JP2007187453A - 細胞電気生理センサとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、安定した流速分布且つ圧力を供給しながら細胞を安定して保持することができる細胞電気生理センサおよびその製造方法を実現することを目的とする。
【解決手段】第一の開口部3と第二の開口部5を有する貫通孔2を設けたダイアフラム1からなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔2の中間部に貫通孔2の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部4を設けるとともに、前記第一および第二の開口部3、5の大きさを細胞8の大きさよりも十分に小さくした構成とする。
【選択図】図3
【解決手段】第一の開口部3と第二の開口部5を有する貫通孔2を設けたダイアフラム1からなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔2の中間部に貫通孔2の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部4を設けるとともに、前記第一および第二の開口部3、5の大きさを細胞8の大きさよりも十分に小さくした構成とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、細胞の電気生理的活動の測定に用いられる細胞電気生理センサとその製造方法に関するものである。
従来、電気生理学におけるパッチクランプ法は、細胞膜に存在するイオンチャンネルを測定する方法として知られており、このパッチクランプ法によってイオンチャンネルの様々な機能が解明されてきた。そして、イオンチャンネルの働きは細胞学において重要な関心ごとであり、これは薬剤の開発にも応用されている。
しかし、一方でパッチクランプ法は測定技術に微細なマイクロピペットを1個の細胞に高い精度で挿入するという極めて高い能力を必要としているため、熟練作業者が必要であり、高いスループットで測定を必要とする場合には適切な方法でない。
このため、微細加工技術を利用した基板型プローブの開発がなされており、これらは個々の細胞についてマイクロピペットの挿入を必要としない自動化システムに適している。例えば、基板の上に設けられた細胞保持手段を備えたウエルと、このウエルの電気信号を検出する測定用電極と、基準電極とを備えた細胞外電位測定用デバイスによって細胞外電位を測定する技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。図7はこの従来の細胞電気生理センサのウエル構造を模式断面図で示したものであり、ウエル20の内部に培養液27が入れられ、被験体細胞26は基板23に設けられた細胞保持手段によって捕捉または保持されている。細胞保持手段は基板23に形成された窪み22および開口部を介してこの窪み22に連絡する貫通孔24を備えた構成となっている。
さらに貫通孔24の内部にはセンサ手段である測定電極25が配置されており、この電極25は配線を経て信号検出部に連結されている。
そして、測定の際には被験体細胞26を貫通孔24から吸引ポンプなどの手段により、この被験体細胞26が窪み22に密着保持される。このようにして被験体細胞26の活動により発生する電気信号はウエル20の内部の培養液27に漏れることなく、貫通孔24に設けた測定電極25と参照電極28によって電位の変化あるいは電流の変化を検出する。
このように、基板23に形成された貫通孔24はガラスピペットにおける先端穴と同様の役割を果たし、高精度な細胞の電気生理現象を記録できるとともに、基板23の裏面側からの吸引によって被験体細胞26が自動的に引きつけられ、被験体細胞26を容易に保持できるという利点を有している。このとき、被験体細胞26が高い密着性を持って保持されることは、低いバックグラウンドノイズでイオンチャンネル活動によって生じる細胞外電位、或いは細胞内電位を測定するためには重要な要素である。
国際公開第02/055653号パンフレット
しかしながら前記従来の構成においては、細胞を固定するための吸引圧力を安定化させる貫通孔の形状について明示されていなかった。細胞の微小な電位変化を測定するには、細胞が安定して保持されることが非常に重要となる。
本発明は、安定した流速分布且つ圧力を供給しながら細胞を安定して保持することができる細胞電気生理センサおよびその製造方法を実現することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明は、第一の開口部と第二の開口部を有する貫通孔を設けたダイアフラムからなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔の中間部に貫通孔の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部を設けるとともに、前記第一および第二の開口部の大きさを細胞の大きさよりも十分に小さくした構成とするものである。
本発明の細胞電気生理センサおよびその製造方法は、流体が空洞部に分散するため、流速分布が第一の開口部よりも均一となり安定化することから空洞部において圧力も安定化し、細胞保持が行われる第二の開口部に安定した流速分布かつ圧力を供給することができる。これによって、細胞を安定して確実に保持することができる細胞電気生理センサおよびその製造方法を実現することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサについて、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサについて、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサの構成を示す上面図であり、図2は図1のA−A部における断面図である。また、図3は細胞の保持状態を説明するための断面図である。
図1〜図3において、1はシリコン基板などのダイアフラムであり、このダイアフラム1の厚み方向に貫通孔2を形成している。そして、ダイアフラム1は第一面6と、第一面6に対向した第二面7を有し、貫通孔2は第一面6から第二面7にかけて貫通している。そして、この貫通孔2の中間部には空洞部4を形成している。従って、ダイアフラム1には少なくとも一つの貫通孔2を有するとともに、第一面6から第二面7にかけて第一の開口部3、空洞部4、第二の開口部5の順に構成している。この空洞部4の最大開口径は第一の開口部3および第二の開口部5の最大開口径よりも大きくしており、少なくとも第二の開口部5の大きさは細胞の大きさよりも十分小さい形状としている。さらにまた、空洞部4は曲面で構成している。
ここで、第二の開口部5の開口径は、測定する細胞8の大きさ、形状、性質によって決定されるが、細胞8が10〜50μm程度の大きさの場合、細胞8が第二の開口部5を通り抜けずに確実に保持される開口径として3μm以下が望ましい。
また第二の開口部5の深さは細胞8の保持を行う時に第二の開口部5のエッジ部が破壊しない厚さとして0.5〜5μmが望ましい。
次に、本発明の細胞電気生理センサの動作について図3を用いて説明する。
図3は第二面7から第二の開口部5において細胞8の保持を行った時の断面図である。まず第二面7に細胞8を培養液9bと共に満たした後、第一面6側の領域を減圧するか、第二面7側の領域を加圧すると、細胞8と第二面7側の培養液9bは貫通孔2に引き込まれ、細胞8は第二の開口部5を塞ぐように保持される。
一方、第一面6側の領域は第二面7側とは異なる、あるいは同じ培養液9aによって満たしておく。
その後、細胞8への刺激となりうる行為を第二面7側から施す。この刺激の種類としては、例えば化学薬品、毒物、などの化学的な刺激に加え、機械的変位、光、熱、電気、電磁波などの物理的な刺激などがある。そして、この細胞8がこれらの刺激に対して活発に反応する場合、例えば細胞8は細胞膜が保有するチャンネルを通じて各種イオンを放出あるいは吸収する。この結果として細胞外の電位が変化し、その変化を電圧あるいは電流の変化として検出することができる。
ここで、図3に示したように第一面6側の領域を矢印の方向に減圧した場合には、第一の開口部3付近の内部での流速は壁面が遅くなり、中心が速くなるという不均一な流速分布の状態となっている(図3のように流速をベクトルで図示し、ベクトルの長さは長いほど流速が速く、短いほど流速が遅いことを表している)。
その後、空洞部4の付近では、流体は空洞部4に分散するため、流速分布が第一の開口部3よりも均一となり安定化する。そして圧力も空洞部4において安定化し、細胞8の保持を行う第二の開口部5に安定した流速分布かつ圧力を供給することができる。これにより、細胞8を安定して確実に保持することができる細胞電気生理センサを実現することができる。
なお、細胞8の保持は第二面7側の領域を加圧することでも行うことができる。
また、第一面6に対して平行方向に流体を流すことによっても第一の開口部3を減圧させることができるが、この場合は第一の開口部3付近の内部での流速分布はより大きく乱れた状態になっている。このような状態に対しても、空洞部4を設けることによって流速分布を均一化させ、細胞8の保持を行う第二の開口部5に安定した流速分布かつ圧力を供給することができ、同様の効果を得ることができる。
また、図1に示したように第二の開口部5の孔形状を円形状とすることによって、エッジ部を有しないことから流体の流れのロスをより少なくすることができる。
また、円の中心に対して同心円状の均一な流速分布となることから、細胞8の保持を行う第二の開口部5に安定した流速分布かつ圧力を供給することができ、同様の効果を得ることができる。
以上のように構成した細胞電気生理センサについて、以下にその製造方法を図面を用いて説明する。
図4〜図6は本発明の実施の形態1における細胞電気生理センサの製造方法を説明するための断面図である。
まず始めに、図4に示すように、第一の開口部3を形成するためのレジストマスク13と、第二の開口部5を形成するためのレジストマスク14をそれぞれ、ダイアフラム1の第一面6と第二面7に形成する。
その後、第一面6側から第一の開口部3のエッチングを所定の深さになるまで行う。このときエッチングの方法としては、ドライエッチングが望ましく、なおかつエッチングガスとしてエッチングを促進するガスとエッチングを抑制するガスを用いることが好ましい。このエッチングを促進するガスにはSF6、CF4などを用いるが、これらはシリコンのエッチングを深さ方向だけではなく、横方向へも促進する作用がある。そこで、CHF3、C4F8等のエッチングを抑制するガスを混合させておくことで、エッチングの壁面にCF2のポリマーである保護膜を作成することから、エッチングをエッチングマスクの下方のみに進行させることが可能となる。
また、別の方法として、エッチング形状をさらに垂直なものにしたい場合には、エッチングを促進するガスによってエッチングを少しだけ行った後、エッチングを抑制するガスによって保護膜を少しだけ形成する工程を繰り返すことで、ほぼ垂直なエッチング形状とすることができる。実験では、大きさ20μmの第一の開口部3を形成するのに、SF6を130sccm流して13秒間プラズマ発生させることで約1μmのエッチングを行い、その後C4F8を85sccm流して7秒間プラズマ発生させて約0.01μmの保護膜を形成し、またエッチングを行うということを約60回繰り返した結果、60μmの深さのほぼ垂直なエッチング形状とすることができた。
なお、エッチングを抑制するガスによって保護膜は第一の開口部3の壁面だけでなく、底面にも形成されるが、底面に形成された保護膜は壁面に形成された保護膜に比べてエッチングを促進するガスによって容易に除去されるので、エッチングは下方のみに進めることができる。
さらに、このときのエッチング工程においては、エッチングを終了する直前はエッチングを抑制するガスによって保護膜を形成することで終了しておけば、第一の開口部3の壁面には確実に保護膜が形成されるので、後のエッチング工程において、空洞部4を形成する際にも第一の開口部3の壁面が侵されることがない。
次に、図5に示すように、ダイアフラム1の下面側から第二の開口部5を形成するためのエッチングを行う。ここでも第一の開口部3を形成する際と同様にエッチングを促進するガスとエッチングを抑制するガスの切り替えによるエッチングを行って壁面をほぼ垂直になるよう形成しておく。
さらに、第一の開口部3の場合と同様に、エッチングを終了する直前にはエッチングを抑制するガスによって保護膜を形成して終了しておく。これにより、第二の開口部5の壁面にも保護膜が確実に形成されるので、後のエッチング工程において空洞部4を形成する際にも第二の開口部5壁面が侵されることがない。
次に、図6に示すように第一の開口部3側から、エッチングを促進するガスのみを用いてエッチングを行う。先ほどの工程で、第一の開口部3の壁面には保護膜が形成されているので、壁面はエッチングによって侵されることなく、下方にエッチングが進むが、新しくエッチングされたところには保護膜が形成されないので、横方向にもエッチングが進むことになり、結果的に図6に示すように、第一の開口部3と第二の開口部5の間に球状の空洞部4が形成される。このエッチング量を適当な量行えば、空洞部4の形状は曲面を持った空洞部4を形成することができ、流体の流れをよりスムーズに行うことができる。
なお、空洞部4のエッチングの際には第二の開口部5側に貫通された後も第二の開口部5の壁面にも保護膜が形成されているので、空洞部4の大きさが所望の大きさとなるまでしばらくエッチングを続けても、第二の開口部5の壁面が侵されることはない。ここで、あまりエッチングを続けると、横方向のみではなく、図6の点線に示すように全体に広がった形状となるので、適当なところで止める必要がある。なお、この工程におけるエッチングを促進するガスはSF6、CF4が利用できるが、望ましくはXeF2がもっとも適している。これはこのガスでは保護膜がほとんどエッチングされないので、壁面をほとんど侵すことなく空洞部4を形成することが可能なのである。ただし、このガスの場合は、前工程で形成されたエッチング底面の保護膜をエッチングする速度も遅くなるので、これを回避するため、XeF2によるエッチングをする前にSF6、CF4、Arガスなどを用いて底面の保護膜のみをエッチングすればよい。
なお、本実施の形態1では第一の開口部3、第二の開口部5、空洞部4の順番でエッチングを行ったが、この順番は、第二の開口部5、第一の開口部3、空洞部4の順番、あるいは第一の開口部3、空洞部4、第二の開口部5の順番でも可能である。
本発明の細胞電気生理センサおよびその製造方法は、細胞を固定する際の流速分布かつ圧力が貫通孔内の形状を変えることによって均一化するため、安定した細胞測定を行うのに有用である。
1 ダイアフラム
2 貫通孔
3 第一の開口部
4 空洞部
5 第二の開口部
6 第一面
7 第二面
8 細胞
9a、9b 培養液
13 レジストマスク
14 レジストマスク
2 貫通孔
3 第一の開口部
4 空洞部
5 第二の開口部
6 第一面
7 第二面
8 細胞
9a、9b 培養液
13 レジストマスク
14 レジストマスク
Claims (7)
- 第一の開口部と第二の開口部を有する貫通孔を設けたダイアフラムからなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔の中間部に貫通孔の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部を設けるとともに、前記第一および第二の開口部の大きさを細胞の大きさよりも十分に小さくした細胞電気生理センサ。
- 第一の開口部および第二の開口部の大きさを3μm以下とした請求項1に記載の細胞電気生理センサ。
- 第二の開口部からの貫通孔の深さを0.5〜5.0μmとした請求項1に記載の細胞電気生理センサ。
- 第二の開口部の孔形状を円形状とした請求項1に記載の細胞電気生理センサ。
- 第一の開口部と第二の開口部を有する貫通孔を設けたダイアフラムからなる細胞電気生理センサであって、前記貫通孔の中間部に貫通孔の開口径よりも大きな開口径を有する空洞部を設けるとともに、前記第一および第二の開口部の大きさを細胞の大きさよりも十分に小さくした細胞電気生理センサの製造方法であって、
前記ダイアフラムの第一面に第一の開口部を有する貫通孔の一部をエッチングするためのマスクをフォトリソによって形成する工程と、この第一の開口部用のマスクを用いて第一の開口部をエッチングを抑制するガスとエッチングを促進するガスの二種類を用いてドライエッチングによって形成する工程を経た後、前記ダイアフラムの第二面に第二の開口部をエッチングするためのマスクをフォトリソによって形成する工程と、この第二の開口部のマスクを用いて第二の開口部をエッチングを抑制するガスとエッチングを促進するガスの2種類を用いてドライエッチングによって貫通孔を形成する工程を備え、さらにこの後、第一の開口部あるいは第二の開口部側からエッチングを促進するガスのみを用いてエッチングを行って貫通孔の中間部に空洞部を形成する工程からなる細胞電気生理センサの製造方法。 - エッチングを促進するガスはSF6、CF4、XeF2のうちいずれか一つまたは混合であり、エッチングを抑制するガスはCHF3、C4F8のうちのいずれか一つまたは混合ガスである請求項5に記載の細胞電気生理センサの製造方法。
- 第一の開口部および第二の開口部をエッチングする工程において、エッチングを終了する直前においては、エッチングを抑制するガスのみを流して生成物を貫通孔の壁面に形成する請求項5に記載の細胞電気生理センサの製造方法。
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JP2006003376A JP2007187453A (ja) | 2006-01-11 | 2006-01-11 | 細胞電気生理センサとその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007192764A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 細胞電気生理センサとその製造方法 |
-
2006
- 2006-01-11 JP JP2006003376A patent/JP2007187453A/ja active Pending
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JP2007192764A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 細胞電気生理センサとその製造方法 |
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