JP2007207980A - 圧着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】熱圧着時の温度制御を正確に行って一定の接合温度条件を維持することができ、品質の均一化及び信頼性の向上化を図ること。
【解決手段】第1の被圧着部材3と第2の被圧着部材4とを、加熱しながら圧着する装置であって、第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とが重ね合わされた状態で載置される載置面5aを有する受け台5と、該受け台に対して接近離間自在に設けられ、重ね合わされた第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材を、加熱しながら載置面に対して所定の力で押し付ける圧着面6aを有するヘッド部6と、受け台に設けられ、載置面を加熱又は冷却させるペルチェ素子7と、該ペルチェ素子に電力を供給し、載置面の温度を所望する温度に調整する温度制御部8とを備えている圧着装置1を提供する。
【選択図】図1
【解決手段】第1の被圧着部材3と第2の被圧着部材4とを、加熱しながら圧着する装置であって、第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とが重ね合わされた状態で載置される載置面5aを有する受け台5と、該受け台に対して接近離間自在に設けられ、重ね合わされた第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材を、加熱しながら載置面に対して所定の力で押し付ける圧着面6aを有するヘッド部6と、受け台に設けられ、載置面を加熱又は冷却させるペルチェ素子7と、該ペルチェ素子に電力を供給し、載置面の温度を所望する温度に調整する温度制御部8とを備えている圧着装置1を提供する。
【選択図】図1
Description
本発明は、第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とを、加熱しながら圧着する圧着装置に関するものである。
従来より、受け台であるバックアップ部上に複数の被圧着部材を重ねた状態で載置した後、これら被圧着部材を圧着ヘッドを用いて加熱しながら所定の圧力で押圧して、被圧着部材同士を熱圧着する圧着装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような圧着装置は、様々なものを製造する際に使用されるものであるが、例えば、液晶表示装置(LCD)を組み立て製造する場合に使用されている。具体的には、液晶表示パネルの電極端子(第1の被圧着部材)と、液晶駆動用ICの電極端子(第2の被圧着部材)とを、異方性導電フィルムを介して熱圧着する際に使用される。
このような圧着装置は、様々なものを製造する際に使用されるものであるが、例えば、液晶表示装置(LCD)を組み立て製造する場合に使用されている。具体的には、液晶表示パネルの電極端子(第1の被圧着部材)と、液晶駆動用ICの電極端子(第2の被圧着部材)とを、異方性導電フィルムを介して熱圧着する際に使用される。
ここで、一般的な圧着装置を、図面を参照して簡単に説明する。
圧着装置20は、図3及び図4に示すように、上面に平らな載置面21aを有し、該載置面21aに第1の被圧着部材22を載置するバックアップ部21と、下面に圧着面23aを有し、該圧着面23aが上記載置面21aに面接触するように上下に昇降可能なヘッド部23とを備えている。
また、ヘッド部23には、図示しないヒータ(例えば、セラミックヒータ)が内蔵されており、圧着面23aを所定温度(200℃以上の温度)に加熱している。また、バックアップ部21にも、同様に載置面21aを加熱するヒータ24が内蔵されており、通常ヘッド部23の圧着面23aよりも低い温度になるように加熱している。この際、バックアップ部21に取り付けた熱電対25の温度測定結果に基づいて、ヒータ24を温度制御している。
圧着装置20は、図3及び図4に示すように、上面に平らな載置面21aを有し、該載置面21aに第1の被圧着部材22を載置するバックアップ部21と、下面に圧着面23aを有し、該圧着面23aが上記載置面21aに面接触するように上下に昇降可能なヘッド部23とを備えている。
また、ヘッド部23には、図示しないヒータ(例えば、セラミックヒータ)が内蔵されており、圧着面23aを所定温度(200℃以上の温度)に加熱している。また、バックアップ部21にも、同様に載置面21aを加熱するヒータ24が内蔵されており、通常ヘッド部23の圧着面23aよりも低い温度になるように加熱している。この際、バックアップ部21に取り付けた熱電対25の温度測定結果に基づいて、ヒータ24を温度制御している。
次に、この圧着装置20を用いた圧着を行う場合について説明する。
まず、バックアップ部21の載置面21a上に、第1の被圧着部材(例えば、液晶表示パネルの電極端子)22を載置固定する。次いで、第1の被圧着部材22上に図示しない異方性導電フィルムを介して、第2の被圧着部材(例えば、液晶駆動用ICの電極端子)26を仮接着した状態で重ねる。その後、圧着面23aをヒータで所定温度に加熱した状態でヘッド部23を下降させて、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26をバックアップ部21に押し付ける。これにより、第1の被圧着部材22と第2の被圧着部材26とを、熱圧着により接合することができる。
まず、バックアップ部21の載置面21a上に、第1の被圧着部材(例えば、液晶表示パネルの電極端子)22を載置固定する。次いで、第1の被圧着部材22上に図示しない異方性導電フィルムを介して、第2の被圧着部材(例えば、液晶駆動用ICの電極端子)26を仮接着した状態で重ねる。その後、圧着面23aをヒータで所定温度に加熱した状態でヘッド部23を下降させて、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26をバックアップ部21に押し付ける。これにより、第1の被圧着部材22と第2の被圧着部材26とを、熱圧着により接合することができる。
また、圧着を行っている際、ヒータ24によりバックアップ部21の載置面21aの温度を、ヘッド部23の圧着面23aの温度よりも低い温度(例えば、80℃)になるように加熱している。こうすることで、ヘッド部23から発した熱が放熱され難い状態となり、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26に効率良く熱を伝えることができる。その結果、熱圧着を確実に行うことができる。
特開2005−302949号公報
しかしながら、上記従来の装置では以下の課題がまだ残されている。
即ち、熱圧着を行う際、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26に効率良く熱を伝えるため、載置面21aの温度を圧着面23aの温度より、低い温度になるようにカートリッジヒータ等のヒータ24で加熱しているが、ヘッド部23の熱影響を受けてしまい載置面21aの温度を正確にコントロールすることが難しかった。
即ち、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26が熱媒体となって、ヘッド部23の熱がバックアップ部21に伝わり蓄熱されてしまう。これにより、バックアップ部21の温度が徐々に上昇してしまっていた。この際、熱電対25の温度測定結果に基づいて、ヒータ24の温度制御を行っているが、従来のヒータ24では必要十分に細かな温度制御を行うことが難しい。そのため、上述したように、載置面21aの温度をコントロールすることが困難であった。
特に、被圧着部材の種類によっては、バックアップ部21を常温に近い一定温度に維持することが求められる場合があるが、上述した理由によりこのような制御を行うことが難しかった。
即ち、熱圧着を行う際、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26に効率良く熱を伝えるため、載置面21aの温度を圧着面23aの温度より、低い温度になるようにカートリッジヒータ等のヒータ24で加熱しているが、ヘッド部23の熱影響を受けてしまい載置面21aの温度を正確にコントロールすることが難しかった。
即ち、第1の被圧着部材22及び第2の被圧着部材26が熱媒体となって、ヘッド部23の熱がバックアップ部21に伝わり蓄熱されてしまう。これにより、バックアップ部21の温度が徐々に上昇してしまっていた。この際、熱電対25の温度測定結果に基づいて、ヒータ24の温度制御を行っているが、従来のヒータ24では必要十分に細かな温度制御を行うことが難しい。そのため、上述したように、載置面21aの温度をコントロールすることが困難であった。
特に、被圧着部材の種類によっては、バックアップ部21を常温に近い一定温度に維持することが求められる場合があるが、上述した理由によりこのような制御を行うことが難しかった。
上述したように、従来の装置では、熱圧着時の温度制御を正確に行うことが困難であり、一定の接合温度条件を維持することができなかった。そのため、品質にむらがでてしまい、信頼性の劣るものであった。
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、熱圧着時の温度制御を正確に行って一定の接合温度条件を維持することができ、品質の均一化及び信頼性の向上化を図ることができる圧着装置を提供することである。
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明の圧着装置は、第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とを、加熱しながら圧着する圧着装置であって、前記第1の被圧着部材と前記第2の被圧着部材とが重ね合わされた状態で載置される載置面を有する受け台と、該受け台に対して接近離間自在に設けられ、重ね合わされた前記第1の被圧着部材及び前記第2の被圧着部材を、加熱しながら前記載置面に対して所定の力で押し付ける圧着面を有するヘッド部と、前記受け台に設けられ、前記載置面を加熱又は冷却させるペルチェ素子と、該ペルチェ素子に電力を供給し、前記載置面の温度を所望する温度に調整する温度制御部とを備えていることを特徴とするものである。
本発明の圧着装置は、第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とを、加熱しながら圧着する圧着装置であって、前記第1の被圧着部材と前記第2の被圧着部材とが重ね合わされた状態で載置される載置面を有する受け台と、該受け台に対して接近離間自在に設けられ、重ね合わされた前記第1の被圧着部材及び前記第2の被圧着部材を、加熱しながら前記載置面に対して所定の力で押し付ける圧着面を有するヘッド部と、前記受け台に設けられ、前記載置面を加熱又は冷却させるペルチェ素子と、該ペルチェ素子に電力を供給し、前記載置面の温度を所望する温度に調整する温度制御部とを備えていることを特徴とするものである。
この発明に係る圧着装置においては、まず、受け台の載置面上に第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材を重ね合わせた状態で載置する。この際、異方性導電フィルムを介して重ね合わせる。次いで、ヘッド部を受け台に向けて接近させ、載置面上に載置された第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材に圧着面を押し当てる。そして、ヘッド部をさらに押し付けて、第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材を加熱しながら載置面に所定の力で押し付ける。これにより、第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とを熱圧着により接合することができる。
また、上述した熱圧着の際に、温度制御部が受け台に取り付けられたペルチェ素子に電力を供給して、該ペルチェ素子を加熱又は冷却制御している。これにより、載置面の温度を自在に温度制御することができる。特に、ペルチェ素子を利用しているので、温度応答性が良く、また、細かな温度設定を行うことが可能である。
そのため、第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材を介して、ヘッド部からの熱が受け台側に伝わってきたとしても、その伝わってきた熱の温度を考慮しながら、載置面の細かな温度コントロールを行うことができる。
そのため、第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材を介して、ヘッド部からの熱が受け台側に伝わってきたとしても、その伝わってきた熱の温度を考慮しながら、載置面の細かな温度コントロールを行うことができる。
その結果、第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材に、常に一定の温度の熱を与えながら圧着を行うことができる。つまり、一定の接合温度条件を維持した状態で、熱圧着を行える。よって、品質の均一化及び信頼性の向上化を図ることができる。
また、本発明の圧着装置は、上記本発明の圧着装置において、前記受け台に設けられて前記載置面の温度を測定する温度測定部を備え、前記温度制御部が、前記温度測定部による測定結果に基づいて前記ペルチェ素子の温度を制御することを特徴とするものである。
この発明に係る圧着装置においては、受け台に設けられた温度測定部が載置面の温度を測定し、測定結果を温度制御部に出力している。温度制御部は、この測定結果を得ることで、刻々と変化する載置面の温度を瞬時に確認して、ペルチェ素子に供給する電流値を変化させる。これにより、ペルチェ素子の温度を制御することができ、載置面の温度を確実に一定の温度に制御することができる。このように、温度測定部による測定結果に基づいて、ペルチェ素子をフィードバック制御するので、熱圧着時の接合温度条件をより確実に一定に維持することができる。
また、本発明に係る圧着装置は、上記本発明の圧着装置において、前記受け台には、前記載置面に対向する内面を有すると共に前記ペルチェ素子を収納する貫通孔が形成され、前記ペルチェ素子が、前記内面に放熱面が面接触した状態で、前記貫通孔内に固定されていることを特徴とするものである。
この発明に係る圧着装置においては、ペルチェ素子が貫通孔の内面に放熱面が面接触している状態で固定されている。よって、ペルチェ素子の発熱量を上げることで、ヘッド部から伝わった熱に加えて積極的に載置面を加熱することができると共に、ペルチェ素子の発熱量を下げることで、ヘッド部から伝わった熱を中心に載置面を加熱することができる。特に、ペルチェ素子の放熱面と載置面とが対向した位置関係となっているので、ペルチェ素子の温度変化を載置面に速やかに反映させることができる。よって、効率良く温度コントロールを行うことができる。
また、ペルチェ素子は、貫通孔内に固定されているので、冷却面が貫通孔を介して外部に通じている。よって、熱交換を効率良く行うことができる。
また、ペルチェ素子は、貫通孔内に固定されているので、冷却面が貫通孔を介して外部に通じている。よって、熱交換を効率良く行うことができる。
また、本発明に係る圧着装置は、上記本発明の圧着装置において、前記受け台には、前記載置面に対向する内面を有すると共に前記ペルチェ素子を収納する貫通孔が形成され、前記ペルチェ素子が、前記内面に冷却面が面接触した状態で、前記貫通孔内に固定されていることを特徴とするものである。
この発明に係る圧着装置においては、ペルチェ素子が貫通孔の内面に冷却面が面接触している状態で固定されている。よって、ペルチェ素子を作動させることで、ヘッド部から伝わった熱の温度を冷却により低下させることができる。よって、受け台に、過度に熱が蓄熱されてしまうことを防止できる。特に、ペルチェ素子の冷却面と載置面とが対向した位置関係となっているので、ペルチェ素子の温度変化を、載置面に速やかに反映させることができる。よって、効率の良い温度コントロールを行うことができる。
また、ペルチェ素子は、貫通孔内に固定されているので、放熱面が貫通孔を介して外部に通じている。よって、熱交換を効率良く行うことができる。
また、ペルチェ素子は、貫通孔内に固定されているので、放熱面が貫通孔を介して外部に通じている。よって、熱交換を効率良く行うことができる。
本発明に係る圧着装置によれば、熱圧着時の温度制御を正確に行って一定の接合温度条件を維持することができ、品質の均一化及び信頼性の向上化を図ることができる。
以下、本発明に係る圧着装置の一実施形態を、図1及び図2を参照して説明する。なお、本実施形態では、液晶表示装置を、組み立て製造する場合を例に挙げて説明する。具体的には、液晶表示パネルの電極端子を第1の被圧着部材とし、液晶表示パネルを駆動する液晶駆動用ICを第2の被圧着部材として、以下に説明する。
本実施形態の圧着装置1は、液晶表示パネル2の電極端子3と液晶駆動用IC4とを、加熱しながら圧着する装置であって、電極端子3と液晶駆動用IC4とが重ね合わされた状態で載置される載置面5aを有するバックアップ部(受け台)5と、該バックアップ部5に対して接近離間自在に設けられ、重ね合わされた電極端子3及び液晶駆動用IC4を、加熱しながら載置面5aに対して所定の力で押し付ける圧着面6aを有するボンディングヘッド部(ヘッド部)6と、バックアップ部5に設けられ、載置面5aを加熱又は冷却するペルチェ素子7と、該ペルチェ素子7に電力を供給し、載置面5aの温度を所望の温度に調整するペルチェコントローラ(温度制御部)8とを備えている。
バックアップ部5は、ステンレスや窒化アルミニウム等により直方体状に形成されており、上面が平坦な載置面5aとなっている。また、このバックアップ部5は、熱が逃げないように断熱シート10を介して台座11上に固定されている。また、バックアップ部5の略中心には、載置面5aに内面12aが対向するように長手方向に向けて貫通孔12が形成されている。この貫通孔12は、ペルチェ素子7を収納できるサイズとされている。
上記ペルチェ素子7は、アルミナや窒化アルミニウム等の電気絶縁性の一対の基板と、該一対の基板の間に配された図示しないp型熱電材料及びn型熱電材料とを有している。このp型熱電材料とn型熱電材料とは、図示しない電極によりPN接合され、直列に電気的接続されている。また、一対の基板のうち、一方の基板の表面が冷却面7aとなっており、他方の基板の表面が放熱面7bとなっている。
本実施形態では、ペルチェ素子7は、シリコンジェル等の熱伝導性グリスや、銀ペーストや、接着剤や、半田等によって他方の基板が、上記貫通孔12の内面12aに面接触した状態で固定されている。つまり、放熱面7bが載置面5aに対向するように配置されている。一方、冷却面7aは、貫通孔12を介して外部に通じた状態となっている。
本実施形態では、ペルチェ素子7は、シリコンジェル等の熱伝導性グリスや、銀ペーストや、接着剤や、半田等によって他方の基板が、上記貫通孔12の内面12aに面接触した状態で固定されている。つまり、放熱面7bが載置面5aに対向するように配置されている。一方、冷却面7aは、貫通孔12を介して外部に通じた状態となっている。
更に、バックアップ部5には、ペルチェ素子7と載置面5aとの間に、載置面5aの温度を測定する温度測定部13が取り付けられている。この温度測定部13は、例えば、熱電対や測温体であり、測定した温度をペルチェコントローラ8に出力している。
ペルチェコントローラ8は、温度測定部13から送られてきた測定結果に基づいて、載置面5aの温度が所望する温度になるように、ペルチェ素子7の電流値をフィードバック制御するようになっている。
ペルチェコントローラ8は、温度測定部13から送られてきた測定結果に基づいて、載置面5aの温度が所望する温度になるように、ペルチェ素子7の電流値をフィードバック制御するようになっている。
また、ボンディングヘッド部6は、図示しないエアシリンダ等の駆動源により昇降するようになっており、下面が平坦な圧着面6aとなっている。また、ボンディングヘッド部6の内部には、図示しないセラミックヒータが内蔵されており、圧着面6aの温度が、例えば200℃以上になるように加熱している。
このように構成された圧着装置1を用いて、液晶表示パネル2の電極端子3と液晶駆動用IC4とを熱圧着により接合して、液晶表示装置を組み立て製造する場合について説明する。
始めに、ペルチェコントローラ8によってペルチェ素子7に電力を供給して加熱させ、載置面5aを所望の温度、例えば、80度に加熱しておく。この際、温度測定部13を備えているので、正確に温度を調整できる。載置面5aの温度調整が終了した後、液晶表示パネル2の電極端子3をバックアップ部5の載置面5a上に載置固定する。次いで、図示しない異方性導電フィルムを介して、電極端子3上に液晶駆動用IC4を重ね合わせる。
始めに、ペルチェコントローラ8によってペルチェ素子7に電力を供給して加熱させ、載置面5aを所望の温度、例えば、80度に加熱しておく。この際、温度測定部13を備えているので、正確に温度を調整できる。載置面5aの温度調整が終了した後、液晶表示パネル2の電極端子3をバックアップ部5の載置面5a上に載置固定する。次いで、図示しない異方性導電フィルムを介して、電極端子3上に液晶駆動用IC4を重ね合わせる。
この重ね合わせが終了した後、ボンディングヘッド部6をバックアップ部5に向けて下降させ、ヒータによって200℃以上に加熱された圧着面6aを液晶駆動用IC4に押し当てる。そして、ボンディングヘッド部6をさらに下降させて、電極端子3及び液晶駆動用IC4を載置面5aに所定の力で押し付ける。これにより、電極端子3と液晶駆動用IC4とを熱圧着により接合することができる。
また、上述した熱圧着の際に、ボンディングヘッド部6の圧着面6aを重ね合わせた電極端子3及び液晶駆動用IC4に押し当てると、これら電極端子3及び液晶駆動用IC4を媒体としてバックアップ部5に熱が伝わり徐々に温度が上昇してしまう。ここで、バックアップ部5の温度は、温度測定部13によって測定されてペルチェコントローラ8に送られているので、該ペルチェコントローラ8はこの温度上昇を速やかに確認することができる。つまり、ペルチェコントローラ8は、刻々と変化する載置面5aの温度を瞬時に確認することができる。そして、ペルチェコントローラ8は、この温度上昇を考慮して、載置面5aの温度を、所望する温度である80℃に維持するように、ペルチェ素子7の電流値をフィードバック制御する。これにより、載置面5aの温度を80℃に維持することができる。
具体的には、ペルチェ素子7に供給する電流値を増加させて発熱量を上げることで、ボンディングヘッド部6から伝わった熱に加えて積極的に載置面5aを加熱することができる。また、ペルチェ素子7に供給する電流値を低下させて発熱量を下げることで、ボンディングヘッド部6から伝わった熱を主として載置面5aを加熱することができる。このように、載置面5aの温度に応じて、ペルチェ素子7の温度を変化させることで、載置面5aの温度を正確にコントロールできる。
特に、ペルチェ素子7を利用しているので、従来のカートリッジヒータとは異なり、温度応答性が良く、また、細かな温度設定を行うことができる。そのため、載置面5aの細かな温度コントロールを行うことができる。
よって、電極端子3及び液晶駆動用IC4に、常に一定の温度の熱を与えながら圧着を行うことができる。つまり、一定の接合温度条件を維持した状態で、熱圧着を行える。その結果、品質の均一化及び信頼性の向上化を図ることができる。そのため、液晶表示装置を高品質に組み立て製造することができる。特に、ペルチェ素子7をフィードバック制御するので、接合温度条件を一定に維持し易い。
よって、電極端子3及び液晶駆動用IC4に、常に一定の温度の熱を与えながら圧着を行うことができる。つまり、一定の接合温度条件を維持した状態で、熱圧着を行える。その結果、品質の均一化及び信頼性の向上化を図ることができる。そのため、液晶表示装置を高品質に組み立て製造することができる。特に、ペルチェ素子7をフィードバック制御するので、接合温度条件を一定に維持し易い。
また、ペルチェ素子7が貫通孔12内に固定されているので、放熱面7bと載置面5aとが対向した位置関係となっている。そのため、ペルチェ素子7の温度変化を、載置面5aに速やかに反映させることができる。よって、効率良く温度コントロールを行える。また、冷却面7aが貫通孔12を介して外部に通じているので、熱交換を効率良くを行うこができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、ペルチェ素子7の放熱面7bを貫通孔12の内面12aに面接触させた状態で固定したが、この場合に限られず、冷却面7aを内面12aに面接触させた状態で固定しても構わない。こうすることで、載置面5aを常温近傍の一定温度に維持する必要がある場合、ボンディングヘッド部6からバックアップ部5に伝わった熱を冷却できるので、バックアップ部5に過度に熱が蓄熱されてしまうことを防止でき、載置面5aの温度コントロールを行うことができる。
また、上記実施形態では、液晶表示パネル2の電極端子3に、直接液晶駆動用IC4を接合する場合に圧着装置を用いたが、この場合に限られず、例えば、第2の被圧着部材を、配線パターンが予め形成されたフレキシブル基板に液晶駆動用ICが実装されたTCPとし、該TCPと電極端子とを熱圧着する際に圧着装置を用いても構わない。このように、熱圧着により接合されるものであれば、第1の被圧着部材及び第2の被圧着部材は特に限定されるものではない。
1 圧着装置
3 液晶表示パネルの電極端子(第1の被圧着部材)
4 液晶駆動用IC(第2の被圧着部材)
5 バックアップ部(受け台)
5a 載置面
6 ボンディングヘッド部(ヘッド部)
6a 圧着面
7 ペルチェ素子
7a 冷却面
7b 放熱面
8 ペルチェコントローラ(温度制御部)
12 貫通孔
12a 貫通孔の内面
13 温度測定部
3 液晶表示パネルの電極端子(第1の被圧着部材)
4 液晶駆動用IC(第2の被圧着部材)
5 バックアップ部(受け台)
5a 載置面
6 ボンディングヘッド部(ヘッド部)
6a 圧着面
7 ペルチェ素子
7a 冷却面
7b 放熱面
8 ペルチェコントローラ(温度制御部)
12 貫通孔
12a 貫通孔の内面
13 温度測定部
Claims (4)
- 第1の被圧着部材と第2の被圧着部材とを、加熱しながら圧着する圧着装置であって、
前記第1の被圧着部材と前記第2の被圧着部材とが重ね合わされた状態で載置される載置面を有する受け台と、
該受け台に対して接近離間自在に設けられ、重ね合わされた前記第1の被圧着部材及び前記第2の被圧着部材を、加熱しながら前記載置面に対して所定の力で押し付ける圧着面を有するヘッド部と、
前記受け台に設けられ、前記載置面を加熱又は冷却させるペルチェ素子と、
該ペルチェ素子に電力を供給し、前記載置面の温度を所望する温度に調整する温度制御部とを備えていることを特徴とする圧着装置。 - 請求項1に記載の圧着装置において、
前記受け台に設けられて前記載置面の温度を測定する温度測定部を備え、
前記温度制御部は、前記温度測定部による測定結果に基づいて前記ペルチェ素子の温度を制御することを特徴とする圧着装置。 - 請求項1又は2に記載の圧着装置において、
前記受け台には、前記載置面に対向する内面を有すると共に前記ペルチェ素子を収納する貫通孔が形成され、
前記ペルチェ素子は、前記内面に放熱面が面接触した状態で、前記貫通孔内に固定されていることを特徴とする圧着装置。 - 請求項1又は2に記載の圧着装置において、
前記受け台には、前記載置面に対向する内面を有すると共に前記ペルチェ素子を収納する貫通孔が形成され、
前記ペルチェ素子は、前記内面に冷却面が面接触した状態で、前記貫通孔内に固定されていることを特徴とする圧着装置。
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