JP2007251095A - 半導体製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パターンコーナー部の形状を制御し、半導体装置の特性のばらつき、劣化を抑えることが可能な半導体製造方法を提供する。
【解決手段】(100)シリコン基板の<100>方向に沿ってトレンチパターンをレイアウトする工程と、レイアウトされたトレンチパターンに基づき、(100)シリコン基板にトレンチを形成する工程と、トレンチの形成された(100)シリコン基板を、低圧還元雰囲気中でアニールする工程を備える。
【選択図】図1
【解決手段】(100)シリコン基板の<100>方向に沿ってトレンチパターンをレイアウトする工程と、レイアウトされたトレンチパターンに基づき、(100)シリコン基板にトレンチを形成する工程と、トレンチの形成された(100)シリコン基板を、低圧還元雰囲気中でアニールする工程を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、シリコン基板を用いた半導体製造方法に関する。
半導体装置の製造工程において、シリコン基板や、その上に積層したポリシリコン膜、その他の絶縁膜をパターニングする際、パターンのコーナーとなるべき箇所(以下パターンコーナー部と記す)は、リソグラフィの光学的限界やエッチング時の制御性の限界が存在するため、直角に形成することができず、丸まりを持つことになる。
通常、パターンのレイアウトにはある程度のマージンが設けられている。これは、各パターンのサイズばらつきや、パターン間の合わせずれにより、活性化領域とゲート電極の重なり部分の幅で決められるチャネル幅が変動して、MOSFETの駆動電流が変動したり、活性化領域とコンタクトの重なり面積が小さくなり、コンタクト抵抗が上昇するため、特性がばらつき、集積回路動作に悪影響を与えるためである。
デザインルールの縮小に伴い、90nm、65nm世代においては、例えば活性化領域とゲート電極との重なりマージンを0.1μm程度以下にする必要がある。
しかしながら、実際の加工で形成されるパターンコーナー部の丸まり形状は、曲率半径0.1μm程度となるため、実質的なマージンが得られないことになり、特性のばらつき、劣化を抑えることが困難であるという問題がある。
一方、非特許文献1、2に開示されているように、低圧還元雰囲気においてアニールを行うことにより、シリコンマイグレーションが引き起こされることを用いて、加工後の形状を熱処理により変形させる手法が提案されている。(例えば特許文献1の[図8]など参照)。しかしながら、パターンコーナー部の形状を制御するには至っていない。
特開2000−357779号公報
T.Saito,et.al."Trench Transformation Technology using Hydrogen Annealing for Realizing Highly Reliable Device Structure with Thin Dielectric Films",1998 VLSI Sympo.
S.Matsuda,et.al."Novel Corner Rounding Process for Shallow Trench Isolation utilizing MSTS (Micro−Structure Transformation of Silicon)",1998 IEDM
本発明は、パターンコーナー部の形状を制御し、半導体装置の特性のばらつき、劣化を抑えることが可能な半導体製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明の一態様によれば、(100)シリコン基板の<100>方向に沿ってトレンチパターンをレイアウトする工程と、レイアウトされたトレンチパターンに基づき、(100)シリコン基板にトレンチを形成する工程と、トレンチの形成された(100)シリコン基板を、低圧還元雰囲気中でアニールする工程を備えることを特徴とする半導体製造方法が提供される。
本発明の一実施態様によれば、半導体製造方法において、パターンコーナー部の形状を制御し、半導体装置の特性ばらつき、劣化を抑えることが可能となる。
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
(実施形態1)
図1(a)〜(c)に、本実施形態により形成される半導体装置の、レイアウトパターンと加工形状、変形形状の概念図を示す。図1(a)に示すように、パターンは、<100>方向に沿って、すなわち活性化領域1の辺1a、1bが、<100>方向となるようにレイアウトされている。
図1(a)〜(c)に、本実施形態により形成される半導体装置の、レイアウトパターンと加工形状、変形形状の概念図を示す。図1(a)に示すように、パターンは、<100>方向に沿って、すなわち活性化領域1の辺1a、1bが、<100>方向となるようにレイアウトされている。
このようなレイアウトに従い、図1(b)に示すように、通常のプロセスにより、シリコン基板(100)面上に、パターンコーナー部1c’が丸まりを持つ活性化領域1’のパターンを形成する。
そして、図1(c)に示すように、これを所定条件にてアニールすることにより、パターンコーナー部1c”の丸まりの曲率半径が小さくなる方向(鋭角)に変形させ、活性化領域1”を形成する。
このような半導体装置のパターンは、具体的には図2に示すようなフローにより形成される。以下に一般的に半導体装置の素子分離として用いられる、絶縁膜埋め込み素子分離(STI:Shallow Trench Isolation)形成の工程を例に挙げて説明する。尚、図3〜図8において、(a)は上面図、(b)は(a)のA−A’断面図を示す。
先ず、図3(a)、(b)に示すように、シリコン基板10の(100)面上に、活性化領域のパターンのマスク12を形成する。このとき、シリコン基板11の結晶方向またはリソグラフィ時のマスク位置を調整(回転)することによって、活性化領域の辺となる12a、12bが<100>方向に沿うようにレイアウトする。そして、絶縁膜、例えばSiN膜やCVD酸化膜、又はこれらの積層膜を形成し、通常のリソグラフィとRIE(Reactive Ion Etching)など通常のエッチング加工によってパターニングすることにより、基板加工時のマスクを形成する。
このとき、形成されたマスクのコーナー部分12cは、光学的限界や加工プロセス的限界によって決まる丸まり形状を持つ。丸まり形状は、例えば90nm、65nm世代で、ArFエキシマレーザを用いたリソグラフィや、通常のエッチング加工により、曲率半径0.1μm程度となる。
次いで、図4(a)、(b)に示すように、形成されたマスク12を用いて、シリコン基板10を所定量、例えば90nm、65nm世代では300nm程度を、RIEなど通常の手法によりエッチングして、活性化領域11及びトレンチ13を形成する。
そして、図5(a)、(b)に示すように、低圧還元雰囲気、例えば減圧のH2雰囲気でアニールを施す。このとき、アニール条件を、例えば、温度:950℃、圧力:380Torrで60秒とする。このとき、例えばMOSFETのチャネルとなる(100)面は、マスクにより保護されている。
このような条件でアニールすることにより、シリコンマイグレーションを引き起こし、絶縁膜のマスク12形状は変わらないが、活性化領域10のパターンコーナー部10cが鋭角、すなわち曲率半径が小さくなる方向に変形する。
これは、シリコンマイグレーションによりシリコン結晶表面が流動して、表面エネルギーが安定する面の面積が広くなるためである。すなわち、シリコン結晶面の表面エネルギーは、(111):8.5eV/nm2<(100):9.0eV/nm2<(110):10.4eV/nm2の順で大きくなるため、マイグレーション後には、(110)面より安定する(100)面の面積が増える。つまり、<100>方向にレイアウトした場合、シリコンマイグレーションにより(100)面が増える方向にシフトし、パターンコーナー部が鋭角となるように形状が変わることになる。
そして、通常の素子分離工程と同様に、図6(a)、(b)に示すように、トレンチ13内を酸化し、絶縁膜14を成膜した後、CMP等の工程を経て素子分離構造が形成される。
次いで、図7(a)、(b)に示すように、ゲート部を酸化してゲート絶縁膜15aを形成し、ゲート電極用のポリシリコン膜15bを成膜する。
そして、図8(a)、(b)に示すように、通常のリソグラフィ法により、ゲート電極15を形成する。さらに、通常の半導体装置の製造プロセスと同様に、コンタクト、上層配線、層間絶縁膜などを形成して、半導体装置が形成される。
このようにして、シリコン基板にトレンチパターンを形成した後、低圧還元雰囲気においてアニールを行なうことにより、パターンコーナー部を鋭角に変形させることができる。
そして、さらに、例えば図9に示すような活性化領域1に対して、ゲート電極2、コンタクト3をレイアウトしたパターンにおいて、図10に示すように、通常のプロセスにより形成されたパターンコーナー部が丸まりを持つ活性化領域1’上に、ゲート電極2’、コンタクト3’を形成すると、図11に示すように、デザインルールに基づくマージンでは、合わせずれが生じた際に、パターンコーナー部の丸まりと、ゲート下のチャネルやコンタクトが重なってしまうことが懸念されるため、パターンコーナー部とゲート、コンタクト間の距離をより大きく取る必要がある。しかしながら、図12に示すように、活性化領域1’’のパターンコーナー部を、鋭角に変形させることにより、図13にパターンコーナー部の拡大図を示すように、実線で示す変形後の活性化領域1”は、破線で示す変形前の活性化領域1’よりΔ分マージンを大きく取ることができ、ゲート電極2”、コンタクト3”を形成する際の合わせずれにより、チャネル幅や活性化領域との接触面積が変動することによる特性のばらつき、集積回路動作への悪影響を抑えることが可能となる。
従って、デザインルールの縮小によるチップサイズのシュリンクや、半導体装置の歩留り向上を図ることが可能となる。
本実施形態において、アニールの雰囲気として、減圧のH2雰囲気で、温度:950℃、圧力:380Torrで60秒という条件を挙げているが、圧力10Torrで温度900〜1100℃、温度1000℃で圧力100Torr以下など、シリコンマイグレーションが生じる条件であれば特に限定されるものではない。
また、適用される半導体装置は特に限定されるものではなく、例えばMOSFET、バイポーラ、抵抗素子、ダイオードなどの種々の回路に適用することが可能である。
尚、通常のシリコン基板では、シリコン基板の外周にノッチまたはオリフラと呼ばれる結晶方向識別用の加工がされており、通常の半導体製造工程においては、(100)面を上にして円形のシリコン基板の<110>方向に、結晶方向識別用の加工を施した半導体基板を用いることが多い。このようなシリコン基板を用いる場合、45度回転した方向に沿ったレイアウトを行う必要がある。しかしながら、ウエハ上<100>方向にノッチまたはオリフラを形成したシリコン基板を用いることにより、そのまま0度、90度方向にレイアウトして、リソグラフィやエッチング加工を行うことができるため、従来のリソグラフィ装置等の半導体製造装置をそのまま用いることが可能である。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。その他要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
1、1’、1”、11 活性化領域
2、2’、2” ゲート電極
3、3’、3” コンタクト
10 シリコン基板
12 マスク
13 トレンチ
14 絶縁膜
15 ゲート電極
2、2’、2” ゲート電極
3、3’、3” コンタクト
10 シリコン基板
12 マスク
13 トレンチ
14 絶縁膜
15 ゲート電極
Claims (5)
- (100)シリコン基板の<100>方向に沿ってトレンチパターンをレイアウトする工程と、
前記レイアウトされたトレンチパターンに基づき、前記(100)シリコン基板にトレンチを形成する工程と、
前記トレンチの形成された前記(100)シリコン基板を、低圧還元雰囲気中でアニールする工程を備えることを特徴とする半導体製造方法。 - 前記アニールは、水素雰囲気で、温度900〜1100℃、圧力100Torr以下で行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体製造方法。
- 前記アニールする工程において、前記(100)シリコン基板表面にマスクが施されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体製造方法。
- 前記(100)シリコン基板は、<100>方向の結晶識別用加工が施されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体製造方法。
- 前記トレンチを絶縁膜で埋め込み、素子分離することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体製造方法。
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