JP2007173513A - 面発光型半導体レーザ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 VCSEL100は、基板102上に、n型のバッファ層104、n型の下部DBR106、活性領域108、電流狭窄層110、p型の上部DBR112、p型のGaAsコンタクト層114を含む半導体層が積層され、レーザ光を出射するポストPとパッド形成領域118とが半導体層に形成された溝116によって分離されている。そして、パッド形成領域118の外縁に、半導体槽をエッチングし基板に至る深さを有する外周溝140が形成され、外周溝140によって露出されたパッド形成領域の側面および表面(コンタクト層114)が層間絶縁膜120によって覆われている。
【選択図】 図3
Description
104:バッファ層 106:下部DBR
108:活性領域 110:電流狭窄層
112:上部DBR 114:コンタクト層
116:溝 118:パッド形成流域
120:層間絶縁膜 130:p側上部電極
132:開口 134:電極パッド
136:配線電極 140:外周溝
150:n側下部電極 P:ポスト
S:ダイシング面
Claims (18)
- 基板上に、少なくとも第1導電型の第1の半導体多層膜、活性領域、第1の半導体多層膜とともに共振器を構成する第2導電型の第2の半導体多層膜、及びコンタクト層を含む半導体層が積層され、レーザ光を出射する発光部とパッド形成領域とが前記半導体層に形成された溝によって分離された面発光型半導体レーザ装置であって、
前記パッド形成領域の外縁に、前記半導体層をエッチングし基板に至る深さを有する外周溝が形成され、前記外周溝によって露出されたパッド形成領域の側面およびパッド形成領域の表面が絶縁膜によって覆われている、面発光型半導体レーザ装置。 - 前記外周溝は、基板を切断するときのダイシング領域である、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記絶縁膜は、前記外周溝において基板を露出させるようにパターニングされている、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記絶縁膜は、前記パッド形成領域と同時に、前記発光部および前記溝を覆い、前記発光部の絶縁膜にはコンタクトホールが形成されている、請求項1ないし3いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記発光部には、レーザ光を出射する開口が形成された金属層が形成され、前記金属層は、前記コンタクトホールを介してコンタクト層に接続されている、請求項4に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記第1および第2の半導体多層膜は、Alを含むIII−V族半導体層から構成され、前記コンタクト層はGaAs層から構成される、請求項1ないし5いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記発光部は、Alを含む半導体層の一部が選択的に酸化された電流狭窄層を含む、請求項6に記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 前記パッド形成領域には、前記絶縁膜を介して電極パッドが形成され、電極パッドは、金属配線により発光部の金属層に接続されている、請求項1ないし7いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置。
- 請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ装置と光学部材を実装したモジュール。
- 請求項9に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を光媒体を介して送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項9に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項9に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信システム。
- 請求項9に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
- 基板上に、少なくとも第1導電型の第1の半導体多層膜、活性領域、第1の半導体多層膜とともに共振器を構成する第2導電型の第2の半導体多層膜、及びコンタクト層を含む半導体層を積層するステップと、
前記半導体層上に第1のマスクパターンを形成し、第1のマスクパターンを用いて前記半導体層をエッチングし、発光部を規定する第1の溝を形成するステップと、
前記半導体層上に第2のマスクパターンを形成し、第2のマスクパターンを用いて前記半導体をエッチングし、ダイシング領域を規定する第2の溝を形成するステップと、
少なくとも第1の溝および第2の溝を含む前記半導体層上に絶縁膜を形成するステップと、
前記絶縁膜をパターニングし、前記発光部の前記絶縁膜にコンタクトホールを形成するステップと、
前記コンタクトホールを介して前記コンタクト層に接続される上部電極パターンを形成するステップと、
第2の溝に沿って前記基板を切断するステップと、
を有する面発光型半導体レーザ装置の製造方法。 - 前記第2の溝は、コンタクト層から基板に至る深さを有する、請求項14に記載の製造方法。
- 前記絶縁膜をパターニングするとき、第2の溝内の絶縁膜の一部を除去し基板の一部を露出させる、請求項14に記載の製造方法。
- 前記切断するステップは、前記絶縁膜によって露出された基板領域を切断する、請求項14に記載の製造方法。
- 前記半導体層は、第1および第2の半導体多層膜の間に電流狭窄層を含み、前記製造方法は、第1の溝を形成後に電流狭窄層を酸化するステップを含む、請求項14に記載の製造方法。
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