JP2007203398A - テーブル装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク1が載置されるテーブル2が具備せしめられ、設置面3に設置されるテーブル装置であって、前記テーブル2を所定方向に駆動せしめる駆動機構4が設けられ、更に、前記駆動機構4による駆動に起因して前記テーブル2に生じるローリングを吸収する第一揺動吸収機構6と、前記駆動機構4による駆動に起因して前記テーブル2に生じるピッチングを吸収する第二揺動吸収機構7と、前記駆動機構4による駆動に起因して前記テーブル2に生じる上下動を吸収する上下動吸収機構8とが設けられているもの。
【選択図】図2
Description
2 テーブル
3 設置面
4 駆動機構
4a 第一駆動機構
4b 第二駆動機構
6 第一揺動吸収機構
7 第二揺動吸収機構
8 上下動吸収機構
11 軸体
12 連結軸体
13 支持体
13a 溝
14 摺動体
14a 溝
15 エアーベアリング
22 連結体
59 ボール
A ベアリング
B ベアリング
Claims (8)
- ワークが載置されるテーブルが具備せしめられ、設置面に設置されるテーブル装置であって、前記テーブルを所定方向に駆動せしめる駆動機構が設けられ、更に、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じるローリングを吸収する第一揺動吸収機構と、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じるピッチングを吸収する第二揺動吸収機構と、前記駆動機構による駆動に起因して前記テーブルに生じる上下動を吸収する上下動吸収機構とが設けられていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項1記載のテーブル装置において、前記駆動機構は、前記テーブルを第一方向aに駆動せしめる第一駆動機構と、前記テーブルを前記第一方向aと直交する第二方向bに駆動せしめる第二駆動機構とから成るものであることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項2記載のテーブル装置において、前記第一揺動吸収機構若しくは前記第二揺動吸収機構のいずれか一方は、前記第一駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるローリングを吸収すると共に前記第二駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるピッチングを吸収するように構成され、他方は、前記第一駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるピッチングを吸収すると共に前記第二駆動機構による駆動に起因してテーブルに生じるローリングを吸収するように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項1〜3いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記駆動機構はボールネジであり、前記第一揺動吸収機構は、ボールネジのボールナットに設けられ、軸体に被嵌されたベアリングであり、前記第二揺動吸収機構は、前記軸体と連結される連結体に設けられ、前記テーブルを支持する支持体と連設される連結軸体に被嵌されたベアリングであり、前記上下動吸収機構は、前記連結軸体に設けられ前記支持体に摺動自在に被嵌された摺動体であることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項4記載のテーブル装置において、前記第一揺動吸収機構及び前記第二揺動吸収機構は、夫々前記軸体及び前記連結軸体の回転を許容すると共に該軸体及び連結軸体の軸方向への移動を阻止するように構成され、前記上下動吸収機構は、前記摺動体の軸方向への移動を許容すると共に該摺動体に対する前記支持体の回転を阻止するように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項4,5いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記上下動吸収機構は、ボールが配設される溝が形成された前記支持体と、該支持体に被嵌され前記ボールが配設される溝が形成された摺動体とから成ることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項4〜6いずれか1項に記載のテーブル装置において、前記支持体には、該支持体と前記設置面との間隔を一定に保持する間隔保持機構が設けられていることを特徴とするテーブル装置。
- 請求項7記載のテーブル装置において、前記間隔保持機構はエアーベアリングであることを特徴とするテーブル装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0493139A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | テーブルと駆動部の接続構造 |
JPH11166990A (ja) * | 1997-12-04 | 1999-06-22 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置並びに走査型露光装置 |
JP2002100315A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-05 | Jeol Ltd | 試料ステージ |
JP2003062733A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
-
2006
- 2006-01-31 JP JP2006023913A patent/JP4580876B2/ja active Active
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JPH0493139A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-25 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | テーブルと駆動部の接続構造 |
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