JP2007188075A - ミラーパッケージおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】外部から入射されたレーザを映像信号に従って外部スクリーンに反射させるミラーを備えたミラーパッケージおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ミラー２１０の部分をガラスウエハ２００でパッケージングし、ガラスウエハ２００上に異方性エッチングによって形成された入射ホール１１０および出射ホール１２０が形成されたシリコンウエハ１００を接合する。その後、ミラー２１０と入射ホール１１０および出射ホール１２０がそれぞれのセットとなるようにダイシングする。このように構成することで、生産性が向上するのはもちろん、ゴースト現象が除去される。
【選択図】図３

Description

本発明は、ミラーパッケージおよびその製造方法に関し、より詳細には、ガラスで反射されるレーザの反射光が外部に放出されないようにブロッキングしてゴースト現象を効果的に除去することができるだけでなく、ウエハレベルで製造することが容易なミラーパッケージおよびその製造方法に関する。

生活水準が向上してマルチメディア時代が到来すると共に、大型ディスプレイに対する要求が増大している。これに歩調を合わせるように、多様な方式の大型ディスプレイ装置が続々と開発されており、レーザＴＶは低価格で大型でありながらも高解像度を具現することができる次世代ディスプレイ装置として提案されている。

このようなレーザＴＶは、ＲＧＢ映像信号によってレーザモジュールから出射されるレーザビームを水平および垂直方向にスキャンする光スキャナを備える。前記光スキャナは、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ−Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）技術を間近に製造されるミラーを含む。レーザはミラーによって反射されて外部スクリーンに投射される。

このようなミラーは、外部の湿気やほこり等から保護するためにガラス（ｇｌａｓｓ）等でパッケージして外部から遮蔽している。

しかし、ミラーはその構造上、外部からレーザが入射されてミラーによって反射されるのであるが、保護のためのガラス（ｇｌａｓｓ）によって、レーザの一部（または全部）が反射してしまい（不要反射）、この不要反射が所望する映像以外の映像を描いてしまって、ゴースト現象が発生するという問題点を有する。

ゴースト現象は、ＴＶ画面に所望する映像と同一であったり相違したりする映像が画面の一地点で持続的に発生するノイズであると言える。このようなゴースト現象は、ガラス（ｇｌａｓｓ）の屈折率の差およびレーザの反射特性に起因したものであり、所望する映像を生産することができず、反射光によって光が干渉されることによって発生するものである。

より詳しい説明のため図１を提示する。図１は、従来のミラーを備えた光スキャナを示した構成図である。ここに示されたように、光スキャナ１０は、光源１１から入射レーザ１２が、ミラー３０が設置されたミラーパッケージ２０内部に投射される。ミラー３０で反射された出射レーザ１５がミラーパッケージ２０外部にあるスクリーン３０に映像を生成するようになる。この時、ミラー３０は、２軸で振動しながら所望するスクリーンの一地点に出射レーザ１５が到逹するようにする。ミラー３０は、第１軸振動ユニット３１および第１軸と垂直な方向に駆動させる第２軸振動ユニット３２によって両方向に震動するようになるが、これに対する詳しい構造および振動方式に関しては、本明細書の明瞭化のために省略することにする。

前記ミラー３０は、外部のほこり等による汚染を防止するためにガラス２１によって密封され、前記入射レーザ１２は、ガラス２１を通過してミラー３０に到逹するようになる。この時、前記入射レーザ１２は、ガラス２０表面で反射する第１反射光１３およびガラス２１後面で反射する第２反射光１４によって所望しない映像がスクリーン３０に形成されてゴースト現象を誘発するようになる。

このようなゴースト現象を除去するために、ガラス２１を所定角度に傾けて反射および屈折される光の角度を調整する方法が提示されているが、製造が容易でなく、追加的な設計が要求されるという問題点を有する。これだけでなく、ガラス２１を傾けて製造する場合には、ウエハレベルでパッケージングすることができず、チップごとに個別パッケージング工程を進行しなければならないため、生産性に致命的な悪影響を与えるようになる。

また、ガラス２１の表面に無反射コーティングのような表面処理をする方法を考慮することもできるが、これはゴースト現象を完全に除去することができないだけでなく、製造工程および製造単価を増加させるという問題点を有する。

本発明は、上述した問題点を解決するためのものであって、本発明は、ガラスで反射されるレーザの反射光が外部に放出されないようにブロッキングしてゴースト現象を効果的に除去することができるミラーパッケージを提供することを目的とする。

また、ウエハレベルパッケージに、容易かつ大量生産に適合しており、生産性を向上させることができるミラーパッケージの製造方法を提供することを目的とする。

また、ブロッキングする入射ホールおよび出射ホールの側面壁の厚さを自由に調節することができ、広い範囲で反射される反射光が外部に放出されないようにするミラーパッケージおよびその製造方法を提供することを目的とする。

上述した本発明の目的を達成するために、本発明は、外部からレーザが入射されて映像信号によって外部スクリーンに前記レーザを反射させるミラーを備えたミラーパッケージの構造およびその製造方法が提供される。シリコンウエハに異方性エッチングを遂行し、レーザが通過して入力されることができる入射ホールと、前記レーザが通過して出射されることができる出射ホールとを複数形成する。前記ミラーを外部汚染から保護するための透明ウエハ上に前記シリコンウエハを接合する。

この時、前記シリコンウエハは、前記入射ホールおよび前記出射ホールの開口が広く形成された面が前記透明ウエハと接するように接合する。その後、前記入射ホール、前記出射ホールおよび前記ミラーがそれぞれ一つずつ含まれるように前記シリコンウエハ、前記透明ウエハ、および前記ミラーウエハを接合したウエハ構造体をダイシングしてミラーパッケージ製品を完成させる。

前記シリコンウエハを異方性エッチングして前記入射ホールおよび出射ホールを形成する段階は、水酸化カリウム（ＫＯＨ）、エチレンジアミンピロカテコール（ｅｔｈｙｌｅｎｅ ｄｉａｍｉｎｅ ｐｙｒｏｃａｔｅｃｈｏｌ：ＥＤＰ）、ＴＭＡＨ（ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌｅ ａｍｍｏｎｉｕｍ ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ）のいずれか一つを用いて湿式エッチングすることが好ましい。このとき、前記入射ホールおよび前記出射ホールは、前記シリコンウエハの表面に四角形の開口をなし、四角錐台型系所図のホールが形成される。また、前記入射ホールの側面が前記シリコンウエハの表面となす角度が５０度ないし６０度の間である。

本発明の変形実施形態としては、シリコンウエハを複数積層するが、それぞれのシリコンウエハに形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールは、互いに重なるように接合する。このとき、複数の前記シリコンウエハにそれぞれ形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールの大きさは、前記透明ウエハから遠くに配置されたシリコンウエハほど次第に大きくなるように接合するのが好ましい。

また、本発明のミラーパッケージは、外部からレーザが入射され、映像信号によって外部スクリーンに前記レーザを反射させるミラーを備えたミラーパッケージにおいて、前記ミラーが複数形成されたミラーウエハと、前記ミラーウエハに接合されて前記ミラー部分を密封する透明ウエハと、前記レーザを入射させる入射ホールおよび前記ミラーで反射されたレーザを出射させる出射ホールが形成されており、前記入射ホールおよび前記出射ホールの広く開口した側が前記透明ウエハと接するように前記透明ウエハに接合された非透明ウエハとを含むウエハ構造体から、前記入射ホール、前記出射ホール、および前記ミラーがそれぞれ一つずつ備えるように切断して形成されたことを特徴とする。

このように構成することによって、ミラーパッケージの内部で反射されるレーザの反射光が外部に放出されないようにブロッキングしてゴースト現象を効果的に除去することができ、ガラスを傾けて製造する必要がないため、ウエハレベルパッケージに容易であり、大量生産に適合して生産性を向上させることができる。また、ブロッキングする入射ホールおよび出射ホールの側面壁の厚さを自由に調節することができ、広い範囲で反射される反射光が外部に放出されないようにすることができる。

本発明によると、ミラーパッケージ内部で反射されるレーザの反射光が外部に放出されないようにブロッキングしてゴースト現象を効果的に除去することができる効果がある。

また、従来のように、ゴースト現象を除去するためにガラスを傾けて製造する必要がないため、ウエハレベルパッケージに容易であり、大量生産に相応し、生産性を向上させることができる効果がある。

また、ブロッキングする入射ホールおよび出射ホールの側面壁の厚さを自由に調節することができるため、広い範囲で反射する反射光が外部に放出されないようにする効果がある。

以下、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施形態を詳細に説明するが、本発明が実施形態によって制限されたり限定されるものではない。

一般的に、結晶学上で等方性（ｉｓｏｔｒｏｐｙ）性質を有するシリコンウエハは、エッチングされる様子が連続的な半球状を描きながらエッチングされるが、異方性性質を有するシリコンウエハは、四角錐台型を生成しながらエッチングされる。このような現象は、異方性（ａｎｉｓｏｔｒｏｐｙ）性質を有するシリコンウエハは、その異方性を示すようにエッチングするエッチング溶液を用いてエッチングすることで、面方位（１１１）方向への分解速度が面方位（１００）と（１１０）方向への分解速度より遅い。

一例として、特定のエッチング溶液を用いて湿式エッチングをした場合、面方位（１１１）：（１００）：（１１０）方向へのエッチング速度比は、１：３００〜４００：６００程度である。従って、このようなエッチング速度比によって四角錐台型でエッチングが進行され、水平から側面が傾いた角度は、理論的に５４．７４度をなす。前記５４．７４度という角度は、面方位（１１１）面が有する角度であって、エッチング面が（１１１）面を露出させながらエッチングされると言える。

このような様子を図２に示した。図２は、異方性性質を有するシリコンウエハ１００を湿式エッチングした場合を示した断面図である。ここに示されたように、シリコンウエハ１００は、（１１１）面を露出させながらエッチングされた面とその表面がなす角度θが５４．７４度を形成するようになる。これは、異方性エッチングを遂行した場合に自然に形成される。

本発明は、このような性質を用いたものであり、本発明の様子を図３および図４に示した。図３は、ミラーパッケージの要部を示した斜視図であり、図４は、シリコンウエハとガラスウエハを示した要部断面図である。

ここに示されたように、シリコンウエハ１００には入射ホール１１０と出射ホール１２０が形成される。入射ホール１１０はレーザが入射される入口であり、出射ホール１２０はレーザが出射される出口である。

入射ホール１１０および出射ホール１２０は、エッチングされてあらわれた（１１１）面とシリコンウエハ１００の表面がなす角度θが理論的に５４．７４度をなす。

シリコンウエハ１００はガラスウエハ２００と面接触で接合されるが、この時、シリコンウエハ１００の入射ホール１１０および出射ホール１２０の開口が広く開放された側の面がガラスウエハ２００と接合されるようにする。すなわち、シリコンウエハ１００をエッチングして入射ホール１１０および出射ホール１２０を形成すると、入射ホール１１０および出射ホール１２０の一方の表面（図示上側）が広く開口し、その側面は表面と５４．７４度をなしながら四角錐台型に形成される。このような様子は図２に示されている。

そして、このようなシリコンウエハ１００をエッチング後に裏返し、入射ホール１１０および出射ホール１２０の開口が広い側がガラスウエハ２００と接するように接合する。

前記ガラスウエハ２００は、レーザを映像信号によって外部に反射するミラー２１０および前記ミラー２１０を駆動するミラー駆動ユニット２２０をパッケージング（ｐａｃｋａｇｉｎｇ）して外部の湿気やほこり等から保護する役割をする。前記ガラスウエハ２００は透明材質であり、レーザを透過する。

次に、本発明の変形実施形態として、図５に示されたように、複数のシリコンウエハ１００、１０１を備え、前記複数のシリコンウエハにそれぞれ形成された入射ホール１１１、１１２および出射ホール１２１、１２２が重なるように配置する。すなわち、反射光を外部に放出させないためにその高さを高く形成する必要がある場合には、シリコンウエハを重ねて形成する。

この場合、前記入射ホール１１１、１１２および出射ホール１２１、１２２を湿式エッチングによって形成することもできるが、乾式エッチング（たとえばＲＩＥなどの乾式の異方性エッチング）によって形成することもできる。乾式エッチングによる場合は、図５に示されているとおり、前記入射ホール１１１、１１２および出射ホール１２１、１２２の形状はストレートなものとなる。

乾式エッチングによって入射ホール１１１、１１２および出射ホール１２１、１２２を形成したシリコンウエハ１００および１０１は、入射ホール１１１、１１２および出射ホール１２１、１２２の大きさがガラスウエハ２００から遠くに配置されたシリコンウエハほど次第に小さくなるようにガラスウエハ２００に接合する。

つまり、乾式エッチングによって、シリコンウエハ１０１には入射ホール１１２および出射ホール１２２を形成し、シリコンウエハ１００には、入射ホール１１２および出射ホール１２２より小さい入射ホール１１１および出射ホール１２１を形成して、ガラスウエハ２００にシリコンウエハ１０１、１００の順に接合する。なお、先にシリコンウエハ１０１、１００を接合してから、さらにこれをガラスウエハ２００にシリコンウエハ１０１が接するように接合してもよい。

なお、この変形実施形態においても、前記ガラスウエハ２００は、レーザを映像信号によって外部に反射するミラー２１０および前記ミラー２１０を駆動するミラー駆動ユニット２２０をパッケージング（ｐａｃｋａｇｉｎｇ）して外部の湿気やほこり等から保護する役割をする。前記ガラスウエハ２００は透明材質であり、レーザを透過する。

前述したように、一部のレーザはガラスウエハ２００に反射され、所望する画面以外の画面が形成されるゴースト現象が発生するという問題点を有する。本発明において、ゴースト現象を防止する原理を説明するために、図６および図７を提示する。

図６は、ガラスウエハの前面で反射される反射光のブロッキングの様子を示した斜視図であり、図７は、ガラスウエハの後面で反射される反射光のブロッキングの様子を示した斜視図である。

図６に示されたように、入射レーザ３１０は、入射ホール１１０およびその下部のガラスウエハを経てミラー２１０に反射され、出射ホール１２０を介して外部画面に投射される。この時、入射ホール１１０の表面に反射される第１反射光３２０は、入射ホール１１０の側面壁にブロッキングされて外部に出ることができない。すなわち、従来では、反射光がブロッキングされることができずに出射レーザ３３０と干渉を引き起こしたり、または独自的に外部に投射されて所望しない映像が生成されるという問題点があったが、本入射ホール１１０において異方性エッチングによって傾いた面が第１反射光３２０をブロッキングするため、このような問題点が除去されるようになる。

図７に示されたように、入射ホール１１０の後側表面で反射された第２反射光３４０が入射ホール１１０の側面壁にブロッキングされて外部に出ることができない様子を示したものである。レーザは光の一種であって、ガラスウエハ２００の上側表面においても反射が起こるが、一旦ガラスウエハ２００を透過した光がガラスウエハ２００の下側表面によっても反射される。このような光もブロッキングされるため、ゴースト現象等の所望しない画面の生成を遮断することができるという効果を有する。本実施形態においては、入射ホール１１０によって反射される反射光をブロッキングすることを例として説明したが、シリコンウエハ１００でブロッキングされる光は、本説明以外の反射光や屈折光等と多様である。

以下、本発明の製造方法を説明すると次のようになる。

図８は、シリコンウエハに入射ホールおよび出射ホールを複数形成した様子を示した正面図であり、図９は、シリコンウエハ、ガラスウエハおよびミラーウエハを接合する様子を示した斜視図であり、図１０は、ダイシングラインに沿って切断する様子を示した斜視図である。

まず、図８に示されたように、シリコンウエハ１００を異方性エッチングして入射ホール１１０および出射ホール１２０を形成する。異方性エッチングはＫＯＨ、ＥＤＰ、ＴＭＡＨのいずれか一つを用いて湿式エッチングによって進行することができる。

異方性エッチングによる入射ホール１１０および出射ホール１２０の形状は、前述したように四角錐台型であり、その側面壁の理論的な角度は、表面と５４．７４度をなすようにする。実際には理論とは異なり、様々な要因によって前記入射ホールの側面が前記シリコンウエハの表面となす角度が５０度ないし６０度の間であることがある。

前記入射ホール１１０および出射ホール１２０は、生産性を高めるために複数のセットをシリコンウエハ１００上に形成する。すなわち、ダイシングライン１３０を用いて前記シリコンウエハ１００をいくつかの区画に分けた後、一つの区画に入射ホール１１０および出射ホール１２０が一つずつ備えられるようにする。これは、ウエハレベルパッケージ（ｗａｆｅｒ ｌｅｖｅｌ ｐａｃｋａｇｅ）技法を用いて製造するためである。

ウエハレベルパッケージは、チップ一つ一つをそれぞれ組み立てる形態でウエハ全体を一度に組み立てるものであって、ウエハから切り取られたチップ一つ一つを組み立て包装する既存の方式とは異なり、チップが分離されないウエハ上で複数の製品を製造した後、これをダイシングして同時に複数の製品を生産する工程技術である。本発明は、従来のようにゴースト現象を防止するためにガラスを傾けて製造する必要がないため、ウエハレベルパッケージを用いて生産性を向上させるのが容易である。

次に、図９に示されたように、入射ホール１１０および出射ホール１２０が形成されたシリコンウエハ１００下側にガラスウエハ２００を接合し、前記ガラスウエハ２００下側にミラーが形成されたミラーウエハ２３０を接合してウエハ構造体を形成する。

この時、前記シリコンウエハ１００は、エッチング後に裏返して前記ガラスウエハ２００と接合する。すなわち、上述したように、シリコンウエハ１００をエッチング後に裏返して入射ホール１１０および出射ホール１２０が広く形成されたシリコンウエハ１００の上面がガラスウエハ２００と接合するように結合する。前記ミラーウエハ２３０は、前記シリコンウエハ１００に形成されたダイシングラインに合わせて区画された区域ごとにミラーが形成される。これは、ウエハレベルパッケージを用いて一度に複数の製品を生成するためである。

接合方法としては、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）を用いて接合したり、シリコンウエハ１００とガラスウエハ２００の二つの板を力を込めて接触させた後、高温で高い電圧を加えて化学作用が起き、ボンディングされる陽極接合（ａｎｏｄｉｃ ｂｏｎｄｉｎｇ）を用いて接合する。接合する前には接合される二つの面をポリシングして平坦化するのが好ましい。

前記ガラスウエハの熱膨張係数は、前記シリコンウエハの熱膨張係数を基準として前記ガラスウエハの熱膨張係数と前記シリコンウエハの熱膨張係数との差の絶対値が３０％未満であることが好ましく、より好ましくは１０％未満の範囲内にあることである。

すなわち、（（（シリコンウエハの熱膨張係数）−（ガラスウエハの熱膨張係数））／（シリコンウエハの熱膨張係数））×１００の値の絶対値が３０％未満となることが好ましく、１０％未満となることがより好ましいのである。

具体的には、たとえばシリコンウエハの熱膨脹係数が、添加されている含有物（不純物）の量によって異なるものの、たとえば約２．３×１０^−６（１／Ｋ）である場合、ガラスウエハの熱膨脹係数は、１．６１×１０^−６〜２．９９×１０^−６（１／Ｋ）程度の範囲となるものを用いることが好ましいものとなる。

もちろんこのようなガラスウエハは、使用するシリコンウエハの熱膨脹係数の値によって適宜選択すればよく、シリコンウエハの熱膨脹係数に近いものほど好ましいものとなる。

これは、両ウエハの熱膨張係数の差が前記範囲にあることで、温度変化による体積の変化からミラーパッケージの損傷を防止し、反射光が外部に放出されないことでゴースト現象が除去され、製品の信頼性を確保することができるためである。

なお、ここでは透明ウエハとしてガラスウェハを用いているが、本発明において透明ウエハは、ガラスを素材とするものに限らず、上記熱膨脹係数の範囲内となるような素材からなる透明ウエハであれば利用可能である。具体的には、たとえばガラスウェハの場合は、ガラスの一種としてＢａＯ、Ｂａ_２Ｏ_３を添加したものなどを用いることができ、これら添加物の量や組成、ガラス製造工程の製造条件などによってさまざまな熱膨張係数のものが使用可能である。また、ガラス以外のものとしては、サファイアウエハなども使用可能である。また、ガラス以外の透明ウエハとしては、樹脂素材のものでもよく、たとえば光学レンズなどに使用されているポリオレフィン系の樹脂素材からなる透明ウエハなどを使用することもできる。

一方、入射ホールおよび射出ホールを設けたシリコンウエハについても、シリコンウエハに限らず、たとえば、入射ホールおよび射出ホール以外ではレーザ光が透過しない非透明な素材からなるウエハであればよい。このようなシリコンウエハ以外の非透明ウエハとしては、たとえば、着色したガラスウエハや、ポリオレフィン系の樹脂素材からなるウエハなどが使用可能である。このようなシリコンウエハ以外の非透明ウエハを用いる場合も、透明ウエハとの間で、熱膨張係数を上記範囲内に合わせることが好ましい。

また、このような非透明ウエハとしてガラスウエハや樹脂ウエハを用いる場合に、入射ホールおよび射出ホールの形成は、射出成形により複数の入射ホールおよび射出ホールがある非透明なガラスウエハや樹脂ウエハを形成すればよい。このとき、入射ホールおよび射出ホールの形状は上記したシリコンウエハの場合と同様の形状にすることが好ましい。

なお、非透明ウエハとしてガラスウエハや樹脂ウエハを用いる場合のこれらの透明度は、もっとも好ましくはシリコンウエハ並みに光（レーザ）を透過しない程度とすることであるが、光（レーザ）の乱反射が、パッケージの外に出て、ゴースト現象などとしてスクリーン上にあらわれない程度とすればよく、完全に非透明である必要はない。

次に、図１０に示されたように、接合されたウエハ１００、２００、２３０をダイシングラインに合わせて切断して製品を完成する。

これにより、パッケージ内部において透明な素材であるガラスからの反射光が外部に放出されないため、ゴースト現象が除去されるだけでなく、ガラスが傾かないため、ウエハレベルパッケージで複数の製品を一度に生産することができるため、生産性が高く、製造単価が低いミラーパッケージを提供することができるようになる。

万一、入射ホール１１０の側面壁の厚さを厚くしてさらに広い範囲で反射される反射光が外部に放出されないようにするためには、複数枚のシリコンウエハ１００を積層すれば良い。この場合には、複数枚のシリコンウエハ１００それぞれに形成された入射ホール１１０および出射ホール１２０が同一の形状で形成されることがある。

ただし、この場合には、入射レーザおよび出射レーザが複数枚のシリコンウエハ１００によって妨害されてはいけないため、各入射ホール１１０および出射ホール１２０は同一の形状ではなく、それぞれのシリコンウエハ１００に形成された入射ホール１１０および出射ホール１２０の形状が異なる場合もある。

これをより詳しく説明すると、ガラスウエハと接合する下側シリコンウエハと前記下側シリコンウエハ上に接合する上側シリコンウエハを形成すると、上側シリコンウエハに形成された入射ホールおよび出射ホールは、下側ウエハ上に形成された入射ホールおよび出射ホールよりそれぞれさらに大きく形成されることもある。このように形成し、入射ホールの側面壁の厚さを自由に形成することができ、反射光が外部に放出されてゴースト現象を誘発することを効果的に遮断することができる。

上述したように、本発明の好ましい実施形態を参照して説明したが、該当の技術分野において熟練された当業者にとっては、下記の請求範囲に記載した本発明の思想および領域から逸脱しない範囲内で、本発明の多様な修正および変更が可能であることを理解することができるであろう。

従来のミラーを備えた光スキャナを示した構成図である。 異方性性質を有するシリコンウエハ１００を湿式エッチングした場合を示した断面図である。 ミラーパッケージを示した斜視図である。 シリコンウエハとガラスウエハを示した断面図である。 複数のシリコンウエハおよび乾式エッチングで形成された様子を示した断面図である。 ガラスウエハの前面で反射される反射光のブロッキングの様子を示した斜視図である。 ガラスウエハの後面で反射される反射光のブロッキングの様子を示した斜視図である。 シリコンウエハに入射ホールおよび出射ホールを複数形成した様子を示した正面図である。 シリコンウエハ、ガラスウエハおよびミラーウエハを接合する様子を示した斜視図である。 ダイシングラインに沿って切断する様子を示した斜視図である。

符号の説明

１００、１０１…シリコンウエハ、
１１０、１１１、１１２…入射ホール、
１２０、１２１、１２２…出射ホール、
２００…ガラスウエハ、
２１０…ミラー、
２２０…ミラー駆動ユニット、
２３０…ミラーウエハ、
３１０…入射レーザ、
３２０…第１反射光、
３３０…出射レーザ、
３４０…第２反射光。

Claims (15)

1. 外部からレーザが入射され、映像信号によって外部スクリーンに前記レーザを反射させるミラー構造を備えたミラーパッケージの製造方法において、
   シリコンウエハを提供する段階と、
   前記シリコンウエハを異方性エッチングして前記レーザが通過して入力されることができる入射ホールと、前記レーザが通過して出射されることができる出射ホールを形成する段階と、
   前記シリコンウエハ、透明な材質の透明ウエハ、およびミラーが複数形成されたミラーウエハを接合してウエハ構造体を形成する段階とを有し、
   前記シリコンウエハは、前記入射ホールおよび前記出射ホールの開口が広く形成された面が前記透明ウエハと接するように接合することを特徴とするミラーパッケージの製造方法。
2. 前記シリコンウエハを異方性エッチングして前記入射ホールおよび出射ホールを形成する段階は、水酸化カリウム、エチレンジアミンピロカテコール、ＴＭＡＨのいずれか一つを用いて湿式エッチングすることを特徴とする請求項１に記載のミラーパッケージの製造方法。
3. 前記シリコンウエハは、複数積層されて形成され、それぞれのシリコンウエハに形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールは、互いに重なるように接合することを特徴とする請求項１に記載のミラーパッケージの製造方法。
4. 複数の前記シリコンウエハにそれぞれ形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールの大きさは、前記透明ウエハから遠くに配置された前記シリコンウエハほど次第に小さくなるように形成することを特徴とする請求項３に記載のミラーパッケージの製造方法。
5. 複数の前記シリコンウエハは、それぞれ乾式エッチングによって入射ホールおよび前記出射ホールを形成し、各シリコンウエハに形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールの大きさが前記透明ウエハから遠くに配置された前記シリコンウエハほど次第に小さくなるように接合することを特徴とする請求項３に記載のミラーパッケージの製造方法。
6. 前記シリコンウエハには入射ホールと出射ホールが複数形成され、前記ミラーウエハには前記ミラーが複数形成され、
   前記シリコンウエハ、前記透明ウエハおよび前記ミラーウエハを接合した後、前記入射ホール、出射ホール、およびミラーがそれぞれ一つずつ備えられるように前記シリコンウエハ、前記透明ウエハ、および前記ミラーウエハを接合したウエハ構造体をダイシングする段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のミラーパッケージの製造方法。
7. 前記入射ホールおよび前記出射ホールは、前記シリコンウエハの表面に四角形の開口をなし、四角錐台型のホールとなるように形成することを特徴とする請求項１に記載のミラーパッケージの製造方法。
8. 前記入射ホールの側面が、前記シリコンウエハの表面となす角度が５０度ないし６０度の間であることを特徴とする請求項７に記載のミラーパッケージの製造方法。
9. 前記透明ウエハの熱膨張係数は、前記シリコンウエハの熱膨張係数を基準として前記透明ウエハの熱膨張係数と前記シリコンウエハの熱膨張係数との差の絶対値が３０％未満であることを特徴とする請求項１に記載のミラーパッケージの製造方法。
10. 外部からレーザが入射され、映像信号によって外部スクリーンに前記レーザを反射させるミラーを備えたミラーパッケージにおいて、
    前記ミラーが複数形成されたミラーウエハと、
    前記ミラーウエハに接合されて前記ミラー部分を密封する透明ウエハと、
    前記レーザを入射させる入射ホールおよび前記ミラーで反射されたレーザを出射させる出射ホールが形成されており、前記入射ホールおよび前記出射ホールの広く開口した側が前記透明ウエハと接するように前記透明ウエハに接合された非透明ウエハとを含むウエハ構造体から、
    前記入射ホール、前記出射ホール、および前記ミラーがそれぞれ一つずつ備えるように切断して形成されたことを特徴とするミラーパッケージ。
11. 前記非透明ウエハは複数枚積層されて形成されており、それぞれの非透明ウエハに形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールは、互いに重なるように接合されていることを特徴とする請求項１０に記載のミラーパッケージ。
12. 複数の前記非透明ウエハにそれぞれ形成された前記入射ホールおよび前記出射ホールの大きさは、前記透明ウエハから遠くに配置されているほど次第に小さくなるように配置されていることを特徴とする請求項１１に記載のミラーパッケージ。
13. 前記非透明ウエハは、シリコンウエハからなり、それぞれ乾式エッチングによって前記入射ホールおよび前記出射ホールが形成されており、前記透明ウエハから遠くに配置された前記シリコンウエハほど次第に前記入射ホールおよび前記出射ホールの大きさが小いことを特徴とする請求項１１に記載のミラーパッケージ。
14. 前記非透明ウエハは、シリコンウエハからなり、前記入射ホールおよび前記出射ホールは、湿式エッチングによって形成されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のミラーパッケージ。
15. 前記入射ホールの側面が、前記シリコンウエハの表面となす角度が５０度ないし６０度の間であることを特徴とする請求項１４に記載のミラーパッケージ。

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