JP2007214594A - 減圧プラズマ処理装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルム基板2をプラズマ処理装置本体10外からプラズマ処理装置本体内の基板搬送位置Bに搬入し、基板搬送位置に位置したフィルム基板をチャンバー8内に搬入し、チャンバー内を排気しつつ反応ガスを導入して減圧下で高周波電力を印加してプラズマを発生させてフィルム基板から有機物を除去するプラズマ処理を行い、プラズマ処理されたフィルム基板をチャンバーから取り出してプラズマ処理装置本体内の基板搬出位置Cに位置させてプラズマ処理装置本体外に搬出する。
【選択図】図2
Description
上記プラズマ処理装置本体内の基板搬出準備位置と上記プラズマ処理装置本体外の基板搬出位置との間で上記フィルム基板を移動させる基板搬出スライダと、
上記プラズマ処理装置本体内に配置され、その内部を排気しつつ反応ガスを導入して減圧下で高周波電力を印加してプラズマを発生させて上記フィルム基板から有機物を除去するプラズマ処理が上記内部にて行われるチャンバーと、
上記基板搬入位置に移動された上記フィルム基板を保持して、上記チャンバーの上記内部に移動させる、基板搬入用の第1搬送アーム装置と、
上記プラズマ処理された上記フィルム基板を保持して、上記チャンバーの上記内部から上記基板搬出準備位置に移動させる、基板搬出用の第2搬送アーム装置と、
を備えることを特徴とする減圧プラズマ処理装置を提供する。
上記第1搬送アーム装置は、
上記フィルム基板を吸着保持する吸着保持部と、
上記フィルム基板を上記基板電極に静電吸着により吸着保持させた状態で、上記フィルム基板から上記吸着保持部をブローにより離脱させる離脱手段と、
を備える、第1態様に記載の減圧プラズマ処理装置を提供する。
上記基板搬入位置に位置した上記フィルム基板を、基板搬入用の第1搬送アーム装置によりチャンバー内に搬入し、
上記チャンバー内を排気しつつ反応ガスを導入して減圧下で高周波電力を印加してプラズマを発生させて上記フィルム基板から有機物を除去するプラズマ処理を行い、
上記プラズマ処理された上記フィルム基板を、基板搬出用の第2搬送アーム装置により上記チャンバーから取り出して上記プラズマ処理装置本体内の基板搬出準備位置に位置させ、
上記基板搬出準備位置に位置した上記フィルム基板を上記プラズマ処理装置本体外に搬出するようにしたことを特徴とする減圧プラズマ洗浄方法を提供する。
その後、上記プラズマ処理を行うようにした、第3態様に記載の減圧プラズマ洗浄方法を提供する。
そして、第1又は第2チャンバー8A又は8Bの真空計Gにより第1又は第2チャンバー8A又は8Bの圧力PR又はPLがメインバルブオン圧力P1になると、その後、制御弁Mvと流量調整弁Cvとにより減圧状態を制御して、第1又は第2チャンバー8A又は8Bの圧力PR又はPLがバックグランド圧力P2となったのち、Arガス用の流量調整弁MFCとArガス用オンオフ弁Gv1、酸素ガス用の流量調整弁MFCと酸素ガス用オンオフ弁Gv2、予備用の流量調整弁MFCと予備用のオンオフ弁Gv3を適宜動作させて、所望のガスを所定の減圧状態となったチャンバー8へ供給可能した上で、切換弁SGv1又はSGv2を切り換えて、Arガス又は酸素ガスなどを上記所定の減圧状態となったチャンバー8へ供給する。
上記したプラズマ処理装置は、基板搬入スライダ1、搬送アーム装置3A,B、移動装置4、第1チャンバー8A、第2チャンバー8B、各高周波電源8c、各基板静電吸着用のDC電源、基板搬出スライダ9などがコントローラ20に接続されて、コントローラ20によりそれぞれの動作が制御されている。
Claims (4)
- プラズマ処理装置本体外の基板搬入準備位置と上記プラズマ処理装置本体内の基板搬入位置との間でフィルム基板を移動させる基板搬入スライダと、
上記プラズマ処理装置本体内の基板搬出準備位置と上記プラズマ処理装置本体外の基板搬出位置との間で上記フィルム基板を移動させる基板搬出スライダと、
上記プラズマ処理装置本体内に配置され、その内部を排気しつつ反応ガスを導入して減圧下で高周波電力を印加してプラズマを発生させて上記フィルム基板から有機物を除去するプラズマ処理が上記内部にて行われるチャンバーと、
上記基板搬入位置に移動された上記フィルム基板を保持して、上記チャンバーの上記内部に移動させる、基板搬入用の第1搬送アーム装置と、
上記プラズマ処理された上記フィルム基板を保持して、上記チャンバーの上記内部から上記基板搬出準備位置に移動させる、基板搬出用の第2搬送アーム装置と、
を備えることを特徴とする減圧プラズマ処理装置。 - 上記チャンバーは、上記フィルム基板を静電吸着により吸着保持する基板電極を備え、
上記第1搬送アーム装置は、
上記フィルム基板を吸着保持する吸着保持部と、
上記フィルム基板を上記基板電極に静電吸着により吸着保持させた状態で、上記フィルム基板から上記吸着保持部をブローにより離脱させる離脱手段と、
を備える、請求項1に記載の減圧プラズマ処理装置。 - フィルム基板をプラズマ処理装置本体外から上記プラズマ処理装置本体内の基板搬入位置に搬入し、
上記基板搬入位置に位置した上記フィルム基板を、基板搬入用の第1搬送アーム装置によりチャンバー内に搬入し、
上記チャンバー内を排気しつつ反応ガスを導入して減圧下で高周波電力を印加してプラズマを発生させて上記フィルム基板から有機物を除去するプラズマ処理を行い、
上記プラズマ処理された上記フィルム基板を、基板搬出用の第2搬送アーム装置により上記チャンバーから取り出して上記プラズマ処理装置本体内の基板搬出準備位置に位置させ、
上記基板搬出準備位置に位置した上記フィルム基板を上記プラズマ処理装置本体外に搬出するようにしたことを特徴とする減圧プラズマ洗浄方法。 - 上記第1搬送アーム装置が上記フィルム基板を上記チャンバー内に搬入するとき、上記第1搬送アーム装置により上記フィルム基板を吸着保持した状態で上記チャンバー内の基板電極上に上記フィルム基板を移動し、上記基板電極に上記フィルム基板を静電吸着保持させるとともに、上記第1搬送アーム装置から上記フィルム基板にブローを行って上記フィルム基板から上記第1搬送アーム装置を離脱させ、
その後、上記プラズマ処理を行うようにした、請求項3に記載の減圧プラズマ洗浄方法。
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JPH0590796A (ja) * | 1991-09-26 | 1993-04-09 | Japan Tobacco Inc | ワーク実装機 |
JPH07147311A (ja) * | 1993-11-24 | 1995-06-06 | Tokyo Electron Ltd | 搬送アーム |
JP2000124679A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-04-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品自動装着装置 |
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