JP2007189802A - 振動波駆動装置及び振動波駆動機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動波駆動装置は、弾性体1、圧電素子2、接触部3、回転体4、支持部材6、基台7を備える。振動子は、弾性体1、圧電素子2、接触部3を有し、圧電素子2に対する電圧印加により、偶数次数の面内方向と奇数次数の面外方向の駆動振動又は奇数次数の面内方向と偶数次数の面外方向の駆動振動を形成する。回転体4は、振動子により形成される駆動振動により、振動子に対して相対的に駆動される。接触部3は、振動子と回転体4との間に配設され、回転体4に対して押圧接触される。支持部材6は、振動子と基台7との間に配設され、基台7に対する振動子の位置を決定し、振動子の面内方向及び面外方向に対して共に可撓性を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る多自由度の振動波駆動装置の全体構造を示す断面図である。
本発明の第2の実施の形態は、上述した第1の実施の形態に対して、振動波駆動装置のステータ部が図15に示す構成を有する点において相違する。本実施の形態のその他の要素は、上述した第1の実施の形態(図1)の対応するものと同一なので、説明を省略する。
上記第1及び第2の実施の形態では、振動波駆動装置単体について説明したが、本発明は、振動波駆動装置を駆動源として備え、振動子と回転体との相対移動により得られる駆動力により被駆動体を駆動する振動波駆動機器にも適用することができる。例えば、撮像装置におけるレンズの駆動など、各種技術分野に適用することができる。
2 圧電素子(電気−機械エネルギ変換素子、振動子)
3 接触部
4 回転体
6 支持部材
7 基台
12 圧電素子(電気−機械エネルギ変換素子、振動子)
12a 底面圧電素子部
12b 内周面圧電素子部
16 支持部材
16a 面外方向支持部
16b 面内方向支持部
26 支持部材
26a 面外方向支持部
26b 面内方向支持部
Claims (9)
- 電気−機械エネルギ変換素子を有し、前記電気−機械エネルギ変換素子に対する駆動信号の印加により、偶数次数の面内方向及び奇数次数の面外方向の駆動振動又は奇数次数の面内方向及び偶数次数の面外方向の駆動振動を形成する振動子と、
前記振動子により形成される前記駆動振動により、前記振動子に対して相対的に駆動される回転体と、
前記振動子と前記回転体との間に配設され、前記回転体に対して押圧状態に接触される接触部と、
前記振動子と基台との間に配設され、前記基台に対する前記振動子の位置を決定する支持部材とを備え、
前記支持部材は、前記振動子の面内方向及び面外方向に対して共に可撓性を有することを特徴とする振動波駆動装置。 - 前記支持部材は、前記振動子側に対する固定箇所と前記基台側に対する固定箇所とが、前記振動子の径方向及び軸方向に間隔を有する位置関係に構成されていることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
- 前記振動子は、円環形状に構成されており、
前記支持部材は、前記振動子の内周部に固定されることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。 - 前記振動子は、内周側に径方向の段差を有し、
前記支持部材は、前記振動子の前記段差を基準として前記振動子の内周部に固定されることを特徴とする請求項1又は3記載の振動波駆動装置。 - 前記支持部材は、前記振動子に固定される面内方向支持部と、前記面内方向支持部に連接されると共に前記基台に固定される面外方向支持部とに区分されていることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
- 前記支持部材は、前記振動子に固定される面外方向支持部と、前記面外方向支持部に連接されると共に前記基台に固定される面内方向支持部とに区分されており、
前記面外方向支持部又は前記面内方向支持部の何れか一方により、前記振動子の面外振動方向又は面内振動方向の定在波の節位置を支持することを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。 - 前記振動子を構成する前記電気−機械エネルギ変換素子は、面内方向の駆動振動用と、面外方向の駆動振動用とに分割された圧電素子であることを特徴とする請求項1記載の振動波駆動装置。
- 前記回転体の形状は、球殻形状、球形状、半球形状を含む群から選択され、
前記接触部は、前記振動子における前記回転体に対向する側の周方向に沿って配設された複数の突起により前記回転体を支持することを特徴とする請求項1又は3記載の振動波駆動装置。 - 前記請求項1乃至8の何れかに記載の振動波駆動装置を備え、前記振動子と前記回転体との相対移動により得られる駆動力により被駆動体を駆動することを特徴とする振動波駆動機器。
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