JP2007178299A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも駆動電極4、5、モニタ電極6、検出電極7、8の上部電極を有する振動素子1と、振動素子1のモニタ電極6及び駆動電極4、5に接続された駆動系回路2と、振動素子1の検出電極7、8に接続された検出系回路3とを備え、前記上部電極と下部電極9間の容量を介して前記下部電極9へ入力信号を与えることにより、上部電極に接続された駆動系回路2と検出系回路3における電圧レベルが変動する。この電圧レベルに対し、レベル監視回路に閾値を設け電圧を監視することにより、駆動系及び検出系電線の断線を同時に検出することができる。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の一実施の形態における角速度センサブロック図、図2は図1におけるA−A断面図、図3は断線検出時の本発明の角速度センサブロック図、図4は振動素子及びレベル調整回路を含めた等価回路図である。
2 駆動系回路
3 検出系回路
4、5 駆動電極
6、18 モニタ電極
7、8、19 検出電極
9、12、17 下部電極
10 切り替え部
11 上部電極
13 圧電薄膜
14 振動素子1のアーム
15 基準電圧供給部
16 電極間容量
20 駆動系回路2におけるレベル調整回路出力
21 検出系回路3におけるレベル調整回路出力
22、23 電極間容量
24、25 アナログGND
26、27 可変抵抗
28 駆動系回路2におけるレベル調整回路
29 検出系回路3におけるレベル調整回路
Claims (3)
- 少なくとも駆動電極、モニタ電極、検出電極の上部電極を有する振動素子における下部電極へ入力信号を与えることにより、前記下部電極と前記上部電極間に発生する容量を介してモニタ電極に接続された駆動系回路及び検出電極に接続された検出系回路に電流が流れ、このときの前記駆動系回路及び前記検出系回路の電圧レベルを監視することにより、前記振動素子と駆動系回路及び検出系回路間の断線を同時に検出するよう構成した角速度センサ。
- 断線検出に用いられる入力信号として、駆動系回路及び検出系回路を含む回路部の内部発振クロックを用い振動素子の駆動系回路及び検出系回路間の断線を同時に検出するよう構成した請求項1記載の角速度センサ。
- 断線検出に用いられる入力信号のレベルを駆動系回路及び検出系回路におけるレベル調整回路にて調整可能に構成した請求項1記載の角速度センサ。
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