JP2007227736A - 現像処理装置、現像処理方法、コンピュータ読取可能な記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 現像ユニット30は、基板Gを水平姿勢で載置して搬送する搬送ベルト53と、搬送ベルト53上の基板Gに現像液を供給する現像液供給機構60とを具備し、搬送ベルト53の表面には、載置された基板Gを囲繞するように、現像液供給機構60によって基板Gに供給された現像液を堰き止める堰部55が設けられている。
【選択図】 図7
Description
図2は現像ユニット(DEV)30の側面図であり、図3はその平面図である。
30…現像ユニット(現像処理装置)
53…搬送ベルト
55(55a〜55d)…堰部
60…現像液供給機構
61…洗浄機構
62…乾燥ノズル(乾燥機構:乾燥流体供給機構)
63…現像ノズル
65…洗浄ノズル
66…共洗いノズル
G…基板
Claims (10)
- 基板に現像液を供給して現像処理を施す現像処理装置であって、
基板を水平姿勢で載置して搬送する搬送ベルトと、
前記搬送ベルト上の基板に現像液を供給する現像液供給機構と
を具備し、
前記搬送ベルトの表面には、載置された基板を囲繞するように、前記現像液供給機構によって基板に供給された現像液を堰き止める堰部が設けられていることを特徴とする現像処理装置。 - 前記搬送ベルトは、前記現像液供給機構による現像液の供給時または供給後に、正逆交互に作動することにより現像液を前記堰部内で攪拌することを特徴とする請求項1に記載の現像処理装置。
- 前記搬送ベルトを洗浄する洗浄機構をさらに具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の現像処理装置。
- 前記搬送ベルトは無端状であり、
前記洗浄機構は、前記搬送ベルトに下方から洗浄液を供給して前記搬送ベルトを洗浄することを特徴とする請求項3に記載の現像処理装置。 - 前記搬送ベルトを乾燥させる乾燥機構をさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の現像処理装置。
- 前記搬送ベルトは無端状であり、
前記乾燥機構は、前記搬送ベルトに下方から乾燥流体を供給して前記搬送ベルトを乾燥させることを特徴とする請求項5に記載の現像処理装置。 - 前記堰部は、前記搬送ベルトの搬送方向に複数配列されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の現像処理装置。
- 基板に現像処理を施す現像処理方法であって、
表面に現像液貯留部を有し、基板を水平姿勢で載置して搬送する搬送ベルトを準備し、
前記現像液貯留部内の現像液に基板を浸漬して現像を進行させつつ、前記搬送ベルトによって基板を搬送して、基板に現像処理を施すことを特徴とする現像処理方法。 - 基板が浸漬された前記現像液貯留部内の現像液を、所定の温度プロファイルが形成されるように温調することを特徴とする請求項8に記載の現像処理方法。
- コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、実行時に請求項8または請求項9に記載の現像処理方法が行われるように、コンピュータに処理装置を制御させることを特徴とするコンピュータ読取可能な記憶媒体。
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