JP2007163927A

JP2007163927A - Color filter, electrooptical device, electronic equipment and method of manufacturing color filter

Info

Publication number: JP2007163927A
Application number: JP2005361456A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Ito; 達也伊藤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-12-15
Filing date: 2005-12-15
Publication date: 2007-06-28

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter having a color element of a uniform thickness, to provide an electrooptical device and electronic equipment using the color filter, and to provide a method of manufacturing the color filter using a droplet discharge method. SOLUTION: A color filter substrate 20 is provided with a transparent resin layer 41 and color elements 40R, 40G, 40B in recessed parts formed by a glass substrate 21 and barrier walls 45 (Fig. 6(d)). The transparent resin layers 41 have a convex surface whose apex is present near the center part of the recessed part. Further, a surface of each color element 40 is parallel to the surface of the transparent resin layer 41. Accordingly, each color element 40 has a uniform thickness in each recessed part. The method of manufacturing the color filter substrate 20 comprises: a step (Fig. 6(b)) of forming the barrier walls 45 on the glass substrate 21; a step (Fig. 6(b)) of forming the transparent resin layers 41 on the recessed parts; and steps (Fig. 6(c) and 6(d)) of forming the color elements 40 on the transparent resin layers 41. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタ、当該カラーフィルタを用いた電気光学装置ならびに電子機器、および液滴吐出法を用いた当該カラーフィルタの製造方法に関する。 The present invention relates to a color filter having a plurality of color element regions, an electro-optical device and an electronic apparatus using the color filter, and a method for manufacturing the color filter using a droplet discharge method.

一般に、液晶表示装置を始めとする各種電気光学装置に用いられるカラーフィルタ（カラーフィルタ基板とも呼ばれる）は、基板上に、色要素領域ごとに所定の色の色要素が配置された構成を有する。色要素は、入射光の特定の波長成分を吸収することにより透過光を着色させる樹脂である。色要素の形成には、従来から、スピンコート法およびフォトリソグラフィー法を組み合わせた方法や印刷法等が知られている。近年ではこれに加えて、隔壁で区画された凹部に液滴吐出装置によって色要素材料を含む機能液を吐出した後にこれを乾燥させて色要素を形成する、液滴吐出法が注目されている。フォトマスクが不要である点、色要素材料の使用量を抑えることができる点、オンデマンドに形成可能な点等の種々の利点を有するからである。液滴吐出法を用いたカラーフィルタおよびその製造方法としては、例えば特許文献１に記載のものが知られている。 In general, a color filter (also referred to as a color filter substrate) used in various electro-optical devices including a liquid crystal display device has a configuration in which color elements of a predetermined color are arranged for each color element region on a substrate. The color element is a resin that colors transmitted light by absorbing a specific wavelength component of incident light. For forming color elements, conventionally, a method combining a spin coating method and a photolithography method, a printing method, or the like is known. In recent years, in addition to this, a droplet discharge method has been attracting attention, in which a functional liquid containing a color element material is discharged to a recess defined by a partition wall and then dried to form a color element. . This is because there are various advantages such as the point that a photomask is unnecessary, the amount of use of the color element material can be suppressed, and the point that it can be formed on demand. As a color filter using a droplet discharge method and a manufacturing method thereof, for example, the one described in Patent Document 1 is known.

特開２００３−２６６０１０号公報JP 2003-266010 A

しかしながら、液滴吐出法によって製造したカラーフィルタには、色要素の厚さが色要素領域内で不均一になりやすいという問題点があった。図１５（ａ）から（ｃ）はこの様子を示したカラーフィルタの断面図である。液滴吐出法においては、ガラス基板２１および隔壁４５が形作る凹部に色要素材料を含む機能液を吐出し、これを乾燥させて色要素４０を形成するが、この際の隔壁４５の高さ、機能液の体積、乾燥の速さ等のパラメータによっては、色要素４０の表面が凸状（図１５（ａ））、凹状（図１５（ｂ））、もしくは凹凸状（図１５（ｃ））を呈して形成される。こうした場合には、色要素の厚さのばらつきに起因して光学特性が低下してしまうという問題点があった。 However, the color filter manufactured by the droplet discharge method has a problem that the thickness of the color element tends to be uneven in the color element region. FIGS. 15A to 15C are cross-sectional views of the color filter showing this state. In the droplet discharge method, the functional liquid containing the color element material is discharged into the concave portions formed by the glass substrate 21 and the partition wall 45 and dried to form the color element 40. The height of the partition wall 45 at this time, Depending on parameters such as the volume of the functional liquid and the speed of drying, the surface of the color element 40 is convex (FIG. 15A), concave (FIG. 15B), or uneven (FIG. 15C). Is formed. In such a case, there is a problem that the optical characteristics are deteriorated due to variations in the thickness of the color elements.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、均一な厚さの色要素を有するカラーフィルタ、当該カラーフィルタを用いた電気光学装置ならびに電子機器、および液滴吐出法を用いた当該カラーフィルタの製造方法を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a color filter having color elements having a uniform thickness, an electro-optical device and an electronic apparatus using the color filter, and the color filter using a droplet discharge method. It is in providing the manufacturing method of.

上記課題を解決するために、本発明のカラーフィルタは、複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、基板と、前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層と、前記樹脂層上に配置され、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有する色要素とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a color filter of the present invention is a color filter having a plurality of color element regions, and includes a substrate, a partition formed on the substrate, and partitions the color element region, A resin layer disposed on the bottom of a recess formed by the substrate and the partition and having a light-transmitting property, wherein at least a part of the surface is inclined with respect to a plane parallel to the substrate; and the resin layer is disposed on the resin layer. And a color element having a surface substantially parallel to the surface of the layer.

このような構成によれば、色要素の表面が表面エネルギーのバランスによって凸状や凹状、あるいは凹凸状を呈していたとしても、当該色要素の基板側に形成された樹脂層もこれと同様の表面形状を有している結果、色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。このため、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタが得られる。ここで「基板上」とは、基板の表面のみを指す概念ではなく、例えば基板と樹脂層との間に他の薄膜等の構成要素が形成されていてもよい。また、本稿において「基板に平行な平面」とは、「基板の面を巨視的に見たときの平面に平行な平面」の意であり、基板表面に細かな凹凸等が施されていたとしてもこれらは勘案しない。 According to such a configuration, even if the surface of the color element has a convex shape, a concave shape, or an uneven shape due to the balance of surface energy, the resin layer formed on the substrate side of the color element is the same as this. As a result of having a surface shape, the thickness of the color elements is substantially uniform within each color element region. For this reason, a color filter having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region can be obtained. Here, “on the substrate” is not a concept indicating only the surface of the substrate, and other constituent elements such as other thin films may be formed between the substrate and the resin layer, for example. In addition, in this paper, “a plane parallel to the substrate” means “a plane parallel to the plane when the surface of the substrate is viewed macroscopically”, and it is assumed that fine irregularities are provided on the substrate surface. But these are not taken into account.

上記カラーフィルタにおいて、前記樹脂層は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有することが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凸状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。上記条件は、隔壁の高さ、色要素の体積、色要素形成時の乾燥の速さ等のパラメータに依存する条件である。 In the color filter, it is preferable that the resin layer has a convex surface having a vertex near the center of the color element region. According to such a configuration, even if the color filter is manufactured under the condition that the surface of the color element tends to be convex, the thickness of the color element can be made substantially uniform in each color element region. The above conditions depend on parameters such as the height of the partition walls, the volume of the color elements, and the drying speed when forming the color elements.

上記カラーフィルタにおいて、前記樹脂層は、前記各壁に接する部分が最も厚いことが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凹状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、あらかじめ樹脂層によって凹部の底部が凹状となっているため、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。上記条件は、隔壁の高さ、色要素の体積、色要素形成時の乾燥の速さ等のパラメータに依存する条件である。 In the color filter, the resin layer preferably has the thickest portion in contact with each wall. According to such a configuration, even if the color filter is manufactured under conditions where the surface of the color element is likely to be concave, the bottom of the concave portion is concave in advance by the resin layer. It can be made substantially uniform within each color element region. The above conditions depend on parameters such as the height of the partition walls, the volume of the color elements, and the drying speed when forming the color elements.

本発明のカラーフィルタは、複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、基板と、前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、当該凹部の底部に略平行な表面を有する色要素とを備え、前記凹部の底部である前記基板表面の少なくとも一部は、前記基板に平行な平面に対して傾斜していることを特徴とする。 The color filter of the present invention is a color filter having a plurality of color element regions, and includes a substrate, a partition formed on the substrate, which partitions the color element region, and a recess formed by the substrate and the partition. A color element having a surface disposed on the bottom and having a surface substantially parallel to the bottom of the recess, at least a part of the substrate surface being the bottom of the recess is inclined with respect to a plane parallel to the substrate It is characterized by that.

このような構成によれば、色要素の表面が表面エネルギーのバランスによって凸状や凹状、あるいは凹凸状を呈していたとしても、当該色要素が形成される基板表面もこれと同様の形状を有している結果、色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。このため、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタが得られる。 According to such a configuration, even if the surface of the color element has a convex shape, a concave shape, or an uneven shape due to the balance of the surface energy, the substrate surface on which the color element is formed has the same shape. As a result, the thickness of the color element is substantially uniform within each color element region. For this reason, a color filter having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region can be obtained.

上記カラーフィルタにおいて、前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状を呈していることが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凸状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。 In the color filter, it is preferable that the substrate surface, which is the bottom of the concave portion, has a convex shape having a vertex near the center of the color element region. According to such a configuration, even if the color filter is manufactured under the condition that the surface of the color element tends to be convex, the thickness of the color element can be made substantially uniform in each color element region.

上記カラーフィルタにおいて、前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を底部とする凹状を呈していることが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凹状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、あらかじめ凹部の底部、すなわち基板表面が凹状となっているため、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。 In the color filter, it is preferable that the substrate surface, which is a bottom portion of the concave portion, has a concave shape having a bottom near the center of the color element region. According to such a configuration, even if the color filter is manufactured under conditions where the surface of the color element is likely to be concave, the thickness of the color element is reduced because the bottom of the recess, that is, the substrate surface is concave in advance. Can be made substantially uniform in each color element region.

上記カラーフィルタにおいて、各々の前記色要素領域および当該色要素領域に配置された前記色要素は、３種または４種以上の異なる色のいずれかに対応することが好ましい。このような構成によれば、カラー表示を行う電気光学装置に適用可能なカラーフィルタが得られる。具体的には、前記色要素領域が電気光学装置の画素に対応するように、かつ色要素領域の色と電気光学装置の画素の色とが互いに対応するように色要素領域を形成する。 In the color filter, it is preferable that each of the color element regions and the color elements arranged in the color element regions correspond to any of three or four or more different colors. According to such a configuration, a color filter applicable to an electro-optical device that performs color display can be obtained. Specifically, the color element region is formed so that the color element region corresponds to the pixel of the electro-optical device, and the color of the color element region and the color of the pixel of the electro-optical device correspond to each other.

上記カラーフィルタにおいて、前記色は、赤、緑、青の３色であることが好ましい。このような構成によれば、赤、緑、青の３色に基づくカラー表示を行う電気光学装置に適用可能なカラーフィルタが得られる。 In the color filter, the color is preferably three colors of red, green, and blue. According to such a configuration, a color filter applicable to an electro-optical device that performs color display based on three colors of red, green, and blue can be obtained.

本発明の電気光学装置は、上記カラーフィルタを備えることを特徴とする。このような電気光学装置は、色要素領域内における透過率にばらつきのないカラーフィルタを用いて表示を行う結果、画素内における光抜けや色濃度のばらつき等のない、高品位な表示を行うことができる。 An electro-optical device according to the present invention includes the color filter. Such an electro-optical device performs display using a color filter having no variation in transmittance in the color element region, and as a result, performs high-quality display without light leakage or variation in color density within the pixel. Can do.

本発明の電子機器は、上記電気光学装置を備えることを特徴とする。このような電子機器は、上記電気光学装置を表示部に備えることにより、当該表示部において高品位な表示を行うことができる。 According to another aspect of the present invention, there is provided an electronic apparatus including the above electro-optical device. Such an electronic apparatus can perform high-quality display on the display unit by including the electro-optical device in the display unit.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、前記樹脂層上に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程とを有することを特徴とする。 The color filter manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing a color filter having a plurality of color element regions, the step of forming a partition partitioning the color element region on a substrate, and the substrate and the partition A step of forming a translucent resin layer having at least a part of the surface inclined with respect to a plane parallel to the substrate at the bottom of the concave portion to be formed; and a droplet discharge method on the resin layer Discharging a functional liquid containing a color element material and drying the functional liquid to form a color element.

このような製造方法によれば、まず隔壁を形成する工程によって基板上に色要素領域を区画する隔壁が形成され、これにより凹部が形成される。続く樹脂層を形成する工程においては、後に形成される色要素の表面形状と同様な表面形状を有するように樹脂層が形成される。このため、次の色要素を形成する工程で形成された色要素は、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有することとなり、当該色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。よって、上記製造方法によれば、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタを製造することができる。 According to such a manufacturing method, the partition for partitioning the color element region is first formed on the substrate by the step of forming the partition, thereby forming the recess. In the subsequent step of forming the resin layer, the resin layer is formed so as to have a surface shape similar to the surface shape of the color element to be formed later. For this reason, the color element formed in the process of forming the next color element has a surface substantially parallel to the surface of the resin layer, and the thickness of the color element is substantially uniform in each color element region. . Therefore, according to the manufacturing method, it is possible to manufacture a color filter having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、基板上の前記色要素領域に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、前記基板、前記樹脂層および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程とを有することを特徴とする。 The color filter manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing a color filter having a plurality of color element regions, wherein the color element region on the substrate has at least a part of a surface parallel to the plane parallel to the substrate. Forming an inclined resin layer having translucency, a step of forming a partition partitioning the color element region on the substrate, and a bottom of a recess formed by the substrate, the resin layer, and the partition; And a step of discharging a functional liquid containing a color element material using a droplet discharge method and drying the functional liquid to form a color element.

このような製造方法によれば、樹脂層を形成する工程において、後に形成される色要素の表面形状と同様な表面形状を有するように樹脂層が形成される。続いて、隔壁を形成する工程によって基板上に色要素領域を区画する隔壁が形成され、これにより凹部が形成される。そして、次の色要素を形成する工程で上記凹部の底部に形成された色要素は、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有することとなるので、当該色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。よって、上記製造方法によれば、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタを製造することができる。 According to such a manufacturing method, in the step of forming the resin layer, the resin layer is formed so as to have a surface shape similar to the surface shape of the color element to be formed later. Subsequently, a partition for partitioning the color element region is formed on the substrate by a step of forming the partition, thereby forming a recess. And since the color element formed at the bottom of the recess in the step of forming the next color element has a surface substantially parallel to the surface of the resin layer, the thickness of the color element depends on the color element region. It becomes almost uniform inside. Therefore, according to the manufacturing method, it is possible to manufacture a color filter having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、基板の前記色要素領域に対応する表面を凹凸形状を有するように加工する工程と、前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程とを有することを特徴とする。 The color filter manufacturing method of the present invention is a method of manufacturing a color filter having a plurality of color element regions, the step of processing the surface of the substrate corresponding to the color element regions so as to have an uneven shape, and the substrate A functional liquid containing a color element material is ejected onto the bottom of the concave portion formed by the substrate and the partition; and a step of forming a partition partitioning the color element region on the substrate. And forming a color element by drying.

この製造方法のうち、基板の表面を加工する工程においては、基板表面が、後に形成される色要素の表面形状と同様な表面形状を有するように加工される。続いて、隔壁を形成する工程によって基板上に色要素領域を区画する隔壁が形成され、これにより凹部が形成される。そして、次の色要素を形成する工程で上記凹部の底部に形成された色要素は、前記基板表面に略平行な表面を有することとなるので、当該色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。よって、上記製造方法によれば、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタを製造することができる。 In this manufacturing method, in the step of processing the surface of the substrate, the substrate surface is processed so as to have a surface shape similar to the surface shape of a color element to be formed later. Subsequently, a partition for partitioning the color element region is formed on the substrate by a step of forming the partition, thereby forming a recess. In addition, since the color element formed at the bottom of the recess in the process of forming the next color element has a surface substantially parallel to the substrate surface, the thickness of the color element is within each color element region. Almost uniform. Therefore, according to the manufacturing method, it is possible to manufacture a color filter having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region.

以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings shown below, the dimensions and ratios of the components are appropriately different from the actual ones in order to make the components large enough to be recognized on the drawings.

（第１の実施形態）
＜Ａ．カラーフィルタ基板＞
本実施形態は、色要素４０の表面が凸状となる場合の実施形態である。図１は、本発明の「カラーフィルタ」としてのカラーフィルタ基板２０の構造を示す概略平面図である。図１に示すように、本実施形態のカラーフィルタ基板２０は、「基板」としてのガラス基板２１の表面に、赤、緑、青にそれぞれ対応する複数の色要素領域２Ｒ，２Ｇ，２Ｂ（以下ではこれらをまとめて「色要素領域２」とも呼ぶ）を区画する隔壁４５を有している。各色要素領域２には、赤、緑、青にそれぞれ対応する色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂが形成されている。各色要素４０は、同色の色要素４０同士が列をなすように配置されている。すなわち、カラーフィルタ基板２０は、ストライプ状に配列された色要素４０を備えている。 (First embodiment)
<A. Color filter substrate>
The present embodiment is an embodiment in which the surface of the color element 40 is convex. FIG. 1 is a schematic plan view showing the structure of a color filter substrate 20 as a “color filter” of the present invention. As shown in FIG. 1, the color filter substrate 20 of the present embodiment has a plurality of color element regions 2R, 2G, and 2B (hereinafter referred to as “red”, “green”, and “blue”) on the surface of a glass substrate 21 as a “substrate”. Then, these are collectively referred to as “color element region 2”). In each color element region 2, color elements 40R, 40G, and 40B respectively corresponding to red, green, and blue are formed. The color elements 40 are arranged so that the color elements 40 of the same color form a row. In other words, the color filter substrate 20 includes color elements 40 arranged in a stripe shape.

図１のカラーフィルタ基板２０を、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを含む平面で切断したときの断面図が図６（ｄ）である。この図に示すように、各色要素４０は、ガラス基板２１と隔壁４５とが形作る凹部に配置されている。また、ガラス基板２１と色要素４０との間には、「樹脂層」としての透明樹脂層４１が配置されている。 FIG. 6D is a cross-sectional view of the color filter substrate 20 of FIG. 1 cut along a plane including the color elements 40R, 40G, and 40B. As shown in this figure, each color element 40 is disposed in a recess formed by the glass substrate 21 and the partition wall 45. A transparent resin layer 41 as a “resin layer” is disposed between the glass substrate 21 and the color element 40.

ここで色要素４０は、色要素領域２ごとに、異なる色要素材料を含む３種（色）の機能液を吐出して乾燥することにより形成されている。このような機能液としては、公知の材料を用いればよく、例えば、色要素材料として無機あるいは有機顔料を用い、これにより着色したアクリル樹脂やポリウレタン樹脂等からなる機能液を用いることができる。また、透明樹脂層４１には、アクリル樹脂を始めとする各種合成樹脂を用いることができる。 Here, the color element 40 is formed by discharging and drying three (color) functional liquids containing different color element materials for each color element region 2. As such a functional liquid, a known material may be used. For example, a functional liquid made of an acrylic resin, a polyurethane resin, or the like colored using an inorganic or organic pigment as a color element material may be used. The transparent resin layer 41 can be made of various synthetic resins including acrylic resin.

透明樹脂層４１は、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有する。換言すれば、透明樹脂層４１の厚さは、色要素領域２の中央部近傍においてもっとも厚く、隔壁４５に近付くにつれて薄くなっている。 The transparent resin layer 41 has a convex surface having a vertex near the center of the color element region 2 partitioned by the partition walls 45. In other words, the thickness of the transparent resin layer 41 is thickest in the vicinity of the central portion of the color element region 2 and becomes thinner as the partition wall 45 is approached.

一方、色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、透明樹脂層４１の表面形状と略同一であり、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有する。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。 On the other hand, the surface of the color element 40 is substantially parallel to the surface of the transparent resin layer 41. That is, the surface shape of the color element 40 is substantially the same as the surface shape of the transparent resin layer 41, and has a convex surface having a vertex near the center of the color element region 2 partitioned by the partition walls 45. For this reason, the thickness of the color element 40 is almost uniform at any point in the color element region 2.

ここで、透明樹脂層４１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０は、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０によれば、色要素領域２内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。 Here, since the transparent resin layer 41 does not absorb light and does not optically act on transmitted light, the color filter substrate 20 is a color filter substrate in which color elements having a uniform thickness are directly formed on the substrate. It will have the same optical characteristics. That is, according to the color filter substrate 20 having the above-described configuration, there is no variation in the transmittance within the color element region 2, so that no light leakage or color density variation occurs, and good optical characteristics are realized.

＜Ｂ．カラーフィルタ基板の製造方法＞
続いて、上記カラーフィルタ基板２０の製造方法について説明する。 <B. Manufacturing method of color filter substrate>
Next, a method for manufacturing the color filter substrate 20 will be described.

＜Ｂ−１．液滴吐出装置の全体構成＞
まず、カラーフィルタ基板２０の製造に用いる液滴吐出装置３００の全体構成について図２を用いて説明する。図２に示す液滴吐出装置３００は、基本的には液状の材料１１１（透明樹脂層４１の材料を含む機能液４１Ａ：図６（ｂ）参照）を吐出するためのインクジェット装置である。より具体的には、液滴吐出装置３００は、液状の材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、グランドステージＧＳと、吐出ヘッド部１０３と、ステージ１０６と、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、制御部１１２と、支持部１０４ａとを備えている。なお、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂの各色要素材料を含む機能液４０ＲＡ（図６（ｃ）参照），４０ＲＧ，４０ＲＢ（不図示）を吐出するための液滴吐出装置（不図示）は、吐出する材料が異なることを除けば液滴吐出装置３００の構造および機能と基本的に同じであるので、説明は省略する。 <B-1. Overall Configuration of Droplet Discharge Device>
First, the overall configuration of the droplet discharge device 300 used for manufacturing the color filter substrate 20 will be described with reference to FIG. A droplet discharge device 300 shown in FIG. 2 is basically an ink jet device for discharging a liquid material 111 (functional liquid 41A including the material of the transparent resin layer 41: see FIG. 6B). More specifically, the droplet discharge device 300 includes a tank 101 that holds a liquid material 111, a tube 110, a ground stage GS, a discharge head unit 103, a stage 106, and a first position control device 104. The second position control device 108, the control unit 112, and the support unit 104a are provided. Note that a droplet discharge device (not shown) for discharging functional liquids 40RA (see FIG. 6C), 40RG, 40RB (not shown) including the color element materials of the color elements 40R, 40G, and 40B is used for discharging. Except for the difference in the materials to be used, the structure and function of the droplet discharge device 300 are basically the same, and a description thereof will be omitted.

吐出ヘッド部１０３は、ヘッド１１４（図３参照）を保持している。このヘッド１１４は、制御部１１２からの信号に応じて、液状の材料１１１の液滴を吐出する。なお、吐出ヘッド部１０３におけるヘッド１１４は、チューブ１１０によってタンク１０１に連結されており、このため、タンク１０１からヘッド１１４に液状の材料１１１が供給される。 The discharge head unit 103 holds a head 114 (see FIG. 3). The head 114 ejects droplets of the liquid material 111 in response to a signal from the control unit 112. In addition, the head 114 in the discharge head unit 103 is connected to the tank 101 by the tube 110, and thus the liquid material 111 is supplied from the tank 101 to the head 114.

ステージ１０６はガラス基板２１を固定するための平面を提供している。さらにステージ１０６は、吸引力を用いてガラス基板２１の位置を固定する機能も有する。 The stage 106 provides a flat surface for fixing the glass substrate 21. Furthermore, the stage 106 also has a function of fixing the position of the glass substrate 21 using a suction force.

第１位置制御装置１０４は、支持部１０４ａによって、グランドステージＧＳから所定の高さの位置に固定されている。この第１位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、吐出ヘッド部１０３をＸ軸方向と、Ｘ軸方向に直交するＺ軸方向と、に沿って移動させる機能を有する。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで吐出ヘッド部１０３を回転させる機能も有する。ここで、本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。 The first position control device 104 is fixed at a predetermined height from the ground stage GS by the support portion 104a. The first position control device 104 has a function of moving the ejection head unit 103 along the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction in accordance with a signal from the control unit 112. Furthermore, the first position control device 104 also has a function of rotating the ejection head unit 103 around an axis parallel to the Z axis. Here, in the present embodiment, the Z-axis direction is a direction parallel to the vertical direction (that is, the direction of gravitational acceleration).

第２位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、ステージ１０６をグランドステージＧＳ上でＹ軸方向に移動させる。ここで、Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交する方向である。 The second position control device 108 moves the stage 106 on the ground stage GS in the Y-axis direction according to a signal from the control unit 112. Here, the Y-axis direction is a direction orthogonal to both the X-axis direction and the Z-axis direction.

上記のような機能を有する第１位置制御装置１０４の構成と第２位置制御装置１０８の構成とは、リニアモータまたはサーボモータを利用した公知のＸＹロボットを用いて実現できる。このため、ここでは、それらの詳細な構成の説明を省略する。 The configuration of the first position control device 104 and the configuration of the second position control device 108 having the above functions can be realized by using a known XY robot using a linear motor or a servo motor. For this reason, description of those detailed structures is abbreviate | omitted here.

さて上述のように、第１位置制御装置１０４によって、吐出ヘッド部１０３はＸ軸方向に移動する。そして、第２位置制御装置１０８によって、ガラス基板２１はステージ１０６と共にＹ軸方向に移動する。これらの結果、ガラス基板２１に対するヘッド１１４の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、吐出ヘッド部１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８（図３参照）は、ステージ１０６に固定されたガラス基板２１に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。「相対移動」または「相対走査」とは、液状の材料１１１を吐出する側と、そこからの吐出物が着弾する側（被吐出部）の少なくとも一方を他方に対して相対移動することを意味する。 As described above, the ejection head unit 103 is moved in the X-axis direction by the first position control device 104. Then, the glass substrate 21 is moved in the Y-axis direction together with the stage 106 by the second position control device 108. As a result, the relative position of the head 114 with respect to the glass substrate 21 changes. More specifically, by these operations, the ejection head unit 103, the head 114, or the nozzle 118 (see FIG. 3) sets a predetermined distance in the Z-axis direction with respect to the glass substrate 21 fixed to the stage 106. While maintaining, relatively move in the X-axis direction and the Y-axis direction, that is, relatively scan. “Relative movement” or “relative scanning” means that at least one of the side on which the liquid material 111 is discharged and the side on which the discharged material lands (discharged part) moves relative to the other. To do.

制御部１１２は、液状の材料１１１の液滴を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御部１１２は、受け取った吐出データを内部の記憶装置に格納するとともに、格納された吐出データに応じて、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、ヘッド１１４と、を制御する。なお、吐出データとは、ガラス基板２１上に、液状の材料１１１を所定パターンで付与するためのデータである。本実施形態では、吐出データはビットマップデータの形態を有している。 The control unit 112 is configured to receive ejection data representing a relative position at which droplets of the liquid material 111 are to be ejected from an external information processing apparatus. The control unit 112 stores the received discharge data in an internal storage device, and controls the first position control device 104, the second position control device 108, and the head 114 in accordance with the stored discharge data. To do. The ejection data is data for applying the liquid material 111 in a predetermined pattern on the glass substrate 21. In the present embodiment, the ejection data has the form of bitmap data.

上記構成を有する液滴吐出装置３００は、吐出データに応じて、ヘッド１１４のノズル１１８をガラス基板２１に対して相対移動させるとともに、被吐出部に向けてノズル１１８から液状の材料１１１を吐出する。 The droplet discharge device 300 having the above configuration moves the nozzle 118 of the head 114 relative to the glass substrate 21 according to the discharge data, and discharges the liquid material 111 from the nozzle 118 toward the discharge target portion. .

＜Ｂ−２．ヘッド＞
図３（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出装置３００におけるヘッド１１４は、複数のノズル１１８を有するインクジェットヘッドである。具体的には、ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズル１１８の開口を規定するノズルプレート１２８と、を備えている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間には、液たまり１２９が位置しており、この液たまり１２９には、図示しない外部タンクから孔１３１を介して供給される液状の材料１１１が常に充填される。 <B-2. Head>
As shown in FIGS. 3A and 3B, the head 114 in the droplet discharge device 300 is an inkjet head having a plurality of nozzles 118. Specifically, the head 114 includes a vibration plate 126 and a nozzle plate 128 that defines the opening of the nozzle 118. A liquid pool 129 is located between the vibration plate 126 and the nozzle plate 128, and the liquid material 111 supplied to the liquid pool 129 from an external tank (not shown) through the hole 131. Is always filled.

また、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁部１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、一対の隔壁部１２２と、によって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁部１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状の材料１１１が供給される。なお、本実施形態では、ノズル１１８の直径は、約２７μｍである。 A plurality of partition walls 122 are positioned between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is the cavity 120. Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzles 118, the number of the cavities 120 and the number of the nozzles 118 are the same. The liquid material 111 is supplied to the cavity 120 from the liquid pool 129 through the supply port 130 positioned between the pair of partition walls 122. In the present embodiment, the nozzle 118 has a diameter of about 27 μm.

さて、振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、それぞれの振動子１２４が位置する。振動子１２４のそれぞれは、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂとを含む。制御部１１２が、この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状の材料１１１の液滴Ｄが吐出される。ここで、ノズル１１８から吐出される材料の体積は、０ｐｌ以上４２ｐｌ（ピコリットル）以下の間で可変である。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料１１１の液滴Ｄが吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。 Now, each vibrator 124 is positioned on the vibration plate 126 corresponding to each cavity 120. Each of the vibrators 124 includes a piezoelectric element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B sandwiching the piezoelectric element 124C. When the control unit 112 applies a driving voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, the droplet D of the liquid material 111 is ejected from the corresponding nozzle 118. Here, the volume of the material discharged from the nozzle 118 is variable between 0 pl and 42 pl (picoliter). The shape of the nozzle 118 is adjusted so that the droplet D of the liquid material 111 is ejected from the nozzle 118 in the Z-axis direction.

本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つのヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。 In this specification, a portion including one nozzle 118, a cavity 120 corresponding to the nozzle 118, and a vibrator 124 corresponding to the cavity 120 may be referred to as “ejection unit 127”. According to this notation, one head 114 has the same number of ejection units 127 as the number of nozzles 118. The discharge unit 127 may include an electrothermal conversion element instead of the piezo element. That is, the discharge unit 127 may have a configuration for discharging a material by utilizing thermal expansion of the material by the electrothermal conversion element.

＜Ｂ−３．制御部＞
次に、制御部１１２の構成を説明する。図４に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶装置２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えている。入力バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と、記憶装置２０２と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とは、図示しないバスによって相互に通信可能に接続されている。 <B-3. Control unit>
Next, the configuration of the control unit 112 will be described. As shown in FIG. 4, the control unit 112 includes an input buffer memory 200, a storage device 202, a processing unit 204, a scan driving unit 206, and a head driving unit 208. The input buffer memory 200 and the processing unit 204 are connected so that they can communicate with each other. The processing unit 204, the storage device 202, the scan driving unit 206, and the head driving unit 208 are connected to be communicable with each other via a bus (not shown).

走査駆動部２０６は、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、ヘッド１１４と相互に通信可能に接続されている。 The scanning drive unit 206 is connected to the first position control device 104 and the second position control device 108 so as to communicate with each other. Similarly, the head drive unit 208 is connected to the head 114 so as to communicate with each other.

入力バッファメモリ２００は、液滴吐出装置３００の外部に位置する外部情報処理装置（不図示）から、液状の材料１１１の液滴を吐出するための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶装置２０２に格納する。図４では、記憶装置２０２はＲＡＭである。 The input buffer memory 200 receives ejection data for ejecting droplets of the liquid material 111 from an external information processing apparatus (not shown) located outside the droplet ejection apparatus 300. The input buffer memory 200 supplies the ejection data to the processing unit 204, and the processing unit 204 stores the ejection data in the storage device 202. In FIG. 4, the storage device 202 is a RAM.

処理部２０４は、記憶装置２０２内の吐出データに基づいて、被吐出部に対するノズル１１８の相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６はこのデータと、吐出周期と、に応じたステージ駆動信号を第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８に与える。この結果、被吐出部に対する吐出ヘッド部１０３の相対位置が変わる。一方、処理部２０４は、記憶装置２０２に記憶された吐出データに基づいて、液状の材料１１１の吐出に必要な吐出信号をヘッド１１４に与える。この結果、ヘッド１１４における対応するノズル１１８から、液状の材料１１１の液滴Ｄが吐出される。 The processing unit 204 gives data indicating the relative position of the nozzle 118 to the discharge target unit to the scan driving unit 206 based on the discharge data in the storage device 202. The scanning drive unit 206 gives a stage drive signal corresponding to this data and the ejection cycle to the first position control device 104 and the second position control device 108. As a result, the relative position of the ejection head unit 103 with respect to the ejected part changes. On the other hand, the processing unit 204 gives a discharge signal necessary for discharging the liquid material 111 to the head 114 based on the discharge data stored in the storage device 202. As a result, the droplet D of the liquid material 111 is ejected from the corresponding nozzle 118 in the head 114.

制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、バスを含んだコンピュータである。したがって、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。 The control unit 112 is a computer including a CPU, a ROM, a RAM, and a bus. Therefore, the function of the control unit 112 is realized by a software program executed by a computer. Of course, the control unit 112 may be realized by a dedicated circuit (hardware).

＜Ｂ−４．液状の材料＞
上述の「液状の材料１１１」とは、ヘッド１１４のノズル１１８から液滴Ｄとして吐出されうる粘度を有する材料をいう。ここで、液状の材料１１１が水性であると油性であるとを問わない。ノズル１１８から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。ここで、液状の材料１１１の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましい。粘度が１ｍＰａ・ｓ以上である場合には、液状の材料１１１の液滴Ｄを吐出する際にノズル１１８の周辺部が液状の材料１１１で汚染されにくい。一方、粘度が５０ｍＰａ・ｓ以下である場合は、ノズル１１８における目詰まり頻度が小さく、このため円滑な液滴Ｄの吐出を実現できる。なお、「液状の材料１１１」は、被吐出部に付与された後に固有の機能を果たすことから、「機能液」とも呼ぶ。 <B-4. Liquid material>
The above-mentioned “liquid material 111” refers to a material having a viscosity that can be ejected as a droplet D from the nozzle 118 of the head 114. Here, it does not matter whether the liquid material 111 is aqueous or oily. It is sufficient if it has fluidity (viscosity) that can be discharged from the nozzle 118, and even if a solid substance is mixed, it is sufficient if it is a fluid as a whole. Here, the viscosity of the liquid material 111 is preferably 1 mPa · s or more and 50 mPa · s or less. When the viscosity is 1 mPa · s or more, the peripheral portion of the nozzle 118 is not easily contaminated by the liquid material 111 when the droplet D of the liquid material 111 is ejected. On the other hand, when the viscosity is 50 mPa · s or less, the clogging frequency in the nozzle 118 is small, and thus smooth discharge of the droplet D can be realized. The “liquid material 111” is also referred to as “functional liquid” because it performs a specific function after being applied to the discharged portion.

本実施形態で用いる機能液４１Ａおよび機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡは、上述の条件を満たす液状の材料１１１（機能液）である。機能液４１Ａは、透明樹脂層４１の材料となる透明樹脂を溶媒に溶解させた液体である。透明樹脂としては、アクリル樹脂を始めとする各種合成樹脂を用いることができる。機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡは、それぞれ赤、緑、青の色要素材料を溶媒に溶解させた液体である。色要素材料としては、顔料や染料等の着色剤を用いることができ、溶媒としては、アクリル樹脂等を用いることができる。 The functional liquid 41A and the functional liquids 40RA, 40GA, and 40BA used in the present embodiment are liquid materials 111 (functional liquids) that satisfy the above-described conditions. The functional liquid 41A is a liquid obtained by dissolving a transparent resin, which is a material of the transparent resin layer 41, in a solvent. As the transparent resin, various synthetic resins including acrylic resin can be used. The functional liquids 40RA, 40GA, and 40BA are liquids obtained by dissolving red, green, and blue color element materials in a solvent, respectively. A colorant such as a pigment or a dye can be used as the color element material, and an acrylic resin or the like can be used as the solvent.

＜Ｂ−５．製造方法＞
続いて、図５および図６を参照しながら、上述の液滴吐出装置３００を用いたカラーフィルタ基板２０の製造方法について説明する。図５は、カラーフィルタ基板２０の製造方法を示す工程図であり、図６は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０の断面図である。 <B-5. Manufacturing method>
Next, a method for manufacturing the color filter substrate 20 using the above-described droplet discharge device 300 will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a process diagram illustrating a manufacturing method of the color filter substrate 20, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the color filter substrate 20 in each process of the manufacturing method.

まず、工程Ｐ１１では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図６（ａ））。 First, in the process P11, a resin organic thin film is applied on the glass substrate 21, and this is patterned by a photolithography method, thereby forming the partition wall 45 (FIG. 6A).

次に、工程Ｐ１２では、ガラス基板２１および隔壁４５が形作る凹部の底部に、機能液４１Ａを吐出する（図６（ｂ））。具体的には、まず、隔壁４５が形成されたガラス基板２１が、液滴吐出装置３００のステージ１０６に運ばれる。そして、液滴吐出装置３００は、上記凹部の底部に、ヘッド１１４の吐出部１２７から機能液４１Ａを吐出する。吐出された機能液４１Ａは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。 Next, in the process P12, the functional liquid 41A is discharged to the bottom of the recess formed by the glass substrate 21 and the partition wall 45 (FIG. 6B). Specifically, first, the glass substrate 21 on which the partition walls 45 are formed is carried to the stage 106 of the droplet discharge device 300. Then, the droplet discharge device 300 discharges the functional liquid 41A from the discharge unit 127 of the head 114 to the bottom of the recess. The discharged functional liquid 41 A is arranged in a convex shape without being wetted and spread over the entire concave portion due to its surface tension.

続く工程Ｐ１３では、上記の状態のガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４１Ａ中の溶媒が蒸発し、機能液４１Ａが吐出された領域に透明樹脂層４１が形成される。このとき、透明樹脂層４１は、凸状の表面形状をもって形成される（図６（ｃ））。表面形状がこのように凸状となるか否かは、隔壁４５の高さ、機能液４１Ａの体積、乾燥の速さ等のパラメータに依存する。より詳しくは、隔壁４５が低い場合、機能液４１Ａの体積が大きい場合、あるいは乾燥が速い場合において相対的に凸状となりやすい。 In the subsequent process P13, the glass substrate 21 in the above-described state is left to stand in a high temperature environment to perform baking. After the firing step, the solvent in the functional liquid 41A evaporates, and the transparent resin layer 41 is formed in the region where the functional liquid 41A is discharged. At this time, the transparent resin layer 41 is formed with a convex surface shape (FIG. 6C). Whether or not the surface shape is convex in this way depends on parameters such as the height of the partition wall 45, the volume of the functional liquid 41A, and the drying speed. More specifically, when the partition wall 45 is low, when the volume of the functional liquid 41A is large, or when drying is fast, it tends to be relatively convex.

次に、工程Ｐ１４では、上記凹部の透明樹脂層４１上に、機能液４０ＲＡを吐出する（図６（ｃ））。具体的には、まず、透明樹脂層４１が形成されたガラス基板２１が、機能液４０ＲＡを吐出するための液滴吐出装置のステージ１０６に運ばれる。そして、当該液滴吐出装置は、上記透明樹脂層４１上に、ヘッド１１４の吐出部１２７から機能液４０ＲＡを吐出する。吐出された機能液４０ＲＡは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。この後、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、吐出された機能液４０ＲＡは、仮固化若しくは仮硬化される。 Next, in Step P14, the functional liquid 40RA is discharged onto the transparent resin layer 41 in the concave portion (FIG. 6C). Specifically, first, the glass substrate 21 on which the transparent resin layer 41 is formed is carried to the stage 106 of the droplet discharge device for discharging the functional liquid 40RA. Then, the droplet discharge device discharges the functional liquid 40RA from the discharge unit 127 of the head 114 onto the transparent resin layer 41. The discharged functional liquid 40RA is arranged in a convex shape without being wetted and spread over the entire concave portion due to its surface tension. Thereafter, the discharged functional liquid 40RA is temporarily solidified or temporarily cured by performing pre-baking (temporary baking) by drying or baking at a low temperature (for example, 60 ° C.).

同様にして、工程Ｐ１５では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ１６では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。 Similarly, in the process P15, the functional liquid 40GA and the functional liquid 40BA in the process P16 are discharged into different recesses, respectively. After each discharging step, pre-baking is performed as in the case of the functional liquid 40RA.

続く工程Ｐ１７では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡ（以下ではこれらをまとめて「機能液４０Ａ」とも呼ぶ）が吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図６（ｄ））。このとき、各色要素４０は、凸状の表面形状をもって形成される。上記透明樹脂層４１の場合と同様、隔壁４５が低い場合、機能液４０Ａの体積が大きい場合、あるいは乾燥が速い場合において相対的に凸状となりやすい。 In the subsequent step P17, the glass substrate 21 on which the functional liquids 40RA, 40GA, and 40BA (hereinafter collectively referred to as “functional liquid 40A”) have been discharged is left to stand in a high temperature environment and fired. After the baking step, the solvent in the functional liquid 40A evaporates, and the color elements 40 are formed in the areas where the functional liquid 40A is discharged (FIG. 6D). At this time, each color element 40 is formed with a convex surface shape. As in the case of the transparent resin layer 41, when the partition wall 45 is low, when the volume of the functional liquid 40A is large, or when drying is quick, it tends to be relatively convex.

以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０が完成する。このような製造方法によれば、色要素４０は、透明樹脂層４１の表面に略平行な表面を有するので、当該色要素４０の厚さは各色要素領域２内で均一となる。よって、色要素４０が凸状の表面形状をもって形成される条件下においても、色要素領域２内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタ基板２０が得られる。 The color filter substrate 20 is completed through the above steps. According to such a manufacturing method, since the color element 40 has a surface substantially parallel to the surface of the transparent resin layer 41, the thickness of the color element 40 is uniform in each color element region 2. Therefore, the color filter substrate 20 having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region 2 can be obtained even under the condition that the color element 40 is formed with a convex surface shape.

（第２の実施形態）
上記第１の実施形態では、液滴吐出法を用いて透明樹脂層４１を形成するものであるが、これに代えて種々の方法を用いることができる。そこで、以下ではフォトリソグラフィー法を用いて透明樹脂層４１を形成する第２の実施形態について説明する。当該第２の実施形態は、透明樹脂層４１の形成方法を除いた製造工程、および得られるカラーフィルタ基板２０の構成および機能は第１の実施形態と同様であるので、重複部分の説明は省略する。 (Second Embodiment)
In the first embodiment, the transparent resin layer 41 is formed using a droplet discharge method, but various methods can be used instead. Therefore, in the following, a second embodiment in which the transparent resin layer 41 is formed using a photolithography method will be described. In the second embodiment, the manufacturing process excluding the method for forming the transparent resin layer 41 and the configuration and function of the obtained color filter substrate 20 are the same as those in the first embodiment, and thus the description of the overlapping parts is omitted. To do.

以下では、図７および図８を参照しながら、本実施形態におけるカラーフィルタ基板２０の製造方法について説明する。図７は、カラーフィルタ基板２０の製造方法を示す工程図であり、図８は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０の断面図である。 Below, the manufacturing method of the color filter substrate 20 in this embodiment is demonstrated, referring FIG. 7 and FIG. FIG. 7 is a process diagram illustrating a method for manufacturing the color filter substrate 20, and FIG. 8 is a cross-sectional view of the color filter substrate 20 in each process of the manufacturing method.

工程Ｐ２１では、ガラス基板２１上に透明樹脂層４１を形成する。より詳しくは、まずガラス基板２１上に、スピンコート法等によって透明樹脂膜４１Ｌを形成する（図８（ａ））。続いて、レジスト塗布工程、露光工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等を含む公知のフォトリソグラフィー法によって透明樹脂膜４１Ｌをエッチングし、色要素領域２に対応する領域に透明樹脂層４１を形成する（図８（ｂ））。このとき、透明樹脂層４１の外縁部については、オーバーエッチ、アンダーエッチ、多階調マスク等の技術を用いて傾斜面を形成する。こうして、凸状の表面を有する透明樹脂層４１が形成される。 In step P21, the transparent resin layer 41 is formed on the glass substrate 21. More specifically, first, a transparent resin film 41L is formed on the glass substrate 21 by a spin coating method or the like (FIG. 8A). Subsequently, the transparent resin film 41L is etched by a known photolithography method including a resist coating process, an exposure process, an etching process, a resist peeling process, and the like to form a transparent resin layer 41 in a region corresponding to the color element region 2 ( FIG. 8B). At this time, an inclined surface is formed on the outer edge portion of the transparent resin layer 41 by using techniques such as overetching, underetching, and a multi-tone mask. Thus, the transparent resin layer 41 having a convex surface is formed.

次に、工程Ｐ２２では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図８（ｃ））。この工程Ｐ２２を経ることにより、ガラス基板２１上に、隔壁４５および透明樹脂層４１によって形作られる凹部が形成される。 Next, in process P22, a resin organic thin film is applied on the glass substrate 21, and this is patterned by a photolithography method, thereby forming the partition walls 45 (FIG. 8C). By passing through this process P22, the recessed part formed by the partition 45 and the transparent resin layer 41 is formed on the glass substrate 21. FIG.

次に、工程Ｐ２３では、上記凹部の透明樹脂層４１上に、液滴吐出装置によって機能液４０ＲＡを吐出する（図８（ｄ））。吐出された機能液４０ＲＡは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。この後、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、吐出された機能液４０ＲＡは、仮固化若しくは仮硬化される。 Next, in Step P23, the functional liquid 40RA is discharged onto the transparent resin layer 41 in the concave portion by a droplet discharge device (FIG. 8D). The discharged functional liquid 40RA is arranged in a convex shape without being wetted and spread over the entire concave portion due to its surface tension. Thereafter, the discharged functional liquid 40RA is temporarily solidified or temporarily cured by performing pre-baking (temporary baking) by drying or baking at a low temperature (for example, 60 ° C.).

同様にして、工程Ｐ２４では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ２５では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。 Similarly, in the process P24, the functional liquid 40GA is discharged into different recesses in the process P25, and in the process P25. After each discharging step, pre-baking is performed as in the case of the functional liquid 40RA.

続く工程Ｐ２６では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡが吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図８（ｅ））。 In the subsequent process P26, the glass substrate 21 on which the functional liquids 40RA, 40GA, and 40BA have been discharged is left to stand in a high-temperature environment for baking. After the firing step, the solvent in the functional liquid 40A evaporates, and the color elements 40 are formed in the areas where the functional liquid 40A is discharged (FIG. 8E).

以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０が完成する。このような製造方法によっても、第１の実施形態と同様、色要素４０の厚さが各色要素領域２内で均一なカラーフィルタ基板２０が得られる。 The color filter substrate 20 is completed through the above steps. Also by such a manufacturing method, the color filter substrate 20 in which the thickness of the color element 40 is uniform in each color element region 2 is obtained as in the first embodiment.

（第３の実施形態）
上記各実施形態における透明樹脂層４１の機能は、ガラス基板２１に含ませることもできる。以下では、こうした特徴を有する第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板２０Ａについて説明する。 (Third embodiment)
The function of the transparent resin layer 41 in each of the above embodiments can be included in the glass substrate 21. Hereinafter, a color filter substrate 20A according to the third embodiment having such characteristics will be described.

本実施形態のカラーフィルタ基板２０Ａの平面的な構造は、上述のカラーフィルタ基板２０と同様であり、その概略平面図は図１に示されている。カラーフィルタ基板２０Ａを、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを含む平面で切断したときの断面図が図１０（ｅ）である。この図に示すように、各色要素４０は、ガラス基板２１と隔壁４５とが形作る凹部に配置されている。 The planar structure of the color filter substrate 20A of the present embodiment is the same as that of the color filter substrate 20 described above, and a schematic plan view thereof is shown in FIG. FIG. 10E is a cross-sectional view when the color filter substrate 20A is cut along a plane including the color elements 40R, 40G, and 40B. As shown in this figure, each color element 40 is disposed in a recess formed by the glass substrate 21 and the partition wall 45.

ここで、当該凹部の底部であるガラス基板２１の表面は、ガラス基板２１自体に平行な平面に対して傾斜している。より詳しくは、ガラス基板２１の表面は、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の形状を有し、図１０（ｅ）の断面図においては波状をなしている。 Here, the surface of the glass substrate 21 which is the bottom of the concave portion is inclined with respect to a plane parallel to the glass substrate 21 itself. More specifically, the surface of the glass substrate 21 has a convex shape whose apex is in the vicinity of the center of the color element region 2 partitioned by the partition walls 45, and is wavy in the cross-sectional view of FIG. ing.

また、色要素４０の表面は、ガラス基板２１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、ガラス基板２１の表面形状と略同一であり、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有する。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。 Further, the surface of the color element 40 is substantially parallel to the surface of the glass substrate 21. That is, the surface shape of the color element 40 is substantially the same as the surface shape of the glass substrate 21, and has a convex surface having a vertex near the center of the color element region 2 partitioned by the partition wall 45. For this reason, the thickness of the color element 40 is almost uniform at any point in the color element region 2.

ここで、ガラス基板２１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０Ａは、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０Ａによれば、色要素領域２内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。 Here, since the glass substrate 21 does not absorb light and does not optically act on transmitted light, the color filter substrate 20A includes a color filter substrate in which color elements having a uniform thickness are directly formed on the substrate. The optical characteristics are equivalent. That is, according to the color filter substrate 20A having the above-described configuration, there is no variation in the transmittance within the color element region 2, so that no light leakage or variation in color density occurs, and good optical characteristics are realized.

続いて、図９および図１０を参照しながら、カラーフィルタ基板２０Ａの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタ基板２０Ａの製造方法を示す工程図であり、図１０は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０Ａの断面図である。 Next, a manufacturing method of the color filter substrate 20A will be described with reference to FIGS. FIG. 9 is a process diagram illustrating a manufacturing method of the color filter substrate 20A, and FIG. 10 is a cross-sectional view of the color filter substrate 20A in each process of the manufacturing method.

まず、工程Ｐ３１では、ガラス基板２１上に、当該ガラス基板２１の表面を部分的にエッチングするためのレジスト４４を、公知の技術を用いて形成する（図１０（ａ））。レジスト４４は、各色要素領域２の中央部近傍に形成する。 First, in step P31, a resist 44 for partially etching the surface of the glass substrate 21 is formed on the glass substrate 21 using a known technique (FIG. 10A). The resist 44 is formed near the center of each color element region 2.

続く工程Ｐ３２では、フッ素系のエッチング液等を用いてガラス基板２１の表面をエッチングする。このとき、上記レジスト４４が形成されていない領域において相対的にエッチングされる量が多くなり、結果的にガラス基板２１の表面は凹凸状に加工される。より詳細には、ガラス基板２１は、各色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面形状を有するようになる。この後の工程Ｐ３３では、レジスト４４を剥離する（図１０（ｂ））。 In the subsequent process P32, the surface of the glass substrate 21 is etched using a fluorine-based etching solution or the like. At this time, a relatively large amount of etching is performed in a region where the resist 44 is not formed, and as a result, the surface of the glass substrate 21 is processed into an uneven shape. More specifically, the glass substrate 21 has a convex surface shape having a vertex near the center of each color element region 2. In the subsequent process P33, the resist 44 is stripped (FIG. 10B).

次に、工程Ｐ３４では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図１０（ｃ））。この工程Ｐ３４を経ることにより、ガラス基板２１上に、隔壁４５および上記凹凸を有するガラス基板２１の表面によって形作られる凹部が形成される。 Next, in process P34, a resin organic thin film is applied on the glass substrate 21, and this is patterned by a photolithography method, thereby forming the partition walls 45 (FIG. 10C). By passing through this process P34, the recessed part formed by the surface of the glass substrate 21 which has the partition 45 and the said unevenness | corrugation on the glass substrate 21 is formed.

次に、工程Ｐ３５では、上記凹部の底部、すなわちガラス基板２１の表面に、液滴吐出装置によって機能液４０ＲＡを吐出する（図１０（ｄ））。吐出された機能液４０ＲＡは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。この後、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、吐出された機能液４０ＲＡは、仮固化若しくは仮硬化される。 Next, in step P35, the functional liquid 40RA is discharged onto the bottom of the recess, that is, on the surface of the glass substrate 21 by a droplet discharge device (FIG. 10D). The discharged functional liquid 40RA is arranged in a convex shape without being wetted and spread over the entire concave portion due to its surface tension. Thereafter, the discharged functional liquid 40RA is temporarily solidified or temporarily cured by performing pre-baking (temporary baking) by drying or baking at a low temperature (for example, 60 ° C.).

同様にして、工程Ｐ３６では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ３７では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。 Similarly, in the process P36, the functional liquid 40GA and the functional liquid 40BA in the process P37 are discharged into different recesses, respectively. After each discharging step, pre-baking is performed as in the case of the functional liquid 40RA.

続く工程Ｐ３８では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡが吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図１０（ｅ））。このとき、各色要素４０は、凸状の表面形状をもって形成される。表面形状がこのように凸状となるか否かは、隔壁４５の高さ、機能液４０Ａの体積、乾燥の速さ等のパラメータに依存する。より詳しくは、隔壁４５が低い場合、機能液４０Ａの体積が大きい場合、あるいは乾燥が速い場合において相対的に凸状となりやすい。 In the subsequent process P38, the glass substrate 21 on which the functional liquids 40RA, 40GA, and 40BA have been discharged is left to stand in a high-temperature environment for baking. After the firing step, the solvent in the functional liquid 40A evaporates, and the color elements 40 are formed in the areas where the functional liquid 40A is discharged (FIG. 10E). At this time, each color element 40 is formed with a convex surface shape. Whether or not the surface shape is convex in this way depends on parameters such as the height of the partition wall 45, the volume of the functional liquid 40A, and the drying speed. More specifically, when the partition wall 45 is low, when the volume of the functional liquid 40A is large, or when drying is fast, it tends to be relatively convex.

以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０Ａが完成する。このような製造方法によれば、色要素４０は、ガラス基板２１の表面に略平行な表面を有するので、当該色要素４０の厚さは各色要素領域２内で均一となる。よって、色要素４０が凸状の表面形状をもって形成される条件下においても、色要素領域２内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタ基板２０Ａが得られる。 The color filter substrate 20A is completed through the above steps. According to such a manufacturing method, since the color element 40 has a surface substantially parallel to the surface of the glass substrate 21, the thickness of the color element 40 is uniform in each color element region 2. Therefore, even under the condition where the color element 40 is formed with a convex surface shape, the color filter substrate 20A having good optical characteristics with no variation in transmittance in the color element region 2 can be obtained.

（第４の実施形態）
上記各実施形態は、色要素４０が凸状の表面をもって形成される場合の実施形態であるが、本発明はこれ以外の表面形状をもって形成される場合にも適用可能である。以下では、色要素４０の表面形状が凹状となる場合についての第４の実施形態に係るカラーフィルタ基板２０Ｂについて説明する。 (Fourth embodiment)
Each of the above embodiments is an embodiment where the color element 40 is formed with a convex surface, but the present invention is also applicable to a case where the color element 40 is formed with a surface shape other than this. Hereinafter, the color filter substrate 20B according to the fourth embodiment in the case where the surface shape of the color element 40 is concave will be described.

本実施形態のカラーフィルタ基板２０Ｂの平面的な構造は、第１の実施形態のカラーフィルタ基板２０と同様であり、その概略平面図は図１に示されている。当該カラーフィルタ基板２０Ｂを、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを含む平面で切断したときの断面図が図１１（ｄ）である。この図に示すように、各色要素４０は、ガラス基板２１と隔壁４５とが形作る凹部に配置されている。また、ガラス基板２１と色要素４０との間には、「樹脂層」としての透明樹脂層４１が配置されている。 The planar structure of the color filter substrate 20B of this embodiment is the same as that of the color filter substrate 20 of the first embodiment, and a schematic plan view thereof is shown in FIG. FIG. 11D is a cross-sectional view when the color filter substrate 20B is cut along a plane including the color elements 40R, 40G, and 40B. As shown in this figure, each color element 40 is disposed in a recess formed by the glass substrate 21 and the partition wall 45. A transparent resin layer 41 as a “resin layer” is disposed between the glass substrate 21 and the color element 40.

透明樹脂層４１は、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を底部とする凹状の表面を有する。換言すれば、透明樹脂層４１の厚さは、色要素領域２の中央部近傍においてもっとも薄く、隔壁４５に近付くにつれて厚くなっている。 The transparent resin layer 41 has a concave surface having a bottom near the center of the color element region 2 partitioned by the partition walls 45. In other words, the thickness of the transparent resin layer 41 is the thinnest in the vicinity of the central portion of the color element region 2 and becomes thicker as it approaches the partition wall 45.

一方、色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、透明樹脂層４１の表面形状と略同一であり、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を底部とする凹状の表面を有する。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。 On the other hand, the surface of the color element 40 is substantially parallel to the surface of the transparent resin layer 41. That is, the surface shape of the color element 40 is substantially the same as the surface shape of the transparent resin layer 41, and has a concave surface with the vicinity of the center of the color element region 2 partitioned by the partition 45 as the bottom. For this reason, the thickness of the color element 40 is almost uniform at any point in the color element region 2.

ここで、透明樹脂層４１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０Ｂは、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０Ｂによれば、色要素領域２内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。 Here, since the transparent resin layer 41 does not absorb light and does not optically act on transmitted light, the color filter substrate 20B is a color filter substrate in which color elements having a uniform thickness are directly formed on the substrate. It will have the same optical characteristics. That is, according to the color filter substrate 20B having the above-described configuration, since there is no variation in the transmittance within the color element region 2, no light omission or variation in color density occurs, and good optical characteristics are realized.

次に、図１１を用いて、カラーフィルタ基板２０Ｂの製造方法について説明する。図１１は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０Ｂの断面図である。なお、工程図は第１の実施形態と同一であり、図５に示されている。 Next, a manufacturing method of the color filter substrate 20B will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a cross-sectional view of the color filter substrate 20B in each step of the manufacturing method. The process diagram is the same as that of the first embodiment and is shown in FIG.

まず、工程Ｐ１１では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図１１（ａ））。 First, in process P11, a resin organic thin film is applied on the glass substrate 21, and this is patterned by a photolithography method, thereby forming the partition walls 45 (FIG. 11A).

次に、工程Ｐ１２では、ガラス基板２１および隔壁４５が形作る凹部の底部に、液滴吐出装置３００によって機能液４１Ａを吐出する（図１１（ｂ））。ここで、機能液４１Ａは、色要素領域２の外縁部、すなわち隔壁４５に隣接する領域に吐出され、色要素領域２の中央部には吐出されない。この結果、機能液４１Ａは、上記凹部に凹状の表面形状をもって配置される。 Next, in the process P12, the functional liquid 41A is discharged by the droplet discharge device 300 to the bottom of the recess formed by the glass substrate 21 and the partition wall 45 (FIG. 11B). Here, the functional liquid 41 A is discharged to the outer edge portion of the color element region 2, that is, the region adjacent to the partition wall 45, and is not discharged to the center portion of the color element region 2. As a result, the functional liquid 41A is disposed in the concave portion with a concave surface shape.

続く工程Ｐ１３では、上記の状態のガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４１Ａ中の溶媒が蒸発し、機能液４１Ａが吐出された領域に透明樹脂層４１が形成される。このとき、透明樹脂層４１は、凹状の表面形状をもって形成される（図１１（ｃ））。表面形状がこのように凹状となるか否かは、隔壁４５の高さ、機能液４１Ａの体積、乾燥の速さ等のパラメータに依存する。より詳しくは、隔壁４５が高い場合、機能液４１Ａの体積が小さい場合、あるいは乾燥が遅い場合において相対的に凹状となりやすい。 In the subsequent process P13, the glass substrate 21 in the above-described state is left to stand in a high temperature environment to perform baking. After the firing step, the solvent in the functional liquid 41A evaporates, and the transparent resin layer 41 is formed in the region where the functional liquid 41A is discharged. At this time, the transparent resin layer 41 is formed with a concave surface shape (FIG. 11C). Whether the surface shape is concave in this way depends on parameters such as the height of the partition wall 45, the volume of the functional liquid 41A, and the drying speed. More specifically, when the partition wall 45 is high, when the volume of the functional liquid 41A is small, or when drying is slow, it tends to be relatively concave.

次に、工程Ｐ１４では、上記凹部の透明樹脂層４１上に、液滴吐出装置によって機能液４０ＲＡを吐出し（図１１（ｃ））、その後プレベークを行う。 Next, in Step P14, the functional liquid 40RA is discharged onto the transparent resin layer 41 in the concave portion by a droplet discharge device (FIG. 11C), and then pre-baking is performed.

続く工程Ｐ１７では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡが吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図１１（ｄ））。このとき、各色要素４０は、凹状の表面形状をもって形成される。上記透明樹脂層４１の場合と同様、隔壁４５が高い場合、機能液４１Ａの体積が小さい場合、あるいは乾燥が遅い場合において相対的に凹状となりやすい。 In the subsequent process P17, the glass substrate 21 on which the functional liquids 40RA, 40GA, and 40BA have been discharged is left to stand in a high-temperature environment for baking. After the firing step, the solvent in the functional liquid 40A evaporates, and the color elements 40 are formed in the areas where the functional liquid 40A is discharged (FIG. 11D). At this time, each color element 40 is formed with a concave surface shape. As in the case of the transparent resin layer 41, when the partition wall 45 is high, when the volume of the functional liquid 41A is small, or when drying is slow, it tends to be relatively concave.

以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０Ｂが完成する。このような製造方法によれば、色要素４０は、透明樹脂層４１の表面に略平行な表面を有するので、当該色要素４０の厚さは各色要素領域２内で均一となる。よって、色要素４０が凹状の表面形状をもって形成される条件下においても、色要素領域２内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタ基板２０Ｂが得られる。 The color filter substrate 20B is completed through the above steps. According to such a manufacturing method, since the color element 40 has a surface substantially parallel to the surface of the transparent resin layer 41, the thickness of the color element 40 is uniform in each color element region 2. Therefore, even under the condition where the color element 40 is formed with a concave surface shape, the color filter substrate 20B having good optical characteristics with no variation in the transmittance in the color element region 2 can be obtained.

（第５の実施形態）
さらに、本発明は色要素４０が波状等の複雑な表面形状を有する場合にも適用可能である。以下では、こうした場合についての第５の実施形態に係るカラーフィルタ基板２０Ｃについて説明する。カラーフィルタ基板２０Ｃの構造、機能、および製造方法は、透明樹脂層４１および色要素４０の表面形状を除けば第１の実施形態のカラーフィルタ基板２０と同様であるので、相違点のみ説明する。 (Fifth embodiment)
Furthermore, the present invention is also applicable when the color element 40 has a complicated surface shape such as a wave shape. Hereinafter, a color filter substrate 20C according to the fifth embodiment for such a case will be described. Since the structure, function, and manufacturing method of the color filter substrate 20C are the same as those of the color filter substrate 20 of the first embodiment except for the surface shape of the transparent resin layer 41 and the color elements 40, only the differences will be described.

本実施形態は、液滴吐出法によって形成される色要素４０の表面が、色要素領域２の中央部近傍においては凹状となり、その周囲においては凸状となる場合を想定したものである。このような状況は、例えば、吐出後の機能液の中央部が先に乾燥し、その後に外縁部が乾燥するような条件下において、乾燥過程で溶質が外縁部に移動する結果、乾燥後の膜の中央部が薄く、その周囲が厚くなるような場合に起こりうる。上記条件としては、機能液の被吐出部が高温であること、溶媒の沸点が高いこと、雰囲気の対流が少ないことなどがあげられる。 In the present embodiment, the surface of the color element 40 formed by the droplet discharge method is assumed to be concave in the vicinity of the center of the color element region 2 and convex in the periphery thereof. Such a situation is, for example, as a result of the solute moving to the outer edge during the drying process under the condition that the central part of the discharged functional liquid is first dried and then the outer edge is dried. This can occur when the central part of the film is thin and the periphery is thick. Examples of the conditions include a high temperature of the functional liquid discharge target, a high boiling point of the solvent, and a low convection of the atmosphere.

こうした条件下で、上述の第１の実施形態の製造方法で製造されたカラーフィルタ基板２０Ｃは、図１２に示すような断面を有する。つまり、透明樹脂層４１の表面および色要素４０の表面は、当該断面図において波状を呈している。ここで、色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、透明樹脂層４１の表面形状と略同一である。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。 Under such conditions, the color filter substrate 20C manufactured by the manufacturing method of the first embodiment described above has a cross section as shown in FIG. That is, the surface of the transparent resin layer 41 and the surface of the color element 40 are wavy in the cross-sectional view. Here, the surface of the color element 40 is substantially parallel to the surface of the transparent resin layer 41. That is, the surface shape of the color element 40 is substantially the same as the surface shape of the transparent resin layer 41. For this reason, the thickness of the color element 40 is almost uniform at any point in the color element region 2.

ここで、透明樹脂層４１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０Ｃは、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０Ｃによれば、色要素領域内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。 Here, since the transparent resin layer 41 does not absorb light and does not optically act on transmitted light, the color filter substrate 20C is a color filter substrate in which color elements having a uniform thickness are directly formed on the substrate. It will have the same optical characteristics. That is, according to the color filter substrate 20C configured as described above, since there is no variation in the transmittance within the color element region, no light leakage or color density variation occurs, and good optical characteristics are realized.

（電気光学装置への適用例）
本発明を適用したカラーフィルタ基板２０（カラーフィルタ基板２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを含む）は、例えば、図１３に示すような「電気光学装置」としての液晶表示装置１に用いることができる。液晶表示装置１は、ＴＦＴ素子をスイッチング素子とするアクティブマトリクス方式の表示装置であり、シール剤３５を介して互いに対向して固着された素子基板１０、カラーフィルタ基板２０を有している。シール剤３５は、ガラス基板２１の外縁部近傍に形成されている。素子基板１０、カラーフィルタ基板２０、シール剤３５が作る空間には液晶が封入されている。また、素子基板１０上には、液晶を駆動するためのドライバ３９が実装されている。 (Application example to electro-optical device)
The color filter substrate 20 (including the color filter substrates 20A, 20B, and 20C) to which the present invention is applied can be used, for example, in the liquid crystal display device 1 as an “electro-optical device” as shown in FIG. The liquid crystal display device 1 is an active matrix type display device using TFT elements as switching elements, and includes an element substrate 10 and a color filter substrate 20 which are fixed to each other with a sealant 35 therebetween. The sealing agent 35 is formed in the vicinity of the outer edge portion of the glass substrate 21. Liquid crystal is sealed in a space formed by the element substrate 10, the color filter substrate 20, and the sealant 35. A driver 39 for driving the liquid crystal is mounted on the element substrate 10.

このような構成の液晶表示装置１は、液晶の作用により透過光を変調し、表示領域３２において表示を行う装置である。表示領域３２は、マトリクス状に配列された画素からなり、ドライバ３９はこれらの各々の画素に対して液晶を所望の状態に駆動させるための駆動信号を出力する。ここで、カラーフィルタ基板２０の色要素領域２の形状は、液晶表示装置１の画素の形状と等しくなっている。このため、表示に用いられる透過光は、カラーフィルタ基板２０の色要素４０を透過し、その際に着色される。 The liquid crystal display device 1 having such a configuration is a device that modulates transmitted light by the action of liquid crystal and performs display in the display region 32. The display area 32 includes pixels arranged in a matrix, and the driver 39 outputs a drive signal for driving the liquid crystal to a desired state for each of these pixels. Here, the shape of the color element region 2 of the color filter substrate 20 is equal to the shape of the pixel of the liquid crystal display device 1. For this reason, the transmitted light used for display is transmitted through the color element 40 of the color filter substrate 20 and is colored at that time.

このように、液晶表示装置１は、色要素４０の厚さが均一なカラーフィルタ基板２０を備えているので、画素内における光抜けや色濃度のばらつき等のない、高品位な表示を行うことができる。 As described above, since the liquid crystal display device 1 includes the color filter substrate 20 having the uniform thickness of the color elements 40, high-quality display can be performed without light leakage or color density variations in the pixels. Can do.

なお、カラーフィルタ基板２０は、上記液晶表示装置１以外にも種々の液晶表示装置に適用することが可能であり、例えば、ＴＦＤ（Thin Film Diode）をスイッチング素子とするもの、パッシブマトリクス駆動方式のもの、液晶モードがＴＮ（Twisted Nematic）モードのもの、またはＳＴＮ（Super Twisted Nematic）モードのもの等のいずれにも適用することができる。さらに、液晶表示装置以外にも、有機ＥＬ（Electro Luminescence）パネル、およびＤＭＤ（Digital Micromirror Device）等のカラーフィルタ基板を有する種々の電気光学装置に適用することが可能である。 The color filter substrate 20 can be applied to various liquid crystal display devices other than the liquid crystal display device 1. For example, the color filter substrate 20 uses a TFD (Thin Film Diode) as a switching element, or a passive matrix drive type. The liquid crystal mode can be applied to any of TN (Twisted Nematic) mode or STN (Super Twisted Nematic) mode. Further, in addition to the liquid crystal display device, the present invention can be applied to various electro-optical devices having a color filter substrate such as an organic EL (Electro Luminescence) panel and a DMD (Digital Micromirror Device).

（電子機器への搭載例）
カラーフィルタ基板２０を備えた上記液晶表示装置１は、例えば、図１４に示すような「電子機器」としての携帯電話機５００に搭載して用いることができる。携帯電話機５００は、表示部５１０および操作ボタン５２０を有している。表示部５１０は、内部に組み込まれた液晶表示装置１によって、操作ボタン５２０で入力した内容や着信情報を始めとする様々な情報について、画素内における光抜けや色濃度のばらつき等のない、高品位な表示を行うことができる。 (Example of mounting on electronic equipment)
The liquid crystal display device 1 including the color filter substrate 20 can be used by being mounted on, for example, a mobile phone 500 as an “electronic device” as shown in FIG. The mobile phone 500 includes a display unit 510 and operation buttons 520. The display unit 510 uses the liquid crystal display device 1 incorporated therein to display various information such as the contents input by the operation button 520 and incoming information, so that there is no light leakage or color density variation in the pixel. High-quality display can be performed.

なお、本発明を適用した液晶表示装置１は、上記携帯電話機５００の他、モバイルコンピュータ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、オーディオ機器、プロジェクタなどの各種電子機器に用いることができる。 The liquid crystal display device 1 to which the present invention is applied can be used in various electronic devices such as a mobile computer, a digital camera, a digital video camera, an in-vehicle device, an audio device, and a projector in addition to the mobile phone 500 described above.

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, various deformation | transformation can be added with respect to the said embodiment in the range which does not deviate from the meaning of this invention. As modifications, for example, the following can be considered.

（変形例１）
上記第２の実施形態に示したカラーフィルタ基板２０の製造方法において、工程Ｐ２１と工程Ｐ２２は入れ替えても良い。つまり、ガラス基板２１上に隔壁４５を形成した後に透明樹脂膜４１Ｌを形成し、フォトリソグラフィー法を用いてパターニングすることによって透明樹脂層４１を形成してもよい。このような方法によってもカラーフィルタ基板２０を製造することができる。 (Modification 1)
In the method for manufacturing the color filter substrate 20 shown in the second embodiment, the process P21 and the process P22 may be interchanged. That is, the transparent resin film 41L may be formed after forming the partition wall 45 on the glass substrate 21, and the transparent resin layer 41 may be formed by patterning using a photolithography method. The color filter substrate 20 can also be manufactured by such a method.

（変形例２）
上記第４、第５の各実施形態において、透明樹脂層４１を形成する工程（図５の工程Ｐ１２および工程Ｐ１３に相当）は、液滴吐出装置３００を用いる方法の他に、第２の実施形態のようにスピンコート法およびフォトリソグラフィー法を用いて透明樹脂層４１を形成してもよい。また、透明樹脂層４１を形成する代わりに、第３の実施形態のようにガラス基板２１の表面をエッチングしてもよい。 (Modification 2)
In each of the fourth and fifth embodiments, the process of forming the transparent resin layer 41 (corresponding to the process P12 and the process P13 in FIG. 5) is the second implementation in addition to the method using the droplet discharge device 300. The transparent resin layer 41 may be formed using a spin coating method and a photolithography method as in the embodiment. Further, instead of forming the transparent resin layer 41, the surface of the glass substrate 21 may be etched as in the third embodiment.

（変形例３）
上記各実施形態のカラーフィルタ基板２０は、必要に応じて最表面に透明樹脂等からなるオーバーコートが形成されていてもよい。こうした構成によれば、色要素４０を保護することができるとともに、色要素４０および隔壁４５の高さの不均衡による表面の凹凸を平坦化することができる。 (Modification 3)
In the color filter substrate 20 of each of the above embodiments, an overcoat made of a transparent resin or the like may be formed on the outermost surface as necessary. According to such a configuration, the color element 40 can be protected, and surface unevenness due to the height imbalance between the color element 40 and the partition wall 45 can be flattened.

（変形例４）
上記各実施形態において、色要素４０の形成は一度の機能液４０Ａの吐出および焼成によって行われるが、これに代えて、機能液４０Ａの吐出および焼成を複数回繰り返すことによって形成してもよい。このとき、透明樹脂層４１（または凹凸を有するガラス基板２１の表面）は、その表面形状が、色要素４０が最終的に有する表面形状と略平行となるように形成する。 (Modification 4)
In each of the embodiments described above, the color element 40 is formed by discharging and firing the functional liquid 40A once. Alternatively, the color element 40 may be formed by repeating discharge and firing of the functional liquid 40A a plurality of times. At this time, the transparent resin layer 41 (or the surface of the uneven glass substrate 21) is formed so that the surface shape is substantially parallel to the surface shape that the color element 40 finally has.

（変形例５）
上記各実施形態のカラーフィルタ基板２０は、赤、緑、青の３色の色要素４０および色要素領域２を有するが、これに代えて、４色以上の色要素および色要素領域を有する構成であってもよい。例えば、赤、緑、青、シアンの４色による構成とすることができる。 (Modification 5)
The color filter substrate 20 of each of the above embodiments includes the color elements 40 and the color element regions 2 of three colors of red, green, and blue, but instead includes four or more color elements and color element regions. It may be. For example, it can be configured by four colors of red, green, blue, and cyan.

本発明のカラーフィルタの実施形態に係るカラーフィルタ基板の平面図。The top view of the color filter board | substrate which concerns on embodiment of the color filter of this invention. 液滴吐出装置を示す模式斜視図。The model perspective view which shows a droplet discharge device. 液滴吐出装置におけるヘッドの一部を示し、（ａ）は模式斜視図、（ｂ）は断面図。A part of head in a droplet discharge apparatus is shown, (a) is a model perspective view, (b) is sectional drawing. 液滴吐出装置における制御部の機能ブロック図。The functional block diagram of the control part in a droplet discharge apparatus. 第１の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の工程図。FIG. 5 is a process diagram of a method for manufacturing a color filter substrate according to the first embodiment. （ａ）から（ｄ）は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。FIGS. 4A to 4D are cross-sectional views in the manufacturing process of the color filter substrate according to the first embodiment. FIGS. 第２の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の工程図。Process drawing of the manufacturing method of the color filter board | substrate which concerns on 2nd Embodiment. （ａ）から（ｅ）は、第２の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。(A) to (e) are cross-sectional views in the manufacturing process of the color filter substrate according to the second embodiment. 第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の工程図。Process drawing of the manufacturing method of the color filter board | substrate which concerns on 3rd Embodiment. （ａ）から（ｅ）は、第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。FIGS. 9A to 9E are cross-sectional views in a manufacturing process of a color filter substrate according to a third embodiment. FIGS. （ａ）から（ｄ）は、第４の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。FIGS. 9A to 9D are cross-sectional views in a manufacturing process of a color filter substrate according to a fourth embodiment. FIGS. 第５の実施形態に係るカラーフィルタ基板の断面図。Sectional drawing of the color filter board | substrate which concerns on 5th Embodiment. 本発明の電気光学装置の実施形態に係る液晶表示装置の模式斜視図。1 is a schematic perspective view of a liquid crystal display device according to an embodiment of an electro-optical device of the invention. 本発明の電子機器の実施形態に係る携帯電話機の模式斜視図。1 is a schematic perspective view of a mobile phone according to an embodiment of an electronic device of the present invention. 液滴吐出法を用いて製造された従来のカラーフィルタ基板の断面図。Sectional drawing of the conventional color filter board | substrate manufactured using the droplet discharge method.

符号の説明Explanation of symbols

１…液晶表示装置、２，２Ｒ，２Ｇ，２Ｂ…色要素領域、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…「カラーフィルタ」としてのカラーフィルタ基板、２１…ガラス基板、４０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ…色要素、４０Ａ，４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡ…色要素材料を含む機能液、４１…透明樹脂層、４１Ａ…透明樹脂層の材料を含む機能液、４１Ｌ…透明樹脂膜、４５…隔壁、１１４…ヘッド、１２７…吐出部、３００…液滴吐出装置、５００…携帯電話機。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display device 2, 2R, 2G, 2B ... Color element area | region, 20, 20A, 20B, 20C ... Color filter board | substrate as a "color filter", 21 ... Glass substrate, 40, 40R, 40G, 40B ... Color Element, 40A, 40RA, 40GA, 40BA ... functional liquid containing color element material, 41 ... transparent resin layer, 41A ... functional liquid containing material of transparent resin layer, 41L ... transparent resin film, 45 ... partition, 114 ... head, 127: Discharge unit, 300 ... Droplet discharge device, 500 ... Mobile phone.

Claims

複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、
基板と、
前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層と、
前記樹脂層上に配置され、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有する色要素と
を備えることを特徴とするカラーフィルタ。 A color filter having a plurality of color element regions,
A substrate,
A partition formed on the substrate and defining the color element region;
A translucent resin layer disposed at the bottom of a recess formed by the substrate and the partition, wherein at least a part of the surface is inclined with respect to a plane parallel to the substrate;
A color filter comprising: a color element disposed on the resin layer and having a surface substantially parallel to a surface of the resin layer.

請求項１に記載のカラーフィルタであって、
前記樹脂層は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有することを特徴とするカラーフィルタ。 The color filter according to claim 1,
The color filter according to claim 1, wherein the resin layer has a convex surface having a vertex near the center of the color element region.

請求項１に記載のカラーフィルタであって、
前記樹脂層は、前記各壁に接する部分が最も厚いことを特徴とするカラーフィルタ。 The color filter according to claim 1,
The color filter, wherein the resin layer has a thickest portion in contact with each wall.

複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、
基板と、
前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、当該凹部の底部に略平行な表面を有する色要素と
を備え、
前記凹部の底部である前記基板表面の少なくとも一部は、前記基板に平行な平面に対して傾斜していることを特徴とするカラーフィルタ。 A color filter having a plurality of color element regions,
A substrate,
A partition formed on the substrate and defining the color element region;
A color element disposed on the bottom of a recess formed by the substrate and the partition wall and having a surface substantially parallel to the bottom of the recess;
At least a part of the substrate surface, which is the bottom of the recess, is inclined with respect to a plane parallel to the substrate.

請求項４に記載のカラーフィルタであって、
前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状を呈していることを特徴とするカラーフィルタ。 The color filter according to claim 4,
The color filter according to claim 1, wherein the substrate surface, which is the bottom of the concave portion, has a convex shape having a vertex near the center of the color element region.

請求項４に記載のカラーフィルタであって、
前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を底部とする凹状を呈していることを特徴とするカラーフィルタ。 The color filter according to claim 4,
The color filter according to claim 1, wherein the substrate surface, which is the bottom of the concave portion, has a concave shape having a bottom near the center of the color element region.

請求項１から６のいずれか一項に記載のカラーフィルタであって、
各々の前記色要素領域および当該色要素領域に配置された前記色要素は、３種または４種以上の異なる色のいずれかに対応することを特徴とするカラーフィルタ。 The color filter according to any one of claims 1 to 6,
Each color element region and the color element arranged in the color element region correspond to any of three or four or more different colors.

請求項７に記載のカラーフィルタであって、
前記色は、赤、緑、青の３色であることを特徴とするカラーフィルタ。 The color filter according to claim 7,
The color filter has three colors of red, green, and blue.

請求項１から８のいずれか一項に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とする電気光学装置。 An electro-optical device comprising the color filter according to claim 1.

請求項９に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 9.

複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層上に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A method of manufacturing a color filter having a plurality of color element regions,
Forming a partition partitioning the color element region on the substrate;
Forming a translucent resin layer having at least a part of a surface inclined with respect to a plane parallel to the substrate at the bottom of the recess formed by the substrate and the partition;
And a step of discharging a functional liquid containing a color element material onto the resin layer using a droplet discharge method and drying the functional liquid to form a color element. .

複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上の前記色要素領域に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、
前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、
前記基板、前記樹脂層および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A method of manufacturing a color filter having a plurality of color element regions,
Forming a translucent resin layer in the color element region on the substrate, wherein at least a part of the surface is inclined with respect to a plane parallel to the substrate;
Forming a partition partitioning the color element region on the substrate;
Discharging a functional liquid containing a color element material to a bottom of a recess formed by the substrate, the resin layer, and the partition using a droplet discharge method, and drying the functional liquid to form a color element. A method for producing a color filter characterized by the above.

複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、
基板の前記色要素領域に対応する表面を凹凸形状を有するように加工する工程と、
前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
A method of manufacturing a color filter having a plurality of color element regions,
Processing the surface corresponding to the color element region of the substrate so as to have an uneven shape;
Forming a partition partitioning the color element region on the substrate;
And a step of discharging a functional liquid containing a color element material to the bottom of a recess formed by the substrate and the partition using a droplet discharge method and forming the color element by drying the functional liquid. A method for manufacturing a color filter.