JP2007214337A - ワイヤボンディング方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 長い配線距離を低いループ高さで接続するボンディングワイヤが、第2ボンド点で圧着を行なう時にチップ角に触れることなく、かつ、チップと第2ボンド点の間の距離ができる限り短くなるように形成することを可能とする。
【解決手段】 キャピラリが最高点に達した時に、ボンディングワイヤが、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を有し、かつ、折れ曲がり癖のある部分(C)の上方で第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反り(D)を有し、ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15度以上である折れ曲がり部分(E)を有するように、キャピラリを移動させる。
【選択図】 図1
【解決手段】 キャピラリが最高点に達した時に、ボンディングワイヤが、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を有し、かつ、折れ曲がり癖のある部分(C)の上方で第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反り(D)を有し、ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15度以上である折れ曲がり部分(E)を有するように、キャピラリを移動させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置において、長い配線距離を低いループ高さで接続するワイヤボンディング方法、および、この方法を用いて得られる半導体装置に関する。
半導体装置の組立工程における、第1ボンド点と第2ボンド点との間をボンディングワイヤで接続するワイヤボンディング方法は、キャピラリを用いて、第1ボンド点でワイヤの先端を圧着させ、キャピラリを開状態にして引き上げることによりワイヤを所定長さ繰り出し、その後、キャピラリのクランプを閉じて、キャピラリを第2ボンド点方向に移動させ、ワイヤを第2ボンド点に接続させている。
このような方法として、例えば、特公平5−60657号公報、特開平4−318943号公報に開示されているように、ループ形状を3角形にする方法がある。ループ形状を3角形にするワイヤボンディング方法では、ループ高さを制御するために、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着させる工程の後、キャピラリを少し上昇させ、キャピラリを第2ボンド点と反対の方向に移動させるリバース動作を行うことが特徴である。かかるリバース動作により、ワイヤに曲がり癖を付与し、該曲がり癖の部分を中心にワイヤを曲げることにより、該部分を頂点とする3角形のループ形状を得ている。
ループ形状を3角形にするワイヤボンディング方法の改良として、特開平7−176558号公報に開示されているように、2回のリバース動作を行うことにより、ループ形状を台形にするワイヤボンディング方法が実施されている。この方法における2回目のリバース動作は、ループ形成後にチップ角に位置することになるボンディングワイヤの特定部分に曲がり癖を付与して、ボンディングワイヤとチップ角との接触を防止するために行われる。
しかし、この方法では、キャピラリが第1ボンド点から離れた高い位置で、2回目のリバース動作を行うので、曲がり癖が十分に付与されず、安定したループ形状が得られないという欠点がある。
この欠点を解消するために、特開平10−189641号公報および2000−114304号公報には、台形のループ形状の上辺部分に、下方への窪み部を形成するワイヤボンディング方法が記載されており、この方法により得られるループ形状はM型ループと呼ばれている。
M型ループを形成するワイヤボンディング方法では、配線距離が約3mm以下であれば、ループ高さが約200μm以下となるループ形状を形成するのに有効である。しかし、最近では、超高密度集積回路チップに多数の配線が必要となり、複数のループを重ねるように形成する多段ループが採用されているため、さらに長い配線距離と、さらに低いループ高さが要求されている。このような要求には、従来のM型ループを形成するワイヤボンディング方法では、対応できていない。
例えば、従来の方法に基づいて、3角形や台形のループ形状で、配線距離が3mmを超え、かつ、ループ高さが約100μm以下であるループを形成する場合、第1ボンド点から最初に位置する折れ曲がり部分を低くするため、最初のリバース動作の高さとキャピラリ移動距離を調節するとともに、配線距離を長くするため、ボンディングワイヤを長く繰り出して、ワイヤボンディングを実施することが考えられる。この場合、図10(a)に示すように、ループの中央部分が概略山のように持ち上がり、ループ高さを約100μm以下にすることが困難となる。
また、従来の方法に基づいて、M型ループを形成する場合も、M型のループの中央部分に窪みがあるため、図10(b)に示すように、折れ曲がり部分が概略山のように持ち上がり、2つ山を持つループ形状を呈する。この場合も、同様に、ループ高さを約100μm以下にすることが困難となる。
ループの中央部分が概略山のように持ち上がることを防止し、ループをほぼ水平に保つように工夫した場合でも、第1ボンド点の直上で、ループが垂直から水平に移行する折れ曲がり部分の位置が最高点となり、例えば、直径が25μmの金線からなるボンディングワイヤの場合には、ループ高さを80μm以下にすることは困難である。これは、第1ボンド点の直上のネック部にダメージを与えないで折り曲げるためには、一定の曲率が必要であり、従来のループ形状においては、第1ボンド点の付け根付近が垂直であり、最高点である折れ曲がり部分の高さを一定以下には低くできないことにある。
従って、第1ボンド点の付け根付近を第2ボンド点に向けて傾ければ、最高点である折れ曲がり部分の高さを、さらに低くすることが可能であり、そのための方法としては、例えば、ワイヤ繰り出し長さをやや短くすることで、第2ボンド点の圧着時にワイヤを引っ張ることが考えられる。しかし、この方法では、第1ボンド点の直上のネック部が強く曲げられることになり、曲げられた部分に大きな応力が発生する結果、ネック部にひび割れまたは断線等のダメージを与える結果になるという問題がある。
これに対して、特開2005−39192号では、第1ボンド点での圧着後、キャピラリを少し上昇させ、続いて第2ボンドの方向に移動させ、その後、上昇量よりも少ない量だけ下降させた後に、キャピラリを上昇させてワイヤを繰り出し、リバース動作を行う方法により、第1ボンド点から円弧状に伸びる円弧部と、該円弧部から伸びる水平部と、該水平部から第2ボンド点に伸びる傾斜部とからなり、それぞれの接続部に屈折部が形成されているループ形状が開示されている。
しかし、この技術を用いて、長い配線距離を低いループ高さで接続するボンディングワイヤを、第2ボンド点で圧着を行なう時にチップ角に触れることなく、かつ、チップと第2ボンド点の間の距離ができる限り短くなるように形成しようとすると、キャピラリの軌跡の調整が困難となる。また、第1ボンド点の直上のネック部にダメージを与えないで円弧状に伸びた円弧部を形成しようとすると、円弧部には一定の曲率が必要であるため、ループ高さを80μm以下にすることが困難となる。
本発明の目的は、例えば、配線距離が3mmを超え、ループ高さが約100μm以下であるように、長い配線距離を低いループ高さで接続するボンディングワイヤが、第2ボンド点で圧着を行なう時にチップ角に触れることなく、かつ、チップと第2ボンド点の間の距離ができる限り短くなるように形成することを可能とするワイヤボンディング方法を提供する。
さらに、配線距離が3mmを超え、チップ面からの高さが約80μm以下であるように、長い配線距離をさらに低いループ高さで接続するボンディングワイヤを、第1ボンド点のネック部に、ひび割れまたは断線等の致命的なダメージを与えることなく形成することを可能とするワイヤボンディング方法を提供する。
本発明者は、前述のように、概略山のようにループの中央部分が持ち上がる問題の原因を追究した結果、主な原因が2つあることを突き止めた。
第1の主な原因は、通常のリバース動作では、第1ボンド点から上方の低い位置で強く折り曲げることは難しいため、曲げ角度が大きくなり、そのため、図10(a)に示すように、ボンディングワイヤが第2ボンド点に向かい上方へ持ち上がることである。
第2の主な原因は、チップ角に当たる点に折れ曲がり癖をつけるための最後のリバース動作において、ボンディングワイヤの繰り出し長さが長いほど、キャピラリが第1ボンド点から離れた高い位置でリバース動作を行う結果、折れ曲がり癖が不十分となるため、ボンディングワイヤがチップ角に触れ、チップ角が支点となって、第2ボンド点で圧着を行なう時に、図10(b)に示すように、チップ角の上で第1ボンド点に向いて上方へボンディングワイヤが持ち上がることである。
従って、図10(a)に示すように、第1ボンド点の上方の折れ曲がり点からボンディングワイヤが第2ボンド点に向かい上方へ持ち上がるという第1の主な原因を防止することと、ボンディングワイヤがチップ角に触れ、図10(b)に示すように、チップ角の上方でボンディングワイヤが第1ボンド点に向いて上方へ持ち上がるという第2の主な原因を防止することとを、鋭意検討して、本発明を完成させた。
本発明のワイヤボンディング方法の一態様は、第1ボンド点と第2ボンド点を接続するワイヤボンディング方法に係り、キャピラリを第1ボンド点から最高点まで移動させるに際し、ボンディングワイヤに、第1ボンド点近傍において、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を付与し、折れ曲がり癖が付与された部分の上方に、第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反りを形成し、ループ形成後にチップ角の上方に位置する部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15°以上である折れ曲がり部を形成する。
すなわち、キャピラリが最高点に達した時に、ボンディングワイヤは、第1ボンド点近傍に、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を有し、かつ、折れ曲がり癖のある部分の上方に、第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反りを有し、さらに、ループ形成後にチップ角の上方に位置する部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15°以上である折れ曲がり部分を有する形状をとる。
かかる形状を付与するためには、直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用いる場合、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させ、キャピラリを第2ボンド点と反対の方向に移動させる第1のリバース動作を行い、次に、キャピラリをわずかに上昇させ、キャピラリを、仰角が45°〜70°で、移動距離が0.2mm以上となるように、斜め上方に移動させ、さらに、キャピラリを上昇させて、ループ形成後にチップ角の上方に位置する点までボンディングワイヤを繰り出した後、キャピラリを第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、好ましくは、該円弧の中心角が25°以上となるように、第2ボンド点と反対方向に移動させる第2のリバース動作を行う。その後、所定の軌跡を描いて第2ボンド点までキャピラリを移動させることにより、ループの形成を完了させる。
本発明のワイヤボンディング方法の異なる態様では、キャピラリを第1ボンド点から移動させるに際し、ボンディングワイヤの第1ボンド点の付け根部分に、第2ボンド点に向いて傾いている形状を形成し、その後の工程においても、この傾きを維持する。
なお、その後の工程において、ループ形成後にチップ角の上方に位置する点に、第2ボンド点に向いて折れ曲がり角が15°以上の折れ曲がり部分を形成する。
かかる形状を付与するためには、直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用いる場合、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させ、キャピラリを第2ボンド点の方向に水平移動させ、次に、キャピラリを上昇させる。
その後、ループ形成後にチップ角の上方に位置する点までキャピラリを上昇させて、ボンディングワイヤを繰り出し、その後、キャピラリを第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点と反対方向に移動させるリバース動作を行う。なお、この折れ曲がり角を形成する工程については、最初の態様の工程を経るようにしてもよい。その後、所定の軌跡を描いて第2ボンド点までキャピラリを移動させ、ループの形成を完了させる。
本発明の半導体装置は、前記のいずれかのワイヤボンディング方法により、ボンディングワイヤのループが形成されるため、第1ボンド点と第2ボンド点の距離が3mm以上ある場合であっても、ループ高さを100μm以下、好ましくは、80μm以下とすることができ、かつ、チップと第2ボンド点間の距離を短く抑えることができる。
本発明により、配線距離が3mmを超えても、チップからの高さが約80μmないしは約100μmという極めて低いループ高さのループ形状で良好なワイヤボンディングが可能となり、これを用いて第1ボンド点と第2ボンド点とをワイヤループで接続することにより、優れた半導体装置が提供される。
本発明のワイヤボンディング方法の一態様について、図1〜図5を用いて、具体的に説明する。
図1は、本発明のワイヤボンディング方法の一実施例において、キャピラリが最高点に達した時のボンディングワイヤを示した側面図および拡大図である。
図1に示すように、キャピラリが最高点に達した状態におけるボンディングワイヤは、第1ボンド点の直上で、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を有し、かつ、折れ曲がり癖のある部分(C)の上方で第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反り(D)を有し、ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15度以上である折れ曲がり部分(E)を有する。
瞬間的なボンディングワイヤの形状は、工程を高速ビデオで撮影して得られた画像から解析することで特定される。本発明では、キャピラリが最高点に達した時に、ボンディングワイヤの形状が塑性変形のみの形状を示しているとみなせることから、この時のボンディングワイヤの形状について、次の2つの特徴を有するといえる。
第1の特徴は、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を有し、かつ、曲がり癖のある部分(C)の上方で第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである塑性変形による反り(D)を有する。曲率半径は、反り癖の強さを示す。
曲率半径が0.5mm未満では、形成したループがチップに接触してしまう不具合が生じる。曲率半径が3.0mmを超えると、反り癖の強さが不十分で、良好なループ形状が得られない。
実現のための手段として、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリを開状態にして、キャピラリを少し上昇させ、次に、キャピラリを第2ボンド点と反対の方向に移動させるリバース動作を行い、その後、キャピラリを少し上昇させ、さらに、キャピラリを第2ボンド点の側に、適切な斜め上方への角度と距離だけ移動させる。
従来から、最初のリバース動作の後に、キャピラリを斜め上方の位置まで移動させることは行なわれていたが、その目的は、2回目のリバース動作により得られる効果を高めるためであり、ワイヤに何らかの特性を付与することを目的とするものではなかった。従って、このような移動を行う際の、キャピラリの移動方向と移動距離は、特定する必要がなく、いずれの公知文献にも記載がない。
しかし、本発明においては、キャピラリを斜め上方の位置まで移動させる手段により、ボンディングワイヤに特性を付与することを特徴とし、キャピラリの移動過程の詳細が重要であり、特に、適切な移動方向と移動距離を与えることが重要となる。キャピラリの斜め上方への適切な移動方向と移動距離は、例えば、ワイヤ径15mm〜30mmで純金に近い材料特性の場合、仰角を45°〜70°とし、移動距離を0.2mm以上となるように調整する。
第2の特徴は、ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15°以上である折れ曲がり部分を有する。折れ曲がり角が15°未満では、、角度が小さくなるにつれて、チップ角から第2ボンド点までの距離が長くなり、半導体装置の小型化の要求が満足できなくなる。
実現のための手段として、前述の斜め上方へのキャピラリの移動に続いて、さらに所定の軌跡を描いてキャピラリを上昇させ、ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる部分が表れるまで、ボンディングワイヤを繰り出した後、第1ボンド点付近を中心とする円弧を描いて、第2ボンド点と反対方向に移動する2回目のリバース動作を行わせる。2回目のリバース動作に必要な移動距離は、例えば、ワイヤ径15mm〜30mmで純金に近い金線からなるボンディングワイヤの場合、折れ曲がり角を15°以上とするためには、第1ボンド点付近を中心とする円弧の円周角にして25°以上、望ましくは、35°以上とすることが必要である。
本発明は、具体的なキャピラリの軌跡によっても特定することができる。
図2は、それぞれ、本発明の一実施例における、(a)第1ボンド点から第2ボンド点までのキャピラリの軌跡を示す図、(b)キャピラリの初期動作における軌跡を示す拡大図、(c)これらの軌跡の原点となる初期位置を示す拡大図である。
図2に示す具体的な軌跡は、直径が25μmである金線からなるボンディングワイヤを用いて、ループ高さが100μm以下であり、第1ボンド点と第2ボンド点との間隔が5.6mmであるループを形成する場合における、キャピラリ先端開口の中心の軌跡である。すなわち、軌跡の原点は、図2(c)に示すように、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端が圧着された時におけるキャピラリ先端開口の中心としている。
キャピラリの移動は、以下のように、工程1〜工程9に分けることができる。
[工程1] 第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させる。図示の例では約40μm上昇させている。
[工程2] キャピラリを第2ボンド点と反対の方向に移動させるリバース動作を行う。図示の例では約10μm移動させている。
[工程3] キャピラリをわずかに上昇させる。図示の例では約30μm上昇させている。
[工程4] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、仰角が45°〜70°となるように、斜め上方に移動させる。図示の例では、水平方向の移動距離が約0.6mmであり、高さが約1mmである。斜め上方の移動における仰角は約59°となる。工程4の終了時のボンディングワイヤの形状を図3に示す。
[工程5] ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる点まで、キャピラリがボンディングワイヤを繰り出すように、キャピラリを開状態で上昇させる。図示の例では約3.2mm上昇させている。工程5の終了時のボンディングワイヤの形状を図3に示す。
[工程6] 第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点と反対側に、円弧の円周角が25°以上となるよう、キャピラリにリバース動作を行わせる。図示の例では円弧の中心角が約50°のリバース動作となっている。工程6の終了時のボンディングワイヤの形状を図3に示す。
[工程7] キャピラリを、第2ボンド点の側に斜め上方に上昇させる。工程7の終了時のボンディングワイヤの形状を図3に示す。
[工程8] キャピラリを、開状態のまま、第1ボンド点の真上に移動させる。工程8の終了時のボンディングワイヤの形状を図3に示す。
[工程9] キャピラリを、第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第1ボンド点の真上から第2ボンド点まで移動させ、ボンディングワイヤを第2ボンド点に圧着する。工程9の途中および終了時のボンディングワイヤの形状を図3に示す。
本発明において、特に重要な工程は、工程4と工程6である。
工程4では、キャピラリ先端の開口縁部が、ボンディングワイヤを斜めにしごきながら移動する。すなわち、キャピラリの開口縁部がボンディングワイヤの側面を一方向に加圧しながら滑っていくため、下側が凸となる反り(D)が発生する。この反り(D)の効果により、形成後のループ形状において、第1ボンド点の上方からボンディングワイヤが、第2ボンド点での圧着により持ち上がる従来の現象を防止することができる。
なお、工程4において、ボンディングワイヤの側面を1方向に加圧して得られる効果は、ボンディングワイヤの弾性に基づくので、第1ボンド点から離れるほど弱くなるため、工程4の水平方向の移動距離を余り長くしても、効果が多く得られることはない。また、反り(D)の強さは、キャピラリの移動する際の仰角に依存するが、仰角を小さくとることで反りが強くなりすぎても、ボンディングワイヤがチップ面に接触することになり、不都合である。工程4の適切な移動方向と移動距離は、例えば、ワイヤ径15mm〜30mmで純金に近い材料特性の場合、仰角が45°〜70°であり、移動距離が0.2mm以上となるように、調整すればよい。仰角が45°未満となり、小さすぎると、第1ボンド点の上方の反りが強くなりすぎ、第1ボンド点の上方から第2ボンド点に向かうボンディングワイヤの部分で、ボンディングワイヤがチップ面に触れてしまうおそれがある。また、仰角が70°を超え、大きすぎると、第1ボンド点の上方に反りを生じさせる効果が小さくなりすぎる。移動距離が0.2mm未満となり、小さすぎると、第1ボンド点の上方に反りが生じる部分の長さが短すぎて、得られるループのループ形状において、第1ボンド点の上方から第2ボンド点に向かう部分で盛り上がる従来の問題を解決することができない。移動距離が長ければ、このような盛り上がりを防止する効果に問題はなく、移動距離の上限は、ループ形状に与えられた条件で決めればよい。
工程6では、キャピラリ先端の開口縁部が常にボンディングワイヤの1点を加圧するため、強い折り曲げ癖(E)をつけることができ、その結果、第2ボンド点における圧着時に、チップ角の上から第1ボンド点に向かって、ボンディングワイヤが持ち上がることを防止することができる。
なお、工程6において、第1ボンド点付近が中心の円弧に沿って第2ボンド点と反対側に約50°進むというリバース動作の移動距離は、ボンディングワイヤが細くなるほど、かつ、第1ボンド点と第2ボンド点との間隔が長くなるほど、癖付けが弱くなるので、所定のワイヤ折れ曲がり角度を得るために、長くしなければならない。例えば、ボンディングワイヤの直径が15mm〜30mmで、純金に近い材料特性の場合、15°以上のワイヤ折れ曲がり角度を得るために、リバース動作の移動距離は、第1ボンド点付近を中心とする円弧の円周角(リバースモーション回転角)にして25°以上、望ましくは35°以上が必要である。円弧を描くリバース動作の移動距離が必要以上に長いと、ワイヤボンディングに時間を要するばかりでなく、ネック部への負担が大きくなり、不都合である。従って、移動距離は、円弧の円周角にして70°以内が望ましい。
工程4は、本発明の主旨の範囲内において、変更することが可能である。直線の移動に変えて、図4(a)に示すように下向きに凸な曲線の移動であってもよい。しかし、図4(b)に示すように上向きに凸で、概略円弧であり、特に、最初にほぼ垂直に上昇させると、反りが生成しがたいため、不都合である。また、図4(c)に示すように、工程3を省略する初期動作としてもよく、一方、工程3の後に、図4(d)または図4(e)に示すように、第2ボンド点の方向に水平またはやや下方に移動する工程を設けてもよい。さらに、図4(f)に示すように、工程5で真上に上昇させる前に、M型ループ形成過程に見られるような、第2ボンド点の方向への水平移動動作を加えてもよい。この場合、形成されたループにおいて、図5に示すように、水平部中間にM型ループと同様の窪みができる。さらに、工程7、工程8、工程9は、本発明の主旨の範囲内において、種々の変更が可能であり、例えば、工程7と工程8において、図4(g)に示すように、概略円弧を描くようにキャピラリを移動させてもよく、また、図4(h)に示すように、工程7の終了時において、キャピラリが最高点に達するようにしてもよい。ただし、ボンディングワイヤの繰り出し長さと第1ボンド点と第2ボンド点との間隔を釣り合わせるため、クランプする位置を調整するか、軌跡の縦横比を変化させる必要がある。
本発明のワイヤボンディング方法の異なる態様について、図6〜図8を用いて、具体的に説明する。
図6は、それぞれ、本発明の異なる一実施例における、(a)第1ボンド点から第2ボンド点までのキャピラリの軌跡を示す、(b)キャピラリの初期動作における軌跡を示す拡大図である。
図6を用いて、まず、本発明のワイヤボンディングの異なる態様について、具体的なキャピラリの軌跡に基づいて説明する。図6に示す具体的な軌跡は、直径が25μmである金線からなるボンディングワイヤを用いて、高さが80μm以下であり、第1ボンド点と第2ボンド点との間隔が5.6mmであるループを形成する場合における、キャピラリ先端開口の中心の軌跡である。すなわち、軌跡の原点は、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端が圧着された時におけるキャピラリ先端開口の中心としている(図2(c)参照)。
キャピラリの移動は、以下のように、工程1〜工程9に分けることができる。
[工程1] 第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させる。図示の例では約40μm上昇させている。
[工程2] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、水平移動させる。図示の例では約20μm移動させている。
[工程3] キャピラリを上昇させる。図示の例では約0.5mm上昇させている。
[工程4] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、水平移動させる。図示の例では約0.15mm移動させている。
[工程5] キャピラリを、上方に垂直移動させる。図示の例では約3.7mm上昇させている。
[工程6] 第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点と反対側に、円弧の円周角が約45°となるようにキャピラリを移動させるリバース動作を行う。
[工程7] キャピラリを、上方に垂直移動させる。図示の例では、約4.4mmの高さまで上昇させている。この点が最高点となる。
[工程8] キャピラリを、概略放物線を描くようにして、第2ボンド点まで移動させる。
[工程9] ボンディングワイヤを第2ボンド点に圧着させる。
軌跡の最高点、すなわち工程7の終点におけるボンディングワイヤの形状は、図7に示すように、第1ボンド点の付け根近く(C)が、第2ボンド点の方向に傾いている。また、最終的に形成されたループの形状を図8に示す。図8に示されるように、第1ボンド点の付け根近く(D)で上記傾きが保持されているため、チップ面からの高さが70μm以下のループが形成される。非線形構造解析によるワイヤボンディングのシミュレーションによれば、この態様のおけるネック部に生じる応力は、最大でも破断応力以下となる。
本実施形態において重要な工程は、工程2である。工程2において、第1ボンド点の付け根近くを、水平方向に加圧する操作が行われる。そのため、付け根付近のボンディングワイヤは、塑性変形し、第2ボンド点の方向に斜めに傾く。かかる傾きがその後の工程においてループ形成時まで保持されるため、ネック部に亀裂が生じたり破断することなく、第1ボンド点の付け根近くを第2ボンド点の方向に斜めに傾けたループ形状の形成が可能となる。従って、第1ボンド点の不良を生じることなく、ネック高さを抑えることができる。
このように、第1ボンド点の付け根近くを水平方向に加圧しながら、キャピラリを移動させる操作であれば、図6に示したキャピラリの軌跡とは異なった軌跡でもよく、例えば、第1ボンド点へボンディングワイヤの先端が圧着されてから、キャピラリを垂直に上昇させる工程1と、第2ボンド点の方向へ水平移動させる工程2とを同時に行う移動、すなわち斜め上方への移動となるように変更してもよい。
一方、工程3以後は、形成されたループの中央が概略山のように持ち上がる従来の問題点を防止する手段の1つである。工程3および工程4により、第1ボンド点の近くが、図10(a)のように、第2ボンド点に向かい上方へ持ち上がることを防止している。また、工程6により、チップ角の上のワイヤの部分に強い折れ曲がり癖をつけることで、図10(b)のように、チップ角の上から第1ボンド点に向かい上方へボンディングワイヤが持ち上がることを防止している。このように、ループの中央が概略山のように持ち上がることを防止する工程であれば、キャピラリを、他の軌跡を描くように、移動させてもよい。
また、本実施形態の工程1と工程2に続いて、前述の実施形態の工程4から工程9までを、順次経るようにして、ボンディングワイヤを第2ボンド点に圧着させるように、詳述した2つの実施態様を組み合わせた方法を用いてループを形成することも有効である。
(実施例1)
線径が15μmであり、純金に近い金線からなるボンディングワイヤを使用して、以下に示す工程1から工程9を行い、配線長5.6mm、チップと第2ボンド点との間の距離が約1000μm、ループ高さが80μm〜100μmであるループを得た。工程4から工程9におけるボンディングワイヤの形状は、図3に示したようになった。
線径が15μmであり、純金に近い金線からなるボンディングワイヤを使用して、以下に示す工程1から工程9を行い、配線長5.6mm、チップと第2ボンド点との間の距離が約1000μm、ループ高さが80μm〜100μmであるループを得た。工程4から工程9におけるボンディングワイヤの形状は、図3に示したようになった。
[工程1] 第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、約40μm、キャピラリを上昇させた。
[工程2] キャピラリを、第2ボンド点と反対の方向に、10μm移動させるリバース動作を行った。
[工程3] キャピラリを、30μm上昇させた。
[工程4] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、表1に示した移動距離および仰角をパラメータとする30通りのいずれかの条件に従うように、移動させた。
[工程5] ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる点まで、ボンディングワイヤを繰り出しつつ、キャピラリを、3.2mm上昇させた。
[工程6] 第1ボンド点付近を中心とするの円弧に沿って、第2ボンド点と反対側に該円弧の中心角が約50°となるようにキャピラリを移動させるリバース動作を行った。
[工程7] キャピラリを、第2ボンド点の側に斜め上方に上昇させた。
[工程8] キャピラリを、第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第1ボンド点の真上まで移動させた。この点がキャパピラリの軌跡の最高点であった。
[工程9] キャピラリに、工程8の円弧状の移動を続けさせて、第2ボンド点まで移動させ、その後、ボンディングワイヤを第2ボンド点に圧着させた。
キャピラリが最高点に達した時の形状における第1ボンド点の上方の反りの曲率半径を測定すると共に、得られたループのループ形状により、総合評価を行なった。評価は、好ましいループ形状(ワイヤがチップに触れず、かつ、ループ高さが100μmを大きく超えない形状)であれば「○」、それ以外を「△」とした。評価結果を、表1に示す。
(実施例2)
線径を20μmとして、工程4の条件を表2に示したようにした以外は、実施例1と同様に、ループを得て、評価を行った。評価結果を、表2に示す。
線径を20μmとして、工程4の条件を表2に示したようにした以外は、実施例1と同様に、ループを得て、評価を行った。評価結果を、表2に示す。
(実施例3)
線径を30μmとして、工程4の条件を表3に示したようにした以外は、実施例1と同様に、ループを得て、評価を行った。評価結果を、表3に示す。
線径を30μmとして、工程4の条件を表3に示したようにした以外は、実施例1と同様に、ループを得て、評価を行った。評価結果を、表3に示す。
(実施例4)
工程4における、キャピラリの移動条件を、第2ボンド点の方向に、水平距離を約0.6mm、高さを1mm(仰角約60°)とし、工程6における、キャピラリが、第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って第2ボンド点と反対側に移動する場合の、円弧の中心角(リバースモーション回転角)を種々変化させたほかは、実施例1と同様に、ループを得た。
工程4における、キャピラリの移動条件を、第2ボンド点の方向に、水平距離を約0.6mm、高さを1mm(仰角約60°)とし、工程6における、キャピラリが、第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って第2ボンド点と反対側に移動する場合の、円弧の中心角(リバースモーション回転角)を種々変化させたほかは、実施例1と同様に、ループを得た。
評価は、生じるワイヤの折れ曲がり癖の強さの変化を示すワイヤ折れ曲がり角度(15°以上)と、工程6におけるリバースモーション回転角の関係を測定した。測定結果を、図9に示す。
(実施例5)
線径を20μmとした以外は、実施例4と同様に、ループを得て、評価を行った。測定結果を、図9に示す。
線径を20μmとした以外は、実施例4と同様に、ループを得て、評価を行った。測定結果を、図9に示す。
(実施例6)
線径を30μmとした以外は、実施例4と同様に、ループを得て、評価を行った。測定結果を、図9に示す。
線径を30μmとした以外は、実施例4と同様に、ループを得て、評価を行った。測定結果を、図9に示す。
実施例4〜6の場合には、図9より明らかなように、リバースモーション回転角を25°以上とすれば、線形が30μmの場合には、15°以上のワイヤ折れ曲がり角度を得られ、リバースモーション回転角を35°以上とすれば、線径が15μmの場合でも、15°以上のワイヤ折れ曲がり角度が得られることが理解される。
(実施例7)
線径が25μmであり、純金に近い金線からなるボンディングワイヤを使用して、以下に示す工程1から工程9を行い、配線長5.6mm、チップと第2ボンド点との間の距離が約1000μmである半導体装置を作製した。
線径が25μmであり、純金に近い金線からなるボンディングワイヤを使用して、以下に示す工程1から工程9を行い、配線長5.6mm、チップと第2ボンド点との間の距離が約1000μmである半導体装置を作製した。
[工程1] 第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリを約40μm上昇させた。
[工程2] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、約20μm、水平移動させた。
[工程3] キャピラリを、約0.5mm上昇させた。
[工程4] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、約0.15mm水平移動させた。
[工程5] キャピラリを、約3.7mm垂直上昇させた。
[工程6] 第1ボンド点付近が中心となる円弧に沿って、第2ボンド点と反対側に約55°キャピラリを移動させるリバース動作を行った。
[工程7] キャピラリを、約4.4mmの高さまで垂直上昇させた。この点がキャピラリの軌跡の最高点であったる。
[工程8] キャピラリを、概略放物線を描くように、第2ボンド点まで移動させた。
[工程9] ボンディングワイヤを第2ボンド点で圧着させた。
その結果、キャピラリの軌跡は、図6に示すとおりとなり、チップに対するループ高さが75μmであるループが得られた。
(実施例8)
線径が25μmであり、純金に近い金線からなるボンディングワイヤを使用して、以下に示す工程1から工程8を行い、配線長5mm、チップと第2ボンド点との間の距離が約1000μmである半導体装置を作製した。
線径が25μmであり、純金に近い金線からなるボンディングワイヤを使用して、以下に示す工程1から工程8を行い、配線長5mm、チップと第2ボンド点との間の距離が約1000μmである半導体装置を作製した。
[工程1] 第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリを約40μm上昇させた。
[工程2] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、約20μm水平移動させた。
[工程3] キャピラリを、第2ボンド点の方向に、水平距離約0.8mm、高さ約1.5mm、移動させた。斜め上方への移動における仰角は約62°であった。
[工程4] ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる点までキャピラリを、ボンディングワイヤを繰り出しながら、1.5mm上昇させた。
[工程6] 第1ボンド点付近が中心となる円弧に沿って、第2ボンド点と反対側に約55°キャピラリを移動させるリバース動作を行った。
[工程6] キャピラリを、第2ボンド点の側に斜め上方へ移動させた。
[工程7] キャピラリを第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点側にに、第1ボンド点の真上まで移動させた。
[工程8] キャピラリを、工程7の円弧状の移動を続けて、第2ボンド点まで移動させ、ボンディングワイヤを第2ボンド点に圧着した。
以上により、チップに対するループ高さが70μmであるループが得られた。
A 第1ボンド点
B チップ角
C 折れ曲がり癖のある部分
D 反り
E 折れ曲がり部分
B チップ角
C 折れ曲がり癖のある部分
D 反り
E 折れ曲がり部分
Claims (14)
- 第1ボンド点と第2ボンド点を接続するワイヤボンディング方法において、キャピラリを第1ボンド点から最高点まで移動させるに際し、ボンディングワイヤに、第1ボンド点近傍において、第1ボンド点から第2ボンド点に向かう折れ曲がり癖を付与し、折れ曲がり癖が付与された部分の上方に、第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反りを形成し、ループ形成後にチップ角の上方に位置する部分に、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15°以上である折れ曲がり部を形成することを特徴とするワイヤボンディング方法。
- 直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用い、前記折れ曲がり癖を付与する工程の後、キャピラリを、仰角が45°〜70°で、移動距離が0.2mm以上となるように、斜め上方に移動させることにより、前記反りを形成する請求項1に記載のワイヤボンディング方法。
- 直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用い、前記折れ曲がり部を形成する工程において、キャピラリを、第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、円弧の中心角が25°以上となるように、第2ボンド点と反対方向に移動させる請求項1に記載のワイヤボンディング方法。
- 直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用いて、第1ボンド点と第2ボンド点を接続するワイヤボンディング方法において、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させる工程、キャピラリを第2ボンド点と反対の方向に移動させる第1のリバース動作を行う工程、キャピラリをわずかに上昇させる工程、キャピラリを、仰角が45°〜70°で、移動距離が0.2mm以上となるように、斜め上方に移動させる工程、キャピラリを上昇させ、ループ形成後にチップ角の上方に位置する点までボンディングワイヤを繰り出す工程、キャピラリを第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点と反対方向に移動させる第2のリバース動作を行う工程、および、所定の軌跡を描いて第2ボンド点までキャピラリを移動させる工程を有することを特徴とするワイヤボンディング方法。
- 前記第2のリバース動作において、前記円弧の中心角が25°以上となるまでキャピラリを移動させる請求項4に記載のワイヤボンディング方法。
- 第1ボンド点と第2ボンド点を接続するワイヤボンディング方法において、キャピラリを第1ボンド点から移動させるに際し、ボンディングワイヤの第1ボンド点の付け根部分に、第2ボンド点に向いて傾いている形状を形成し、その後の工程においても、該傾いている形状を維持することを特徴とするワイヤボンディング方法。
- 前記ボンディングワイヤの第1ボンド点の付け根部分に第2ボンド点に向いて傾いている形状を形成した後、キャピラリを最高点まで移動させるまでに、ループ形成後にチップ角の上方に位置する点に、第2ボンド点に向いて折れ曲がり角が15°以上の折れ曲がり部分を形成する請求項6に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記ボンディングワイヤの第1ボンド点の付け根部分に第2ボンド点に向いて傾いている形状を形成した後、該部分の上方に第2ボンド点に向かって凸で曲率半径が0.5mm〜3.0mmである反りを形成した後、キャピラリを最高点まで移動させるまでに、第2ボンド点に向かい折れ曲がり角が15°以上である折れ曲がり部を形成する請求項6に記載のワイヤボンディング方法。
- 直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用いて、第1ボンド点と第2ボンド点を接続するワイヤボンディング方法において、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させる工程、キャピラリを第2ボンド点に向かい水平移動させる工程、キャピラリを上昇させ、ループ形成後にチップ角の上方に位置することになる点までボンディングワイヤを繰り出す工程、キャピラリを第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点と反対方向に移動させるリバース動作を行う工程、所定の軌跡を描いて第2ボンド点までキャピラリを移動させる工程を有することを特徴とするワイヤボンディング方法。
- 前記キャピラリをわずかに上昇させる行程と、前記キャピラリを第2ボンド点に向かい水平移動させる工程を同時に行い、キャピラリを斜め上方に移動させる請求項9に記載のワイヤボンディング方法。
- 直径が15μm〜30μmである金線からなるボンディングワイヤを用いて、第1ボンド点と第2ボンド点を接続するワイヤボンディング方法において、第1ボンド点にボンディングワイヤの先端を圧着する工程の後、キャピラリをわずかに上昇させる行程、キャピラリを第2ボンド点に向かい水平移動させる工程、キャピラリを仰角が45°〜70°で、移動距離が0.2mm以上となるように、斜め上方に移動させる工程、キャピラリを上昇させ、ループ形成後にチップ角の上方に位置する点までボンディングワイヤを繰り出す工程、 キャピラリを第1ボンド点付近を中心とする円弧に沿って、第2ボンド点と反対方向に移動させるリバース動作を行う工程、および、所定の軌跡を描いて第2ボンド点までキャピラリを移動させる工程を有することを特徴とするワイヤボンディング方法。
- 前記第2のリバース動作において、前記円弧の中心角が25°以上となるまでキャピラリを移動させる請求項11に記載のワイヤボンディング方法。
- 第1ボンド点と第2ボンド点の距離が3mmを超えており、請求項1から5のいずれかに記載のワイヤボンディング方法により、ボンディングワイヤのループが形成され、該ループのループ高さが100μm以下である半導体装置。
- 第1ボンド点と第2ボンド点の距離が3mmを超えており、請求項6から12のいずれかに記載のワイヤボンディング方法により、ボンディングワイヤのループが形成され、該ループのループ高さが80μm以下である半導体装置。
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