JP2007164085A - 近接露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光制御用シャッターを開く(ステップS2)。次いで、露光時間の半分の時間帯まで露光用の光をマスクに向けて照射する(第1の露光工程:ステップS4、6)。次いで。前記露光制御用シャッターを閉じる(ステップS8)。次いで、マスクを水平方向に微小に移動させる(ずらし工程:ステップS12)。次いで、露光制御用シャッターを開く(ステップS14)。次いで、露光時間の残りの半分の時間帯まで前記露光用の光を前記マスクに向けて照射する(第2の露光工程:ステップS16、18)。
【選択図】図3
Description
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、マスクの露光パターンが描かれている領域に小さな疵や小さなゴミ等の不純物が付いていても、露光転写される基板のパターン欠けを防止し、歩留りを向上させることができる近接露光方法を提供することを目的とする。
図1は、大型の基板上にマスクの露光パターンを分割して近接露光するステップ式近接露光装置を示すものであり、板状の基板Wを保持するワークステージ10と、この基板Wにマスクパターンを転写するためのマスクMを保持するマスクステージ20と、そのマスクMに描かれたマスクパターンをその基板W上に露光転写する照射部30と、制御装置60とから主に構成されている。
マスクステージ20は、ワークステージ10側の装置ベース40から伸びるステージ支持台41,41,41,41に支持されたマスクベース21の中央に矩形状の開口22を備えると共に、その開口42内に、所定のマスクMを保持するためのマスク保持枠23を可動自在に備えた構成となっている。
また、上下微動機構15は、モータ15aと、ボールねじ15bと、くさび状ナット15cとを組み合わせてなる可動くさび機構を備えており、Z軸粗動ステージ14上に設置したモータ15aによってボールねじ15bを回転駆動させ、そのボールねじ15bに螺合したくさび状ナット15cの斜面をZ軸微動ステージ16の下面に突設したくさび15dの斜面と係合させることでZ軸微動ステージ16をZ軸方向に細かく昇降調整させるようになっている。尚、この上下微動機構15は、Z軸微動ステージ16のY軸方向の一端側(図の手前側)に2台、他単側に1台合計3台設置され、それぞれが独立に駆動制御されるようになっており、これにより、この上下微動機構15は、チルト機構をも備えているので、マスクMと基板Wとの平行度が狂っている状態であっても隙間を3カ所で微調整することにより、マスクMと基板Wとを平行かつ所定の隙間を介して対向するように調整できるようになっている。
ここで、上記のステップ式近接露光装置は、複数ステップで近接露光を行うが、各ステップ毎に図3で示す露光動作を行なものとする。また、図3の露光動作を行なう前に、制御装置60が、アライメントカメラ27、ギャップセンサ26、レーザ干渉計53,54の検出信号に基づき、マスク位置調整機構12を駆動制御してワークステージ10に対するマスクMの初期位置を合わせ、上下粗動装置13、上下微動装置15を駆動制御してマスクMと基板Wとの対向面間のすき間を所定量に微調整する。
図3の処理動作では、先ず、ステップS2において露光制御用シャッター37の開制御を行なう。
次にステップS6に移行し、タイマ62が露光時間10秒の半分(5秒)に達しているか否かを判定し、タイマ62が5秒に達している場合にはステップS8に移行し、タイマ62が5秒に達していない場合には、ステップS4に移行する。
そして、ステップS8では、露光制御用シャッター37の閉制御を行なう。
次にステップS16に移行し、タイマ62のカウントを行う。
次にステップS18に移行し、タイマ62が露光時間(10秒)に達しているか否かを判定し、タイマ62が10秒に達している場合にはステップS20に移行し、タイマ62が10秒に達していない場合には、ステップS16に移行する。
次にステップS22に移行し、タイマ62のゼロクリアを行なってから処理を終了する。
なお、本実施形態のステップS2からステップS6が本発明の第1の露光工程に相当し、ステップS12が本発明のずらし工程、ステップS14からステップS18が本発明の第2の露光工程に相当する。
マスクMの露光パターンが描かれている領域に、小さな疵や小さなゴミ等の不純物が付いている場合がある。このように、マスクMに不純物が付着した状態で露光動作を行なうと、図4(a)に示すように、マスクMに付着した不純物が光源31の光を遮り、露光のため光量が不足することによって基板Wにパターン欠けが発生するおそれがある。
なお、本実施形態では、ずらし露光を行なった分だけ基板Wのパターン領域が広がるが、広がったパターン領域の外縁部は、近接露光の歩留りに影響しないような部分であればよい。
なお、図5の露光動作を行なう前も、照射部30の光源31から光が照射されているとともに、露光制御用シャッター37が閉制御されているものとする。また、本実施形態の露光時間も10秒とする。
第2実施形態の露光動作では、先ず、ステップS30において露光制御用シャッター37の開制御を行なう。
次にステップS34に移行し、タイマ62が4.5秒に達しているか否かを判定し、タイマ62が4.5秒に達している場合にはステップS38に移行し、タイマ62が4.5秒に達していない場合には、ステップS32に移行する。
そして、ステップS38では、マスク位置調整機構25の駆動によりマスクMを水平方向に微小移動を開始する。なお、このマスクMの水平方向微小移動開始は、次に移行するステップS40,ステップS42と並行して略1秒間行われる。
次にステップS42に移行し、タイマ62が露光時間(10秒)に達しているか否かを判定し、タイマ62が10秒に達している場合にはステップS44に移行し、タイマ62が10秒に達していない場合には、ステップS40に移行する。
そして、ステップS44では、露光制御用シャッター37の閉制御を行なう。
次にステップS46に移行し、タイマ62のゼロクリアを行なってから処理を終了する。
なお、本実施形態のステップS38が本発明のずらし工程に相当する。
本実施形態も、露光時間の中間の時間帯にマスクMのずらし露光を行なうことで、図6に示すように、基板Wの不純物に遮られる部分の光量が他の部分の光量と比較して減少するが許容範囲内の光量となるので、基板Wのパターン欠けを防止することができ、それにより、近接露光の歩留りを向上させることができる。
また、基板W上の、形成されるパターンのエッジの位置に相当する部分をまたぐ方向のずらし露光による積算露光量の分布が連続的になる点でも、特に比較的微小移動量を大きく設定する必要がある場合では、第1実施形態より好ましい。
必要な積算露光量が得られるための露光時間は、前記積算露光量を基板W上の露光面での照度の値で割ることにより求められる。したがって、上記第2実施形態は、全露光時間に対しずらし露光の時間の占める割合が大きくとれる条件では、タクトタイムを短縮するのに、より有利となる。
また、第1及び第2実施形態では、一方向のステップ送りを行なうステップ式近接露光装置について述べたが、本発明は、ステップ送りを行なわない近接露光装置や、X軸方向及びY軸方向の2次元のステップ送りを行なえるステップ式近接露光装置にも適用可能である。
25 マスク位置調整機構(マスク保持手段)
31 光源(照射手段)
37 露光制御用シャッター
60 制御装置
62 タイマ
M マスク
W 基板
Claims (2)
- 被露光材としての基板を基板保持手段で保持し、露光パターンを有するマスクをマスク保持手段で保持するとともに、前記基板保持手段及び前記マスク保持手段の動作により前記基板及び前記マスクを近接して配置し、所定の露光時間の間、照射手段から露光用の光をマスクに向けて照射することにより、前記マスクの露光パターンを前記基板に露光転写するようにした近接露光方法において、
前記露光時間の半分の時間帯まで前記露光用の光を前記マスクに向けて照射する第1の露光工程と、
この第1の露光工程の後に、前記露光用の光を前記マスクに向けて照射しない状態で、
前記基板保持手段及び前記マスク保持手段の少なくとも一方の動作によって前記マスク及び前記基板の一方を水平方向に微小に移動させるずらし工程と、
このずらし工程の後に、前記露光時間の残りの半分の時間帯まで前記露光用の光を前記マスクに向けて照射する第2の露光工程とを備えていることを近接露光方法。 - 被露光材としての基板を基板保持手段で保持し、露光パターンを有するマスクをマスク保持手段で保持するとともに、前記基板保持手段及び前記マスク保持手段の動作により前記基板及び前記マスクを近接して配置し、所定の露光時間の間、照射手段から露光用の光をマスクに向けて照射することにより、前記マスクの露光パターンを前記基板に露光転写するようにした近接露光方法において、
前記露光時間の全ての時間帯で前記露光用の光を前記マスクに向けて照射するとともに、
前記露光時間の途中において、前記基板保持手段及び前記マスク保持手段の少なくとも一方の動作によって前記マスク及び前記基板の一方を水平方向に微小に移動させるずらし工程を行なうことを特徴とする近接露光方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010237498A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Hitachi High-Technologies Corp | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板移動方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
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2005
- 2005-12-16 JP JP2005363585A patent/JP2007164085A/ja active Pending
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