JP 2001-351702 A

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、絶縁性シートの厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、当該剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなくて単独でも取り扱い易い複合導電性シートを製造することができる方法を提供することにある。   The present invention has been made on the basis of the circumstances as described above, and an object thereof is to have a rigid conductor that can move in the thickness direction of the insulating sheet, and that the rigid conductor falls off the insulating sheet. It is an object of the present invention to provide a method capable of producing a composite conductive sheet that is easy to handle even without being used alone.

本発明の複合導電性シートの製造方法は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々から突出するよう配置された剛性導体とを有し、当該剛性導体の各々が、前記絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされている複合導電性シートを製造する方法であって、
絶縁性シートの貫通孔の各々に、その内面に胴部が接着または密着した状態で剛性導体が配置されてなる中間体を製造し、この中間体における絶縁性シートの貫通孔の内面に対して溶剤によってエッチンク処理を施すことにより、当該絶縁性シートの貫通孔の内面から剛性導体を分離する工程を有することを特徴とする。 The manufacturing method of the composite conductive sheet of the present invention includes an insulating sheet in which a plurality of through holes extending in the thickness direction are formed, and each of the through holes of the insulating sheet from each of both surfaces of the insulating sheet. Each of the rigid conductors has a diameter larger than the diameter of the through hole of the insulating sheet at both ends of the body portion inserted through the through hole of the insulating sheet. A method for producing a composite conductive sheet comprising a terminal portion having a thickness and being movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet,
An intermediate body in which a rigid conductor is disposed in each of the through holes of the insulating sheet with the body portion adhered or closely attached to the inner surface thereof is manufactured, and the inner surface of the through hole of the insulating sheet in the intermediate body is manufactured. It has the process of isolate | separating a rigid conductor from the inner surface of the through-hole of the said insulating sheet by performing an etching process with a solvent.

本発明の複合導電性シートの製造方法においては、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの一面および他面の各々に積層された、それぞれ絶縁性シートの貫通孔に連通する複数の開口を有するレジストよりなるスペーサー層と、当該スペーサー層の各々の表面に積層された、それぞれスペーサー層の開口に連通する複数の開口を有する金属層と、当該金属層の各々の表面に積層された、それぞれ金属層の開口に連通する複数の開口を有するレジストよりなる保護層とを有する複合積層材料を製造し、
この複合積層材料における各金属層の開口縁部に対してエッチング処理を施すことにより、当該金属層の各々に形成すべき剛性導体の端子部に適合する径の開口を形成し、メッキ処理によって、当該複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔、スペーサー層の開口および金属層の開口の内部に金属を充填することにより、剛性導体を形成し、その後、当該複合積層材料における保護層、金属層およびスペーサー層を除去することにより、中間体を製造することが好ましい。 In the method for producing a composite conductive sheet of the present invention, an insulating sheet in which a plurality of through-holes extending in the thickness direction are formed, and the insulating sheet laminated on each of one surface and the other surface of the insulating sheet, respectively. A spacer layer made of a resist having a plurality of openings communicating with the through-holes of the sheet, a metal layer laminated on each surface of the spacer layer and having a plurality of openings respectively communicating with the openings of the spacer layer, and the metal Producing a composite laminated material having a protective layer made of a resist having a plurality of openings, each laminated on the surface of each of the layers and communicating with the openings of the metal layers,
By performing an etching process on the opening edge of each metal layer in the composite laminate material, an opening having a diameter suitable for the terminal part of the rigid conductor to be formed in each of the metal layers is formed, and by plating, A rigid conductor is formed by filling a metal in the through hole of the insulating sheet, the opening of the spacer layer, and the opening of the metal layer in the composite laminate material, and then the protective layer, the metal layer, and the It is preferred to produce the intermediate by removing the spacer layer.

本発明の複合導電性シートの製造方法によれば、剛性導体の胴部が接着または密着した絶縁性シートの貫通孔の内面に対して、溶剤によってエッチンク処理を施すことにより、当該絶縁性シートの貫通孔の内面から剛性導体を分離すると共に、当該貫通孔の内面と剛性導体の胴部との間に、所要のギャップが確実に形成され、その結果、移動可能な剛性導体を確実に形成することができる。
そして、本発明の製造方法によって得られる複合導電性シートは、絶縁性シートの貫通孔に、その厚み方向に移動可能な剛性導体を有し、当該剛性導体は、その胴部の両端に絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されているため、当該端子部がストッパーとして機能する結果、剛性導体が絶縁性シートから脱落することがなく、当該複合導電性シート単独でも取り扱い易いものである。 According to the method for producing a composite conductive sheet of the present invention, the inner surface of the through hole of the insulating sheet to which the body portion of the rigid conductor is bonded or adhered is subjected to an etching treatment with a solvent, thereby The rigid conductor is separated from the inner surface of the through hole, and the required gap is reliably formed between the inner surface of the through hole and the rigid conductor body, and as a result, the movable rigid conductor is reliably formed. be able to.
The composite conductive sheet obtained by the manufacturing method of the present invention has a rigid conductor that can move in the thickness direction in the through hole of the insulating sheet, and the rigid conductor is insulative at both ends of the trunk. Since the terminal portion having a diameter larger than the diameter of the through hole of the sheet is formed, the terminal portion functions as a stopper. As a result, the rigid conductor does not fall off the insulating sheet, and the composite conductive sheet alone It is easy to handle.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈複合導電性シート〉
図１は、本発明によって得られる複合導電性シートの一例における構成を示す説明用断面図であり、図２は、図１に示す複合導電性シートの剛性導体を拡大して示す説明用断面図である。この複合導電性シート１０は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔１１Ｈが接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート１１と、この絶縁性シート１１の各貫通孔１１Ｈに当該絶縁性シート１１の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体１２とにより構成されている。
剛性導体１２の各々は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに挿通された円柱状の胴部１２ａと、この胴部１２ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート１１の表面に露出する端子部１２ｂとにより構成されている。剛性導体１２における胴部１２ａの長さＬは、絶縁性シート１１の厚みｄより大きく、また、当該胴部１２ａの径ｒ２は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１より小さいものとされており、これにより、当該剛性導体１２は、絶縁性シート１１の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体１２における端子部１２ｂの径ｒ３は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１より大きいものとされている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
<Composite conductive sheet>
FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of an example of a composite conductive sheet obtained by the present invention, and FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view showing an enlarged rigid conductor of the composite conductive sheet shown in FIG. It is. The composite conductive sheet 10 includes an insulating sheet 11 formed according to a pattern corresponding to a pattern of electrodes to which a plurality of through holes 11H extending in the thickness direction are to be connected, and each through hole 11H of the insulating sheet 11. The insulating sheet 11 includes a plurality of rigid conductors 12 arranged so as to protrude from both surfaces.
Each of the rigid conductors 12 is a cylindrical body portion 12a inserted through the through hole 11H of the insulating sheet 11, and the insulating sheet 11 formed integrally connected to both ends of the body portion 12a. It is comprised by the terminal part 12b exposed to the surface. The length L of the body 12a in the rigid conductor 12 is larger than the thickness d of the insulating sheet 11, and the diameter r2 of the body 12a is smaller than the diameter r1 of the through hole 11H of the insulating sheet 11. Accordingly, the rigid conductor 12 is movable in the thickness direction of the insulating sheet 11. Further, the diameter r3 of the terminal portion 12b in the rigid conductor 12 is larger than the diameter r1 of the through hole 11H of the insulating sheet 11.

絶縁性シート１１を構成する材料としては、溶剤によってエッチング可能なものが用いられ、その具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂などが挙げられる。
また、複合導電性シート１０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート１１として、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０-6〜２×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜６×１０-6／Ｋである。このような絶縁性シート１１を用いることにより、当該絶縁性シート１１の熱膨張による剛性導体１２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート１１の厚みｄは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。 As the material constituting the insulating sheet 11, a material that can be etched with a solvent is used, and specific examples thereof include a liquid crystal polymer and a polyimide resin.
When the composite conductive sheet 10 is used in a high temperature environment, it is preferable to use the insulating sheet 11 having a linear thermal expansion coefficient of 3 × 10 −5 / K or less, more preferably 1 ×. 10 −6 to 2 × 10 −5 / K, particularly preferably 1 × 10 −6 to 6 × 10 −6 / K. By using such an insulating sheet 11, it is possible to suppress displacement of the rigid conductor 12 due to thermal expansion of the insulating sheet 11.
Moreover, it is preferable that the thickness d of the insulating sheet 11 is 10-200 micrometers, More preferably, it is 15-100 micrometers.
Moreover, it is preferable that the diameter r1 of the through-hole 11H of the insulating sheet 11 is 20-300 micrometers, More preferably, it is 30-150 micrometers.

剛性導体１２を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
剛性導体１２における胴部１２ａの径ｒ２は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径ｒ２が過小である場合には、当該剛性導体１２に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１と剛性導体１２における胴部１２ａの径ｒ２との差（ｒ１−ｒ２）は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート１１の厚み方向に対して剛性導体１２を移動させることが困難となることがある。
剛性導体１２における端子部１２ｂの径ｒ３は、接続すべき電極例えば被検査電極の径の７０〜１５０％であることが好ましい。また、剛性導体１２における端子部１２ｂの径ｒ３と絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径ｒ１との差（ｒ３−ｒ１）は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、剛性導体１２が絶縁性シート１１から脱落する恐れがある。
剛性導体１２における端子部１２ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート１１の厚み方向における剛性導体１２の移動可能距離、すなわち剛性導体１２における胴部１２ａの長さＬと絶縁性シート１１の厚みｄとの差（Ｌ−ｄ）は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。剛性導体１２の移動可能距離が過小である場合には、後述する異方導電性コネクターにおいて、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体１２の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈから露出する剛性導体１２の胴部１２ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体１２の胴部１２ａが座屈または損傷するおそれがある。 As a material constituting the rigid conductor 12, a metal material having rigidity can be preferably used, and in particular, a material that is less likely to be etched than a thin metal layer formed on an insulating sheet in a manufacturing method described later is used. preferable. Specific examples of such a metal material include simple metals such as nickel, cobalt, gold, and aluminum, or alloys thereof.
The diameter r2 of the body portion 12a in the rigid conductor 12 is preferably 18 μm or more, and more preferably 25 μm or more. If the diameter r2 is too small, the strength required for the rigid conductor 12 may not be obtained. Further, the difference (r1−r2) between the diameter r1 of the through hole 11H of the insulating sheet 11 and the diameter r2 of the trunk portion 12a in the rigid conductor 12 is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more. If this difference is too small, it may be difficult to move the rigid conductor 12 with respect to the thickness direction of the insulating sheet 11.
The diameter r3 of the terminal portion 12b in the rigid conductor 12 is preferably 70 to 150% of the diameter of the electrode to be connected, for example, the electrode to be inspected. Further, the difference (r3−r1) between the diameter r3 of the terminal portion 12b in the rigid conductor 12 and the diameter r1 of the through hole 11H of the insulating sheet 11 is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more. If this difference is too small, the rigid conductor 12 may fall off the insulating sheet 11.
The thickness of the terminal portion 12b in the rigid conductor 12 is preferably 5 to 50 μm, more preferably 8 to 40 μm.
The movable distance of the rigid conductor 12 in the thickness direction of the insulating sheet 11, that is, the difference (L−d) between the length L of the body 12 a and the thickness d of the insulating sheet 11 in the rigid conductor 12 is 3 to 150 μm. The thickness is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 50 μm. When the movable distance of the rigid conductor 12 is too small, it may be difficult to obtain sufficient unevenness absorption capability in the anisotropic conductive connector described later. On the other hand, when the movable distance of the rigid conductor 12 is excessive, the length of the body portion 12a of the rigid conductor 12 exposed from the through hole 11H of the insulating sheet 11 becomes large, and when used for inspection, the rigidity is increased. There is a possibility that the trunk portion 12a of the conductor 12 is buckled or damaged.

そして、本発明においては、上記の複合導電性シート１０は、例えば以下のようにして製造される。
先ず、絶縁性シートの貫通孔の各々に、その内面に胴部が接着または密着した状態で剛性導体が配置されてなる中間体を製造する。この中間体は、以下のようにして製造することができる。 And in this invention, said composite conductive sheet 10 is manufactured as follows, for example.
First, an intermediate body is manufactured in which a rigid conductor is disposed in each of the through holes of the insulating sheet in a state where the body portion is adhered or adhered to the inner surface thereof. This intermediate can be produced as follows.

図３に示すように、絶縁性シート１１の一面および他面の各々に、それぞれレジストよりなるスペーサー層１３を形成し、これらのスペーサー層１３の各々の表面に、図４に示すように、金属層１４を形成し、更に、これらの金属層１４の各々の表面に、図５に示すように、それぞれレジストよりなる保護層１５を形成する。そして、このようにして得られた積層材料に対して、例えばレーザー加工を施して当該積層材料を厚み方向に貫通する貫通孔を形成することにより、図６に示すように、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔１１Ｈが形成された絶縁性シート１１と、この絶縁性シート１１の一面および他面の各々に積層された、それぞれ絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに連通する複数の開口１３Ｋを有するスペーサー層１３と、スペーサー層１３の各々の表面に積層された、それぞれスペーサー層１３の開口１３Ｋに連通する複数の開口１４Ｋを有する金属層１４と、金属層１４の各々の表面に積層された、それぞれ金属層１４の開口１４Ｋに連通する複数の開口１５Ｋを有する保護層１５とを有する複合積層材料１０Ａが得られる。
以上において、絶縁性シート１１に形成される貫通孔１１Ｈの径は、形成すべき剛性導体１２の胴部１２ａの径に適合する径とされる。
スペーサー層１３の厚みは、形成すべき剛性導体の移動可能距離に応じて適宜選定される。
金属層１４の厚みは、形成すべき剛性導体１２の端子部１２ｂの厚み応じて適宜選定される。
金属層１４を形成する方法としては、加熱プレスによって金属シートをスペーサー層１３に一体化することにより金属層１４を形成する方法、接着剤によって金属シートをスペーサー層１３に接着することにより、金属層１４を形成する方法などが挙げられる。 As shown in FIG. 3, a spacer layer 13 made of a resist is formed on each of one side and the other side of the insulating sheet 11, and a metal layer is formed on each surface of these spacer layers 13 as shown in FIG. A layer 14 is formed, and a protective layer 15 made of a resist is formed on the surface of each of the metal layers 14 as shown in FIG. Then, the laminated material thus obtained is subjected to laser processing, for example, to form through-holes that penetrate the laminated material in the thickness direction, thereby extending in the thickness direction as shown in FIG. The insulating sheet 11 in which a plurality of through holes 11H are formed, and the plurality of openings 13K that are laminated on one surface and the other surface of the insulating sheet 11 and communicate with the through holes 11H of the insulating sheet 11, respectively. The spacer layer 13, the metal layer 14 having a plurality of openings 14 </ b> K that communicate with the openings 13 </ b> K of the spacer layer 13, and the surfaces of the spacer layer 13, respectively. A composite laminated material 10A having a plurality of openings 15K that communicate with the openings 14K of the metal layer 14 is obtained.
In the above, the diameter of the through hole 11H formed in the insulating sheet 11 is a diameter that matches the diameter of the trunk portion 12a of the rigid conductor 12 to be formed.
The thickness of the spacer layer 13 is appropriately selected according to the movable distance of the rigid conductor to be formed.
The thickness of the metal layer 14 is appropriately selected according to the thickness of the terminal portion 12b of the rigid conductor 12 to be formed.
As a method for forming the metal layer 14, a method of forming the metal layer 14 by integrating the metal sheet with the spacer layer 13 by a hot press, a method of bonding the metal sheet to the spacer layer 13 with an adhesive, 14 and the like.

このようにして得られた複合積層材料１０Ａにおける金属層１４の各々の開口縁部に対してエッチング処理を施すことにより、図７に示すように、金属層１４の各々に形成すべき剛性導体１２の端子部１２ｂに適合する径の開口１４Ｋを形成する。そして、メッキ処理によって、当該複合積層材料１０Ａにおける絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈ、スペーサー層１３の開口１３Ｋ、金属層１４の開口１４Ｋおよび保護層１５の開口１５Ｋの内部に金属を充填することにより、図８に示すように、複合積層材料１０Ａの厚み方向に伸びる胴部１２ａの両端に端子部１２ｂが形成されてなる剛性導体１２が形成される。その後、複合積層材料１０Ａにおける保護層１５を除去すると共に、剛性導体１２の端子部１２ａの表面を研磨することにより、図９に示すように、当該端子部１２ｂの表面を平坦化し、更に、金属層１４およびスペーサー層１３を除去することにより、図１０に示すように、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの各々に、その内面に胴部１２ｂが接着または密着した状態で剛性導体１２が配置されてなる中間体１０Ｂが得られる。   By performing an etching process on each opening edge of the metal layer 14 in the composite laminated material 10A obtained in this way, the rigid conductor 12 to be formed on each of the metal layers 14 as shown in FIG. The opening 14K having a diameter suitable for the terminal portion 12b is formed. Then, by filling the inside of the through-hole 11H of the insulating sheet 11, the opening 13K of the spacer layer 13, the opening 14K of the metal layer 14 and the opening 15K of the protective layer 15 in the composite laminated material 10A by plating. As shown in FIG. 8, a rigid conductor 12 is formed in which terminal portions 12 b are formed at both ends of a trunk portion 12 a extending in the thickness direction of the composite laminated material 10 </ b> A. Thereafter, the protective layer 15 in the composite laminated material 10A is removed and the surface of the terminal portion 12a of the rigid conductor 12 is polished to flatten the surface of the terminal portion 12b as shown in FIG. By removing the layer 14 and the spacer layer 13, as shown in FIG. 10, the rigid conductor 12 is disposed in each of the through holes 11H of the insulating sheet 11 with the body portion 12b adhered or adhered to the inner surface thereof. An intermediate 10B is obtained.

このようにして得られる中間体１０Ｂにおける絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内面に対して、溶剤によってエッチンク処理を施すことにより、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内面から剛性導体を分離すると共に、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内面と剛性導体１２との間にギャップが形成される結果、剛性導体１２が、絶縁性シート１１に対してその厚み方向に移動可能となり、以て、図１に示す複合導電性シート１０が得られる。   The inner surface of the through hole 11H of the insulating sheet 11 in the intermediate body 10B thus obtained is etched with a solvent to separate the rigid conductor from the inner surface of the through hole 11H of the insulating sheet 11. As a result of the formation of a gap between the inner surface of the through hole 11H of the insulating sheet 11 and the rigid conductor 12, the rigid conductor 12 can move in the thickness direction with respect to the insulating sheet 11, so that FIG. 1 is obtained.

以上において、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内面をエッチング処理するための溶剤としては、絶縁性シート１１を構成する材料に応じて適宜選択されるが、例えば絶縁性シート１１を液晶ポリマーにより構成する場合には、溶剤として、アルカリ性水溶液と有機溶媒との混合溶剤を用いることが好ましく、アルカリ性水溶液としては、アンモニア系アルカリ性水溶液またはアミン系のアルカリ水溶液を用いることが好ましい。   In the above, the solvent for etching the inner surface of the through hole 11H of the insulating sheet 11 is appropriately selected according to the material constituting the insulating sheet 11. For example, the insulating sheet 11 is made of a liquid crystal polymer. In this case, it is preferable to use a mixed solvent of an alkaline aqueous solution and an organic solvent as the solvent, and it is preferable to use an ammonia-based alkaline aqueous solution or an amine-based alkaline aqueous solution as the alkaline aqueous solution.

このような製造方法によれば、剛性導体１２の胴部１２ａが接着または密着した絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内面に対して、溶剤によってエッチンク処理を施すことにより、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの内面から剛性導体１２を分離すると共に、当該貫通孔１１Ｈの内面と剛性導体１２の胴部１２ａとの間に、所要のギャップが確実に形成され、その結果、移動可能な剛性導体を確実に形成することができる。
このようにして得られる複合導電性シート１０は、絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈに、その厚み方向に移動可能な剛性導体１２を有し、当該剛性導体１２は、その胴部１２ａの両端に絶縁性シート１１の貫通孔１１Ｈの径より大きい径を有する端子部１２ｂが形成されているため、当該端子部１２ｂがストッパーとして機能する結果、剛性導体１２が絶縁性シート１１から脱落することがなく、当該複合導電性シート１０単独でも取り扱い易いものである。 According to such a manufacturing method, the inner surface of the through-hole 11H of the insulating sheet 11 to which the body portion 12a of the rigid conductor 12 is bonded or adhered is subjected to an etching process with a solvent, so that the insulating sheet 11 penetrates. The rigid conductor 12 is separated from the inner surface of the hole 11H, and a required gap is reliably formed between the inner surface of the through-hole 11H and the body portion 12a of the rigid conductor 12, and as a result, a movable rigid conductor is formed. It can be reliably formed.
The composite conductive sheet 10 thus obtained has a rigid conductor 12 movable in the thickness direction in the through hole 11H of the insulating sheet 11, and the rigid conductor 12 is provided at both ends of the trunk portion 12a. Since the terminal portion 12b having a diameter larger than the diameter of the through hole 11H of the insulating sheet 11 is formed, the terminal portion 12b functions as a stopper. As a result, the rigid conductor 12 does not fall off from the insulating sheet 11. The composite conductive sheet 10 alone is easy to handle.

〈異方導電性コネクター〉
図１１は、本発明によって得られる複合導電性シートを使用した異方導電性コネクターの一例における構成を示す説明用断面図であり、図１２は図１１に示す異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。この異方導電性コネクター１８は、図１に示す構成の複合導電性シート１０と、この複合導電性シート１０の一面（図１１において上面）に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１６と、複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１７とにより構成されている。 <Anisotropic conductive connector>
FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining the structure of an example of the anisotropic conductive connector using the composite conductive sheet obtained by the present invention, and FIG. 12 shows the main part of the anisotropic conductive connector shown in FIG. It is sectional drawing for description shown expanding. The anisotropic conductive connector 18 includes a composite conductive sheet 10 having the configuration shown in FIG. 1 and a first anisotropic conductive elastomer sheet 16 disposed on one surface (upper surface in FIG. 11) of the composite conductive sheet 10. And the second anisotropic conductive elastomer sheet 17 disposed on the other surface of the composite conductive sheet 10.

この例における第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７は、いずれも絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０-1ｓｅｃで１０5 ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
また、シリコーンゴムは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１０，０００〜４０，０００のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマーシートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同じ。）が２以下のものが好ましい。 In the first anisotropic conductive elastomer sheet 16 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 17 in this example, the conductive particles P exhibiting magnetism are in the thickness direction in the insulating elastic polymer material. The chain is formed in such a state that a chain is formed by being oriented so that the chain is formed, and the chain of the conductive particles P is dispersed in the plane direction.
As the elastic polymer material forming the first anisotropic conductive elastomer sheet 16 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 17, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. Various materials can be used as the curable polymer substance-forming material that can be used to obtain such an elastic polymer substance. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, and polyisoprene rubber. , Conjugated diene rubbers such as styrene-butadiene copolymer rubber and acrylonitrile-butadiene copolymer rubber and hydrogenated products thereof, blocks such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber, styrene-isoprene block copolymer, etc. Examples include copolymer rubber and hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer rubber. In these, it is preferable to use a silicone rubber from a viewpoint of durability, a moldability, and an electrical property.
As the silicone rubber, those obtained by crosslinking or condensing liquid silicone rubber are preferable. The liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 5 poise or less at a strain rate of 10 −1 sec, and may be any of a condensation type, an addition type, a vinyl group or a hydroxyl group. Good. Specific examples include dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methyl phenyl vinyl silicone raw rubber, and the like.
The silicone rubber preferably has a molecular weight Mw (referred to as a standard polystyrene-converted weight average molecular weight; the same shall apply hereinafter) of 10,000 to 40,000. Moreover, since favorable heat resistance is obtained in the anisotropically conductive elastomer sheet obtained, it means the molecular weight distribution index (the value of the ratio Mw / Mn between the standard polystyrene equivalent weight average molecular weight Mw and the standard polystyrene equivalent number average molecular weight Mn). The same shall apply hereinafter) is preferably 2 or less.

第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。 As the conductive particles P contained in the first anisotropic conductive elastomer sheet 16 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 17, the particles can be easily aligned in the thickness direction by a method described later. For this reason, conductive particles exhibiting magnetism are used. Specific examples of such conductive particles include magnetic metal particles such as iron, cobalt and nickel, alloy particles thereof, particles containing these metals, or these particles as core particles. The core particles are made by plating the surface of the core particles with a metal having good conductivity such as gold, silver, palladium, rhodium, or non-magnetic metal particles, inorganic particles such as glass beads, or polymer particles. The surface of the particles may be plated with a conductive magnetic metal such as nickel or cobalt.
Among these, it is preferable to use nickel particles as core particles and the surfaces thereof plated with gold having good conductivity.
The means for coating the surface of the core particles with the conductive metal is not particularly limited, and for example, chemical plating or electrolytic plating, sputtering, vapor deposition or the like is used.

導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。 When the conductive particles P used are those in which the surface of the core particles is coated with a conductive metal, good conductivity can be obtained. Therefore, the coverage of the conductive metal on the particle surface (the surface area of the core particles) The ratio of the covering area of the conductive metal with respect to is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, and particularly preferably 47 to 95%.
Further, the coating amount of the conductive metal is preferably 0.5 to 50% by mass of the core particle, more preferably 2 to 30% by mass, further preferably 3 to 25% by mass, and particularly preferably 4 to 20%. % By mass. When the conductive metal to be coated is gold, the coating amount is preferably 0.5 to 30% by mass of the core particles, more preferably 2 to 20% by mass, and further preferably 3 to 15%. % By mass.

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。 Moreover, it is preferable that the number average particle diameter of the electroconductive particle P is 3-20 micrometers, More preferably, it is 5-15 micrometers. When this number average particle diameter is too small, it may be difficult to orient the conductive particles P in the thickness direction in the production method described later. On the other hand, when the number average particle diameter is excessive, it may be difficult to obtain an anisotropic conductive elastomer sheet with high resolution.
The particle size distribution (Dw / Dn) of the conductive particles P is preferably 1 to 10, more preferably 1.01 to 7, still more preferably 1.05 to 5, and particularly preferably 1.1. ~ 4.
In addition, the shape of the conductive particles P is not particularly limited, but spherical particles, star-shaped particles, or agglomerated particles 2 can be easily dispersed in the polymer substance-forming material. Secondary particles are preferred.
Further, as the conductive particles P, those whose surfaces are treated with a coupling agent such as a silane coupling agent or a lubricant can be appropriately used. By treating the particle surface with a coupling agent or a lubricant, the durability of the resulting anisotropic conductive elastomer sheet is improved.

このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。   Such conductive particles P are preferably contained in the anisotropic conductive elastomer sheet at a volume fraction of 10 to 40%, particularly 15 to 35%. When this ratio is too small, an anisotropic conductive elastomer sheet having sufficiently high conductivity in the thickness direction may not be obtained. On the other hand, if this ratio is excessive, the resulting anisotropic conductive elastomer sheet tends to be fragile, and the elasticity necessary for the anisotropic conductive elastomer sheet may not be obtained.

また、第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７の各々の厚みは、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは２５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。   Moreover, it is preferable that each thickness of the 1st anisotropically conductive elastomer sheet 16 and the 2nd anisotropically conductive elastomer sheet 17 is 20-100 micrometers, More preferably, it is 25-70 micrometers. When this thickness is too small, sufficient unevenness absorbing ability may not be obtained. On the other hand, if this thickness is excessive, high resolution may not be obtained.

第１の異方導電性エラストマーシート１６は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図１３に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１６の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１６の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図１４に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図１４において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１６Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１６Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図１４において下面）が導電性エラストマー用材料１６Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。 The first anisotropic conductive elastomer sheet 16 can be manufactured as follows.
First, as shown in FIG. 13, each of the sheet-like one side molding member 30 and the other side molding member 31, and the opening 32K having a shape that matches the planar shape of the target first anisotropic conductive elastomer sheet 16. And a frame-shaped spacer 32 having a thickness corresponding to the thickness of the first anisotropic conductive elastomer sheet 16, and a liquid polymer substance-forming material that is cured to become an elastic polymer substance A conductive elastomer material containing conductive particles is prepared.
Then, as shown in FIG. 14, the spacer 32 is disposed on the molding surface (the upper surface in FIG. 14) of the other surface side molding member 31, and in the opening 32 </ b> K of the spacer 32 on the molding surface of the other surface side molding member 31. Then, the prepared conductive elastomer material 16B is applied, and then the one-surface side molded member 30 is disposed on the conductive elastomer material 16B so that the molding surface (the lower surface in FIG. 14) is in contact with the conductive elastomer material 16B. To do.
In the above, as the one side molding member 30 and the other side molding member 31, a resin sheet made of polyimide resin, polyester resin, acrylic resin, or the like can be used.
Moreover, it is preferable that the thickness of the resin sheet which comprises the one surface side molded member 30 and the other surface side molded member 31 is 50-500 micrometers, More preferably, it is 75-300 micrometers. If this thickness is less than 50 μm, the strength required for the molded member may not be obtained. On the other hand, when the thickness exceeds 500 μm, it may be difficult to apply a magnetic field having a required strength to the conductive elastomer material layer described later.

次いで、図１５に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１６Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１６Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１６Ａにおいては、図１６に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１６Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１６Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１６Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図１７に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１６Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１６が製造される。 Next, as shown in FIG. 15, the conductive elastomer material 16 </ b> B is clamped by the one-surface-side molded member 30 and the other-surface-side molded member 31 using the pressure-roll device 35 including the pressure roller 33 and the support roller 34. Thus, the conductive elastomer material layer 16 </ b> A having a required thickness is formed between the one side molding member 30 and the other side molding member 31. In the conductive elastomer material layer 16A, as shown in an enlarged view in FIG. 16, the conductive particles P are contained in a uniformly dispersed state.
Thereafter, for example, a pair of electromagnets are arranged on the back surface of the one-surface-side molded member 30 and the back surface of the other-surface-side molded member 31, and the electromagnets are operated to generate a parallel magnetic field in the thickness direction of the conductive elastomer material layer 16A. Make it work. As a result, in the conductive elastomer material layer 16A, the conductive particles P dispersed in the conductive elastomer material layer 16A maintain the state of being dispersed in the plane direction as shown in FIG. However, a plurality of conductive particles P, which are aligned in the thickness direction, are formed so as to be dispersed in the plane direction.
In this state, the conductive elastomer material layer 16A is cured, so that the conductive particles P are aligned in the thickness direction in the elastic polymer substance, and the conductive particles P are formed by the conductive particles P. A first anisotropic conductive elastomer sheet 16 is produced which contains chains in a state dispersed in the plane direction.

以上において、導電性エラストマー用材料層１６Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１６Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１６Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１６Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。 In the above, the curing process of the conductive elastomer material layer 16A can be performed while the parallel magnetic field is applied, but can also be performed after the parallel magnetic field is stopped.
The intensity of the parallel magnetic field applied to the conductive elastomer material layer 16A is preferably 0.02 to 2.5 Tesla on average.
The curing treatment of the conductive elastomer material layer 16A is appropriately selected depending on the material to be used, but is usually performed by heat treatment. The specific heating temperature and heating time are appropriately selected in consideration of the type of the polymer material constituting the conductive elastomer material layer 16A, the time required to move the conductive particles P, and the like.

また、第２の異方導電性エラストマーシート１７は、第１の異方導電性エラストマーシート１６と同様の方法によって製造することができる。   Further, the second anisotropic conductive elastomer sheet 17 can be manufactured by the same method as the first anisotropic conductive elastomer sheet 16.

このような異方導電性コネクター１８によれば、複合導電性シート１０における剛性導体１２の各々は、絶縁性シート１１に対してその厚み方向に移動可能とされているため、接続すべき電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シート１０の一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１６および当該複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１７は、剛性導体１２が移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が異方導電性コネクター１８の凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。
また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシート１６および第２の異方導電性エラストマーシート１７の合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、隣接する電極間の離間距離が小さく、電極の高さレベルにバラツキがある接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。 According to such an anisotropic conductive connector 18, each of the rigid conductors 12 in the composite conductive sheet 10 is movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet 11. When pressed in the thickness direction, the first anisotropic conductive elastomer sheet 16 disposed on one side of the composite conductive sheet 10 and the second anisotropic conductive disposed on the other side of the composite conductive sheet 10. Since the elastic elastomer sheet 17 is compressed and deformed in conjunction with each other as the rigid conductor 12 moves, the total irregularity absorbing ability of both is expressed as the irregularity absorbing capacity of the anisotropic conductive connector 18, and accordingly, the high irregularity Absorption capacity can be obtained.
In addition, the thickness necessary for obtaining the required unevenness absorbing capability may be ensured by the total thickness of the first anisotropic conductive elastomer sheet 16 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 17. Since a thin conductive elastomer sheet can be used, high resolution can be obtained.
Therefore, even for a connection object in which the separation distance between adjacent electrodes is small and the height level of the electrodes varies, electrical connection to each of the electrodes is performed in a state where necessary insulation is ensured between the adjacent electrodes. Connection can be reliably achieved.

〈アダプター装置〉
図１８は、本発明によって得られる複合導電性シートを使用したアダプター装置の第１の例における構成を示す説明用断面図であり、図１９は、図１８に示すアダプター装置におけるアダプター本体を示す説明用断面図である。このアダプター装置は、例えばプリント回路基板などの回路装置について、例えばオープン・ショート試験を行うために用いられる回路装置検査用のものであって、多層配線板よりなるアダプター本体２０を有する。 アダプター本体２０の表面（図１８および図１９において上面）には、検査対象である回路装置の被検査電極のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極２１が配置された接続用電極領域２５が形成されている。
アダプター本体２０の裏面には、例えばピッチが０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍ、２．５４ｍｍの格子点位置に従って複数の端子電極２２が配置され、端子電極２２の各々は、内部配線部２３によって接続用電極２１に電気的に接続されている。
このアダプター本体２０の表面には、その接続用電極領域２５上に、基本的に図１１に示す構成の異方導電性コネクター１８が、その第２の異方導電性エラストマーシート１７がアダプター本体２０に接するよう配置され、当該アダプター本体２０に適宜の手段（図示省略）によって固定されている。
この異方導電性コネクター１８において、複合導電性シート１０には、アダプター本体２０における接続用電極２１に係る特定のパターンと同一のパターンに従って複数の剛性導体１２が配置されており、当該異方導電性コネクター１８は、複合導電性シート１０における剛性導体１２の各々がアダプター本体２０の接続用電極２１の直上位置に位置するよう配置されている。 <Adapter device>
FIG. 18 is a cross-sectional view illustrating the configuration of a first example of an adapter device using the composite conductive sheet obtained by the present invention, and FIG. 19 is a diagram illustrating the adapter main body in the adapter device shown in FIG. FIG. This adapter device is for inspecting a circuit device used for, for example, performing an open / short test on a circuit device such as a printed circuit board, and has an adapter body 20 made of a multilayer wiring board. On the surface of the adapter body 20 (upper surface in FIGS. 18 and 19), a connection electrode region in which a plurality of connection electrodes 21 are arranged according to a specific pattern corresponding to the pattern of the electrode to be inspected of the circuit device to be inspected. 25 is formed.
A plurality of terminal electrodes 22 are arranged on the back surface of the adapter main body 20 according to lattice point positions having a pitch of 0.8 mm, 0.75 mm, 1.5 mm, 1.8 mm, 2.54 mm, for example. The internal wiring portion 23 is electrically connected to the connection electrode 21.
On the surface of the adapter main body 20, the anisotropic conductive connector 18 basically having the configuration shown in FIG. 11 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 17 are basically disposed on the connection electrode region 25. And is fixed to the adapter body 20 by appropriate means (not shown).
In this anisotropic conductive connector 18, a plurality of rigid conductors 12 are arranged on the composite conductive sheet 10 according to the same pattern as the specific pattern related to the connection electrode 21 in the adapter body 20. The flexible connector 18 is arranged such that each of the rigid conductors 12 in the composite conductive sheet 10 is positioned immediately above the connection electrode 21 of the adapter body 20.

このようなアダプター装置によれば、図１１に示す構成の異方導電性コネクター１８を有するため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。   According to such an adapter device, since the anisotropic conductive connector 18 having the configuration shown in FIG. 11 is provided, the circuit device to be inspected has a small separation distance between adjacent electrodes to be inspected. Even if the height level varies, it is possible to reliably achieve electrical connection to each of the electrodes to be inspected in a state where necessary insulation is ensured between adjacent electrodes to be inspected.

図２０は、本発明によって得られる複合導電性シートを使用したアダプター装置の第２の例における構成を示す説明用断面図であり、図２１は、図２０に示すアダプター装置におけるアダプター本体を示す説明用断面図である。このアダプター装置は、例えばプリント回路基板などの回路装置について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うために用いられる回路装置検査用のものであって、多層配線板よりなるアダプター本体２０を有する。
アダプター本体２０の表面（図２０および図２１において上面）には、それぞれ同一の被検査電極に電気的に接続される互いに離間して配置された電流供給用の接続用電極（以下、「電流供給用電極」ともいう。）２１ｂおよび電圧測定用の接続用電極（以下、「電圧測定用電極」ともいう。）２１ｃよりなる複数の接続用電極対２１ａが配置された接続用電極領域２５が形成されている。これらの接続用電極対２１ａは、検査対象である回路装置の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置されている。
アダプター本体２０の裏面には、例えばピッチが０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍ、２．５４ｍｍの格子点位置に従って複数の端子電極２２が配置されている。
そして、電流供給用電極２１ｂおよび電圧測定用電極２１ｃの各々は、内部配線部２３によって端子電極２２に電気的に接続されている。
このアダプター本体２０の表面には、その接続用電極領域２５上に、基本的に図１１に示す構成の異方導電性コネクター１８が、その第２の異方導電性エラストマーシート１７がアダプター本体２０に接するよう配置され、当該アダプター本体２０に適宜の手段（図示省略）によって固定されている。
この異方導電性コネクター１８において、複合導電性シート１０には、アダプター本体２０における接続用電極２１ｂ，２１ｃに係る特定のパターンと同一のパターンに従って複数の剛性導体１２が配置されており、当該異方導電性コネクター１８は、複合導電性シート１０における剛性導体１２の各々がアダプター本体２０の接続用電極２１ｂ，２１ｃの直上位置に位置するよう配置されている。 20 is an explanatory cross-sectional view showing the configuration of a second example of an adapter device using the composite conductive sheet obtained by the present invention, and FIG. 21 is an explanatory diagram showing an adapter main body in the adapter device shown in FIG. FIG. This adapter device is for testing a circuit device used for conducting an electrical resistance measurement test of each wiring pattern on a circuit device such as a printed circuit board, and has an adapter body 20 made of a multilayer wiring board.
On the surface of the adapter body 20 (the upper surface in FIGS. 20 and 21), connection electrodes for current supply (hereinafter referred to as “current supply”) that are electrically connected to the same electrode to be inspected and are spaced apart from each other. A connection electrode region 25 in which a plurality of connection electrode pairs 21a each including a connection electrode 21b and a voltage measurement connection electrode (hereinafter also referred to as a "voltage measurement electrode") 21c are formed. Has been. These connection electrode pairs 21a are arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the electrodes to be inspected of the circuit device to be inspected.
A plurality of terminal electrodes 22 are arranged on the back surface of the adapter main body 20 according to lattice point positions having a pitch of 0.8 mm, 0.75 mm, 1.5 mm, 1.8 mm, and 2.54 mm, for example.
Each of the current supply electrode 21 b and the voltage measurement electrode 21 c is electrically connected to the terminal electrode 22 by the internal wiring portion 23.
On the surface of the adapter main body 20, the anisotropic conductive connector 18 basically having the configuration shown in FIG. 11 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 17 are basically disposed on the connection electrode region 25. And is fixed to the adapter body 20 by appropriate means (not shown).
In this anisotropic conductive connector 18, a plurality of rigid conductors 12 are arranged on the composite conductive sheet 10 according to the same pattern as the specific pattern related to the connection electrodes 21 b and 21 c in the adapter main body 20. The two-way conductive connector 18 is disposed so that each of the rigid conductors 12 in the composite conductive sheet 10 is positioned immediately above the connection electrodes 21 b and 21 c of the adapter body 20.

上記のアダプター装置によれば、図１１に示す構成の異方導電性コネクター１８を有するため、検査対象である回路装置が、隣接する被検査電極の間の離間距離が小さく、被検査電極の高さレベルにバラツキがあるものであっても、隣接する被検査電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該被検査電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。   According to the adapter device, since the anisotropic conductive connector 18 having the configuration shown in FIG. 11 is provided, the circuit device to be inspected has a small separation distance between adjacent inspected electrodes, and the height of the inspected electrodes is high. Even if there are variations in level, it is possible to reliably achieve electrical connection to each of the electrodes to be inspected in a state where necessary insulation is ensured between adjacent electrodes to be inspected.

〈回路装置の電気的検査装置〉
図２２は、本発明によって得られる複合導電性シートを使用した回路装置の電気的検査装置の第１の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極６，７が形成されたプリント回路基板などの回路装置５について、例えばオープン・ショート試験を行うものであって、回路装置５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、回路装置５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。検査実行領域Ｅの上方には、図１８に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、図１８に示すような構成の下部側アダプター装置１ｂおよび下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
上部側検査ヘッド５０ａは、板状の検査電極装置５１ａと、この検査電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ａとにより構成されている。検査電極装置５１ａは、その下面に上部側アダプター装置１ａの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ａを有し、これらの検査電極５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の検査電極装置５１ｂと、この検査電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ｂとにより構成されている。検査電極装置５１ｂは、その上面に下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ｂを有し、これらの検査電極５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。 <Electrical inspection equipment for circuit devices>
FIG. 22 is an explanatory diagram showing a configuration in a first example of an electrical inspection device for a circuit device using the composite conductive sheet obtained by the present invention. This electrical inspection device performs, for example, an open / short test on a circuit device 5 such as a printed circuit board having electrodes 6 and 7 to be inspected on both sides, and the circuit device 5 is placed in an inspection execution region E. The holder 2 for holding is provided with a positioning pin 3 for arranging the circuit device 5 at an appropriate position in the inspection execution region E. Above the inspection execution area E, an upper-side adapter device 1a and an upper-side inspection head 50a configured as shown in FIG. 18 are arranged in this order from the bottom, and further above the upper-side inspection head 50a, A side support plate 56a is disposed, and the upper side inspection head 50a is fixed to the upper side support plate 56a by a column 54a. On the other hand, below the inspection execution area E, a lower-side adapter device 1b and a lower-side inspection head 50b configured as shown in FIG. 18 are arranged in this order from the top, and further below the lower-side inspection head 50b. The lower side support plate 56b is disposed, and the lower side inspection head 50b is fixed to the lower side support plate 56b by a support 54b.
The upper side inspection head 50a is composed of a plate-like inspection electrode device 51a and an anisotropically conductive elastomer sheet 55a having elasticity that is fixedly disposed on the lower surface of the inspection electrode device 51a. The inspection electrode device 51a has a plurality of pin-shaped inspection electrodes 52a arranged on the lower surface thereof at lattice point positions having the same pitch as the terminal electrodes 22 of the upper-side adapter device 1a. The electric wire 53a is electrically connected to a connector 57a provided on the upper support plate 56a, and is further electrically connected to a tester inspection circuit (not shown) via the connector 57a.
The lower inspection head 50b is composed of a plate-shaped inspection electrode device 51b and an anisotropically conductive elastomer sheet 55b having elasticity that is fixedly disposed on the upper surface of the inspection electrode device 51b. The inspection electrode device 51b has a plurality of pin-shaped inspection electrodes 52b arranged on the upper surface thereof at lattice point positions having the same pitch as the terminal electrodes 22 of the lower adapter device 1b. Each of these inspection electrodes 52b The electric wire 53b is electrically connected to a connector 57b provided on the lower support plate 56b, and is further electrically connected to an inspection circuit (not shown) of the tester via the connector 57b.

上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性エラストマーシート５５ａ，５５ｂは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマーシート５５ａ，５５ｂとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。   The anisotropic conductive elastomer sheets 55a and 55b in the upper side inspection head 50a and the lower side inspection head 50b are each formed by forming a conductive path forming portion that forms a conductive path only in the thickness direction. As such anisotropically conductive elastomer sheets 55a and 55b, those in which the respective conductive path forming portions are formed so as to protrude in the thickness direction on at least one surface are preferable in terms of exhibiting high electrical contact stability. .

このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が回路装置５に接近する方向に移動することにより、当該回路装置５が上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂによって挟圧される。
この状態においては、回路装置５の上面における被検査電極６は、上部側アダプター装置１ａにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１０を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置１ａの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ａを介して検査電極装置５１ａの検査電極５２ａに電気的に接続されている。一方、回路装置５の下面における被検査電極７は、下部側アダプター装置１ｂにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１０を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ｂを介して検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂに電気的に接続されている。 In such an electrical inspection device for a circuit device, the circuit device 5 to be inspected is held in the inspection execution region E by the holder 2, and in this state, each of the upper support plate 56a and the lower support plate 56b is By moving in the direction approaching the circuit device 5, the circuit device 5 is pinched by the upper adapter device 1a and the lower adapter device 1b.
In this state, the electrode 6 to be inspected on the upper surface of the circuit device 5 is electrically connected to the connection electrode 21 in the upper adapter device 1a via the anisotropic conductive connector 10, and this upper adapter device. The terminal electrode 22 of 1a is electrically connected to the inspection electrode 52a of the inspection electrode device 51a through the anisotropic conductive elastomer sheet 55a. On the other hand, the electrode 7 to be inspected on the lower surface of the circuit device 5 is electrically connected to the connection electrode 21 in the lower adapter device 1b via the anisotropic conductive connector 10, and the terminal of the lower adapter device 1b. The electrode 22 is electrically connected to the inspection electrode 52b of the inspection electrode device 51b via the anisotropic conductive elastomer sheet 55b.

このようにして、回路装置５の上面および下面の両方の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける検査電極装置５１ａの検査電極５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。   In this way, the test electrodes 6 and 7 on both the upper and lower surfaces of the circuit device 5 are respectively connected to the test electrode 52a of the test electrode device 51a in the upper test head 50a and the test electrode device 51b in the lower test head 50b. By being electrically connected to each of the test electrodes 52b, a state of being electrically connected to the test circuit of the tester is achieved, and a required electrical test is performed in this state.

上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図１８に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂを有するため、検査対象である回路装置５が、隣接する被検査電極６，７の間の離間距離が小さく、被検査電極６，７の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置５について所要の電気的検査を確実に実行することができる。   According to the electrical inspection device for a circuit device described above, since the upper side adapter device 1a and the lower side adapter device 1b configured as shown in FIG. Even if the distance between the electrodes 6 and 7 is small and the height levels of the electrodes 6 and 7 to be inspected vary, a required electrical inspection can be reliably performed on the circuit device 5.

図２３は、本発明によって得られる複合導電性シートを使用した回路装置の電気的検査装置の第２の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極６，７が形成されたプリント回路基板などの回路装置５について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うためのものであって、回路装置５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、回路装置５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。
検査実行領域Ｅの上方には、図２０に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、図２０に示すような構成の下部側アダプター装置１ｂおよび下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
上部側検査ヘッド５０ａは、板状の検査電極装置５１ａと、この検査電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ａとにより構成されている。検査電極装置５１ａは、その下面に上部側アダプター装置１ａの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ａを有し、これらの検査電極５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の検査電極装置５１ｂと、この検査電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート５５ｂとにより構成されている。検査電極装置５１ｂは、その上面に下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査電極５２ｂを有し、これらの検査電極５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性エラストマーシート５５ａ，５５ｂは、第１の例の電気的検査装置と基本的に同様の構成である。 FIG. 23 is an explanatory diagram showing a configuration in a second example of an electrical inspection device for a circuit device using the composite conductive sheet obtained by the present invention. This electrical inspection device is for performing an electrical resistance measurement test of each wiring pattern on a circuit device 5 such as a printed circuit board on which both electrodes 6 and 7 to be inspected are formed. The holder 2 for holding in the inspection execution area E is provided, and the holder 2 is provided with positioning pins 3 for arranging the circuit device 5 at an appropriate position in the inspection execution area E.
Above the inspection execution area E, an upper-side adapter device 1a and an upper-side inspection head 50a configured as shown in FIG. 20 are arranged in this order from the bottom, and further above the upper-side inspection head 50a, A side support plate 56a is disposed, and the upper side inspection head 50a is fixed to the upper side support plate 56a by a column 54a. On the other hand, below the inspection execution area E, a lower-side adapter device 1b and a lower-side inspection head 50b configured as shown in FIG. 20 are arranged in this order from the top, and further below the lower-side inspection head 50b. The lower side support plate 56b is disposed, and the lower side inspection head 50b is fixed to the lower side support plate 56b by a support 54b.
The upper side inspection head 50a is composed of a plate-like inspection electrode device 51a and an anisotropically conductive elastomer sheet 55a having elasticity that is fixedly disposed on the lower surface of the inspection electrode device 51a. The inspection electrode device 51a has a plurality of pin-shaped inspection electrodes 52a arranged on the lower surface thereof at lattice point positions having the same pitch as the terminal electrodes 22 of the upper-side adapter device 1a. The electric wire 53a is electrically connected to a connector 57a provided on the upper support plate 56a, and is further electrically connected to a tester inspection circuit (not shown) via the connector 57a.
The lower inspection head 50b is composed of a plate-shaped inspection electrode device 51b and an anisotropically conductive elastomer sheet 55b having elasticity that is fixedly disposed on the upper surface of the inspection electrode device 51b. The inspection electrode device 51b has a plurality of pin-shaped inspection electrodes 52b arranged on the upper surface thereof at lattice point positions having the same pitch as the terminal electrodes 22 of the lower adapter device 1b. Each of these inspection electrodes 52b The electric wire 53b is electrically connected to a connector 57b provided on the lower support plate 56b, and is further electrically connected to an inspection circuit (not shown) of the tester via the connector 57b.
The anisotropic conductive elastomer sheets 55a and 55b in the upper side inspection head 50a and the lower side inspection head 50b have basically the same configuration as that of the electrical inspection apparatus of the first example.

このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が回路装置５に接近する方向に移動することにより、当該回路装置５が上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂによって挟圧される。
この状態においては、回路装置５の上面における被検査電極６は、上部側アダプター装置１ａの接続用電極対２１ａにおける電流供給用電極２１ｂおよび電圧測定用電極２１ｃの両方に、異方導電性コネクター１８を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置１ａの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ａを介して検査電極装置５１ａの検査電極５２ａに電気的に接続されている。一方、回路装置５の下面における被検査電極７は、下部側アダプター装置１ｂの接続用電極対２１ａにおける電流供給用電極２１ｂおよび電圧測定用電極２１ｃの両方に、異方導電性コネクター１８を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２は、異方導電性エラストマーシート５５ｂを介して検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂに電気的に接続されている。 In such an electrical inspection device for a circuit device, the circuit device 5 to be inspected is held in the inspection execution region E by the holder 2, and in this state, each of the upper support plate 56a and the lower support plate 56b is By moving in the direction approaching the circuit device 5, the circuit device 5 is pinched by the upper adapter device 1a and the lower adapter device 1b.
In this state, the electrode 6 to be inspected on the upper surface of the circuit device 5 is connected to both the current supply electrode 21b and the voltage measurement electrode 21c in the connection electrode pair 21a of the upper adapter device 1a. The terminal electrode 22 of the upper adapter device 1a is electrically connected to the inspection electrode 52a of the inspection electrode device 51a via the anisotropic conductive elastomer sheet 55a. On the other hand, the electrode 7 to be inspected on the lower surface of the circuit device 5 is connected to both the current supply electrode 21b and the voltage measurement electrode 21c in the connection electrode pair 21a of the lower-side adapter device 1b via the anisotropic conductive connector 18. The terminal electrode 22 of the lower side adapter device 1b is electrically connected to the inspection electrode 52b of the inspection electrode device 51b via the anisotropic conductive elastomer sheet 55b.

このようにして、回路装置５の上面および下面の両方の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける検査電極装置５１ａの検査電極５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける検査電極装置５１ｂの検査電極５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。具体的には、上部側アダプター装置１ａにおける電流供給用電極２１ｂと下部側アダプター装置１ｂにおける電流供給用電極２１ｂとの間に一定の値の電流が供給されると共に、上部側のアダプター装置１ａにおける複数の電圧測定用電極２１ｃの中から１つを指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極２１ｃと、当該電圧測定用電極２１ｃに電気的に接続された上面側の被検査電極５に対応する下面側の被検査電極６に電気的に接続された、下部側アダプター装置１ｂにおける電圧測定用電極２１ｃとの間の電圧が測定され、得られた電圧値に基づいて、当該指定された１つの電圧測定用電極２１ｃに電気的に接続された上面側の被検査電極５とこれに対応する他面側の被検査電極６との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する電圧測定用電極２１ｃを順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。   In this way, the test electrodes 6 and 7 on both the upper and lower surfaces of the circuit device 5 are respectively connected to the test electrode 52a of the test electrode device 51a in the upper test head 50a and the test electrode device 51b in the lower test head 50b. By being electrically connected to each of the test electrodes 52b, a state of being electrically connected to the test circuit of the tester is achieved, and a required electrical test is performed in this state. Specifically, a constant current is supplied between the current supply electrode 21b in the upper-side adapter device 1a and the current-supply electrode 21b in the lower-side adapter device 1b, and in the upper-side adapter device 1a. One of the plurality of voltage measuring electrodes 21c is designated, and the designated one voltage measuring electrode 21c is connected to the inspected electrode 5 on the upper surface side electrically connected to the voltage measuring electrode 21c. A voltage is measured between the voltage measuring electrode 21c in the lower adapter device 1b and electrically connected to the corresponding electrode 6 to be inspected on the lower surface side. Based on the obtained voltage value, the designated voltage is measured. The electrical resistance value of the wiring pattern formed between the upper electrode under test 5 electrically connected to one voltage measuring electrode 21c and the corresponding other electrode 6 under test is taken. It is. And the electrical resistance of all the wiring patterns is measured by sequentially changing the designated voltage measuring electrode 21c.

上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図２０に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂを有するため、検査対象である回路装置５が、隣接する被検査電極６，７の間の離間距離が小さく、被検査電極６，７の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置５について所要の電気的検査を確実に実行することができる。   According to the electrical inspection device for a circuit device described above, since the upper side adapter device 1a and the lower side adapter device 1b configured as shown in FIG. Even if the distance between the electrodes 6 and 7 is small and the height levels of the electrodes 6 and 7 to be inspected vary, a required electrical inspection can be reliably performed on the circuit device 5.

図２４は、本発明によって得られる複合導電性シートを使用した回路装置の電気的検査装置の第３の例における構成を示す説明図である。この電気的検査装置は、両面に被検査電極６，７が形成されたプリント回路基板などの回路装置５について、例えばオープン・ショート試験を行うものであって、回路装置５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、回路装置５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。検査実行領域Ｅの上方には、図１８に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび上部側検査ヘッド６０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド６０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド６０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、図１８に示すような構成の下部側アダプター装置１ｂおよび下部側検査ヘッド６０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド６０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド６０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。
上部側検査ヘッド６０ａは、板状の検査電極装置６１ａと、この検査電極装置６１ａの下面に固定されて配置された異方導電性コネクター７０ａとにより構成されている。
一方、下部側検査ヘッド６０ｂは、板状の検査電極装置６１ｂと、この検査電極装置６１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性コネクター７０ｂとにより構成されている。 FIG. 24 is an explanatory diagram showing a configuration in a third example of an electrical inspection device for a circuit device using the composite conductive sheet obtained by the present invention. This electrical inspection device performs, for example, an open / short test on a circuit device 5 such as a printed circuit board having electrodes 6 and 7 to be inspected on both sides, and the circuit device 5 is placed in an inspection execution region E. The holder 2 for holding is provided with a positioning pin 3 for arranging the circuit device 5 at an appropriate position in the inspection execution region E. Above the inspection execution area E, an upper adapter device 1a and an upper inspection head 60a configured as shown in FIG. 18 are arranged in this order from the bottom, and further above the upper inspection head 60a, A side support plate 56a is arranged, and the upper side inspection head 60a is fixed to the upper side support plate 56a by a support 54a. On the other hand, below the inspection execution area E, a lower-side adapter device 1b and a lower-side inspection head 60b configured as shown in FIG. 18 are arranged in this order from above, and further below the lower-side inspection head 60b. The lower side support plate 56b is arranged, and the lower side inspection head 60b is fixed to the lower side support plate 56b by a support 54b.
The upper side inspection head 60a is configured by a plate-like inspection electrode device 61a and an anisotropic conductive connector 70a that is fixedly disposed on the lower surface of the inspection electrode device 61a.
On the other hand, the lower inspection head 60b is composed of a plate-shaped inspection electrode device 61b and an anisotropically conductive connector 70b having elasticity and fixed to the upper surface of the inspection electrode device 61b.

上部側検査ヘッド６０ａにおける検査電極装置６１ａは、図２５に拡大して示すように、上部側アダプター装置におけるアダプター本体２０の端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔６３ａが形成された平板状の絶縁性基板６２ａを有する。この絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの各々には、電線６４ａが、その先端面が絶縁性基板６２ａの表面と同一レベルとなるよう挿入されて配置され、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの各々の内壁面と電線６４ａの各々の外周面との間には、電線６４ａを固定する例えば液状封止材が硬化されてなる固定部材６５ａが形成されている。そして、電線６４ａの各々の先端面には、円形の膜状の検査電極６６ａが形成されており、これらの検査電極６６ａの各々は、電線６４ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。   As shown in an enlarged view in FIG. 25, the inspection electrode device 61a in the upper side inspection head 60a has a plurality of extending in the thickness direction according to the lattice point positions of the same pitch as the terminal electrodes 22 of the adapter body 20 in the upper side adapter device. Plate-like insulating substrate 62a having through-holes 63a formed therein. In each of the through holes 63a of the insulating substrate 62a, the electric wires 64a are inserted and arranged so that the front end surfaces thereof are at the same level as the surface of the insulating substrate 62a, and each of the through holes 63a of the insulating substrate 62a. A fixing member 65a formed by curing, for example, a liquid sealing material for fixing the electric wire 64a is formed between the inner wall surface of each of the electric wires 64a and the outer peripheral surface of each of the electric wires 64a. A circular film-like inspection electrode 66a is formed on each distal end surface of the electric wire 64a, and each of these inspection electrodes 66a is a connector 57a provided on the upper support plate 56a by the electric wire 64a. And is further electrically connected to a tester inspection circuit (not shown) via the connector 57a.

絶縁性基板６２ａを構成する材料としては、固有抵抗が例えば１×１０10Ω・ｃｍ以上の絶縁性材料を用いることが好ましく、その具体例としては、例えばポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポチエチレンテレフタレート樹脂、シンジオタクチック・ポリスチレン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエチルケトン樹脂、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の機械的強度の高い樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強フェノール樹脂、ガラス繊維補強型フッ素樹脂等のガラス繊維型複合樹脂材料、カーボン繊維補強型エポキシ樹脂、カーボン繊維補強型ポリエステル樹脂、カーボン繊維補強型ポリイミド樹脂、カーボン繊維補強型フェノール樹脂、カーボン繊維補強型フッ素樹脂等のカーボン繊維型複合樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にシリカ、アルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料を充填した複合樹脂材料、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にメッシュを含有した複合樹脂材料などを挙げることができる。また、これらの材料からなる板材を複数積層して構成された複合板材等も用いることができる。
絶縁性基板６２ａの厚みは、その貫通孔６３ａを例えばドリル加工によって容易に形成することができる点で、例えば５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましくは２〜５ｍｍである。
絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの開口径は、当該貫通孔６３ａのピッチ、電線６４ａの径を考慮して適宜設定されるが、例えば電線６４ａの径が２００μｍである場合には、貫通孔６３ａの径は０．２５〜０．３５ｍｍである。 As a material constituting the insulating substrate 62a, it is preferable to use an insulating material having a specific resistance of, for example, 1 × 10 10 Ω · cm or more, and specific examples thereof include, for example, polyimide resin, polyester resin, polyamide resin, phenol Resin, polyacetal resin, polybutylene terephthalate resin, polyethylene terephthalate resin, syndiotactic polystyrene resin, polyphenylene sulfide resin, polyether ethyl ketone resin, fluorine resin, polyether nitrile resin, polyether sulfone resin, polyarylate resin, Resin material with high mechanical strength such as polyamide-imide resin, glass fiber reinforced epoxy resin, glass fiber reinforced polyester resin, glass fiber reinforced polyimide resin, glass fiber reinforced phenolic resin, glass fiber reinforced type Carbon fiber composite resin materials such as fluorine resin, carbon fiber reinforced epoxy resin, carbon fiber reinforced polyester resin, carbon fiber reinforced polyimide resin, carbon fiber reinforced phenolic resin, carbon fiber reinforced fluorine resin, etc. Examples thereof include a composite resin material in which an inorganic material such as silica, alumina, boron nitride or the like is filled in a mold composite resin, an epoxy resin, a phenol resin, or the like, or a composite resin material in which an epoxy resin, a phenol resin, or the like contains a mesh. Moreover, the composite board material etc. which were comprised by laminating | stacking two or more board | plate materials which consist of these materials can be used.
The thickness of the insulating substrate 62a is preferably, for example, 5 mm or less, and more preferably 2-5 mm in that the through hole 63a can be easily formed by, for example, drilling.
The opening diameter of the through hole 63a of the insulating substrate 62a is appropriately set in consideration of the pitch of the through hole 63a and the diameter of the electric wire 64a. For example, when the diameter of the electric wire 64a is 200 μm, the through hole 63a The diameter is 0.25 to 0.35 mm.

電線６４ａとしては、例えばエナメル線やニクロム線などの従来より好適に用いられているものを用いることができる。電線６４ａの径は例えば５０〜４００μｍである。
固定部材６５ａを形成するための液状封止材としては、絶縁性基板６２ａに対して十分に高い接着性が得られるものが用いられ、その具体例としては、例えばエポキシ樹脂系封止材、ポリイミド樹脂系封止材、ポリアミド樹脂系封止材等を挙げることができる。
検査電極６６ａを構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの合金などを用いることができ、検査電極６６ａとしては、これらの金属の積層体によって形成されていてもよい。
検査電極６６ａの径は、電極６４ａの径および上部側アダプター装置におけるアダプター本体２０の端子電極２２の径に応じて適宜設定される。また、検査電極６６ａの厚みは、例えは０．１〜２０μｍである。 As the electric wire 64a, what was used conventionally conventionally, such as an enamel wire and a nichrome wire, can be used. The diameter of the electric wire 64a is, for example, 50 to 400 μm.
As the liquid sealing material for forming the fixing member 65a, a material capable of obtaining sufficiently high adhesion to the insulating substrate 62a is used. Specific examples thereof include, for example, an epoxy resin-based sealing material and polyimide. Examples thereof include a resin-based sealing material and a polyamide resin-based sealing material.
As the material constituting the inspection electrode 66a, copper, nickel, gold, or an alloy thereof can be used, and the inspection electrode 66a may be formed of a laminate of these metals.
The diameter of the inspection electrode 66a is appropriately set according to the diameter of the electrode 64a and the diameter of the terminal electrode 22 of the adapter body 20 in the upper-side adapter device. The thickness of the inspection electrode 66a is, for example, 0.1 to 20 μm.

このような構成の検査電極装置６１ａは、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、平板状の絶縁性基板形成材を用意し、この絶縁性基板形成材に例えばドリル加工を施すことにより、図２６に示すように、上部側アダプター１ａにおけるアダプター本体２０の端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔６３ａが形成された絶縁性基板６２ａを作製する。
その後、図２７に示すように、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの各々に、電線６４ａをその先端部が絶縁性基板６２ａの表面から突出するよう挿入し、この状態で、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａ内に液状封止材を注入して硬化させることにより、図２８に示すように、絶縁性基板６２ａの貫通孔６３ａの内壁面と電線６４ａの外周面との間に固定部材６５ａを形成する。
次いで、図２９に示すように、電線６４ａの各々の先端面を絶縁性基板６２ａの表面と同一レベルとなるまで研磨する。
そして、電線６４ａの各々の先端面に電解メッキ処理を施すことにより、図３０に示すように、膜状の検査電極６６ａを形成し、以て、検査電極装置６１ａが得られる。 The inspection electrode device 61a having such a configuration can be manufactured, for example, as follows.
First, a flat insulating substrate forming material is prepared, and the insulating substrate forming material is subjected to drilling, for example, so that it is the same as the terminal electrode 22 of the adapter body 20 in the upper adapter 1a as shown in FIG. An insulating substrate 62a is produced in which a plurality of through-holes 63a extending in the thickness direction are formed at the positions of the lattice points of the pitch.
Thereafter, as shown in FIG. 27, the electric wire 64a is inserted into each of the through holes 63a of the insulating substrate 62a so that the tip portion protrudes from the surface of the insulating substrate 62a. By injecting and curing the liquid sealing material into the through hole 63a, as shown in FIG. 28, the fixing member 65a is interposed between the inner wall surface of the through hole 63a of the insulating substrate 62a and the outer peripheral surface of the electric wire 64a. Form.
Next, as shown in FIG. 29, the front end surface of each of the electric wires 64a is polished to the same level as the surface of the insulating substrate 62a.
Then, by performing electrolytic plating treatment on each end face of the electric wire 64a, as shown in FIG. 30, a film-like inspection electrode 66a is formed, thereby obtaining the inspection electrode device 61a.

上部側検査ヘッド６０ａにおける異方導電性コネクター７０ａは、剛性導体１２の配置パターンおよび各部材の寸法を除いて基本的に図１に示す複合導電性シート１０と同様の構成の複合導電性シート１０と、この複合導電性シート１０の一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート７１ａと、複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート７５ａとにより構成されている。
第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々は、上部側アダプター装置１ａの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部７２ａ，７６ａと、これらを相互に絶縁する絶縁部７３ａ，７７ａとにより構成されている。導電路形成部７２ａ，７６ａの各々は、絶縁性の弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。これに対し、絶縁部７３ａ，７７ａは弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。また、図示の例では、第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々における導電路形成部７２ａ，７６ａは一面において厚み方向に突出するよう形成され、一方、第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々の他面と平坦面とされており、第１の異方導電性エラストマーシート７１ａおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ａの各々は、平坦面である他面が複合導電性シート１０に接するよう配置されている。このような異方導電性エラストマーシートは、従来公知の方法によって製造することができる。 The anisotropic conductive connector 70a in the upper side inspection head 60a is basically the same as the composite conductive sheet 10 shown in FIG. 1 except for the arrangement pattern of the rigid conductors 12 and the dimensions of each member. And a first anisotropic conductive elastomer sheet 71a disposed on one surface of the composite conductive sheet 10 and a second anisotropic conductive elastomer sheet 75a disposed on the other surface of the composite conductive sheet 10. It is configured.
Each of the first anisotropic conductive elastomer sheet 71a and the second anisotropic conductive elastomer sheet 75a is disposed in accordance with the lattice point position of the same pitch as that of the terminal electrode 22 of the upper adapter device 1a, respectively. And a plurality of conductive path forming portions 72a and 76a extending in parallel to each other and insulating portions 73a and 77a that insulate them from each other. Each of the conductive path forming portions 72a and 76a is formed by containing conductive particles P exhibiting magnetism in an insulating elastic polymer substance so as to be aligned in the thickness direction and formed in a chain. . On the other hand, the insulating parts 73a and 77a are made of an elastic polymer material and contain no or almost no conductive particles. In the illustrated example, the conductive path forming portions 72a and 76a in each of the first anisotropic conductive elastomer sheet 71a and the second anisotropic conductive elastomer sheet 75a are formed so as to protrude in the thickness direction on one surface, On the other hand, each of the first anisotropic conductive elastomer sheet 71a and the second anisotropic conductive elastomer sheet 75a has a flat surface and the other surface, and the first anisotropic conductive elastomer sheet 71a and the second anisotropic conductive elastomer sheet 71a. Each of the anisotropic conductive elastomer sheets 75 a is arranged so that the other surface which is a flat surface is in contact with the composite conductive sheet 10. Such an anisotropic conductive elastomer sheet can be produced by a conventionally known method.

下部側検査ヘッド６０ｂにおける検査電極装置６１ｂは、図３１に拡大して示すように、下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って、それぞれ厚み方向に伸びる複数の複数の貫通孔６３ｂが形成された平板状の絶縁性基板６２ｂを有する。この絶縁性基板６２ｂの貫通孔６３ｂの各々には、電線６４ｂが、その先端面が絶縁性基板６２ｂの表面と同一レベルとなるよう挿入されて配置され、絶縁性基板６２ｂの貫通孔６３ｂの各々の内壁面と電線６４ｂの各々の外周面との間には、電線６４ｂを固定する例えば液状封止材が硬化されてなる固定部材６５ｂが形成されている。そして、電線６４ｂの各々の先端面には、円形の膜状の検査電極６６ｂが形成されており、これらの検査電極６６ｂの各々は、電線６４ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。検査電極装置６１ｂにおけるその他の具体的な構成は、上部側検査ヘッド６０ａにおける検査電極装置６１ａと同様である。   As shown in an enlarged view in FIG. 31, the inspection electrode device 61b in the lower inspection head 60b has a plurality of plural extending in the thickness direction according to the lattice point positions having the same pitch as the terminal electrodes 22 of the lower adapter device 1b. It has a flat insulating substrate 62b in which a through hole 63b is formed. In each of the through holes 63b of the insulating substrate 62b, the electric wires 64b are arranged so that the front end surfaces thereof are at the same level as the surface of the insulating substrate 62b, and each of the through holes 63b of the insulating substrate 62b. A fixing member 65b formed by curing, for example, a liquid sealing material for fixing the electric wire 64b is formed between the inner wall surface of each of the electric wires 64b and the outer peripheral surface of each of the electric wires 64b. A circular film-like inspection electrode 66b is formed on each distal end surface of the electric wire 64b, and each of the inspection electrodes 66b is a connector 57b provided on the lower support plate 56b by the electric wire 64b. And is further electrically connected to a tester inspection circuit (not shown) via the connector 57b. Other specific configurations of the inspection electrode device 61b are the same as those of the inspection electrode device 61a in the upper inspection head 60a.

下部側検査ヘッド６０ｂにおける異方導電性コネクター７０ｂは、剛性導体１２の配置パターンおよび各部材の寸法を除いて基本的に図１に示す複合導電性シート１０と同様の構成の複合導電性シート１０と、この複合導電性シート１０の一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂと、複合導電性シート１０の他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂとにより構成されている。
第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々は、下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２と同一のピッチの格子点位置に従って配置された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部７２ｂ，７６ｂと、これらを相互に絶縁する絶縁部７３ｂ，７７ｂとにより構成されている。導電路形成部７２ｂ，７６ｂの各々は、絶縁性の弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で含有されてなるものである。これに対し、絶縁部７３ｂ，７７ｂは弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。また、図示の例では、第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々における導電路形成部７２ｂ，７６ｂは一面において厚み方向に突出するよう形成され、一方、第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々の他面と平坦面とされており、第１の異方導電性エラストマーシート７１ｂおよび第２の異方導電性エラストマーシート７５ｂの各々は、平坦面である他面が複合導電性シート１０に接するよう配置されている。このような異方導電性エラストマーシートは、従来公知の方法によって製造することができる。 The anisotropic conductive connector 70b in the lower side inspection head 60b is basically the same as the composite conductive sheet 10 shown in FIG. 1 except for the arrangement pattern of the rigid conductors 12 and the dimensions of each member. And a first anisotropic conductive elastomer sheet 71b disposed on one surface of the composite conductive sheet 10 and a second anisotropic conductive elastomer sheet 75b disposed on the other surface of the composite conductive sheet 10. It is configured.
Each of the first anisotropic conductive elastomer sheet 71b and the second anisotropic conductive elastomer sheet 75b is disposed in accordance with the lattice point positions having the same pitch as the terminal electrodes 22 of the lower adapter device 1b, respectively. And a plurality of conductive path forming portions 72b and 76b extending in parallel, and insulating portions 73b and 77b that insulate them from each other. Each of the conductive path forming portions 72b and 76b is contained in an insulating elastic polymer material in a state where conductive particles P exhibiting magnetism are aligned and aligned in the thickness direction to form a chain. . On the other hand, the insulating portions 73b and 77b are made of an elastic polymer material and contain no or almost no conductive particles. In the illustrated example, the conductive path forming portions 72b and 76b in each of the first anisotropic conductive elastomer sheet 71b and the second anisotropic conductive elastomer sheet 75b are formed so as to protrude in the thickness direction on one surface, On the other hand, each of the first anisotropic conductive elastomer sheet 71b and the second anisotropic conductive elastomer sheet 75b is made flat with the other surface, and the first anisotropic conductive elastomer sheet 71b and the second anisotropic conductive elastomer sheet 71b are second flat surfaces. Each of the anisotropic conductive elastomer sheets 75b is disposed so that the other surface which is a flat surface is in contact with the composite conductive sheet 10. Such an anisotropic conductive elastomer sheet can be produced by a conventionally known method.

このような回路装置の電気的検査装置においては、検査対象である回路装置５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が回路装置５に接近する方向に移動することにより、当該回路装置５が上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂによって挟圧される。
この状態においては、回路装置５の上面における被検査電極６は、上部側アダプター装置１ａにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１８を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置１ａの端子電極２２は、異方導電性コネクター７０ａを介して検査電極装置６１ａの検査電極６６ａに電気的に接続されている。一方、回路装置５の下面における被検査電極７は、下部側アダプター装置１ｂにおける接続用電極２１に、当該異方導電性コネクター１８を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置１ｂの端子電極２２は、異方導電性コネクター７０ｂを介して検査電極装置６１ｂの検査電極６６ｂに電気的に接続されている。 In such an electrical inspection device for a circuit device, the circuit device 5 to be inspected is held in the inspection execution region E by the holder 2, and in this state, each of the upper support plate 56a and the lower support plate 56b is By moving in the direction approaching the circuit device 5, the circuit device 5 is pinched by the upper adapter device 1a and the lower adapter device 1b.
In this state, the electrode 6 to be inspected on the upper surface of the circuit device 5 is electrically connected to the connection electrode 21 in the upper adapter device 1a via the anisotropic conductive connector 18, and this upper adapter device. The terminal electrode 22 of 1a is electrically connected to the inspection electrode 66a of the inspection electrode device 61a through the anisotropic conductive connector 70a. On the other hand, the electrode 7 to be inspected on the lower surface of the circuit device 5 is electrically connected to the connection electrode 21 in the lower adapter device 1b via the anisotropic conductive connector 18, and the terminal of the lower adapter device 1b. The electrode 22 is electrically connected to the inspection electrode 66b of the inspection electrode device 61b via the anisotropic conductive connector 70b.

このようにして、回路装置５の上面および下面の両方の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド６０ａにおける検査電極装置６１ａの検査電極６６ａおよび下部側検査ヘッド６０ｂにおける検査電極装置６１ｂの検査電極６６ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。   In this way, the test electrodes 6 and 7 on both the upper surface and the lower surface of the circuit device 5 are respectively connected to the test electrode 66a of the test electrode device 61a in the upper test head 60a and the test electrode device 61b in the lower test head 60b. By being electrically connected to each of the inspection electrodes 66b, a state of being electrically connected to the inspection circuit of the tester is achieved, and a required electrical inspection is performed in this state.

上記の回路装置の電気的検査装置によれば、図１８に示すような構成の上部側アダプター装置１ａおよび下部側アダプター装置１ｂを有するため、検査対象である回路装置５が、隣接する被検査電極６，７の間の離間距離が小さく、被検査電極６，７の高さレベルにバラツキがあるものであっても、当該回路装置５について所要の電気的検査を確実に実行することができる。   According to the electrical inspection device for a circuit device described above, since the upper side adapter device 1a and the lower side adapter device 1b configured as shown in FIG. Even if the distance between the electrodes 6 and 7 is small and the height levels of the electrodes 6 and 7 to be inspected vary, a required electrical inspection can be reliably performed on the circuit device 5.

本発明によって得られる複合導電性シートの一例における構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure in an example of the composite electroconductive sheet obtained by this invention. 図１に示す複合導電性シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of the composite electroconductive sheet shown in FIG. 絶縁性シートの両面にスペーサー層が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the spacer layer was formed on both surfaces of the insulating sheet. スペーサー層の各々の表面に金属層が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the metal layer was formed in each surface of a spacer layer. 金属層の各々の表面に保護層が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the protective layer was formed in each surface of a metal layer. 複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of a composite laminated material. 複合積層材料における金属層に形成すべき剛性導体の端子部に適合する径の開口が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the opening of the diameter suitable for the terminal part of the rigid conductor which should be formed in the metal layer in a composite laminated material was formed. 複合積層材料に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the rigid conductor was formed in the composite laminated material. 複合積層材料における保護層が除去された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state from which the protective layer in the composite laminated material was removed. 中間体の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of an intermediate body. 本発明によって得られる複合導電性シートを使用した異方導電性コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure in an example of the anisotropically conductive connector using the composite conductive sheet obtained by this invention. 図１１に示す異方導電性コネクターの要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of the anisotropically conductive connector shown in FIG. 第１の異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the 1st surface side molded member, the other surface side molded member, and spacer for manufacturing a 1st anisotropically conductive elastomer sheet. 他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the material for conductive elastomer was apply | coated to the surface of the other surface side molded member. 一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the conductive elastomer material layer was formed between the one surface side molded member and the other surface side molded member. 図１５に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the material layer for electroconductive elastomers shown in FIG. 図１５に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state which made the magnetic field act on the thickness direction with respect to the material layer for conductive elastomers shown in FIG. 本発明によって得られる複合導電性シートを使用したアダプター装置の第１の例における構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure in the 1st example of the adapter apparatus using the composite conductive sheet obtained by this invention. 図１８に示すアダプター装置におけるアダプター本体の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of the adapter main body in the adapter apparatus shown in FIG. 本発明によって得られる複合導電性シートを使用したアダプター装置の第２の例における構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure in the 2nd example of the adapter apparatus using the composite conductive sheet obtained by this invention. 図２０に示すアダプター装置におけるアダプター本体の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of the adapter main body in the adapter apparatus shown in FIG. 本発明によって得られる複合導電性シートを使用した回路装置の電気的検査装置の第１の例における構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure in the 1st example of the electrical inspection apparatus of the circuit apparatus using the composite conductive sheet obtained by this invention. 本発明によって得られる複合導電性シートを使用した回路装置の電気的検査装置の第２の例における構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure in the 2nd example of the electrical inspection apparatus of the circuit apparatus using the composite conductive sheet obtained by this invention. 本発明によって得られる複合導電性シートを使用した回路装置の電気的検査装置の第３の例における構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure in the 3rd example of the electrical inspection apparatus of the circuit apparatus using the composite conductive sheet obtained by this invention. 図２４に示す回路装置の電気的検査装置における上部側検査ヘッドの要部を拡大して示す説明用断面図である。FIG. 25 is an explanatory cross-sectional view illustrating an enlarged main part of the upper side inspection head in the electrical inspection apparatus for the circuit device illustrated in FIG. 24. 絶縁性基板の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of an insulating board | substrate. 絶縁性基板の貫通孔の各々に電線が挿入された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the electric wire was inserted in each of the through-hole of an insulating board | substrate. 絶縁性基板の貫通孔の内壁面と電線の外周面との間に固定部材が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the fixing member was formed between the inner wall face of the through-hole of an insulating board | substrate, and the outer peripheral surface of an electric wire. 電線の先端部が研磨された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the front-end | tip part of the electric wire was grind | polished. 電線の先端面に検査電極が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the test electrode was formed in the front end surface of an electric wire. 図２４に示す回路装置の電気的検査装置における下部側検査ヘッドの要部を拡大して示す説明用断面図である。FIG. 25 is an explanatory cross-sectional view showing an enlarged main part of a lower inspection head in the electrical inspection apparatus for the circuit device shown in FIG. 24.

符号の説明Explanation of symbols

１ａ 上部側アダプター装置
１ｂ 下部側アダプター装置
２ ホルダー
３ 位置決めピン
５ 回路装置
６，７ 被検査電極
１０ 複合導電性シート
１０Ａ 複合積層材料
１０Ｂ 中間体
１１ 絶縁性シート
１１Ｈ 貫通孔
１２ 剛性導体
１２ａ 胴部
１２ｂ 端子部
１３ スペーサー層
１３Ｋ 開口
１４ 金属層
１４Ｋ 開口
１５ 保護層
１５Ｋ 開口
１６ 第１の異方導電性エラストマーシート
１６Ａ 導電性エラストマー用材料層
１６Ｂ 導電性エラストマー用材料
１７ 第２の異方導電性エラストマーシート
１８ 異方導電性コネクター
２０ アダプター本体
２１，２１ｂ，２１ｃ 接続用電極
２１ａ 接続用電極対
２２ 端子電極
２３ 内部配線部
２５ 接続用電極領域
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
５０ａ 上部側検査ヘッド
５０ｂ 下部側検査ヘッド
５１ａ，５１ｂ 検査電極装置
５２ａ，５２ｂ 検査電極
５３ａ，５３ｂ 電線
５４ａ，５４ｂ 支柱
５５ａ，５５ｂ 異方導電性エラストマーシート
５６ａ 上部側支持板
５６ｂ 下部側支持板
５７ａ，５７ｂ コネクター
６０ａ 上部側検査ヘッド
６０ｂ 下部側検査ヘッド
６１ａ，６１ｂ 検査電極装置
６２ａ，６２ｂ 絶縁性基板
６３ａ，６３ｂ 貫通孔
６４ａ，６４ｂ 電線
６５ａ，６５ｂ 固定部材
６６ａ，６６ｂ 検査電極
７０ａ，７０ｂ 異方導電性コネクター
７１ａ，７１ｂ 第１の異方導電性エラストマーシート
７２ａ，７２ｂ 導電路形成部
７３ａ，７３ｂ 絶縁部
７５ａ，７５ｂ 第２の異方導電性エラストマーシート
７６ａ，７６ｂ 導電路形成部
７７ａ，７７ｂ 絶縁部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a Upper side adapter apparatus 1b Lower side adapter apparatus 2 Holder 3 Positioning pin 5 Circuit apparatus 6,7 Tested electrode 10 Composite conductive sheet 10A Composite laminated material 10B Intermediate body 11 Insulating sheet 11H Through-hole 12 Rigid conductor 12a Body 12b Terminal portion 13 Spacer layer 13K Opening 14 Metal layer 14K Opening 15 Protective layer 15K Opening 16 First anisotropic conductive elastomer sheet 16A Conductive elastomer material layer 16B Conductive elastomer material 17 Second anisotropic conductive elastomer sheet 18 Anisotropic conductive connector 20 Adapter body 21, 21 b, 21 c Connecting electrode 21 a Connecting electrode pair 22 Terminal electrode 23 Internal wiring portion 25 Connecting electrode region 30 One side molding member 31 Other side molding member 32 Spacer 32K Opening 33 Pressure roll 34 Support roll 3 Pressure roll device 50a Upper side inspection head 50b Lower side inspection head 51a, 51b Inspection electrode devices 52a, 52b Inspection electrodes 53a, 53b Electric wires 54a, 54b Struts 55a, 55b Anisotropically conductive elastomer sheet 56a Upper side support plate 56b Lower side Support plate 57a, 57b Connector 60a Upper side inspection head 60b Lower side inspection head 61a, 61b Inspection electrode device 62a, 62b Insulating substrate 63a, 63b Through hole 64a, 64b Electric wire 65a, 65b Fixing member 66a, 66b Inspection electrode 70a, 70b Anisotropic conductive connectors 71a, 71b First anisotropic conductive elastomer sheets 72a, 72b Conductive path forming portions 73a, 73b Insulating portions 75a, 75b Second anisotropic conductive elastomer sheets 76a, 76b Conductive path forming portions 77a, 77b Insulation part

Claims (2)

それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面の各々から突出するよう配置された剛性導体とを有し、当該剛性導体の各々が、前記絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなり、当該絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされている複合導電性シートを製造する方法であって、
絶縁性シートの貫通孔の各々に、その内面に胴部が接着または密着した状態で剛性導体が配置されてなる中間体を製造し、この中間体における絶縁性シートの貫通孔の内面に対して溶剤によってエッチンク処理を施すことにより、当該絶縁性シートの貫通孔の内面から剛性導体を分離する工程を有することを特徴とする複合導電性シートの製造方法。 An insulating sheet having a plurality of through-holes extending in the thickness direction, and a rigid conductor disposed in each of the through-holes of the insulating sheet so as to protrude from both sides of the insulating sheet. Each of the rigid conductors is formed with terminal portions having a diameter larger than the diameter of the through hole of the insulating sheet at both ends of the body portion inserted through the through hole of the insulating sheet. A method of manufacturing a composite conductive sheet that is movable in the thickness direction of the sheet,
An intermediate body in which a rigid conductor is disposed in each of the through holes of the insulating sheet with the body portion adhered or closely attached to the inner surface thereof is manufactured, and the inner surface of the through hole of the insulating sheet in the intermediate body is manufactured. A method for producing a composite conductive sheet comprising a step of separating a rigid conductor from an inner surface of a through hole of the insulating sheet by performing an etching process with a solvent. それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの一面および他面の各々に積層された、それぞれ絶縁性シートの貫通孔に連通する複数の開口を有するレジストよりなるスペーサー層と、当該スペーサー層の各々の表面に積層された、それぞれスペーサー層の開口に連通する複数の開口を有する金属層と、当該金属層の各々の表面に積層された、それぞれ金属層の開口に連通する複数の開口を有するレジストよりなる保護層とを有する複合積層材料を製造し、
この複合積層材料における各金属層の開口縁部に対してエッチング処理を施すことにより、当該金属層の各々に形成すべき剛性導体の端子部に適合する径の開口を形成し、メッキ処理によって、当該複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔、スペーサー層の開口および金属層の開口の内部に金属を充填することにより、剛性導体を形成し、その後、当該複合積層材料における保護層、金属層およびスペーサー層を除去することにより、中間体を製造することを特徴とする請求項１に記載の複合導電性シートの製造方法。
Insulating sheet in which a plurality of through-holes extending in the thickness direction are formed, and a resist having a plurality of openings that are stacked on each of one and other surfaces of the insulating sheet and communicate with the through-holes of the insulating sheet. A spacer layer, a metal layer stacked on each surface of the spacer layer, each having a plurality of openings communicating with the openings of the spacer layer, and a metal layer stacked on each surface of the metal layer. A composite laminated material having a protective layer made of a resist having a plurality of openings communicating with the openings of
By performing an etching process on the opening edge of each metal layer in the composite laminate material, an opening having a diameter suitable for the terminal part of the rigid conductor to be formed in each of the metal layers is formed, and by plating, A rigid conductor is formed by filling a metal in the through hole of the insulating sheet, the opening of the spacer layer, and the opening of the metal layer in the composite laminate material, and then the protective layer, the metal layer, and the The method for producing a composite conductive sheet according to claim 1, wherein the intermediate is produced by removing the spacer layer.
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