JP2007194537A - 光学特性計測方法及び装置、並びに露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】投影光学系PLの波面収差を計測する計測装置であって、投影光学系PLを光源1からの照明光で照明する照明光学系12と、投影光学系PLの瞳面における照明光の偏光状態を設定する偏光制御ユニット2及び拡散板38と、投影光学系PLを介した光をその瞳面における位相情報に対応する光量分布を持つ光に変換するコリメートレンズ23及びマイクロフライアイ24と、その変換された光を検出する撮像素子とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような課題に鑑み、照明光学系や投影光学系等の光学系の光学特性を計測する際に、照明光の偏光状態を考慮して計測できるようにすることを目的とする。
また、本発明による第2の光学特性計測装置は、被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、その被検光学系を照明光で照明する照明系(1,12)と、その被検光学系の瞳面と共役な面又はこの近傍の面においてその被検光学系を介した光束を分割する波面分割素子(24)と、その波面分割素子の近傍に配置されて所定の偏光状態の光を選択する偏光素子(40)と、その波面分割素子及びその偏光素子を介した光を受光する光電検出器(25)とを備えたものである。本発明によれば、その偏光素子によって、通常の使用時とは異なる偏光状態の照明光を受光できる。
図1は、本例のスキャニングステッパーよりなる走査露光型の露光装置100の概略構成を示し、この図1において、露光用の光源1及び照明光学系12よりなる照明系、レチクル(マスク)を保持して移動するレチクルステージRST、投影光学系PL、レジストが塗布されたウエハW(感光体)を保持して移動するウエハステージWST、並びにコンピュータからなり装置全体を統括制御するとともに、種々の演算処理を行う主制御装置20(演算装置)等を備えている。光源1として、ここではArFエキシマレーザ光源(波長193nm)が使用されている。なお、光源1としては、KrFエキシマレーザ光源(波長247nm)、F2 レーザ光源(波長157nm)、Kr2 レーザ光源(波長146nm)、YAGレーザの高調波発生光源、固体レーザ(半導体レーザなど)の高調波発生装置なども使用することができる。光源1においては、主制御装置20からの制御情報に基づいて、パルス発振するレーザビームLBの出力のオン・オフ、パルスエネルギー、発振周波数、中心波長、及びスペクトル幅などが制御される。
図4(A)は、図1の照明光学系12の瞳面PILにおける照明光ILの偏光状態の一例を示し、この図4(A)では、輪帯照明用の開口絞りが配置され、その開口絞り内の照明光IL(レーザビームLB)の偏光方向がほぼ円周方向(いわゆるアジマス方向)に設定されている。なお、図4(A)以下の照明光学系12の瞳面PILにおけるX軸、Y軸は、それぞれ図1の投影光学系PLの像面におけるX軸、Y軸に対応する方向を示している。その偏光方向の分布をほぼ円周方向にするために、図4(A)の例では、輪帯状の開口をX方向に離れた1対の領域31A,31Cと、Y方向に離れた1対の領域31B,31Dとからなる4個のほぼ扇型の領域に分割し、1対の領域31A,31Cを通過する照明光をY軸に平行な方向32Yに偏光した直線偏光として、他の1対の領域31B,31Dを通過する照明光をX軸に平行な方向32Xに偏光した直線偏光とする。
図1は、投影光学系PLの波面収差を計測するために、計測部21の筐体としての箱状部材21aを不図示のクランプ部材によってウエハステージWSTの凹部CAに固定し、レチクルステージRST上に収差計測用のレチクル13をロードした状態を示し、この図1において、ウエハステージWSTを駆動することによって、計測部21の入射面が投影光学系PLの露光領域に移動している。
なお、本例では、撮像素子25において解像可能な大きさの開口部13aの像を結像させる方式であるため、開口部13aを極小ピンホールとして形成して球面波を発生させる必要はない。即ち、本例では開口部13aの形状は円形状に限定されることがない。また、開口部13aから撮像素子25までの光路における透過率は計測用光学系を構成する光学部材の透過率に依存して決定されるため、撮像素子25に対して極小ピンホールを用いる場合に比して著しく大きな照度を提供することが可能となる。なお、波面収差の計測原理については、特開2002−71514号公報にも開示されている。
先ず第1の方法では、図4(A)のように照明光の偏光方向を円周方向に設定する場合の波面収差を求めるために、照明光学系12の瞳面において、図5(A)及び(B)に示すように、順次X方向及びY方向に離れたほぼ扇型の領域31A,31C及び31B,31Dを通過する照明光の偏光方向をY軸に平行な方向32Y、及びX軸に平行な方向32Xにそれぞれ設定して、それぞれ図2の計測部21を用いて波面収差を計測する。その後、2つの計測結果を主制御装置20において合成することによって、図4(A)の偏光照明での波面収差を求めることができる。その合成方法としては、図3の波面を示すベクトルの段階で加算する方法と、図3の波面を示すベクトルから求めた波面収差からツェルニケ多項式の係数を求め、この係数を加算する方法とのいずれの方法でもよい(詳細は後述する)。
また、この例で図10に示すように、照明光の偏光方向がY軸に平行な方向32Yとされ、照明光学系12の瞳面上でX方向に離れた領域からなる2極照明用の開口絞り37Aが選択されたときには、図9の場合と同様に、投影光学系PLの瞳PP2を4分割した領域の内のX方向に対向するほぼ2つの領域内での波面を示すベクトル分布44Bが求められる。その後、同じ開口絞り37Aを用いて、照明光の光量を上げることによって、投影光学系PLの瞳PP2内のX方向に対向する2つの領域45Cでは光量の飽和によって、照明光が無い場合と等価となる。そのため、瞳PP2内でY方向に対向するほぼ2つの領域内での波面を示すベクトル分布44Dが求められる。その後、2つのベクトル分布44B及び44Dを加算することで、瞳PP2のほぼ全面をY方向に偏光した照明光が通過するときの波面に対応するベクトル分布44Eが求められ、このベクトル分布から波面収差44Fが求められる。
次に、照明光の偏光方向を直交させた2回の計測結果を合成して、図6(A)のような円周方向に偏光した照明光を用いる場合の投影光学系PLの波面収差を求める。
なお、図2の計測部21において、投影光学系PLを通過した照明光ILのうちから所定の偏光状態、例えばZ軸の周りに任意の角度で回転した方向に偏光した状態の照明光のみを受光するために、2点鎖線で示すように、マイクロレンズアレイ24の上方の近傍(又は下方の近傍でもよい)に偏光板40を配置してもよい。また、偏光板40の代わりに、ワイヤーグリッド、又はマイクロレンズアレイ24の入射面の全面を覆う偏光ビームスプリッタ等の偏光子を配置してもよい。また、偏光板40は不図示のモータにより回転可能であり、種々の方向に直線偏光した光を選択可能となっている。
次に、本発明の実施形態の他の例につき図12を参照して説明する。本例は、波面収差評価用のレチクル自体に、入射する照明光の偏光状態を所定状態に設定するための偏光部材を設けたものである。本例のレチクルは、例えば図1の露光装置の投影光学系PLの偏光照明下での波面収差を計測する際に使用できるが、この際に偏光制御ユニット2及び偏光変換ユニット3は必ずしも必要ではない。
この計測を行う場合には、図2の計測部21において、偏光板40を配置してマイクロレンズアレイ24を照明光の光路中から取り外してもよい。
また、計測部21として、マイクロレンズアレイ24の代わりに、λ/4板(位相子)及び偏光子(偏光ビームスプリッタ)を光軸方向に沿って順次配置する。すると、コリメータレンズ23を介した光は、λ/4板及び偏光ビームスプリッタを介した後、撮像素子25に達する。そして、λ/4板を光軸廻りに回転させながら撮像素子25の撮像面における光強度分布の変化を検出し、この検出結果から回転移相子法により照明光の偏光状態を測定してもよい。
Claims (15)
- 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
前記被検光学系を照明光で照明する照明系と、
前記照明光の偏光状態を設定する偏光部材と、
前記被検光学系を介した光を前記被検光学系の瞳面における位相情報に対応する光量分布を持つ光に変換する受光系と、
前記受光系で変換された光を検出する光電検出器とを備えたことを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記光電検出器の検出結果に基づいて前記被検光学系の前記光学特性を求める演算装置をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の光学特性計測装置。
- 前記偏光部材は、前記照明光の偏光方向を設定する偏光素子と、前記被検光学系の物体面又はこの面との共役面の近傍に配置されて前記照明光を拡散する拡散素子とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学特性計測装置。
- 前記拡散素子は、拡散板又は回折光学素子であることを特徴とする請求項3に記載の光学特性計測装置。
- 前記照明系は、前記照明系の瞳面において光軸から離れた2つの領域で他の領域に対して光量が大きくなる2極照明で前記被検光学系を照明し、
前記偏光部材は、前記照明光の偏光方向を設定する偏光素子と、前記被検光学系の物体面又はこの面との共役面の近傍に配置されて前記照明光を拡散する拡散素子とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学特性計測装置。 - 前記照明系によって、前記2つの領域を前記光軸の周りの異なる複数の方向に設定したときにそれぞれ前記光電検出器によって得られる検出結果を合成して、前記被検光学系の光学特性を求める特性演算装置を備えたことを特徴とする請求項5に記載の光学特性計測装置。
- 前記照明光の光量を異なる光量に設定したときにそれぞれ前記光電検出器によって得られる検出結果を合成して、前記被検光学系の光学特性を求める特性演算装置を備えたことを特徴とする請求項5に記載の光学特性計測装置。
- 前記受光系は、前記被検光学系の瞳面と共役な面又はこの近傍の面において前記被検光学系を介した光束を分割する波面分割素子と、前記波面分割素子の近傍に配置されて所定の偏光状態の光を選択する偏光素子とを含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の光学特性計測装置。
- 前記偏光部材で設定する前記照明光の偏光方向と、前記偏光素子で選択する光の偏光方向とが異なることを特徴とする請求項8に記載の光学特性計測装置。
- 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
前記被検光学系を照明光で照明する照明系と、
前記被検光学系の瞳面と共役な面又はこの近傍の面において前記被検光学系を介した光束を分割する波面分割素子と、
前記波面分割素子の近傍に配置されて所定の偏光状態の光を選択する偏光素子と、
前記波面分割素子及び前記偏光素子を介した光を受光する光電検出器とを備えたことを特徴とする光学特性計測装置。 - 前記被検光学系の物体面に配置されたマスクをさらに備え、
前記偏光部材の少なくとも一部が、前記マスクに設けられたことを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の光学特性計測装置。 - 前記マスクに設けられる部材は、拡散素子、旋光素子、偏光板、及び偏光ビームスプリッタのうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項11に記載の光学特性計測装置。
- 前記被検光学系の開口数に応じて前記光電検出器の検出結果を補正することを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の光学特性計測装置。
- マスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターンを感光体上に転写する投影光学系とを有する露光装置において、
前記感光体を保持して2次元平面内を移動するステージと、
前記ステージに設けられ、前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方を前記被検光学系とする請求項1から13のいずれか一項に記載の光学特性計測装置と、
前記光学特性計測装置の計測結果に基づいて、前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方の光学特性を調整する調整機構とを備えたことを特徴とする露光装置。 - 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、
前記被検光学系を照明光で照明し、
前記照明光の偏光状態を所望の状態に設定し、
前記被検光学系を介した光を前記被検光学系の瞳面における位相情報に対応する光量分布に変換し、
前記変換された光に基づいて、前記被検光学系の光学特性を計測することを特徴とする光学特性計測方法。
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