JP2007214941A - Piezoelectric vibration chip and piezoelectric device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧電振動片及び圧電デバイスに係り、特に小型、薄型化された圧電振動片、及びこの圧電振動片を搭載した圧電デバイスに関する。 The present invention relates to a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric device, and more particularly to a small and thin piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric device on which the piezoelectric vibrating piece is mounted.
水晶振動片を用いた圧電振動子は、小型化が容易であり、温度特性が良好である等の理由から、従来よりPDAや携帯電話等の移動体通信機器をはじめとする様々な電子機器の基準周波数信号源として採用されてきた。 Piezoelectric vibrators using quartz resonator elements are easy to miniaturize and have good temperature characteristics, and so on, and so on for various electronic devices such as mobile communication devices such as PDAs and mobile phones. It has been adopted as a reference frequency signal source.
近年では、上記のような電子機器の高機能化が進み、内部回路においては高集積化が進められてきている。このような背景の下、上記圧電振動子には更なる小型化の要求が強まり、圧電振動片と圧電振動子との実装スペース(ダイサイズ)を同一とすることができる圧電振動片の構造が開発されている。例えば特許文献1に開示されているような構造の水晶振動片がそれである。
In recent years, higher functionality of electronic devices as described above has progressed, and higher integration has been promoted in internal circuits. Against this background, there is an increasing demand for further miniaturization of the piezoelectric vibrator, and there is a structure of a piezoelectric vibrator piece that can make the mounting space (die size) of the piezoelectric vibrator piece and the piezoelectric vibrator the same. Has been developed. For example, this is a quartz crystal resonator element having a structure as disclosed in
従来の圧電振動子は、セラミックス等で構成されたパッケージの内部に振動片を内装して構成されるものであり、圧電振動子のダイサイズは、圧電振動片のダイサイズよりも大型とならざるをえないということが実状であった。 A conventional piezoelectric vibrator is configured by incorporating a resonator element inside a package made of ceramics or the like, and the die size of the piezoelectric vibrator does not have to be larger than the die size of the piezoelectric resonator element. It was the actual situation that I could not get it.
特許文献1に開示されている圧電振動片は、矩形に形成した振動部と、この振動部の周囲に、貫通溝を介して形成した枠部とを有し、前記振動部と枠部とを支持部によって接続する構成としている。また、励振電極は、振動部の形状に合わせて矩形に形成され、引き出し電極は、支持部を介して枠部に引き回されている。
The piezoelectric vibrating piece disclosed in
このような構成とすることにより、前記枠部をパッケージの一部として圧電振動片の上下に蓋体を接合することにより、圧電振動片とダイサイズが同一となる圧電振動子を構成することが可能となる。また、枠部と振動部との接続を支持部のみとしたことにより、外部応力による影響が振動部へと伝達され難くなるといったメリットも得ることができる。
上記特許文献1に開示されている圧電振動片のような構造であれば、確かに小型で特性劣化の少ない圧電振動片とすることができる。しかし、枠部の大きさを従来の圧電振動片の大きさに合わせて製造した場合、枠部の内側に形成される振動部の大きさは従来よりもはるかに小さなものとなる。このように、振動部が小型矩形に形成されるため、特許文献1に開示されているような構成の圧電振動片には振動部に高次の屈曲モードによるスプリアスが発生し易くなるという問題が生じる。また、励振電極の形状も矩形であるため、励振部に対する振動エネルギーの閉じ込め効率が悪く、振動子を構成した場合における振動子の性能指数(Figure of Merit:フィギュアオブメリット)が低いという問題がある。
If it is a structure like the piezoelectric vibrating reed disclosed in the above-mentioned
本発明では、上記問題を解決し、振動部に屈曲モードによるスプリアスが生じ難い圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを第1の目的とする。また、本発明では、フィギュアオブメリットを向上させることができる圧電振動片、及び圧電デバイスを提供することを第2の目的とする。 The first object of the present invention is to solve the above problems and to provide a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric device in which spurious due to a bending mode does not easily occur in the vibration part. The second object of the present invention is to provide a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric device that can improve the figure of merit.
上記第1の目的を達成するための本発明に係る圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動片であって、主面に励振電極を形成し、厚み滑り振動を励起する振動部と、当該振動部の外周側に、貫通溝を介して配置される枠部と、前記振動部と前記枠部とを接続する支持部とを有し、前記振動部の形状を楕円形状としたことを特徴とする。このような構成の圧電振動片であれば、楕円形状とした振動部により高次モードのスプリアスの発生を抑制することができる。 In order to achieve the first object, a piezoelectric vibrating piece according to the present invention is a piezoelectric vibrating piece having thickness shear vibration as a main vibration, and an excitation electrode is formed on the main surface to excite the thickness shear vibration. And a support part that connects the vibration part and the frame part, and the shape of the vibration part is an elliptical shape. It is characterized by that. With the piezoelectric vibrating piece having such a configuration, it is possible to suppress the occurrence of high-order mode spurious by the elliptical vibrating portion.
また、上記第1、第2の目的を双方共に達成するための本発明に係る圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動片であって、主面に励振電極を形成し、厚み滑り振動を励起する振動部と、当該振動部の外周側に、貫通溝を介して配置される枠部と、前記振動部と前記枠部とを接続する支持部とを有し、前記振動部及び前記励振電極の形状を楕円形状としたことを特徴とするものである。このような構成の圧電振動片であれば、楕円形状とした振動部により高次モードのスプリアスの発生を抑制することができる。また、励振電極を楕円形状とすることにより厚み滑り振動のエネルギーが集中する範囲に励振電極を配置することが可能となる。このため、励振電極の直列抵抗を低下させることができ、並列容量を減少させることができ、振動子を構成した場合におけるフィギュアオブメリットを向上させることが可能となる。 In addition, a piezoelectric vibrating piece according to the present invention for achieving both the first and second objects is a piezoelectric vibrating piece having thickness shear vibration as a main vibration, and an excitation electrode is formed on the main surface. A vibration portion that excites thickness shear vibration; a frame portion that is disposed on the outer peripheral side of the vibration portion via a through groove; and a support portion that connects the vibration portion and the frame portion, and the vibration The shape of the part and the excitation electrode is an elliptical shape. With the piezoelectric vibrating piece having such a configuration, it is possible to suppress the occurrence of high-order mode spurious by the elliptical vibrating portion. Further, by making the excitation electrode into an elliptical shape, the excitation electrode can be arranged in a range where the energy of the thickness shear vibration is concentrated. For this reason, the series resistance of the excitation electrode can be reduced, the parallel capacitance can be reduced, and the figure of merit in the case of configuring the vibrator can be improved.
また、上記のような特徴を有する圧電振動片では、前記励振電極は前記振動部より小型に形成し、前記励振電極と前記振動部とを相似形状とすると良い。このような構成とすることにより、振動部と励振電極とのバランスがとれ、フィギュアオブメリットを向上させることができる。 In the piezoelectric vibrating piece having the above-described characteristics, the excitation electrode may be formed smaller than the vibration part, and the excitation electrode and the vibration part may have a similar shape. By adopting such a configuration, the vibration part and the excitation electrode can be balanced, and the figure of merit can be improved.
また、上記のような特徴を有する圧電振動片は、前記圧電振動片はATカット水晶基板によって構成し、楕円形状に形成した振動部の長軸側をX軸、短軸側をZ´軸に設定した場合に前記励振電極は前記振動部の楕円形状と同一方向に長軸と短軸とを有する楕円形状に形成し、前記励振電極の長軸と短軸との比を1.14から1.39対1.0の間で定めると良い。このような範囲で励振電極の長軸と短軸との比を定めることにより、厚み滑り振動を最も効率良く励起することができる。 Further, in the piezoelectric vibrating piece having the above-described features, the piezoelectric vibrating piece is formed of an AT-cut quartz substrate, and the major axis side of the vibrating portion formed in an elliptical shape is the X axis and the minor axis side is the Z ′ axis. When set, the excitation electrode is formed in an elliptical shape having a major axis and a minor axis in the same direction as the elliptical shape of the vibrating portion, and the ratio of the major axis to the minor axis of the excitation electrode is 1.14 to 1. It should be set between .39 and 1.0. By determining the ratio of the major axis to the minor axis of the excitation electrode in such a range, the thickness shear vibration can be excited most efficiently.
また、上記のような特徴を有する圧電振動片では、前記枠部の内周側の形状を前記振動部の外形形状に沿って形成すると良い。上記のような振動部と枠部とを備える圧電振動片では一般的に、生産性、及び取り扱いの容易性等を考慮して、枠部の外形(外周)形状は矩形とされている。このため、枠部の内周形状を振動部の外形形状に沿って略楕円形とすることにより、枠部に割り当てられる面積が大きくなる。これにより、枠部の主面に蓋体を接合する際の接合面を広く確保することができるようになり、強固な接合を実現することが可能となる。 In the piezoelectric vibrating piece having the above-described characteristics, the shape of the inner peripheral side of the frame portion may be formed along the outer shape of the vibrating portion. In general, in a piezoelectric vibrating piece including the vibrating portion and the frame portion as described above, the outer shape (outer periphery) of the frame portion is rectangular in consideration of productivity, ease of handling, and the like. For this reason, the area allocated to a frame part becomes large by making the inner peripheral shape of a frame part into a substantially elliptical shape along the external shape of a vibration part. As a result, it is possible to secure a wide joining surface when joining the lid to the main surface of the frame portion, and it is possible to realize strong joining.
また、上記のような特徴を有する圧電振動片では、前記振動部の肉厚を前記枠部の肉厚よりも薄肉に形成すると良い。このような構成とすることにより、励起する振動の周波数を高周波化することができる。また、枠部を振動部よりも厚肉とすることにより、外部応力に対する強度を確保することができる。さらに、枠部の主面に平坦な面を有する蓋体を接合した場合であっても、振動部と蓋体とが接触することが無い。 Further, in the piezoelectric vibrating piece having the above-described characteristics, it is preferable that the thickness of the vibrating portion is thinner than the thickness of the frame portion. With such a configuration, the frequency of vibration to be excited can be increased. Moreover, the strength against external stress can be ensured by making the frame part thicker than the vibration part. Furthermore, even when a lid having a flat surface is joined to the main surface of the frame portion, the vibrating portion and the lid do not contact each other.
また、上記目的を達成するための本発明に係る圧電デバイスは、上記いずれかに記載の圧電振動片の枠部における両主面にそれぞれ蓋体を接合し、いずれかの蓋体に、前記振動部に形成した励振電極と電気的に接続された外部端子を備えたことを特徴とする。このような構成とすることにより、圧電振動片のダイサイズと圧電デバイスのダイサイズとを同一とすることができる。また、上記圧電振動片を搭載することより、高いフィギュアオブメリットを得ることができる。 In addition, the piezoelectric device according to the present invention for achieving the above object is characterized in that a lid is bonded to each main surface of the frame portion of the piezoelectric vibrating piece according to any one of the above, and the vibration is applied to any lid. And an external terminal electrically connected to the excitation electrode formed in the portion. By setting it as such a structure, the die size of a piezoelectric vibrating piece and the die size of a piezoelectric device can be made the same. Moreover, a high figure of merit can be obtained by mounting the piezoelectric vibrating piece.
また、上記のような特徴を有する圧電デバイスでは、前記蓋体の前記振動部と対向する側の面に凹陥部を形成しても良い。このような構成とすることによれば、圧電振動片における振動部と枠部の肉厚を同一とした場合であっても、振動部と蓋体とが接触する虞が無くなる。 In the piezoelectric device having the above-described characteristics, a concave portion may be formed on the surface of the lid that faces the vibrating portion. According to such a configuration, there is no possibility that the vibrating portion and the lid are in contact with each other even when the vibrating portion and the frame portion of the piezoelectric vibrating piece have the same thickness.
以下、本発明の圧電振動片及び圧電デバイスに係る実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施の形態は、本発明の一部を示す形態であり、本発明はその主要部を変えない限度において種々の形態を採るものとする。 Hereinafter, embodiments of a piezoelectric vibrating piece and a piezoelectric device according to the present invention will be described with reference to the drawings. The following embodiment is a form showing a part of the present invention, and the present invention takes various forms as long as the main part is not changed.
まず、図1を参照して、本発明の圧電振動片に係る第1の実施形態について説明する。なお、図1において、図1(A)は圧電振動片の平面構成を示す図であり、図1(B)は同図(A)におけるA−A断面を示す図である。 First, a first embodiment of the piezoelectric vibrating piece according to the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 1, FIG. 1A is a diagram illustrating a planar configuration of the piezoelectric vibrating piece, and FIG. 1B is a diagram illustrating a cross section taken along line AA in FIG.
本実施形態の圧電振動片10は、振動部12と、枠部14、及び前記振動部12と前記枠部14とを接続する支持部13とを基本構成とする。
前記振動部12は外形形状を楕円形とし、板面の両主面には励振電極18a,18bが形成されている。前記励振電極18a,18bの形状は、前記振動部12の外形形状に合わせた楕円形とされる。このように振動部12を楕円形とすることにより、外形形状に起因した高次の屈曲モードによるスプリアスの発生を低減することが可能となる。また、振動部12の板面に励振電極18a,18bを形成することにより当該励振電極18a,18b形成部に振動エネルギーを閉じ込めるエネルギー閉じ込め効果を奏するが、励振電極18a,18bの形状を楕円とすることにより前記エネルギー閉じ込め効果の効率を高め、フィギュアオブメリットを向上させることが可能となる。
The
The vibrating
前記枠部14は、本実施形態の場合、矩形状に形成される。当該枠部14は、前記振動部12を囲繞するように振動部12の外側に形成されるものであり、振動部12と枠部14との間には貫通溝16が形成されている。枠部14には、引出電極20a,20bが形成されており、当該引出電極20a,20bは、前記振動部12と当該枠部14とを接続する前記支持部13を介して前記振動部12に形成された前記励振電極18a,18bに接続されている。
In the case of the present embodiment, the
本実施形態の場合、前記振動部12は、前記枠部14よりも薄肉に形成されている。このため、詳細は図示しないが、振動部12と枠部14とを繋ぐ支持部13には、傾斜面、あるいは段部が形成されることとなる。このように振動部12を枠部14よりも薄肉に形成することにより、枠部14の両主面に蓋体(リッド)を接合した場合であっても、前記リッドと前記振動部12とが接触することが無くなる。また、振動部12を薄肉化することによって励起する振動の高周波化を図ることができる。一方、支持部13を介した枠部14は厚肉に構成されるため、圧電振動片10としては、衝撃や熱応力等の外部応力に対する強度を保つことができる。さらに、枠部14と振動部12との間には貫通溝16が形成されるため、枠部14に与えられた外部応力が振動部12に伝達され難くなる。
In the case of this embodiment, the
圧電振動片10の構成材料としては、厚み滑り振動を主振動として励起する部材であれば特に限定をする必要は無いが、本実施形態では特に水晶を選定し、カット角をATカットとしたATカット水晶基板を例に挙げて説明することとする。なお、ATカット水晶基板におけるX軸Z´軸は、楕円に形成した振動部12の長軸(長辺)方向をX軸方向、短軸(短辺)方向をZ´軸方向として定めることとする。
The constituent material of the piezoelectric vibrating
上記のような構成の圧電振動片10において、楕円形状に形成した励振電極18a,18bの長軸と短軸との寸法比率は、1.265:1とすることが望ましい。ATカット水晶基板における主振動である厚み滑り振動のエネルギーは、基板の中央に楕円形に集中する傾向にある。そして、その厚み滑り振動のエネルギーが集中する楕円の長軸と短軸との寸法比が1.265:1なのである。このため、励振電極の形状を楕円とし、その寸法比を1.265:1とすることが、厚み滑り振動を励起する上で最も効率が良いものとなる。なお、製造寸法のバラツキ等を考慮すると、上記寸法比の±10%程度の誤差がある場合であっても、ほぼ同様の効果を得ることができると考えられる。したがって、楕円の長軸と短軸との寸法比は、1.14〜1.39:1の範囲程度で定めることが望ましい。また、振動部12と励振電極18a,18bとは相似関係とすると良い。また、図示するように、励振電極18a,18bは振動部12に対して小型とし、その中心は同一とすることが望ましい。
In the piezoelectric vibrating
上記のような構成の圧電振動片10を用いて圧電振動子を作成した場合における振動子の性能指数(Figure of Merit:フィギュアオブメリット)Mは、
上記のような構成の圧電振動片は、単一のATカット水晶基板から形成される。以下に、上記圧電振動片10の製造工程について、図2を参照して説明する。
まずATカット水晶基板10a(図2(A))の両主面に金(Au)メッキ22を被覆する。次に、Auメッキ22の上層にレジスト膜24を形成し(図2(B))、所望する形状のマスクを用いてレジスト膜24を露光現像し、レジスト膜24形成部位以外に形成されたAuメッキ22をエッチングする(図2(C))。次にATカット水晶基板10aをエッチング液に浸し、レジスト膜24で覆われていない部位をエッチングする(図2(D))。エッチングにより振動部となる部位12aと枠部14との間に貫通溝を形成した後、ATカット水晶基板10aの表面に被覆したレジスト膜24とAuメッキ22とを剥離する(図2(E))。
The piezoelectric vibrating piece configured as described above is formed from a single AT-cut quartz crystal substrate. Below, the manufacturing process of the said
First, gold (Au) plating 22 is coated on both main surfaces of the AT-cut
次に、枠部14にAuメッキ22、及びレジスト膜24を施し(図2(F))、ATカット圧電基板10aをエッチング液に浸すことで振動部となる部位12aを所望の厚さにエッチングして振動部12を形成する(図2(G))。
Next, an Au plating 22 and a resist
次に、レジスト膜24とAuメッキ22を剥離し、再びAuメッキ22をATカット水晶基板10a全体に施す(図2(H))。次に、Auメッキ22の上層にレジスト膜24を被覆し、所望形状のマスクを用いて前記レジスト膜24を電極パターン(励振電極及び引出電極)の形状に合わせて露光現像する(図2(I))。Auメッキ22を残す箇所(電極パターン形成箇所)に合わせたレジスト膜24を形成した後、ATカット水晶基板10aをエッチング液に浸し、レジスト膜に覆われていない部位のAuメッキ22をエッチングして電極パターンを形成する(図2(J))。その後、電極パターン上に被覆されているレジスト膜24を剥離して圧電振動片10が完成する(図2(K))。
Next, the resist
上記のようにして形成した本実施形態の圧電振動片10は、上述したように、高次の屈曲モードによるスプリアスの発生を抑制し、フィギュアオブメリットを向上させることが可能となる。
As described above, the piezoelectric vibrating
なお、上述した圧電振動片10の製造方法は、本発明を実施する上での一例であり、例えば貫通溝16の形成をブラスト加工やドライエッチング、プラズマCVM等の技術を用いて行ったとしても、製造された圧電振動片10は本発明の一部であることは言うまでも無い。
The above-described method for manufacturing the piezoelectric vibrating
次に、図3を参照して、本発明の圧電振動片に係る第2の実施形態について説明する。なお、図3において図3(A)は圧電振動片の平面図を示し、図3(B)は同図(A)におけるA−A断面を示す図である。 Next, a second embodiment according to the piezoelectric vibrating piece of the present invention will be described with reference to FIG. 3A is a plan view of the piezoelectric vibrating piece, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 3A.
本実施形態の圧電振動片10の基本構成は、振動部12と枠部14、及び前記振動部12と前記枠部14とを接続する支持部13であり、上述した第1の実施形態に係る圧電振動片と同様である。したがってその機能を同様とする箇所には図1と同一の符号を附して詳細な説明は省略することとする。
The basic configuration of the piezoelectric vibrating
本実施形態に係る圧電振動片10と第1の実施形態に係る圧電振動片との違いは、枠部14及び貫通溝16の形状にある。すなわち、第1の実施形態に係る圧電振動片では枠部の内周側の形状は、枠部の外周側の形状(外形形状)に合わせて矩形としていたのに対し、本実施形態の圧電振動片10では、枠部14の内周側の形状を振動部12の外形形状に合わせて楕円形状(略楕円)としたことを特徴としている。
The difference between the piezoelectric vibrating
CSP(チップサイズパッケージ)構造を採用するための圧電振動片10では、枠部14の外形形状によって定められた基板スペースの中で、枠部14、振動部12、貫通溝16、支持部13等を構成しなければならない。こうした中、圧電振動片10の振動特性を向上させるためには、振動部12の大きさをできるだけ大きく確保することが望ましいという実状がある。一方で、枠部14もリッドとの接合強度を確保するために、できるだけ広い接合面積を確保することが望ましいという実状がある。
In the piezoelectric vibrating
そこで、本実施形態の圧電振動片10のように、楕円形状とした振動部12の外形形状に枠部14の内周形状を合わせて形成することによれば、無駄にエッチングされる面積が低減され、振動部12の面積を最大限に確保し、かつ枠部14の接合面積をも広く確保することが可能となる。その他の作用効果については、上述した第1の実施形態に係る圧電振動片と同様である。
Therefore, as in the piezoelectric vibrating
上述した実施形態ではいずれも、支持部13の配置方向を基板のZ´軸方向に沿ったものであるように記載しているが、本発明に係る圧電振動片はこれに限定されるものでは無い。すなわち、支持部13をX軸方向に沿って配置した場合であっても、製造された圧電振動片は上述した実施形態に係る圧電振動片と同様の効果を奏することができ、本発明の一部とみなすことができるのである。
In any of the above-described embodiments, the arrangement direction of the
次に、図4、図5を参照して、本発明の圧電デバイスに係る第1の実施形態について説明する。なお、図4(A)は圧電デバイスの平面(あるいは底面)図であり、図4(B)は同図(A)における正面図である。また、図5(A)は図4(B)におけるA−A断面を示す図であり、図5(B)は、図5(A)におけるA−A断面を示す図であり、図5(C)は同図(A)におけるB−B断面を示す図である。 Next, a first embodiment according to the piezoelectric device of the present invention will be described with reference to FIGS. 4A is a plan (or bottom) view of the piezoelectric device, and FIG. 4B is a front view in FIG. 5A is a diagram showing an AA section in FIG. 4B, FIG. 5B is a diagram showing an AA section in FIG. 5A, and FIG. (C) is a figure which shows the BB cross section in the same figure (A).
本実施形態の圧電デバイス100は圧電振動子であり、上述した圧電振動片10の表裏面にそれぞれリッド110,120を接合したことを基本とする。また、本実施形態では一方のリッド110にプリント基板等への実装用の外部端子112a,112bを設ける構成とした。このため、本実施形態の圧電振動片10は、枠部14にスルーホール19を設けて電極を片側側面へと引き回す構成を採ることとした。また、本実施形態の圧電振動片10では、リッド110,120との接合を行うため、枠部14全体に引出電極20a,20bを形成する構成を採り、前記スルーホール19の周囲には、電極の非形成部21を設ける構成として電極間の短絡を防止する構成とした。なお、枠部14に対するスルーホール19の形成は、エッチングの他、ブラスト加工等によっても良い。
The
本実施形態の圧電デバイス100では、外部端子112a,112bを形成するリッド110に、上述した圧電振動片10同様にスルーホール114a,114bを形成する。振動部12に形成された励振電極18a,18bと、外部端子112a,112bとの電気的導通を図るためである。リッド110,120の構成材料は、圧電振動片10の構成材料と熱膨張係数が近似するものを選択することが望ましい。リフロー時を含む加熱時や常温での温度変化に伴う膨張収縮により接合面の剥離や部材の損傷を防止する他、膨張率、あるいは収縮率の違いにより圧電振動片10に余分な応力が負荷されて特性が劣化することを防止するためである。本実施形態の場合、圧電振動片10を水晶基板としていることより、リッド材料としては、ソーダガラスや水晶等を選択することが望ましい。
In the
なお、リッド110,120と圧電振動片10との接合は、陽極接合や直接接合等によれば良い。陽極結合は静電引力による結合、直接接合は水素結合によって結合されるため、結合が強固となり、高い信頼性を得ることができる。
The
上記のようにして構成される圧電デバイス100は、圧電振動片10単体でのダイサイズと、パッケージとしてのリッド110,120を含む圧電振動子自体でのダイサイズとが同一となる。このため、小型な圧電振動子とすることができ、上述したように高次の屈曲モードによるスプリアスの発生を抑制し、フィギュアオブメリットを向上させることが可能な圧電振動片10を搭載したことにより、振動子としての特性が良好となる。
In the
次に、図6を参照して本発明の圧電デバイス100に係る第2の実施形態について説明する。なお、図6は本実施形態の圧電デバイス100の特定断面(例えば図5(A)でいうA−A断面)を示す図である。
Next, a second embodiment according to the
本実施形態の圧電デバイスも第1の実施形態と同様に圧電振動子を示すものである。また、その構成も、振動部12と、枠部14と、前記振動部12と枠部14とを接続する支持部13とを備えた圧電振動片10と、前記圧電振動片10の枠部14の両主面にそれぞれ接合したリッド110,120とから成ることを基本とするものである。したがってその機能を同様とする箇所には図5(B)と同一の符号を附してその詳細な説明は省略することとする。
The piezoelectric device of the present embodiment also shows a piezoelectric vibrator as in the first embodiment. In addition, the
本実施形態の圧電デバイス100と第1の実施形態に係る圧電デバイスとの違いは、圧電振動片10における振動部12の厚さと、リッド110,120の表面の形状である。具体的には、本実施形態の圧電デバイス100における圧電振動片10は、振動部12の厚さと枠部14の厚さとを同一としている。このような構成とすることにより、圧電振動片10を形成する工程を減らすことが可能となり、圧電振動片10の生産性を向上させることが可能となる。また、本実施形態の圧電デバイス100におけるリッド110,120は、枠部14との接合を要する側の主面に、振動部12との接触を回避するための凹陥部110a,120aを設ける構成とした。このような構成とすることにより、枠部14と振動部12との厚さを同一とした圧電振動片10に対してリッド110,120を接合した場合であっても、リッド110,120と振動部12とが接触することを防止することができる。
The differences between the
上記のような構成を有する本実施形態の圧電振動子であっても、上述した第1の実施形態に係る圧電振動子と同様の効果を奏することができる。
上記実施形態では、圧電振動片10の励振電極18a,18bは全て、振動部12の外形形状に合わせた楕円形状であるように示しているが、本発明の第1の目的である高次の屈曲モードによるスプリアスの発生の抑制効果は、振動部12の外形形状を楕円形状とすることによって奏される。したがって、第1の目的を達成するための本発明に係る圧電振動片10は、励振電極18a,18bの形状を問うものではない。よって、上述した圧電振動片において、励振電極の形状を、矩形、あるいは円形、その他の形状とした場合であっても、製造される圧電振動片、及び圧電デバイスは、本発明の一部の実施形態であることに違いは無い。
Even the piezoelectric vibrator according to the present embodiment having the above-described configuration can achieve the same effects as those of the piezoelectric vibrator according to the first embodiment described above.
In the above embodiment, the
10………圧電振動片、12………振動部、13………支持部、14………枠部、16………貫通溝、18a,18b………励振電極、20a,20b………引出電極、100………圧電デバイス、110………リッド、120………リッド。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
主面に励振電極を形成し、厚み滑り振動を励起する振動部と、
当該振動部の外周側に、貫通溝を介して配置される枠部と、
前記振動部と前記枠部とを接続する支持部とを有し、
前記振動部の形状を楕円形状としたことを特徴とする圧電振動片。 A piezoelectric vibrating piece mainly having thickness shear vibration,
An excitation electrode is formed on the main surface to excite thickness shear vibration;
On the outer peripheral side of the vibration part, a frame part arranged through a through groove,
A support portion that connects the vibrating portion and the frame portion;
A piezoelectric vibrating piece, wherein the shape of the vibrating portion is an ellipse.
主面に励振電極を形成し、厚み滑り振動を励起する振動部と、
当該振動部の外周側に、貫通溝を介して配置される枠部と、
前記振動部と前記枠部とを接続する支持部とを有し、
前記振動部及び前記励振電極の形状を楕円形状としたことを特徴とする圧電振動片。 A piezoelectric vibrating piece mainly having thickness shear vibration,
An excitation electrode is formed on the main surface to excite thickness shear vibration;
On the outer peripheral side of the vibration part, a frame part arranged through a through groove,
A support portion that connects the vibrating portion and the frame portion;
The piezoelectric vibrating piece according to claim 1, wherein the vibrating portion and the excitation electrode have an elliptical shape.
楕円形状に形成した振動部の長軸側をX軸、短軸側をZ´軸に設定した場合に前記励振電極は前記振動部の楕円形状と同一方向に長軸と短軸とを有する楕円形状に形成し、
前記励振電極の長軸と短軸との比を1.14から1.39対1.0の間で定めたことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の圧電振動片。 The piezoelectric vibrating piece is formed of an AT-cut quartz substrate,
When the long axis side of the vibration part formed in the elliptical shape is set to the X axis and the short axis side is set to the Z ′ axis, the excitation electrode is an ellipse having a long axis and a short axis in the same direction as the elliptical shape of the vibration part. Formed into a shape,
4. The piezoelectric vibrating piece according to claim 2, wherein a ratio of a major axis to a minor axis of the excitation electrode is determined between 1.14 and 1.39 to 1.0. 5.
いずれかの蓋体に、前記振動部に形成した励振電極と電気的に接続された外部端子を備えたことを特徴とする圧電デバイス。 A lid is bonded to each main surface of the frame portion of the piezoelectric vibrating piece according to any one of claims 1 to 6,
One of the lids includes an external terminal electrically connected to an excitation electrode formed on the vibrating portion.
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