JP2000002543A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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Abstract
手段側へ流出入しないように抑制することでセンサの出
力電圧のオフセットの発生を抑えることが可能な角速度
センサを提供することを目的とする。 【解決手段】 基準電圧生成手段32と励振部50、振
動レベルを検出する手段60及びコリオリ力を検出する
検出手段70,80の共通端子としての支持ピン2との
間に前記支持ピン2から流出入する電流を前記基準電圧
生成手段32側へ流出入しないように抑制するバッファ
37とを備えるものである。
Description
るものである。
ようなものが提案されている。図3において、金属製の
支持ピン101がウェイト板(図示せず)に垂直に圧入
され固定されており、この支持ピン101に対して直交
する方向に金属製の支持ピン102の一端が圧入され固
定されている。共通端子も兼ねるこの支持ピン102の
他端に金属製のブロック103が半田により固定されて
いる。この金属製のブロック103の両端には振動板1
04,105が固定されている。振動板104には圧電
素子106が貼付され励振部150が構成され、振動板
105には圧電素子107が貼付され振動レベルを検出
する手段160が構成されている。振動板104の先は
圧電素子106と直交するように振動板104が延長さ
れ検知板108となり、振動板105の先は圧電素子1
07と直交するように振動板105が延長され検知板1
09となる。検知板108,109にはそれぞれ圧電素
子110,111が貼付され角速度に応じて生ずるコリ
オリ力を検出する検出手段170,180が構成されて
いる。以上により、音叉構造振動型角速度センサ素子ブ
ロック112が完成する。
動板105上の振動レベルを検出する圧電素子107か
らの出力信号を増幅するカレントアンプ回路120と、
このカレントアンプ回路120の出力信号をバンドパス
フィルタ(以下、BPFと略す)回路121に入力し、
このBPF回路121からの出力信号(即ちA点の信号
電圧波形は、図4に示す)を整流し直流電圧を得る全波
整流回路122と、この全波整流回路122からの出力
信号の値に応じて前記BPF回路121からの出力信号
に対する増幅度が変化する自動利得制御回路(以下、A
GCと略す)123と、このAGC123からの出力信
号の値に応じて振動板104上に貼付された圧電素子1
06を駆動するためのドライバ回路124(これからの
出力信号、即ちB点の信号電圧波形は、図4に示す)
と、角速度に応じて生ずるコリオリ力を検出する圧電素
子110,111からの出力信号を入力し増幅するため
のチャージアンプ回路125と、このチャージアンプ回
路125の出力信号をBPF回路126に入力し、この
BPF回路126からの出力信号を検波するための同期
検波回路127と、この同期検波回路127からの出力
信号をローパスフィルタ(以下、LPFと略す)回路1
28に入力し、このLPF回路128からの出力信号が
センサ出力端子129から出力される。
準電圧生成手段132が構成されており、この基準電圧
生成手段132から前記各回路へ配線抵抗133(抵抗
値R1とする)を通して基準電圧が供給される。
配線抵抗133、配線抵抗134(抵抗値R2とする)
を介して支持ピン102に接続するための端子135が
設けられている。以上により、駆動回路136が構成さ
れる。
ブロック112と駆動回路136により角速度センサが
完成する。
常の音叉振動状態の時にもドライバ回路124から励振
部150を通り、端子135を経由して基準電圧生成手
段132に向かって交流電流iが流れる。
より駆動回路136も1チップにIC化されるため、配
線パターンも必然的に狭幅化となり配線抵抗133,1
34の各抵抗値もそれぞれ大きくなる。
では、(R1+R2)・iで規定される大きな電圧リッ
プルが発生する(この電圧リップルはC点にて観察さ
れ、その信号電圧波形を、図4に示す)。
端子135の電圧との間に著しい差異が発生し、その結
果として圧電素子110,111から変位電流(この変
位電流はD点にて観察され、その信号電流波形を、図4
に示す)が流れる。この変位電流はチャージアンプ回路
125に入力され、その出力信号電圧はE点に現れる
(その信号電圧波形を、図4に示す)。しかし、この信
号電圧は同期検波回路127のタイミング信号でもある
A点の信号電圧波形と同位相であるため、同期検波でカ
ットされずに同期検波回路127から出力信号となって
F点に現れる(その信号電圧波形を、図4に示す)。こ
の出力信号はLPF回路128を通り、最終的にオフセ
ット電圧(このオフセット電圧はG点にて観察され、図
4に示す通りである)となって出力端子129に現れ
る。このオフセット電圧△Vは、(1)式に示す通りで
ある。
F) また、配線抵抗133の部分でもR1・iで規定される
大きな電圧リップルが発生しているため、各回路へ入力
される基準電圧の変動も起こる。
あり、共通端子から流出入する電流を基準電圧生成手段
側へ流出入しないように抑制することでセンサの出力電
圧のオフセットの発生を抑えることが可能な角速度セン
サを提供することを目的とする。
に本発明の角速度センサは、振動体に振動を与える励振
部と、振動体の振動レベルを検出する手段と、角速度に
応じて生ずるコリオリ力を検出する検出手段と、前記振
動レベルを検出する手段の出力信号を増幅するカレント
アンプ回路と、このカレントアンプ回路の出力信号をバ
ンドパスフィルタ回路に入力し、このバンドパスフィル
タ回路からの出力信号を整流し直流電圧を得る全波整流
回路と、この全波整流回路からの出力信号の値に応じて
前記バンドパスフィルタ回路からの出力信号に対する増
幅度が変化する自動利得制御回路と、この自動利得制御
回路からの出力信号の値に応じて前記励振部を駆動する
ためのドライバ回路と、前記コリオリ力を検出する検出
手段により検出された信号を入力し増幅するためのチャ
ージアンプ回路と、このチャージアンプ回路の出力信号
をバンドパスフィルタ回路に入力し、このバンドパスフ
ィルタ回路からの出力信号を検波するための同期検波回
路と、この同期検波回路からの出力信号をローパスフィ
ルタ回路に入力し、このローパスフィルタ回路からの出
力信号が出力されるセンサ出力端子と、基準電圧生成手
段と、この基準電圧生成手段と前記励振部、前記振動レ
ベルを検出する手段及び前記コリオリ力を検出する検出
手段の共通端子との間に前記共通端子から流出入する電
流を前記基準電圧生成手段側へ流出入しないように抑制
するバッファとを備えた構成とするものである。この構
成により、センサの出力電圧のオフセットの発生を抑え
ることが可能な角速度センサを実現できる。
は、基準電圧生成手段と励振部、振動レベルを検出する
手段及びコリオリ力を検出する検出手段の共通端子との
間に前記共通端子から流出入する電流を前記基準電圧生
成手段側へ流出入しないように抑制するバッファとを備
えているため、前記共通端子から流出入する電流を前記
基準電圧生成手段側へ流出入しないように抑制すること
ができ、センサの出力電圧のオフセットの発生を抑える
ことが可能となるといった作用を有する。
の発明において、バッファへ入力される基準電圧が、各
回路へ基準電圧を供給する基準電圧生成手段の出力電圧
であるため、部品点数の削減を図ってもセンサの出力電
圧のオフセットの発生を抑えることが可能となるといっ
た作用を有する。
1、図2を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の角速度センサの実施の
形態を説明するブロック図である。図2は図1における
各部の信号波形を説明するための図である。
イト板(図示せず)に垂直に圧入され固定されており、
この支持ピン1に対して直交する方向に金属製の支持ピ
ン2の一端が圧入され固定されている。この支持ピン2
の他端に金属製のブロック3が半田により固定されてい
る。この金属製のブロック3の両端には振動板4,5が
固定されている。振動板4には圧電素子6が貼付され励
振部50が構成され、振動板5には圧電素子7が貼付さ
れ振動レベルを検出する手段60が構成されている。振
動板4の先は圧電素子6と直交するように振動板4が延
長され検知板8となり、振動板5の先は圧電素子7と直
交するように振動板5が延長され検知板9となる。検知
板8,9にはそれぞれ圧電素子10,11が貼付され角
速度に応じて生ずるコリオリ力を検出する検出手段7
0,80が構成されている。以上により、音叉構造振動
型角速度センサ素子ブロック12が完成する。
5上の振動レベルを検出する圧電素子7からの出力信号
を増幅するカレントアンプ回路20と、このカレントア
ンプ回路20の出力信号をバンドパスフィルタ(以下、
BPFと略す)回路21に入力し、このBPF回路21
からの出力信号(即ちH点の信号電圧波形は、図2に示
す)を整流し直流電圧を得る全波整流回路22と、この
全波整流回路22からの出力信号の値に応じてBPF回
路21からの出力信号に対する増幅度が変化する自動利
得制御回路(以下、AGCと略す)23と、このAGC
23からの出力信号の値に応じて振動板4上に貼付され
た圧電素子6を駆動するためのドライバ回路24(これ
からの出力信号、即ちI点の信号電圧波形は、図2に示
す)と、角速度に応じて生ずるコリオリ力を検出する圧
電素子10,11からの出力信号を入力し増幅するため
のチャージアンプ回路25と、このチャージアンプ回路
25の出力信号をBPF回路26に入力し、このBPF
回路26からの出力信号を検波するための同期検波回路
27と、この同期検波回路27からの出力信号をローパ
スフィルタ(以下、LPFと略す)回路28に入力し、
このLPF回路28からの出力信号がセンサ出力端子2
9から出力される。
圧生成手段32が構成されており、この基準電圧生成手
段32から前記各回路へ配線抵抗33(抵抗値R3とす
る)を通して基準電圧が供給される。以上により、基本
駆動回路35は完成する。
成手段32から配線抵抗33、配線抵抗34(抵抗値R
4とする)及び端子36を介して支持ピン2に接続する
間にバッファ37が設けられている。これらにより本角
速度センサが完成する。
前記振動レベルを検出する手段60及び前記コリオリ力
を検出する検出手段70,80の共通端子としての支持
ピン2から流出入する電流が前記基準電圧生成手段32
側へ流出入するのを抑制する。
(R3+R4)・iにより規定される電圧リップルは僅
かしか発生しない(この電圧リップルはJ点にて観察さ
れ、その信号電圧波形を、図2に示す)。これにより、
各回路へ入力される基準電圧と支持ピン2との間の電圧
差は僅かとなり、圧電素子10,11からの変位電流
(この変位電流はK点にて観察され、その信号電流波形
を、図2に示す)も僅かとなる。
力信号電圧(この出力信号、即ちL点の信号電圧波形
を、図2に示す)も小さくなる。これ以降の同期検波回
路27、LPF回路28のそれぞれの出力信号電圧(こ
れらの出力信号、即ちM点、N点の信号電圧波形は、図
2に示す)も同様に小さくなる。即ち、最終的なオフセ
ット電圧△Vは極めて小さい。
iで規定される圧電リップルも極めて小さくなり、各回
路へ入力される基準電圧も安定し各回路動作の安定性も
高い。
電圧の供給を配線抵抗33と配線抵抗34の接続点から
行なう例に関して説明したが、配線抵抗33と配線抵抗
34を流れる電流は極めて僅かであるため配線抵抗34
以降の点から供給しても構わない。
圧を供給する基準電圧生成手段と共通端子としての支持
ピンとの間にバッファを設ける構成について説明した
が、これとは別の専用の基準電圧生成手段と共通端子と
しての支持ピンとの間にバッファを設ける構成でも当然
構わない。
角速度センサ素子ブロックとして振動板に圧電素子を貼
付した構成の例のみについて説明したが、必ずしもこれ
に限定されるものではなく単結晶圧電材料、多結晶圧電
材料等からなる音叉振動体であっても構わない。また、
振動体としては必ずしも従来のような音叉構造振動型に
限定されるものでもない。
段と励振部、振動レベルを検出する手段及びコリオリ力
を検出する検出手段の共通端子との間に前記共通端子か
ら流出入する電流を前記基準電圧生成手段側へ流出入し
ないように抑制するバッファとを備えることにより、セ
ンサの出力電圧のオフセットの発生を抑えることができ
る角速度センサを提供可能である。
ブロック図
Claims (2)
- 【請求項1】 振動体に振動を与える励振部と、振動体
の振動レベルを検出する手段と、角速度に応じて生ずる
コリオリ力を検出する検出手段と、前記振動レベルを検
出する手段の出力信号を増幅するカレントアンプ回路
と、このカレントアンプ回路の出力信号をバンドパスフ
ィルタ回路に入力し、このバンドパスフィルタ回路から
の出力信号を整流し直流電圧を得る全波整流回路と、こ
の全波整流回路からの出力信号の値に応じて前記バンド
パスフィルタ回路からの出力信号に対する増幅度が変化
する自動利得制御回路と、この自動利得制御回路からの
出力信号の値に応じて前記励振部を駆動するためのドラ
イバ回路と、前記コリオリ力を検出する検出手段により
検出された信号を入力し増幅するためのチャージアンプ
回路と、このチャージアンプ回路の出力信号をバンドパ
スフィルタ回路に入力し、前記バンドパスフィルタ回路
からの出力信号を検波するための同期検波回路と、この
同期検波回路からの出力信号をローパスフィルタ回路に
入力し、このローパスフィルタ回路からの出力信号が出
力されるセンサ出力端子と、基準電圧生成手段と、この
基準電圧生成手段と前記励振部、前記振動レベルを検出
する手段及び前記コリオリ力を検出する検出手段の共通
端子との間に前記共通端子から流出入する電流を前記基
準電圧生成手段側へ流出入しないように抑制するバッフ
ァとを備えた角速度センサ。 - 【請求項2】 バッファへ入力される基準電圧は、各回
路へ基準電圧を供給する基準電圧生成手段の出力電圧で
ある請求項1に記載の角速度センサ。
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