JP4561226B2 - Color filter deposition method - Google Patents

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本発明は、インクジェット方式によるカラーフィルタの成膜方法および成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法に関する。   The present invention relates to a color filter film forming method and film forming apparatus, an electro-optical device, and an electronic apparatus manufacturing method using an inkjet method.

インクジェット方式を用いて製造されたカラーフィルタは、基板上に隔壁部によって仕切られた複数の画素領域が形成され、各画素領域に色層が形成されてなる。例えば特許文献１には、この種のカラーフィルタを製造する方法（成膜方法）が開示されており、複数の画素領域を仕切る隔壁部を形成する工程と、該隔壁部により仕切られた画素領域にインクジェット法によりインクを吐出して乾燥させ、色層を形成する工程とを備え、該各画素領域に形成する色層の膜厚を色毎に異ならせる方法が用いられている。   A color filter manufactured using an ink jet system is formed by forming a plurality of pixel regions partitioned by a partition wall on a substrate and forming a color layer in each pixel region. For example, Patent Document 1 discloses a method (film formation method) for manufacturing this type of color filter, and includes a step of forming a partition portion that partitions a plurality of pixel regions, and a pixel region partitioned by the partition portion. And a step of forming a color layer by discharging ink by an ink-jet method, and a method of varying the film thickness of the color layer formed in each pixel region for each color is used.

上記のカラーフィルタの製造方法は、色毎の色層の膜厚の差の内、特定の一つの色の色層の膜厚と、特定の他の色の色層の膜厚との差異を０．３μｍ以上として、使用者の好みに合わせた色調のカラーフィルタを提供しようとするものである。   The manufacturing method of the color filter described above is the difference between the thickness of the color layer of one specific color and the thickness of the color layer of a specific other color among the differences in the thickness of the color layer for each color. It is intended to provide a color filter having a color tone that matches the user's preference of 0.3 μm or more.

特開２００３−１０７２３１号公報JP 2003-107231 A

上記のような従来のカラーフィルタの成膜方法では、着弾したインクが画素領域内に濡れ広がる際に、画素領域のコーナー部付近に隔壁部を形成したときの残渣が残っている場合、インクの濡れ性が低下して均一に色層ができない不具合があった。インクが濡れない部分は、所謂白抜け状態となって光抜けが生じ、カラーフィルタの色調やコントラストに影響を及ぼすことがわかっている。   In the conventional color filter film forming method as described above, when the landed ink is left in the vicinity of the corner portion of the pixel area when the landed ink spreads in the pixel area, There was a problem that the color layer could not be uniformly formed due to the reduced wettability. It is known that the portion where the ink does not get wet is a so-called white-out state and light is lost, which affects the color tone and contrast of the color filter.

また、カラーフィルタを構成する画素領域は、通常Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の少なくとも３色の色層を有しており、３つの色層により表示画素１つを構成している。このようなカラーフィルタを用いて所定の表示画素数を有する電気光学装置である液晶表示装置等を製造する場合、上記従来のカラーフィルタの成膜方法にあるとおり使用者の好みに合わせた色調を得ようとするには、複数の画素領域に形成された同一色の色層内においても均一な膜厚となるように成膜しないと色調のムラが発生する惧れがある。   In addition, the pixel area constituting the color filter usually has at least three color layers of R (red), G (green), and B (blue), and one display pixel is constituted by the three color layers. is doing. When manufacturing a liquid crystal display device or the like, which is an electro-optical device having a predetermined number of display pixels, using such a color filter, the color tone according to the user's preference is provided as in the conventional color filter film forming method. In order to obtain it, there is a possibility that uneven color tone may occur unless the film is formed to have a uniform film thickness even in the same color layer formed in a plurality of pixel regions.

本発明は、上記のような課題を考慮してなされたものであって、画素領域内の白抜けを低減すると共に、同一色の色層の膜厚を略均一にすることができるカラーフィルタの成膜方法、この成膜方法を用いた成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above-described problems, and is a color filter that can reduce white spots in a pixel region and can make the thickness of a color layer of the same color substantially uniform. It is an object of the present invention to provide a film forming method, a film forming apparatus using the film forming method, an electro-optical device, and an electronic device manufacturing method.

本発明の一実施形態に係るカラーフィルタの成膜方法は、基板上の複数の画素領域に色層を形成してなり、前記複数の画素領域は、第１画素領域と、前記第１画素領域の短辺方向と同一方向に配列された第２画素領域及び第３画素領域を有し、前記第１画素領域、前記第２画素領域及び前記第３画素領域は、互いに異なる色の前記色層を有し、且つ、前記第２画素領域は前記第１画素領域と前記第３画素領域とに挟まれているカラーフィルタの成膜方法であって、前記複数の画素領域を区画する撥液性の隔壁部を前記基板上に形成する隔壁形成工程と、前記複数の画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出する吐出工程と、を備え、前記吐出工程において、前記第２画素領域に前記機能液を前記液滴として吐出する際に、前記第１画素領域及び前記第２画素領域の間に位置する前記隔壁と前記第２画素領域との境界部に位置する第１着弾位置に前記液滴を等間隔に吐出し、前記第３画素領域及び前記第２画素領域の間に位置する前記隔壁と前記第２画素領域との境界部であって、且つ、前記第１着弾位置と千鳥配列となる第２着弾位置に、前記液滴を等間隔に吐出することを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係るカラーフィルタの成膜方法は、基板上の画素領域に色層を形成してなるカラーフィルタの成膜方法であって、画素領域を区画する撥液性の隔壁部を基板上に形成する隔壁形成工程と、画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出する吐出工程とを備え、吐出工程は、同一方向に配置された複数の画素領域と、複数の画素領域を区画する隔壁部とに着弾するように機能液を吐出することを特徴とする。

A color filter film forming method according to an embodiment of the present invention includes forming a color layer in a plurality of pixel regions on a substrate, the plurality of pixel regions including a first pixel region and the first pixel region. The second pixel region and the third pixel region arranged in the same direction as the short side direction of the first pixel region, the second pixel region, and the third pixel region are different color layers from each other. And the second pixel region is a film forming method of a color filter sandwiched between the first pixel region and the third pixel region, and has a liquid repellency that partitions the plurality of pixel regions A partition wall forming step of forming a partition wall portion on the substrate, and a discharge step of discharging a functional liquid in which a color material is dispersed in the plurality of pixel regions as droplets. In the discharge step, the second step When the functional liquid is ejected as droplets onto the pixel region, the first The droplets in the first landing position located at the boundary portion between the partition wall and the second pixel region located between the element region and the second pixel region discharged at regular intervals, the third pixel region and the The liquid droplets are equidistantly spaced at a boundary between the partition located between the second pixel regions and the second pixel region, and at a second landing position having a staggered arrangement with the first landing position. It is characterized by discharging.
Further, a color filter film forming method according to an embodiment of the present invention is a color filter film forming method in which a color layer is formed in a pixel region on a substrate, and is a liquid repellent material that partitions the pixel region. A partition formation process for forming the partition wall portion on the substrate and a discharge process for discharging the functional liquid in which the color material is dispersed in the pixel area as droplets, and the discharge process includes a plurality of pixel regions arranged in the same direction. And the functional liquid is ejected so as to land on the partition walls partitioning the plurality of pixel regions.

この方法によれば、隔壁形成工程では、画素領域を区画する撥液性の隔壁部を形成し、吐出工程では、色材が分散された機能液を液滴として、同一方向に配置された複数の画素領域と、複数の画素領域を区画する隔壁部とに着弾するように吐出する。したがって、撥液性の隔壁部に着弾した機能液は、隔壁部から画素領域に侵入するように濡れ、画素領域内に着弾して濡れ広がった機能液と合体して画素領域内をムラなく覆う機能液層を成膜することができる。また同一方向に配置された複数の画素領域と、この画素領域を区画する隔壁部にそれぞれ機能液が着弾することによって、同一方向に機能液が濡れ広がって合体した機能液層を成膜することができる。このようにして成膜された機能液層を乾燥させて機能液中の溶媒成分を除去すれば、画素領域内および複数の画素領域においても膜厚のムラが少ないカラーフィルタを成膜することができる。   According to this method, in the partition formation step, a liquid repellent partition that partitions the pixel region is formed, and in the ejection step, a plurality of functional liquids in which the color material is dispersed are used as liquid droplets arranged in the same direction. The ink is discharged so as to land on the pixel area and the partition wall partitioning the plurality of pixel areas. Accordingly, the functional liquid that has landed on the liquid-repellent partition wall wets so as to enter the pixel area from the partition wall, and is combined with the functional liquid that has landed in the pixel area and spread wet to cover the pixel area evenly. A functional liquid layer can be formed. In addition, the functional liquid lands on a plurality of pixel areas arranged in the same direction and partition walls that divide the pixel area, thereby forming a functional liquid layer in which the functional liquid is wet and spread in the same direction. Can do. By drying the functional liquid layer thus formed and removing the solvent component in the functional liquid, it is possible to form a color filter with little film thickness unevenness in the pixel region and in the plurality of pixel regions. it can.

この場合、上記吐出工程では、機能液を略等間隔で吐出することを特徴とする。この構成によれば、機能液は略等間隔で吐出されるため、同一方向に機能液がムラ無く着弾し、より膜厚のムラが少ないカラーフィルタを成膜することができる。   In this case, the functional liquid is ejected at substantially equal intervals in the ejection step. According to this configuration, since the functional liquid is discharged at substantially equal intervals, the functional liquid can land in the same direction without unevenness, and a color filter with less unevenness in film thickness can be formed.

また上記吐出工程では、機能液を画素領域の隅に位置する隔壁部に着弾するように吐出することが好ましい。この方法によれば、画素領域内に着弾した機能液の一部が隔壁部に到達して前進接触角が低下し、画素領域の隅まで濡れ広がらない場合でも、隅に位置する撥液性を有する隔壁部に着弾した機能液が、画素領域内に侵入するように濡れるため、画素領域の隅まで確実に機能液を行き渡らせることができる。   In the ejection step, it is preferable that the functional liquid is ejected so as to land on the partition wall located at the corner of the pixel region. According to this method, even when part of the functional liquid that has landed in the pixel area reaches the partition wall and the forward contact angle decreases and does not spread to the corner of the pixel area, the liquid repellency located in the corner is reduced. Since the functional liquid that has landed on the partition wall has wet so as to enter the pixel area, the functional liquid can be reliably distributed to the corners of the pixel area.

また上記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と当該画素領域を区画する隔壁部との境界部に着弾するように機能液を液滴として吐出してもよい。   Further, in the ejection step, the functional liquid may be ejected as droplets so as to land on the boundary between a plurality of pixel regions that are arranged in the same direction and having the same color layer and a partition that partitions the pixel region. .

この方法によれば、上記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、この画素領域を区画する撥液性の隔壁部との境界部に着弾するように機能液が液滴として吐出される。境界部に着弾した液滴は境界部に沿って濡れ広がって行くため境界部で機能液の濡れ広がり不足が発生することを防止することができる。ゆえに画素領域の隅々まで機能液が行き渡ったカラーフィルタを成膜することができる。   According to this method, the ejection step functions to land on the boundary between a plurality of pixel regions that are the same color layer arranged in the same direction and the liquid-repellent partition wall that partitions the pixel region. The liquid is ejected as droplets. Since the liquid droplets that have landed on the boundary part wet and spread along the boundary part, it is possible to prevent the functional liquid from being insufficiently wet and spread in the boundary part. Therefore, it is possible to form a color filter in which the functional liquid has spread to every corner of the pixel region.

また上記吐出工程では、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて機能液を吐出することを特徴とする。尚、「液滴の着弾密度」とは、単位面積当たりに着弾した液滴の体積の割合を指す。   Further, the ejection step is characterized in that the functional liquid is ejected by changing the landing density of the droplets discharged to the partition wall with respect to the landing density of the droplets discharged to the pixel region. The “droplet landing density” refers to the ratio of the volume of droplets landed per unit area.

この方法によれば、吐出工程では、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて機能液を吐出する。すなわち、画素領域と隔壁部とに着弾した機能液の濡れ広がり状態を隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えることにより制御することができる。また、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度のみを変えて対応すればよいため、吐出されるすべての液滴の着弾密度を変える場合に比べ、無駄を抑えより少ない機能液量で、複数の画素領域全体に機能液を行き渡らせることができる。   According to this method, in the ejection step, the functional liquid is ejected while changing the landing density of the droplets ejected to the partition wall. That is, the wet and spread state of the functional liquid that has landed on the pixel region and the partition wall can be controlled by changing the landing density of the droplets discharged to the partition. In addition, since it is only necessary to change the landing density of the droplets discharged to the partition wall, it is possible to reduce the waste and reduce the number of functional liquids compared to changing the landing density of all the discharged droplets. The functional liquid can be spread over the entire pixel area.

また上記吐出工程は、画素領域に吐出される液滴の体積に対して隔壁部に吐出される少なくとも１つの液滴の体積が異なるように機能液を吐出することにより、着弾密度を変えてもよい。または、画素領域に着弾する液滴の数と隔壁部に着弾する液滴の数とが単位面積当たりで異なるように機能液を吐出することにより、着弾密度を変えてもよい。   Further, the ejection step may change the landing density by ejecting the functional liquid so that the volume of at least one droplet ejected to the partition wall portion is different from the volume of the droplet ejected to the pixel region. Good. Alternatively, the landing density may be changed by discharging the functional liquid so that the number of droplets that land on the pixel region and the number of droplets that land on the partition wall differ per unit area.

この方法によれば、上記吐出工程おいて、画素領域に吐出される液滴の体積に対して隔壁部に吐出される少なくとも１つの液滴の体積が異なるように機能液を吐出する方法、または画素領域に着弾する液滴の数と隔壁部に着弾する液滴の数とが単位面積当たりで異なるように機能液を吐出する方法のいずれかを用いれば、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えることができる。これによって、画素領域と隔壁部とに着弾した機能液が濡れ広がる状態をよりムラが少ない状態に制御することができる。   According to this method, in the discharging step, the functional liquid is discharged so that the volume of at least one droplet discharged to the partition wall portion differs from the volume of the droplet discharged to the pixel region, or If any one of the methods for ejecting the functional liquid so that the number of droplets that land on the pixel region and the number of droplets that land on the partition wall differs per unit area is used, The landing density can be changed. Thus, the state in which the functional liquid that has landed on the pixel region and the partition wall spreads out can be controlled to be less uneven.

上記のように着弾密度を変える場合において、上記吐出工程では、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度が高くなるように機能液を吐出することが好ましい。この方法によれば、より多くの機能液が隔壁部から画素領域に侵入するように濡れるため、画素領域の隔壁部付近に隔壁部を形成した際の残渣が存在して、着弾した液滴が濡れ広がるのを阻害する場合でも画素領域内の成膜ムラを低減することができる。   In the case of changing the landing density as described above, in the discharging step, the functional liquid is discharged so that the landing density of the droplets discharged to the partition wall portion is higher than the landing density of the droplets discharged to the pixel region. It is preferable to do. According to this method, a larger amount of functional liquid is wetted so as to enter the pixel region from the partition wall, so that the residue when the partition wall is formed exists near the partition wall in the pixel region, and the landed droplets are Even when wetting and spreading are inhibited, film formation unevenness in the pixel region can be reduced.

本発明のカラーフィルタの成膜装置は、基板上に形成された隔壁部によって区画された画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出して画素領域に色層を形成してなるカラーフィルタの成膜装置であって、機能液を液滴として吐出する液滴吐出部と、液滴吐出部と基板とを相対移動させる走査手段と、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、当該画素領域を区画する前記隔壁部とに液滴が着弾するように液滴吐出部を制御する吐出制御部とを備えたことを特徴とする。   The color filter film forming apparatus of the present invention forms a color layer in a pixel region by ejecting a functional liquid in which a color material is dispersed in a pixel region defined by a partition wall formed on a substrate as droplets. A color filter film forming apparatus comprising: a droplet discharge unit that discharges a functional liquid as droplets; a scanning unit that relatively moves the droplet discharge unit and the substrate; and the same color layer disposed in the same direction. A plurality of pixel regions, and a discharge control unit that controls the droplet discharge unit so that the droplets land on the partition walls that partition the pixel region.

この構成によれば、吐出制御部は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、この複数の画素領域を区画する隔壁部とに液滴が着弾するように液滴吐出部を制御するため、基板上の複数の画素領域と隔壁部とに機能液を液滴として吐出して同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域に濡れ広がった機能液からなる色層を成膜することができる。また画素領域のみに機能液を液滴として着弾させる場合に比べて、高い着弾精度を必要とせずに簡単な液滴の吐出制御でカラーフィルタを成膜することができる。   According to this configuration, the discharge controller discharges the droplets so that the droplets land on the plurality of pixel regions that are the same color layer arranged in the same direction and the partition wall that partitions the plurality of pixel regions. In order to control the portion, the functional liquid is ejected as droplets to a plurality of pixel areas and partition walls on the substrate, and is composed of a functional liquid wetted and spread on a plurality of pixel areas that are arranged in the same direction and have the same color layer. A color layer can be formed. Further, compared to the case where the functional liquid is landed as droplets only in the pixel region, the color filter can be formed by simple droplet discharge control without requiring high landing accuracy.

上記走査手段は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、当該画素領域を区画する隔壁部とに液滴が着弾するように液滴吐出部と基板とを前記同一方向と直交する方向に相対移動させることが好ましい。   The scanning means places the droplet discharge portion and the substrate in the same direction so that the droplets land on a plurality of pixel regions that are arranged in the same direction and have the same color layer, and a partition wall that partitions the pixel region. Relative movement in a direction orthogonal to

この構成によれば、走査手段は、同一色層となる複数の画素領域が配置された方向（前記同一方向）と直交する方向に液滴吐出部と基板とを相対移動させるため、前記同一方向と同じ方向に液滴吐出部と基板とを相対移動させる場合に比べて、当該画素領域と隔壁部とに効率よく液滴を吐出することができる。   According to this configuration, the scanning unit relatively moves the droplet discharge unit and the substrate in a direction orthogonal to the direction (the same direction) in which the plurality of pixel regions that are the same color layer are arranged. Compared with the case where the droplet discharge portion and the substrate are relatively moved in the same direction, droplets can be efficiently discharged to the pixel region and the partition portion.

また上記吐出制御部は、機能液を液滴として略等間隔で吐出させると共に、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えて機能液の液滴を吐出させるように液滴吐出部を制御することが好ましい。   The ejection control unit functions by ejecting the functional liquid as droplets at substantially equal intervals and changing the landing density of the droplets discharged to the partition wall with respect to the landing density of the droplets discharged to the pixel region. It is preferable to control the droplet discharge section so as to discharge liquid droplets.

この構成によれば、吐出制御部は、機能液を液滴として略等間隔で吐出させると共に、隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えるように液滴吐出部を制御するため、わずかでも隔壁部に着弾した液滴は画素領域内に流れ込み隅々まで機能液が行き渡った成膜ムラの少ないカラーフィルタを製造することができる。   According to this configuration, the ejection control unit ejects the functional liquid as droplets at substantially equal intervals, and controls the droplet ejection unit to change the landing density of the droplets ejected to the partition wall part. However, it is possible to manufacture a color filter with less film formation unevenness in which the droplets that have landed on the partition wall flow into the pixel region and spread throughout the pixel area.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造されたカラーフィルタを組み込むことを特徴とする。この方法によれば、成膜ムラによる白抜けの不具合が少なく、同一色層の膜厚ムラの少ないカラーフィルタを組み込むため、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置を提供することができる。   The electro-optical device manufacturing method of the present invention is characterized by incorporating a color filter manufactured using the color filter manufacturing method of the above invention. According to this method, an electro-optical device having high display quality with little color tone unevenness and contrast nonuniformity is provided because a color filter with less white spots due to uneven film formation and less film thickness unevenness of the same color layer is incorporated. be able to.

本発明の電子機器の製造方法は、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置を組み込むことを特徴とする。この方法によれば、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置を組み込むため、見映えのよい高品質な画質で画像などの情報を確認することができる電子機器を提供することができる。   According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus manufacturing method including an electro-optical device manufactured using the electro-optical device manufacturing method according to the invention. According to this method, since an electro-optical device having a high display quality with little color unevenness and contrast unevenness is incorporated, an electronic device that can check information such as an image with a high-quality image with good appearance is provided. Can do.

まず本発明の一実施形態であるカラーフィルタの成膜装置について図１〜図４に基づいて説明する。図１は、カラーフィルタの成膜装置の要部構造を示す概略斜視図である。図１に示すように本実施形態のカラーフィルタの成膜装置１０は、基板Ｗ上に形成された隔壁部によって区画された画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出して画素領域に色層を形成するものである。成膜装置１０は、色材が分散された機能液としてのインク１９を保持するインクタンク１１と、チューブ１８と、チューブ１８を介してインクタンク１１からインク１９が供給される吐出走査部１２と、を備えている。吐出走査部１２は、複数の液滴吐出ヘッド１３（図２参照）を保持するキャリッジ１７と、キャリッジ１７の位置を制御する第１位置制御部１４と、基板（ワーク）Ｗを保持するステージ１５と、ステージ１５の位置を制御する第２位置制御部１６と、吐出制御部２０と、を備えている。インクタンク１１と液滴吐出ヘッド１３とはチューブ１８で連結されており、インクタンク１１から複数の液滴吐出ヘッド１３のそれぞれにインク１９が圧縮空気によって供給される。   First, a color filter film forming apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic perspective view showing the main structure of a color filter film forming apparatus. As shown in FIG. 1, the color filter film forming apparatus 10 according to the present embodiment discharges a functional liquid in which a color material is dispersed in a pixel area defined by a partition wall formed on a substrate W as droplets. A color layer is formed in the pixel region. The film forming apparatus 10 includes an ink tank 11 that holds an ink 19 as a functional liquid in which a color material is dispersed, a tube 18, and a discharge scanning unit 12 that is supplied with the ink 19 from the ink tank 11 via the tube 18. It is equipped with. The discharge scanning unit 12 includes a carriage 17 that holds a plurality of droplet discharge heads 13 (see FIG. 2), a first position control unit 14 that controls the position of the carriage 17, and a stage 15 that holds a substrate (workpiece) W. A second position control unit 16 that controls the position of the stage 15, and a discharge control unit 20. The ink tank 11 and the droplet discharge head 13 are connected by a tube 18, and the ink 19 is supplied from the ink tank 11 to each of the plurality of droplet discharge heads 13 by compressed air.

液滴吐出部としての液滴吐出ヘッド１３は、基板Ｗ上に略等間隔でインク１９を液滴として吐出する。走査手段としての第１位置制御部１４（Ｘ軸方向）および第２位置制御部１６（Ｙ軸方向）は、液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。吐出制御部２０は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、この複数の画素領域を区画する隔壁部とに液滴を着弾させると共に、画素領域に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部に吐出される液滴の着弾密度を変えるように液滴吐出ヘッド１３と第１位置制御部１４および第２位置制御部１６とを制御する。   A droplet discharge head 13 as a droplet discharge unit discharges ink 19 as droplets on the substrate W at substantially equal intervals. The first position control unit 14 (X-axis direction) and the second position control unit 16 (Y-axis direction) as scanning means move the droplet discharge head 13 and the substrate W relative to each other. The ejection control unit 20 causes droplets to land on a plurality of pixel regions that are arranged in the same direction and have the same color layer, and a partition wall that partitions the plurality of pixel regions, and the droplets ejected to the pixel region The droplet discharge head 13, the first position control unit 14, and the second position control unit 16 are controlled so as to change the landing density of the droplets discharged to the partition wall with respect to the landing density.

第１位置制御部１４は、吐出制御部２０からの信号に応じて、キャリッジ１７をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御部１４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１７を回転させる機能も有する。本実施例では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。   The first position control unit 14 moves the carriage 17 along the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction in response to a signal from the discharge control unit 20. Further, the first position control unit 14 also has a function of rotating the carriage 17 around an axis parallel to the Z axis. In this embodiment, the Z-axis direction is a direction parallel to the vertical direction (that is, the direction of gravitational acceleration).

第２位置制御部１６は、吐出制御部２０からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１５を移動させる。さらに、第２位置制御部１６は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１５を回転させる機能も有している。   The second position control unit 16 moves the stage 15 along the Y-axis direction orthogonal to both the X-axis direction and the Z-axis direction in response to a signal from the discharge control unit 20. Further, the second position control unit 16 also has a function of rotating the stage 15 around an axis parallel to the Z axis.

ステージ１５は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１５は、基板Ｗをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。   The stage 15 has a plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. The stage 15 is configured to fix or hold the substrate W on the plane.

図２は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略断面図である。   FIG. 2 is a schematic view showing the structure of the droplet discharge head. FIG. 4A is a schematic perspective view showing the structure of the droplet discharge head, and FIG. 4B is a schematic sectional view showing the structure of the droplet discharge head.

図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド１３は、圧電素子２４を有する振動板２５と、複数のノズル２１を有するノズルプレート２６と、ノズル２１に連通する吐出室２２を構成するリザーバプレート２３とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。   As shown in FIG. 2A, the droplet discharge head 13 includes a diaphragm 25 having a piezoelectric element 24, a nozzle plate 26 having a plurality of nozzles 21, and a reservoir plate that constitutes a discharge chamber 22 communicating with the nozzles 21. 23 is a so-called piezo-type inkjet head having a three-layer structure.

ノズルプレート２６には、等間隔で穿孔された複数のノズル２１が設けられている。この場合、１つの液滴吐出ヘッド１３には、例えばおよそ１４０μｍピッチで１８０個のノズル２１が１列に配設されている。   The nozzle plate 26 is provided with a plurality of nozzles 21 perforated at equal intervals. In this case, for example, 180 nozzles 21 are arranged in a row in one droplet discharge head 13 with a pitch of about 140 μm, for example.

リザーバプレート２３には、振動板２５に形成されたインク供給孔２９を介してインクタンク１１から供給されるインク１９が充填されるインクキャビティ２７が設けられている。またインクキャビティ２７に充填されたインク１９は、供給口２８を通じて各吐出室２２に供給される。   The reservoir plate 23 is provided with an ink cavity 27 that is filled with the ink 19 supplied from the ink tank 11 through the ink supply hole 29 formed in the vibration plate 25. The ink 19 filled in the ink cavity 27 is supplied to each discharge chamber 22 through the supply port 28.

図２（ｂ）に示すように振動板２５には、それぞれの吐出室２２に対応して、圧電素子（ピエゾ）２４が配設されている。圧電素子２４は、圧電体２４ｃと、圧電体２４ｃを挟む１対の電極２４ａ，２４ｂとからなり、この１対の電極２４ａ，２４ｂとの間に駆動電圧を与えることで振動板２５が変形し、吐出室２２に充填されたインク１９を加圧してノズル２１からインク１９を液滴として吐出する。   As shown in FIG. 2B, the diaphragm 25 is provided with piezoelectric elements (piezo) 24 corresponding to the respective discharge chambers 22. The piezoelectric element 24 includes a piezoelectric body 24c and a pair of electrodes 24a and 24b sandwiching the piezoelectric body 24c, and the diaphragm 25 is deformed by applying a driving voltage between the pair of electrodes 24a and 24b. Then, the ink 19 filled in the discharge chamber 22 is pressurized, and the ink 19 is discharged as droplets from the nozzle 21.

図３は、吐出制御部および吐出制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図３に示すように吐出制御部２０は、インク１９の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ２０１と、入力バッファメモリ２０１に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）２０２に展開して関連する各部に制御信号を送る処理部２０３を備えている。また処理部２０３からの制御信号を受けて第１位置制御部１４と第２位置制御部１６とに位置制御信号を送る走査駆動部２０４と、同じく処理部２０３からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド１３に駆動電圧パルスを送るヘッド駆動部２０５とを備えている。   FIG. 3 is a block diagram illustrating an electrical configuration of the discharge control unit and each unit related to the discharge control unit. As shown in FIG. 3, the ejection control unit 20 includes an input buffer memory 201 that receives ejection data of the ink 19 from an external information processing apparatus, and storage means (RAM) 202 that stores ejection data temporarily stored in the input buffer memory 201. And a processing unit 203 that transmits a control signal to each related unit. In addition, a scanning drive unit 204 that receives a control signal from the processing unit 203 and sends a position control signal to the first position control unit 14 and the second position control unit 16, and a droplet that receives a control signal from the processing unit 203. A head driving unit 205 that sends a driving voltage pulse to the ejection head 13 is provided.

入力バッファメモリ２０１は、外部情報処理装置からインク１９の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。吐出データは、基板Ｗ上の被吐出部の相対位置を表すデータと、被吐出部にインク１９の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド１３のノズル列の内どのノズル２１を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。この場合、被吐出部とは、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域と、この複数の画素領域を区画する隔壁部である。   The input buffer memory 201 receives ejection data for ejecting ink 19 droplets from an external information processing apparatus. The ejection data includes data representing the relative position of the ejected portion on the substrate W, data indicating the landing density of the ink 19 droplets on the ejected portion, and nozzles of the droplet ejecting head 13. Data specifying which nozzle 21 in the row is to be driven (ON-OFF). In this case, the discharged portion is a plurality of pixel regions that are arranged in the same direction and have the same color, and a partition wall that partitions the plurality of pixel regions.

処理部２０３は、記憶手段２０２に格納された吐出データの中から被吐出部に関する位置の制御信号を走査駆動部２０４に送る。走査駆動部２０４は、この制御信号を受けて第１位置制御部１４に位置制御信号を送って液滴吐出ヘッド１３を副走査方向であるＸ軸方向に移動させる。また第２位置制御部１６に位置制御信号を送って基板Ｗが保持されたステージ１５を主走査方向であるＹ軸方向に移動させる。これによって基板Ｗの所望の位置に液滴吐出ヘッド１３からインク１９の液滴が吐出されるように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。   The processing unit 203 sends a position control signal related to the discharge target portion to the scan driving unit 204 from the discharge data stored in the storage unit 202. Upon receiving this control signal, the scanning drive unit 204 sends a position control signal to the first position control unit 14 to move the droplet discharge head 13 in the X-axis direction that is the sub-scanning direction. Further, a position control signal is sent to the second position controller 16 to move the stage 15 holding the substrate W in the Y-axis direction that is the main scanning direction. Accordingly, the droplet discharge head 13 and the substrate W are relatively moved so that the droplet of the ink 19 is discharged from the droplet discharge head 13 to a desired position on the substrate W.

また処理部２０３は、記憶手段２０２に格納された吐出データの中から被吐出部にインク１９の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータを、ノズル２１毎の４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部２０５に送る。また、液滴吐出ヘッド１３のノズル列の内どのノズル２１を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、後述するヘッド駆動部２０５が発生する駆動信号の４つのパルスの内どのパルスを検出して発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ（ＬＡＴ）信号とチャンネル（ＣＨ）信号をヘッド駆動部２０５に送る。ヘッド駆動部２０５は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド１３に適正な駆動電圧パルスを送って、ノズル２１からインク１９の液滴を吐出させる。   Further, the processing unit 203 uses 4-bit ejection for each nozzle 21 to indicate data indicating at what landing density the droplets of the ink 19 are ejected from the ejection data stored in the storage unit 202 to the ejected part. It is converted into bitmap data and sent to the head drive unit 205. Also, based on data designating which nozzle 21 in the nozzle row of the droplet discharge head 13 is to be driven (ON-OFF), which of the four pulses of the drive signal generated by the head drive unit 205 described later is selected. A latch (LAT) signal and a channel (CH) signal, which are “timing detection signals” indicating whether a pulse is detected and transmitted, are sent to the head drive unit 205. Upon receiving these control signals, the head driving unit 205 sends an appropriate driving voltage pulse to the droplet discharge head 13 to discharge the ink 19 droplets from the nozzles 21.

図４は、ヘッド駆動部が液滴吐出ヘッドに送る駆動信号（パルス）を示すタイムチャートである。吐出制御部２０は、ヘッド駆動部２０５が発生する駆動信号の４つのパルスの内のいずれか、または２つを選択する制御信号をヘッド駆動部２０５に送ることによって、液滴吐出ヘッド１３から異なる着弾径の液滴を吐出させる。   FIG. 4 is a time chart showing drive signals (pulses) sent from the head drive unit to the droplet discharge head. The ejection control unit 20 is different from the droplet ejection head 13 by sending a control signal for selecting one or two of the four pulses of the drive signal generated by the head drive unit 205 to the head drive unit 205. A droplet having a landing diameter is discharged.

図４に示すように、ヘッド駆動部２０５は、第１〜第４パルスを１周期とする吐出周期の駆動信号を発生することができる。第１パルスは、基準の電圧をＶｍとして最大駆動電圧Ｖｐと極性の異なる最小駆動電圧ＶＬとの間で振幅する矩形状の駆動信号である。同様にして第２パルスは基準電圧Ｖｍと最大駆動電圧Ｖｐとの間で振幅する駆動信号、第３パルスは第１パルスと同じ駆動信号、第４パルスは基準電圧Ｖｍと中間電圧Ｖｎとの間で振幅する駆動信号である。このように電圧波形の異なる駆動信号を圧電素子２４に印加することによって、圧電素子２４が接合した振動板２５の撓み量が変化し、吐出室２２に充填されたインク１９への加圧力が変化して、吐出される液滴の量を変えることができる。   As shown in FIG. 4, the head driving unit 205 can generate a driving signal having an ejection cycle in which the first to fourth pulses are one cycle. The first pulse is a rectangular drive signal having an amplitude between the maximum drive voltage Vp and the minimum drive voltage VL having a different polarity with the reference voltage as Vm. Similarly, the second pulse is a drive signal that swings between the reference voltage Vm and the maximum drive voltage Vp, the third pulse is the same drive signal as the first pulse, and the fourth pulse is between the reference voltage Vm and the intermediate voltage Vn. This is a drive signal that swings at. By applying drive signals having different voltage waveforms to the piezoelectric element 24 in this way, the amount of bending of the diaphragm 25 to which the piezoelectric element 24 is bonded is changed, and the pressure applied to the ink 19 filled in the discharge chamber 22 is changed. Thus, it is possible to change the amount of ejected droplets.

吐出制御部２０は、吐出データに基づいて小ドットの着弾径の液滴を吐出させる場合は、４ビットからなるビットマップデータを（０１００）とし、所望のノズル２１に駆動信号（パルス）の印加を促すラッチ信号をヘッド駆動部２０５へ送る。ヘッド駆動部２０５は、ビットマップデータ（０１００）により選択された第２パルスを所望のノズル２１に対応する圧電素子２４に印加する。同様にしてビットマップデータを（１０００）とすれば第１パルスを選択して中ドットの着弾径の液滴が吐出される。そしてビットマップデータを（１０１０）とし第１パルスと第３パルスとを選択して、ラッチ信号で第１パルスを印加して中ドットとなる液滴を吐出させた後に、同じノズル２１から同じ位置で再びチャンネル信号によって第３パルスを印加することによって中ドットを２回重ね打ちした大ドットとする。またビットマップデータを（０００１）とすれば第４パルスを選択する。第４パルスを圧電素子２４に印加しても液滴は吐出されない（無ドット）。第４パルスは、ノズル２１内のインク１９のメニスカスを微振動させる程度に圧電素子２４が接合した振動板２５がインク１９を加圧するように中間電圧Ｖｎが設定されている。したがって、インク１９を吐出しないノズル２１を選択して第４パルスを対応する圧電素子２４に印加すれば、該当するノズル２１のインク１９のメニスカスを微振動させてノズル２１の目詰まりを防ぐことができる。   When ejecting a droplet having a small dot landing diameter based on the ejection data, the ejection control unit 20 sets the 4-bit bitmap data to (0100) and applies a drive signal (pulse) to the desired nozzle 21. Is sent to the head drive unit 205. The head driving unit 205 applies the second pulse selected by the bitmap data (0100) to the piezoelectric element 24 corresponding to the desired nozzle 21. Similarly, if the bitmap data is (1000), the first pulse is selected and a droplet having a medium dot landing diameter is ejected. Then, the bitmap data is set to (1010), the first pulse and the third pulse are selected, and the first pulse is applied by the latch signal to eject the droplet that becomes the middle dot, and then the same position from the same nozzle 21. Then, by applying the third pulse again by the channel signal, the medium dot is made a large dot which is overlaid twice. If the bitmap data is (0001), the fourth pulse is selected. Even when the fourth pulse is applied to the piezoelectric element 24, no droplet is ejected (no dots). In the fourth pulse, the intermediate voltage Vn is set so that the vibration plate 25 to which the piezoelectric element 24 is bonded pressurizes the ink 19 to such an extent that the meniscus of the ink 19 in the nozzle 21 is slightly vibrated. Therefore, if the nozzle 21 that does not eject the ink 19 is selected and the fourth pulse is applied to the corresponding piezoelectric element 24, the meniscus of the ink 19 of the corresponding nozzle 21 is slightly vibrated to prevent the nozzle 21 from being clogged. it can.

上記のように、各駆動パルス（駆動信号）毎に１ビットのデータを割り当てて吐出データを構成すれば、各ビットの値によって所望の駆動パルスのみを選択することができる。この各駆動パルス毎に割り当てられる１ビットのデータが「パルス選択信号」となる。尚、第４パルスを省略する場合は、無ドットを（０００）、小ドットを（０１０）、中ドットを（１００）、中ドット２発による大ドットを（１０１）のように、３ビットの吐出データに翻訳すればよい。   As described above, if 1-bit data is assigned to each drive pulse (drive signal) to form ejection data, only a desired drive pulse can be selected according to the value of each bit. The 1-bit data assigned for each drive pulse is a “pulse selection signal”. If the fourth pulse is omitted, a 3-bit, such as (000) for no dots, (010) for small dots, (100) for medium dots, and (101) for large dots with two medium dots. What is necessary is just to translate into discharge data.

次に上記の成膜装置１０を用いたカラーフィルタの成膜方法およびカラーフィルタについて図５〜図７に基づいて説明する。図５は、本実施形態のカラーフィルタの成膜方法およびカラーフィルタを示す概略図である。図５（ａ）は、吐出された液滴の着弾状態を示す概略平面図、同図（ｂ）は、着弾した液滴が濡れ広がった状態を示す概略平面図、同図（ｃ）は、同図（ｂ）を立体的に現した概略斜視図、同図（ｄ）は、乾燥後の色層を示す概略平面図である。同図（ｅ）は、カラーフィルタの概略断面図である。尚、わかりやすく説明するために、実際の寸法とは異なる縮尺で図示している。   Next, a color filter film forming method and a color filter using the film forming apparatus 10 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a schematic view showing a color filter film forming method and a color filter according to this embodiment. FIG. 5A is a schematic plan view showing the landing state of the discharged droplet, FIG. 5B is a schematic plan view showing a state where the landed droplet is spread, and FIG. The schematic perspective view which represented the same figure (b) in three dimensions, and the same figure (d) are schematic plan views which show the color layer after drying. FIG. 4E is a schematic sectional view of the color filter. In addition, in order to explain in an easy-to-understand manner, the scale is illustrated at a scale different from the actual dimensions.

図５に示すように本実施形態のカラーフィルタの成膜方法は、基板Ｗ上に形成された画素領域２に色材が分散された機能液（インク１９）を液滴として吐出して画素領域２に色層８を形成する方法である。そして画素領域２を区画する撥液性の隔壁部１を基板上に形成する隔壁形成工程と、インク１９を液滴として吐出する吐出工程とを備え、吐出工程は、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域２と、複数の画素領域２を区画する隔壁部１とに着弾するようにインク１９を液滴として吐出する。   As shown in FIG. 5, in the color filter film forming method of the present embodiment, a functional liquid (ink 19) in which a color material is dispersed in a pixel area 2 formed on a substrate W is ejected as droplets to form a pixel area. In this method, the color layer 8 is formed on the surface 2. A partition formation process for forming the liquid-repellent partition wall 1 for partitioning the pixel region 2 on the substrate and a discharge process for discharging the ink 19 as droplets are provided, and the discharge processes are the same arranged in the same direction. The ink 19 is ejected as droplets so as to land on the plurality of pixel regions 2 that become the color layers and the partition wall 1 that partitions the plurality of pixel regions 2.

図５（ａ）に示すように本実施形態のカラーフィルタＡは、矩形状の画素領域２が基板Ｗ上に平面視格子状に配列されている。そして色層８としては、少なくともＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の３色の色層が同一方向に並列するように形成されてなる所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。   As shown in FIG. 5A, in the color filter A of the present embodiment, rectangular pixel regions 2 are arranged on the substrate W in a plan view lattice shape. The color layer 8 is a so-called stripe type color filter in which at least three color layers of R (red), G (green), and B (blue) are formed in parallel in the same direction.

（隔壁形成工程）
基板Ｗ上に撥液性を有する感光性樹脂を高さおよそ２〜３μｍとなるようにコーティングして感光性樹脂膜を形成する。そしてフォトリソ方式で所望の画素領域２を区画できるように露光・現像して隔壁部１を形成する。隔壁部１は、透明でもよいが好ましくは遮光性を有する黒色がよく黒色感光性樹脂材料としては、例えば撥液性を発現させるヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂と、ネガ型の透明アクリル系感光性樹脂（フォトレジスト）と、カーボンブラック等の黒色の無機顔料または黒色の有機顔料とを含むものなどである。 (Partition forming process)
A photosensitive resin film having a liquid repellency is coated on the substrate W to a height of about 2 to 3 μm to form a photosensitive resin film. Then, a partition wall portion 1 is formed by exposure and development so that a desired pixel region 2 can be partitioned by a photolithography method. The partition wall portion 1 may be transparent, but preferably black having a light-shielding property, and as the black photosensitive resin material, for example, a fluororesin such as hexafluoropolypropylene exhibiting liquid repellency, and a negative transparent acrylic photosensitive material It includes a resin (photoresist) and a black inorganic pigment such as carbon black or a black organic pigment.

尚、基板ＷにまずＣｒ（クロム）、Ｃｒ2Ｏ3（酸化クロム）等の遮光性を有する薄膜状の遮光層あるいはＡｌ（アルミ）またはＡｌ合金等の光反射性の薄膜状の遮光層を例えば０．１〜０．１５μｍの厚みに膜付けして、画素領域２に光が入射するようにフォトリソ方式でエッチングして開口する。そしてこの遮光層の上に画素領域２を囲むように隔壁部１を形成してもよい。 First, a thin-film light-shielding layer having a light-shielding property such as Cr (chromium) or Cr 2 O 3 (chromium oxide) or a light-reflective thin-film light-shielding layer such as Al (aluminum) or Al alloy is provided on the substrate W. For example, a film having a thickness of 0.1 to 0.15 μm is formed, and an opening is formed by etching using a photolithography method so that light enters the pixel region 2. The partition wall 1 may be formed on the light shielding layer so as to surround the pixel region 2.

（吐出工程）
上記のようにして隔壁部１が形成された基板Ｗを成膜装置１０のステージ１５に真空吸着等の方法で保持する。そしてレッド（Ｒ）に着色したインク１９が貯留されたインクタンク１１からチューブ１８を経由してキャリッジ１７に装着された液滴吐出ヘッド１３に供給する。これによってインクキャビティ２７と吐出室２２にインク１９が充填される。 (Discharge process)
The substrate W on which the partition wall 1 is formed as described above is held on the stage 15 of the film forming apparatus 10 by a method such as vacuum suction. Then, the ink 19 that is colored red (R) is supplied from the ink tank 11 in which the ink 19 is stored to the droplet discharge head 13 mounted on the carriage 17 via the tube 18. As a result, the ink 19 is filled in the ink cavity 27 and the discharge chamber 22.

次に図５（ａ）に示すように同一方向に配置された同一色となる画素領域２に対して液滴吐出ヘッド１３のノズル列が平行して対向するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。このとき液滴吐出ヘッド１３は第１位置制御部１４によってキャリッジ１７をＸ軸方向に移動することによって位置決めされる。また基板Ｗは第２位置制御部１６によってステージ１５をＹ軸方向に移動することによって位置決めされる。この位置決めのための位置制御は、吐出制御部２０の処理部２０３が吐出データを基に制御信号を走査駆動部２０４に送り、走査駆動部２０４から位置制御信号を第１位置制御部１４および第２位置制御部１６に送ることによって行われる。尚、図中の矢印は、基板Ｗの主走査方向を示している。すなわち、同一色となる複数の画素領域２は配列した方向と直交する方向に液滴吐出ヘッド１３は相対移動する。   Next, as shown in FIG. 5A, the droplet discharge head 13 and the substrate are arranged so that the nozzle rows of the droplet discharge head 13 face the pixel regions 2 arranged in the same direction and having the same color in parallel. R is moved relative to W. At this time, the droplet discharge head 13 is positioned by moving the carriage 17 in the X-axis direction by the first position control unit 14. The substrate W is positioned by moving the stage 15 in the Y-axis direction by the second position control unit 16. In this position control for positioning, the processing unit 203 of the discharge control unit 20 sends a control signal to the scan drive unit 204 based on the discharge data, and the position control signal is sent from the scan drive unit 204 to the first position control unit 14 and the first position control unit. This is done by sending it to the 2-position controller 16. The arrows in the figure indicate the main scanning direction of the substrate W. That is, the droplet discharge head 13 relatively moves in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of pixel regions 2 having the same color are arranged.

そして、処理部２０３が吐出データを基にビットマップデータとしたパルス選択信号とタイミング検出信号とをヘッド駆動部２０５に送って、液滴吐出ヘッド１３のノズル２１から等間隔で液滴４を同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１とに吐出する。   Then, the processing unit 203 sends a pulse selection signal and timing detection signal, which are bitmap data based on the ejection data, to the head driving unit 205, and the droplets 4 are made identical at equal intervals from the nozzles 21 of the droplet ejection head 13. The ink is discharged to a plurality of pixel regions 2 that are arranged in the direction and have the same color, and a partition wall 1 that partitions the plurality of pixel regions 2.

着弾した液滴４は濡れ広がると共に互いに合体して図５（ｂ）に示す帯状のインク層５が形成される。図５（ｃ）に示すようにインク層５は、隔壁部１が撥液性を有していることから表面張力により隔壁部１の高さよりも十分に盛り上がった状態となる。   The landed droplets 4 spread out and merge with each other to form a belt-like ink layer 5 shown in FIG. As shown in FIG. 5C, the ink layer 5 is sufficiently raised from the height of the partition wall 1 due to surface tension because the partition wall 1 has liquid repellency.

（乾燥工程）
次にインク層５を加熱乾燥して、インク１９中の溶媒成分を除去する。乾燥処理は、例えば基板Ｗを加熱するホットプレート、電気炉などによる処理の他、ランプアニールによって行うこともできる。この乾燥処理によって溶媒が蒸発してゆき、図５（ｄ）に示すように隔壁部１は撥液性を有しているため、インク層５が形成されていた領域３からインク１９が各画素領域２内に収容され、溶媒の蒸発が終了すると固形分の色材がくまなく画素領域２内に行き渡った色層８（８Ｒ）が均一な膜厚で形成される。 (Drying process)
Next, the ink layer 5 is dried by heating to remove the solvent component in the ink 19. The drying process can be performed by lamp annealing, for example, in addition to a process using a hot plate or an electric furnace for heating the substrate W. The solvent evaporates by this drying process, and the partition wall 1 has liquid repellency as shown in FIG. 5D, so that the ink 19 is transferred from the region 3 where the ink layer 5 was formed to each pixel. When the evaporation of the solvent is completed within the region 2, the color layer 8 (8 </ b> R) in which the solid color material spreads throughout the pixel region 2 is formed with a uniform film thickness.

同様にして、グリーン（Ｇ）に着色したインク１９が充填された液滴吐出ヘッド１３から液滴４を吐出する吐出工程および乾燥工程と、ブルー（Ｂ）に着色したインク１９が充填された液滴吐出ヘッド１３から液滴４を吐出する吐出工程および乾燥工程とを繰り返して行う。これにより図５（ｅ）に示すようなカラーフィルタＡの色層８Ｒ，８Ｇ，８Ｂが形成される。   Similarly, an ejection process and a drying process for ejecting droplets 4 from the droplet ejection head 13 filled with green (G) colored ink 19, and a liquid filled with blue (B) colored ink 19. The discharge process of discharging the droplets 4 from the droplet discharge head 13 and the drying process are repeated. As a result, the color layers 8R, 8G, and 8B of the color filter A as shown in FIG.

そしてこれらの色層８Ｒ，８Ｇ，８Ｂを保護すると共に、その表面を平坦化するためにオーバーコート層（保護層）９を形成する。オーバーコート層９は、透明な樹脂をスピンコート法、ロールコート法、リッピング法またはインクジェット法などの塗布方法を用いて形成すればよい。   An overcoat layer (protective layer) 9 is formed to protect these color layers 8R, 8G, and 8B and to flatten the surface thereof. The overcoat layer 9 may be formed using a transparent resin by a coating method such as a spin coating method, a roll coating method, a ripping method, or an ink jet method.

この場合、基板Ｗとしては、透明なガラス基板またはプラスチック製の樹脂板やフィルムを用いることができる。   In this case, as the substrate W, a transparent glass substrate or a plastic resin plate or film can be used.

またインクジェット法により吐出される着色インクとしては、例えばポリウレタンオリゴマーあるいはポリメチルメタクリレートオリゴマーに色材としての無機顔料を分散させる。その後に低沸点溶媒としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルと、高沸点溶媒としてブチルカルビトールアセテートとを加え、さらに非イオン系界面活性剤を分散剤として添加して、粘度を所定の範囲に調整した着色インクを用いることができる。   In addition, as a colored ink ejected by an ink jet method, for example, an inorganic pigment as a coloring material is dispersed in a polyurethane oligomer or a polymethyl methacrylate oligomer. Thereafter, cyclohexanone and butyl acetate as low-boiling solvents and butyl carbitol acetate as high-boiling solvents are added, and a non-ionic surfactant is added as a dispersant to prepare a colored ink whose viscosity is adjusted to a predetermined range. Can be used.

次に吐出工程におけるインク１９の液滴の他の吐出パターンについて図６および図７に基づいて説明する。図６（ａ）〜（ｅ）は、画素領域と隔壁部とに吐出する液滴の吐出パターンを示す概略平面図である。   Next, another ejection pattern of the ink 19 droplets in the ejection process will be described with reference to FIGS. 6A to 6E are schematic plan views showing discharge patterns of droplets discharged to the pixel region and the partition wall.

図６（ａ）または（ｂ）は、隔壁部に吐出される液滴の体積を変えた吐出パターンを示す概略平面図である。この吐出パターンは、図６（ａ）または（ｂ）に示すように画素領域２に吐出される液滴４に対して、隔壁部１上に吐出される少なくとも１つの液滴４ａ（または４ｂ）の量（体積）が異なるように吐出するものである。同図（ａ）は例えば吐出制御部２０の処理部２０３からヘッド駆動部２０５にパルス選択信号としてビットマップデータ（１０１０）を送り、大ドットの吐出を行う。同図（ｂ）は同様にしてビットマップデータ（１０００）を送り、中ドットの吐出を行う。このようにすれば隔壁部１上またはその近傍に着弾する液滴４ａまたは４ｂの量（体積）を増やすことができる。   FIG. 6A or 6B is a schematic plan view showing a discharge pattern in which the volume of a droplet discharged to the partition wall is changed. As shown in FIG. 6 (a) or (b), this discharge pattern is based on at least one liquid droplet 4a (or 4b) discharged on the partition wall portion 1 with respect to the liquid droplet 4 discharged to the pixel region 2. The amount of discharge (volume) is different. In FIG. 9A, for example, bitmap data (1010) is sent as a pulse selection signal from the processing unit 203 of the ejection control unit 20 to the head driving unit 205, and large dots are ejected. In FIG. 6B, bitmap data (1000) is sent in the same manner, and medium dots are ejected. In this way, the amount (volume) of the droplets 4a or 4b that land on or in the vicinity of the partition wall 1 can be increased.

図６（ｃ）は、隔壁部上に着弾する液滴の着弾数を変えた吐出パターンを示す概略平面図である。この吐出パターンは、図６（ｃ）に示すように画素領域２に着弾する液滴４の数と隔壁部１に着弾する液滴４の数とが単位面積当たりで異なるように吐出するものである。まず隔壁部１上に液滴４が着弾するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとが対向する位置で液滴４を吐出する。そして先に示した図５（ａ）と同様にして同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１に液滴４を等間隔で吐出する。さらに基板Ｗを主走査方向に移動して前段と同様に隔壁部１上に液滴４が着弾するように吐出する。このようにすれば、隣り合う同一色層となる画素領域２を隔てる隔壁部１上に液滴４を数多く着弾させることができる。   FIG. 6C is a schematic plan view showing a discharge pattern in which the number of droplets that land on the partition wall is changed. As shown in FIG. 6C, this discharge pattern is such that the number of droplets 4 that land on the pixel region 2 and the number of droplets 4 that land on the partition wall 1 are different per unit area. is there. First, the droplet 4 is ejected at a position where the droplet ejection head 13 and the substrate W face each other so that the droplet 4 reaches the partition wall 1. In the same manner as in FIG. 5A described above, the droplets 4 are equally spaced on the plurality of pixel regions 2 arranged in the same direction and having the same color, and on the partition wall 1 partitioning the plurality of pixel regions 2. To discharge. Further, the substrate W is moved in the main scanning direction and discharged so that the liquid droplets 4 land on the partition wall portion 1 as in the previous stage. In this way, a large number of droplets 4 can be landed on the partition wall 1 that separates adjacent pixel regions 2 that have the same color layer.

図６（ｄ）および（ｅ）は、画素領域の隅（コーナー部）に位置する隔壁部に着弾するように吐出する吐出パターンを示す概略平面図である。まず画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１ａに液滴４を吐出する。続いて同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１に液滴４を等間隔で吐出する。さらに基板Ｗを主走査方向に移動して前段と同様に画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１ａに液滴４が着弾するように吐出する。このようにすれば、画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１ａにより多くの液滴４を着弾させることができる。また隔壁部１ａに着弾した液滴４は、画素領域２のコーナー部を埋めるように濡れ広がる。   FIGS. 6D and 6E are schematic plan views showing a discharge pattern for discharging so as to land on a partition wall portion located at a corner (corner portion) of the pixel region. First, the droplet 4 is discharged to the partition wall 1 a located at the corner of the pixel region 2. Subsequently, droplets 4 are ejected at equal intervals to a plurality of pixel regions 2 that are arranged in the same direction and have the same color, and a partition wall 1 that partitions the plurality of pixel regions 2. Further, the substrate W is moved in the main scanning direction and discharged so that the droplets 4 land on the partition wall 1a located at the corner of the pixel region 2 as in the previous stage. In this way, more droplets 4 can be landed on the partition wall 1a located at the corner of the pixel region 2. In addition, the droplet 4 that has landed on the partition wall 1 a spreads out wet so as to fill the corner of the pixel region 2.

以上のように隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度を高くすることによって、画素領域２の隔壁部１の近傍に液滴が濡れ広がることを阻害する要因（例えば撥液性を有する隔壁部１の残渣が存在する場合など）があっても、それを補う液滴を隔壁部１に吐出して色層８を成膜することができる。尚、隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度は、必ずしも高くしなくてもよい。わずかでも隔壁部１に液滴４が着弾すれば、着弾した液滴４は隔壁部１から画素領域２内に侵入して塗れ広がるため、膜厚ムラによる白抜け等の不具合を低減することができる。   As described above, by increasing the landing density of the liquid droplets discharged to the partition wall 1, a factor that inhibits the liquid from spreading near the partition wall 1 in the pixel region 2 (for example, a liquid repellent partition wall). Even if there is a residue in the portion 1), the color layer 8 can be formed by discharging droplets that compensate for the residue to the partition wall portion 1. The landing density of the droplets discharged to the partition wall 1 does not necessarily have to be high. If the droplets 4 land on the partition wall 1 even a little, the landed droplets 4 penetrate into the pixel region 2 from the partition wall 1 and spread, so that problems such as white spots due to film thickness unevenness can be reduced. it can.

図７（ａ）〜（ｃ）は、画素領域と隔壁部との境界部に着弾するように液滴を吐出する吐出パターンを示す概略平面図である。   7A to 7C are schematic plan views showing ejection patterns for ejecting droplets so as to land on the boundary between the pixel region and the partition wall.

図７（ａ）は、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２の長辺方向に沿った画素領域２と隔壁部１との境界部に着弾するように等間隔で液滴４を吐出したものである。この場合、画素領域２の大きさに対して等間隔に吐出された液滴４の量が多くなって並行する他の色の画素領域２に侵入してしまう惧れがある。このような場合には、同図（ｂ）に示すように処理部２０３から吐出するノズル２１を間引くように選択（ＯＮ−ＯＦＦ）し、且つ境界部に互いに向かい合って着弾した液滴４が等間隔となるようにチドリ状に吐出する。このようにすれば、液滴の無駄な吐出を押えて均一な色層８を成膜することができる。さらに同図（ｃ）に示すように画素領域２のコーナー部に位置する隔壁部１により液量の多い液滴４ｂ（中ドット）を着弾させることも可能である。   FIG. 7A shows droplets at equal intervals so as to land on the boundary between the pixel region 2 and the partition wall portion 1 along the long side direction of the plurality of pixel regions 2 of the same color arranged in the same direction. 4 is discharged. In this case, there is a possibility that the amount of droplets 4 ejected at equal intervals with respect to the size of the pixel region 2 increases and enters the pixel region 2 of another color in parallel. In such a case, as shown in FIG. 6B, the nozzles 21 ejected from the processing unit 203 are selected (ON-OFF) so as to be thinned out, and the droplets 4 that land on the boundary portion face each other are equal. It discharges in a plover shape so that it may become an interval. In this way, it is possible to form a uniform color layer 8 while suppressing unnecessary discharge of droplets. Further, as shown in FIG. 3C, it is possible to land a liquid droplet 4b (medium dot) having a large amount of liquid by the partition wall portion 1 positioned at the corner portion of the pixel region 2.

図７（ａ）〜（ｃ）に示すようにこれらの吐出パターンは、液滴が画素領域２を区画する隔壁部１に沿って濡れ広がるように吐出したものである。これによって画素領域２の隔壁部１の近傍やコーナー部に液滴が濡れ広がることを阻害する要因（例えば撥液性を有する隔壁部１の残渣が存在する場合など）があっても、積極的に境界部に液滴を吐出して色層８を成膜することができる。   As shown in FIGS. 7A to 7C, these ejection patterns are ejected so that the liquid droplets are wet and spread along the partition wall 1 that partitions the pixel region 2. Even if there is a factor that prevents the liquid droplet from getting wet and spread in the vicinity of the partition wall portion 1 or the corner portion of the pixel region 2 (for example, when there is a residue of the partition wall portion 1 having liquid repellency), it is positive. In addition, the color layer 8 can be formed by discharging droplets at the boundary.

尚、当然のことながら液滴吐出ヘッド１３のノズル２１のピッチに対して隣り合う画素領域２を区画する隔壁部１のピッチは必ずしも整数倍とはならない。本発明では、吐出された液滴の一部が隔壁部１に掛かる、または隔壁部１の近傍に着弾すれば十分にその効果を奏する。さらに、液滴が隔壁部１に掛からない場所が低い割合で発生しても構わない。この場合でも、液滴が隔壁部１に掛かった箇所では、画素領域２の隅まで機能液が濡れ広がるので膜厚ムラによる白抜け等の不具合を低減できる。   As a matter of course, the pitch of the partition walls 1 that partitions the adjacent pixel regions 2 with respect to the pitch of the nozzles 21 of the droplet discharge head 13 is not necessarily an integral multiple. In the present invention, if a part of the ejected liquid droplets hits the partition wall 1 or lands on the vicinity of the partition wall 1, the effect is sufficiently obtained. Furthermore, a place where the droplet does not hit the partition wall 1 may be generated at a low rate. Even in this case, since the functional liquid wets and spreads to the corners of the pixel region 2 where the liquid droplets are applied to the partition wall 1, problems such as white spots due to uneven film thickness can be reduced.

次に上記カラーフィルタの成膜方法で成膜したカラーフィルタを組み込んだ電気光学装置の製造方法について図８〜図９に基づいて説明する。   Next, a method for manufacturing an electro-optical device incorporating a color filter formed by the color filter film forming method will be described with reference to FIGS.

図８は、電気光学装置としてのパッシブ型液晶表示装置の構造を示す概略断面図である。この実施形態の液晶表示装置１００に、液晶駆動用ＩＣ１２１、配線類１２２、光源（バックライト）１７０、支持体（図示略）などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型の液晶表示装置が構成される。   FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a passive liquid crystal display device as an electro-optical device. The liquid crystal display device 100 according to this embodiment is equipped with auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC 121, wirings 122, a light source (backlight) 170, a support (not shown), and the like, so that a transmissive liquid crystal as a final product A display device is configured.

この本実施形態の液晶表示装置１００は、上記のカラーフィルタＡが組み込まれている。尚、本実施形態においてはカラーフィルタＡについて簡略的に説明することとする。図８は透過型の液晶表示装置１００の要部を示しており、この液晶表示装置１００は、カラーフィルタＡとしてのカラーフィルタ基板１０２とガラス基板等からなる対向基板１０１とをシール材１１０を介して対向配置し、その隙間にＳＴＮ（Super Twisted Nemtic）液晶等からなる液晶層１０３が封止された構造となっている。   The liquid crystal display device 100 of this embodiment incorporates the color filter A described above. In the present embodiment, the color filter A will be briefly described. FIG. 8 shows a main part of the transmissive liquid crystal display device 100. The liquid crystal display device 100 includes a color filter substrate 102 as a color filter A and a counter substrate 101 made of a glass substrate or the like through a sealant 110. The liquid crystal layer 103 made of STN (Super Twisted Nemtic) liquid crystal or the like is sealed in the gap.

カラーフィルタ基板１０２は、基板１１１と、基板１１１上に形成された遮光層１１２、隔壁部１１３並びに色層８と、これらの遮光層１１２、隔壁部１１３並びに色層８を覆う保護層（オーバーコート層）１１４とを具備して構成されている。色層８は、赤（Ｒ）の色層８Ｒ、緑（Ｇ）の色層８Ｇ、青（Ｂ）の色層８Ｂの各色からなる。保護層１１４の下（液晶層１０３側）には、複数の電極１０６がストライプ状に所定の間隔で形成され、さらにその下（液晶層１０３側）に配向膜１０９が形成されている。   The color filter substrate 102 includes a substrate 111, a light shielding layer 112 formed on the substrate 111, a partition wall 113 and a color layer 8, and a protective layer (overcoat covering the light shielding layer 112, the partition wall 113 and the color layer 8. Layer) 114. The color layer 8 includes each color of a red (R) color layer 8R, a green (G) color layer 8G, and a blue (B) color layer 8B. Below the protective layer 114 (on the liquid crystal layer 103 side), a plurality of electrodes 106 are formed in stripes at predetermined intervals, and further below (on the liquid crystal layer 103 side), an alignment film 109 is formed.

同様に、対向基板１０１においてカラーフィルタ基板１０２との対向面には、カラーフィルタ基板１０２の電極１０６と直交する方向に延在する複数の電極１０５がストライプ状に所定の間隔で形成され、その上（液晶層１０３側）に配向膜１０７が形成されている。そして、電極１０５と電極１０６との交差位置（表示画素）に対応してカラーフィルタ基板１０２の各色層８が配置されている。また、対向基板１０１とカラーフィルタ基板１０２の外面側には図示しない偏光板がそれぞれ設置されている。また、基板間には、間隔（セルギャップという）を基板面内で一定に保持するためのスペーサ１０４が介在している。尚、電極１０５，１０６はＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料を平面視ストライプ状に所定の間隔で形成したものである。   Similarly, a plurality of electrodes 105 extending in a direction orthogonal to the electrodes 106 of the color filter substrate 102 are formed in stripes at predetermined intervals on the surface of the counter substrate 101 facing the color filter substrate 102. An alignment film 107 is formed on the (liquid crystal layer 103 side). Each color layer 8 of the color filter substrate 102 is arranged corresponding to the intersection position (display pixel) between the electrode 105 and the electrode 106. Further, polarizing plates (not shown) are provided on the outer surface sides of the counter substrate 101 and the color filter substrate 102, respectively. In addition, a spacer 104 is interposed between the substrates to keep a distance (referred to as a cell gap) constant within the substrate surface. The electrodes 105 and 106 are formed by forming a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide) at a predetermined interval in a plan view stripe shape.

尚、液晶表示装置１００は、カラーフィルタＡを上側（観測者側）に配置したものであるが、カラーフィルタＡを下側に配置することもできる。例えば、前述したように遮光層１１２を光反射性の遮光層とし、その一部が画素領域２に対応して部分的に開口するように形成する。そしてカラーフィルタＡを下側に配置して基板１１１の背後から光源１７０の光が入射した場合は、上記開口から光が透過して透過型として機能する。またその一方で基板１１１の上方から外光が入射して光反射性の遮光層部分で反射し色層８を反射光が通過する場合は、反射型として機能する。   In the liquid crystal display device 100, the color filter A is arranged on the upper side (observer side), but the color filter A can also be arranged on the lower side. For example, as described above, the light-shielding layer 112 is a light-reflective light-shielding layer, and a part thereof is formed so as to partially open corresponding to the pixel region 2. When the color filter A is disposed on the lower side and light from the light source 170 is incident from behind the substrate 111, the light is transmitted through the opening and functions as a transmission type. On the other hand, when external light enters from above the substrate 111 and is reflected by the light-reflective light-shielding layer portion and the reflected light passes through the color layer 8, it functions as a reflective type.

図９は、電気光学装置としてのアクティブ型ＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶表示装置を示す概略分解斜視図である。この液晶表示装置４００に、液晶駆動用ＩＣ、配線類（いずれも図示省略）、バックライト３２０、支持体（図示省略）などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が構成される。この液晶表示装置４００は、上記カラーフィルタＡと同様の構造のカラーフィルタＦが組み込まれており、カラーフィルタＦを上側（観測者側）に配置したものである。尚、本実施形態においてはカラーフィルタＦについて簡略的に説明することとする。   FIG. 9 is a schematic exploded perspective view showing an active TFT (Thin Film Transistor) liquid crystal display device as an electro-optical device. A transmissive liquid crystal display device as a final product is mounted on the liquid crystal display device 400 by attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, wiring (all not shown), a backlight 320, and a support (not shown). Is configured. The liquid crystal display device 400 includes a color filter F having the same structure as the color filter A, and the color filter F is disposed on the upper side (observer side). In the present embodiment, the color filter F will be briefly described.

この液晶表示装置４００は、互いに対向するように配置されたカラーフィルタＦ及び素子基板４０２と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタＦの上面側（観測者側）に付設された偏光板４０３と、素子基板４０２の下面側に付設された図示略の偏光板とを主体として構成されている。   The liquid crystal display device 400 is attached to the color filter F and the element substrate 402 arranged so as to face each other, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and the upper surface side (observer side) of the color filter F. The polarizing plate 403 and the polarizing plate (not shown) attached to the lower surface side of the element substrate 402 are mainly configured.

カラーフィルタＦは、例えば板厚３００μｍ（０．３ｍｍ）程度のガラス等からなる対向基板４０５を備え、この対向基板４０５の下側に、先のカラーフィルタＡと同様な構造の遮光層と隔壁部と色層８及び保護層（オーバーコート層）４０７が順次形成されたものである。また、このカラーフィルタＦの保護層４０７の下側に駆動用の電極（全面電極）４０８が形成されている。なお、実際の液晶表示装置４００においては電極４０８を覆って液晶層側に配向膜が設けられるが、図９では省略してあるとともに、反対側の素子基板４０２側の後述する画素電極４１１上にも配向膜が設けられるが、図９では省略し、配向膜の説明も省略する。   The color filter F includes a counter substrate 405 made of glass having a plate thickness of about 300 μm (0.3 mm), for example, and a light shielding layer and a partition wall having a structure similar to that of the color filter A are provided below the counter substrate 405. And a color layer 8 and a protective layer (overcoat layer) 407 are sequentially formed. A driving electrode (entire electrode) 408 is formed below the protective layer 407 of the color filter F. Note that in the actual liquid crystal display device 400, an alignment film is provided on the liquid crystal layer side so as to cover the electrode 408, but this is omitted in FIG. 9 and on a pixel electrode 411 (described later) on the element substrate 402 side on the opposite side. Although an alignment film is provided, it is omitted in FIG. 9 and description of the alignment film is also omitted.

素子基板４０２上には絶縁層４１０が形成され、この絶縁層４１０の上には、ＴＦＴ型のスイッチング素子としての薄膜トランジスタＴと画素電極４１１が形成されている。素子基板４０２上に形成された絶縁層４１０上には、マトリクス状に走査線４１２と信号線４１３とが形成され、これら走査線４１２と信号線４１３とに囲まれた領域毎に画素電極４１１が設けられている。各画素電極４１１のコーナー部分と走査線４１２と信号線４１３との間の部分に薄膜トランジスタＴが組み込まれており、走査線４１２と信号線４１３に対する信号の印加によって薄膜トランジスタＴをオン・オフして画素電極４１１への通電制御を行うことができるように構成されている。また、対向側のカラーフィルタＦ側に形成された電極４０８はこの実施形態では画素電極形成領域全体をカバーする全面電極とされている。尚、ＴＦＴの配線回路や画素電極形状には様々なものがあり、本実施の形態では図９に示すものを例示したが、他の形状のＴＦＴを備えた液晶表示装置にも適用できるのは勿論である。   An insulating layer 410 is formed on the element substrate 402, and a thin film transistor T as a TFT type switching element and a pixel electrode 411 are formed on the insulating layer 410. A scanning line 412 and a signal line 413 are formed in a matrix on the insulating layer 410 formed over the element substrate 402, and a pixel electrode 411 is formed in each region surrounded by the scanning line 412 and the signal line 413. Is provided. A thin film transistor T is incorporated in a corner portion of each pixel electrode 411 and a portion between the scanning line 412 and the signal line 413. By applying a signal to the scanning line 412 and the signal line 413, the thin film transistor T is turned on / off to be a pixel. It is comprised so that the electricity supply control to the electrode 411 can be performed. In this embodiment, the electrode 408 formed on the opposite color filter F side is a full-surface electrode that covers the entire pixel electrode formation region. Note that there are various TFT wiring circuits and pixel electrode shapes, and in this embodiment, the one shown in FIG. 9 is exemplified, but the present invention can also be applied to a liquid crystal display device having other shapes of TFTs. Of course.

図１０（ａ）は、電気光学装置としてのプラズマ型表示装置の概略分解斜視図である。図１０（ａ）に示すようにこの表示装置５００は、上記カラーフィルタＡと同様の構造のカラーフィルタ５０５が組み込まれており、このカラーフィルタ５０５を観察側に配置して構成されている。表示装置５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１とカラーフィルタ５０５と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成される。放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が縦横に整列形成されてなり、複数の放電室５１６のうち、３つの放電室５１６が対になって１表示画素を構成するように配置されている。従ってカラーフィルタ５０５の各色層８に対応するように各放電室５１６が配置される。   FIG. 10A is a schematic exploded perspective view of a plasma display device as an electro-optical device. As shown in FIG. 10A, the display device 500 includes a color filter 505 having a structure similar to that of the color filter A, and the color filter 505 is arranged on the observation side. The display device 500 is generally configured by a glass substrate 501 and a color filter 505 that are disposed so as to face each other, and a discharge display unit 510 formed therebetween. The discharge display unit 510 is formed by arranging a plurality of discharge chambers 516 vertically and horizontally, and among the plurality of discharge chambers 516, three discharge chambers 516 are paired to constitute one display pixel. . Accordingly, each discharge chamber 516 is arranged so as to correspond to each color layer 8 of the color filter 505.

ガラス基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１とガラス基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成されている。更に誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１，５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が複数形成されている。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成されている。そして、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が形成されている。   Address electrodes 511 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the glass substrate 501, and a dielectric layer 519 is formed so as to cover the address electrodes 511 and the upper surface of the glass substrate 501. Further, a plurality of partition walls 515 are formed on the dielectric layer 519 so as to be positioned between the address electrodes 511 and 511 along the address electrodes 511. The partition wall 515 is also partitioned at a predetermined interval in a direction perpendicular to the address electrode 511 at a predetermined position in the longitudinal direction (not shown), and is basically adjacent to the left and right sides of the address electrode 511 in the width direction. A rectangular region is formed that is partitioned by the partition wall and the partition wall extending in a direction orthogonal to the address electrode 511. Then, discharge chambers 516 are formed so as to correspond to these rectangular regions, and one pixel is formed by three pairs of these rectangular regions. In addition, a phosphor 517 is formed inside a rectangular region partitioned by the partition 515.

次に、カラーフィルタ５０５側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数の表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成されている。またこれらを覆って誘電体層５１３が形成され、更にＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。なお、カラーフィルタ５０５の構造であるが、先に説明したカラーフィルタＡに対して色層８の平面形状や面積については異なるが、色層８の膜厚の関係や配置関係、遮光層や隔壁部にて区画された構造については同様の構造とされているので詳しい説明を省略する。   Next, on the color filter 505 side, a plurality of display electrodes 512 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the previous address electrodes 511. Further, a dielectric layer 513 is formed so as to cover them, and a protective film 514 made of MgO or the like is further formed. Although the structure of the color filter 505 is different from the color filter A described above in terms of the planar shape and area of the color layer 8, the relationship between the thickness and arrangement of the color layer 8, the light shielding layer and the partition wall Since the structure partitioned by the part is the same structure, detailed description is omitted.

図１０（ｂ）はプラズマ型表示装置の構造を示す要部概略断面図である。ガラス基板５０１とカラーフィルタ５０５が、アドレス電極５１１と表示電極５１２を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、ガラス基板５０１と隔壁５１５とカラーフィルタ５０５側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、カラーフィルタ５０５側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置するように形成されている。また、同図（ｂ）では、放電室５１６を挟んで対向されるアドレス電極５１１と表示電極５１２を図面で把握しやすいように平行に配置しているが、これらの電極は実際の装置では図１０（ａ）に示すように９０゜に交差するように配置されている。   FIG. 10B is a schematic cross-sectional view of the main part showing the structure of the plasma display device. A glass substrate 501 and a color filter 505 are attached to each other so that the address electrodes 511 and the display electrodes 512 are opposed to each other so as to be orthogonal to each other, and the glass substrate 501, the partition wall 515, and the protective film 514 formed on the color filter 505 side A discharge chamber 516 is formed by evacuating a space portion surrounded by and enclosing a rare gas. Note that two display electrodes 512 formed on the color filter 505 side are formed so as to be arranged two by two for each discharge chamber 516. In FIG. 5B, the address electrodes 511 and the display electrodes 512 that are opposed to each other with the discharge chamber 516 interposed therebetween are arranged in parallel so that they can be easily understood in the drawing. As shown in FIG. 10 (a), they are arranged so as to intersect 90 °.

また、アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示省略の電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体を励起発光させて白色発光させ、この光がカラーフィルタ５０５を透過して着色され、この着色光が他の画素からの着色光と混合され、カラー画像が形成される。   Further, the address electrode 511 and the display electrode 512 are connected to a power supply (not shown), and by energizing each electrode, the discharge display unit 510 at a necessary position causes the phosphor to emit light to emit white light, and this light is emitted from the color filter. The colored light is transmitted through 505 and is mixed with colored light from other pixels to form a color image.

次に本発明の電子機器の製造方法について図１１〜図１３に基づいて説明する。前述したカラーフィルタＡを備えたパッシブ型の液晶表示装置１００、カラーフィルタＦを備えたアクティブ型の液晶表示装置４００、カラーフィルタ５０５を備えたプラズマ型の表示装置５００等の電気光学装置１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。図１１は、本発明の電気光学装置を組み込んだ電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。表示ユニット１１０６には、電気光学装置１０００が組み込まれている。   Next, a method for manufacturing an electronic device according to the present invention will be described with reference to FIGS. The electro-optical device 1000 such as the above-described passive liquid crystal display device 100 including the color filter A, the active liquid crystal display device 400 including the color filter F, and the plasma display device 500 including the color filter 505 includes: It can be used for display portions of various electronic devices. FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of a mobile (or notebook) personal computer as an electronic apparatus incorporating the electro-optical device of the present invention. In this figure, a personal computer 1100 includes a main body 1104 having a keyboard 1102 and a display unit 1106. The display unit 1106 is supported by the main body 1104 via a hinge structure so as to be rotatable. Yes. The display unit 1106 incorporates an electro-optical device 1000.

図１２は、本発明の電気光学装置を組み込んだ電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、電気光学装置１０００が表示部に組み込まれている。   FIG. 12 is a perspective view showing a configuration of a cellular phone (including PHS) as an electronic apparatus incorporating the electro-optical device of the present invention. In this figure, a cellular phone 1200 includes a plurality of operation buttons 1202, an earpiece 1204, a mouthpiece 1206, and an electro-optical device 1000 incorporated in a display portion.

図１３は、本発明の電気光学装置を組み込んだ電子機器としてのディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。   FIG. 13 is a perspective view showing the configuration of a digital still camera as an electronic apparatus incorporating the electro-optical device of the present invention. In this figure, connection with an external device is also simply shown. Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a digital still camera 1300 photoelectrically converts a light image of a subject with an imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device). An imaging signal (image signal) is generated.

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、電気光学装置１０００が表示部に組み込まれ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。   On the back of a case (body) 1302 in the digital still camera 1300, an electro-optical device 1000 is incorporated in a display unit and configured to display based on an imaging signal from a CCD, and a finder that displays a subject as an electronic image. Function as. A circuit board 1308 is installed inside the case. The circuit board 1308 is provided with a memory that can store (store) an imaging signal.

また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。   A light receiving unit 1304 including an optical lens (imaging optical system), a CCD, and the like is provided on the front side of the case 1302 (on the back side in the illustrated configuration). When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the shutter button 1306, the CCD image pickup signal at that time is transferred and stored in the memory of the circuit board 1308.

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。   In the digital still camera 1300, a video signal output terminal 1312 and an input / output terminal 1314 for data communication are provided on the side surface of the case 1302. As shown in the figure, a television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312 and a personal computer 1440 is connected to the data communication input / output terminal 1314 as necessary. Further, the imaging signal stored in the memory of the circuit board 1308 is output to the television monitor 1430 or the personal computer 1440 by a predetermined operation.

なお、上記電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。   In addition to the above-described personal computer (mobile personal computer), mobile phone, and digital still camera, the electronic device includes, for example, a television, a video camera, a viewfinder type, a monitor direct-view type video tape recorder, a lap Top-type personal computer, car navigation system, pager, electronic notebook (including communication function), electronic dictionary, calculator, electronic game device, word processor, workstation, video phone, security TV monitor, electronic binoculars, POS terminal, touch panel Equipment (for example, cash dispensers of financial institutions, automatic ticket vending machines), medical equipment (for example, electronic thermometers, blood pressure monitors, blood glucose meters, electrocardiogram display devices, ultrasonic diagnostic devices, endoscope display devices), fish detection Machines, various measuring instruments, instruments (for example, Gages for vehicles, aircraft, and ships), a flight simulator, various monitors, and a projection display such as a projector.

以上、本発明のカラーフィルタの成膜方法および成膜装置、電気光学装置および電子機器の製造方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。カラーフィルタを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。   The color filter film forming method and film forming apparatus, electro-optical device, and electronic device manufacturing method according to the present invention have been described above with reference to the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited thereto. Each part constituting the color filter can be replaced with any part capable of performing the same function. Moreover, arbitrary components may be added.

本実施形態の効果は、以下のとおりである。
（１）本実施形態のカラーフィルタの成膜方法おいて、吐出工程は、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１とに着弾するようにインク１９を液滴として吐出する。したがって、撥液性の隔壁部１に着弾したインク１９は、隔壁部１から画素領域２に侵入するように濡れ、画素領域２内に着弾して濡れ広がったインク１９と合体して画素領域２内をムラなく覆うインク層５を成膜する。また同一色となる複数の画素領域２と、この画素領域２を区画する隔壁部１にそれぞれインク１９が着弾することによって、同一方向に同一色のインク１９が濡れ広がって合体したインク層５を成膜することができる。このようにして成膜されたインク層５を乾燥させてインク１９中の溶媒成分を除去すれば、同一色層８において膜厚のムラが少ないカラーフィルタＡを成膜することができる。
（２）吐出工程では、インク１９を等間隔で吐出するため、同一方向に同一色のインク１９がムラ無く着弾し、より膜厚のムラが少ないカラーフィルタＡを成膜することができる。
（３）吐出工程では、インク１９を画素領域２の隅（コーナー部）に位置する隔壁部１ａに着弾するように吐出する。したがって、画素領域２内に着弾したインク１９の一部が隔壁部１に到達して前進接触角が低下し、画素領域２のコーナー部まで濡れ広がらない場合でも、撥液性を有する隔壁部１ａに着弾したインク１９が、画素領域２内に侵入するように濡れるため、画素領域２の隅（コーナー部）まで確実にインク１９を行き渡らせることができる。
（４）吐出工程では、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この画素領域２を区画する撥液性の隔壁部１との境界部に着弾するようにインク１９が液滴として吐出される。境界部に着弾した液滴は境界部に沿って濡れ広がって行くため境界部でインク１９の濡れ広がり不足が発生することを防止することができる。ゆえに画素領域２の隅々までインク１９が行き渡ったカラーフィルタＡを成膜することができる。
（５）吐出工程では、隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度を変えてインク１９を吐出する。液滴の着弾密度を変える方法としては、画素領域２に吐出される液滴４の体積に対して、隔壁部１に吐出される少なくとも１つの液滴４ａ（または４ｂ）の体積が多くなるように吐出する。または、隔壁部１に着弾する液滴４の数が単位面積当たりで多くなるように吐出する。これによれば、より多くのインク１９が隔壁部１から画素領域２に侵入するように濡れるため、画素領域２の隔壁部１付近に隔壁部１を形成した際の残渣が存在して、着弾した液滴４が濡れ広がるのを阻害する場合でも画素領域２内の成膜ムラを防止することができる。また、隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度のみを変えて対応すればよいため、吐出されるすべての液滴４の着弾密度を変える場合に比べ、無駄を抑えより少ないインク１９の量で、複数の画素領域２にインク１９を行き渡らせることができる。
（６）カラーフィルタＡは、本実施形態のカラーフィルタの成膜方法を用いて成膜されているため、成膜ムラによる白抜け（濡れ不足）や、同一色層８の膜厚ムラの少ないカラーフィルタＡとすることができる。
（７）カラーフィルタの成膜装置１０において、第１位置制御部１４および第２位置制御部１６は、同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２と、この複数の画素領域２を区画する隔壁部１とにインク１９の液滴が着弾するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させる。そして、液滴吐出ヘッド１３は基板Ｗ上に等間隔でインク１９を液滴として吐出するため、インク１９を均一に吐出し、インク１９からなる複数の同一色層８を成膜することができる。また吐出制御部２０は、画素領域２に吐出される液滴の着弾密度に対して隔壁部１に吐出される液滴の着弾密度が高くなるように制御する。したがって、隔壁部１により多い量の液滴が着弾することにより、隔壁部１から画素領域２により多くのインク１９が流れ込み画素領域２の隅々までインク１９が行き渡った成膜ムラの少ないカラーフィルタＡを成膜することができる。また画素領域２のみにインク１９を着弾させようとする場合に比べて、高い着弾精度を必要とせず簡単な液滴の吐出制御とすることができる。
（８）カラーフィルタの成膜装置１０は、液滴吐出ヘッド１３のノズル列方向と同一色層となる複数の画素領域２が並んだ前記同一方向とが平行となるように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させて液滴４を吐出するため、複数の画素領域２と隔壁部１とに効率よく液滴４を吐出することができる。
（９）電気光学装置１０００（パッシブ型の液晶表示装置１００、アクティブ型の液晶表示装置４００、プラズマ型の表示装置５００）は、成膜ムラによる白抜けの不具合が少なく、同一色層８の膜厚ムラの少ない本実施形態のカラーフィルタＡが組み込まれているため、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置１０００とすることができる。
（１０）電子機器（パーソナルコンピュータ１１００、携帯電話機１２００、ディジタルスチルカメラ１３００）は、色調ムラやコントラストムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置１０００が組み込まれているため、見映えのよい高品質な画質で画像などの情報を確認することができる電子機器とすることができる。 The effect of this embodiment is as follows.
(1) In the color filter film forming method of the present embodiment, the ejection step includes a plurality of pixel regions 2 arranged in the same direction and having the same color, and a partition wall 1 that partitions the plurality of pixel regions 2. The ink 19 is ejected as droplets so as to land on the surface. Therefore, the ink 19 that has landed on the liquid-repellent partition wall 1 wets so as to enter the pixel region 2 from the partition wall 1, and merges with the ink 19 that has landed in the pixel region 2 and spreads wet. An ink layer 5 that covers the inside uniformly is formed. Further, when the ink 19 lands on each of the plurality of pixel regions 2 having the same color and the partition wall 1 partitioning the pixel region 2, the ink layer 5 in which the inks 19 of the same color are wet and spread in the same direction is combined. A film can be formed. If the ink layer 5 thus formed is dried and the solvent component in the ink 19 is removed, the color filter A with little film thickness unevenness in the same color layer 8 can be formed.
(2) In the ejection step, since the ink 19 is ejected at equal intervals, the ink 19 of the same color lands in the same direction without unevenness, and the color filter A with less unevenness in film thickness can be formed.
(3) In the ejection step, the ink 19 is ejected so as to land on the partition wall 1a located at the corner (corner) of the pixel region 2. Therefore, even when a part of the ink 19 that has landed in the pixel region 2 reaches the partition wall 1 and the advancing contact angle decreases and does not spread to the corner of the pixel region 2, the partition wall 1 a having liquid repellency. Since the ink 19 that has landed is wet so as to enter the pixel region 2, the ink 19 can be reliably distributed to the corner (corner portion) of the pixel region 2.
(4) In the ejection step, the ink 19 is landed on the boundary between the plurality of pixel regions 2 arranged in the same direction and having the same color and the liquid repellent partition wall 1 partitioning the pixel region 2. It is ejected as a droplet. Since the droplets that have landed on the boundary portion spread wet along the boundary portion, it is possible to prevent the ink 19 from being insufficiently wet and spread at the boundary portion. Therefore, it is possible to form the color filter A in which the ink 19 has spread to every corner of the pixel region 2.
(5) In the ejection step, the ink 19 is ejected while changing the landing density of the droplets ejected to the partition wall 1. As a method of changing the landing density of the droplets, the volume of at least one droplet 4a (or 4b) discharged to the partition wall portion 1 is larger than the volume of the droplet 4 discharged to the pixel region 2. To discharge. Or it discharges so that the number of the droplets 4 which land on the partition part 1 may increase per unit area. According to this, since more ink 19 gets wet so as to enter the pixel region 2 from the partition wall portion 1, there is a residue when the partition wall portion 1 is formed in the vicinity of the partition wall portion 1 in the pixel region 2, and landing Even in the case where the droplets 4 are prevented from spreading and getting wet, film formation unevenness in the pixel region 2 can be prevented. In addition, since it is only necessary to change the landing density of the droplets discharged to the partition wall 1, it is possible to reduce waste and reduce the amount of ink 19 compared to changing the landing density of all the discharged droplets 4. Thus, the ink 19 can be spread over the plurality of pixel regions 2.
(6) Since the color filter A is formed using the film formation method of the color filter of the present embodiment, white spots due to film formation unevenness (insufficient wetness) and film thickness unevenness of the same color layer 8 are small. Color filter A can be used.
(7) In the color filter deposition apparatus 10, the first position control unit 14 and the second position control unit 16 include a plurality of pixel regions 2 arranged in the same direction and having the same color, and the plurality of pixel regions 2. The droplet discharge head 13 and the substrate W are moved relative to each other so that the droplets of the ink 19 land on the partition wall 1 that divides the ink. Since the droplet discharge head 13 discharges the ink 19 as droplets on the substrate W at equal intervals, the ink 19 can be uniformly discharged and a plurality of the same color layers 8 made of the ink 19 can be formed. . Further, the ejection control unit 20 performs control so that the landing density of the droplets discharged to the partition wall 1 is higher than the landing density of the droplets discharged to the pixel region 2. Accordingly, when a large amount of liquid droplets land on the partition wall 1, a large amount of ink 19 flows from the partition wall 1 to the pixel region 2, and the ink 19 spreads to every corner of the pixel region 2. A can be deposited. Compared with the case where the ink 19 is intended to land only on the pixel region 2, it is possible to perform simple droplet ejection control without requiring high landing accuracy.
(8) The color filter film forming apparatus 10 includes the droplet discharge head 13 so that the nozzle array direction of the droplet discharge head 13 is parallel to the same direction in which a plurality of pixel regions 2 having the same color layer are arranged. Since the droplets 4 are ejected by relatively moving the substrate and the substrate W, the droplets 4 can be efficiently ejected to the plurality of pixel regions 2 and the partition walls 1.
(9) The electro-optical device 1000 (passive type liquid crystal display device 100, active type liquid crystal display device 400, plasma type display device 500) is less susceptible to white spots due to film formation unevenness, and is a film of the same color layer 8 Since the color filter A of this embodiment with little thickness unevenness is incorporated, the electro-optical device 1000 having high display quality with little color tone unevenness and contrast unevenness can be obtained.
(10) The electronic apparatus (personal computer 1100, mobile phone 1200, digital still camera 1300) incorporates the electro-optical device 1000 having a high display quality with little color tone unevenness and contrast unevenness, and thus high quality with good appearance. The electronic device can check information such as an image with high image quality.

本実施形態以外の変形例は、以下のとおりである。
（変形例１）カラーフィルタの成膜装置１０は、吐出されるインク１９の各色毎に対応した複数の液滴吐出ヘッド１３をキャリッジ１７に搭載すると共に、インクタンク１１も各色ごとのインク１９を貯留するように複数備えてもよい。これによれば、１台の成膜装置１０で、カラーフィルタを成膜するために必要なすべてのインク種を備えて成膜することができる。
（変形例２）液滴吐出ヘッド１３のノズル列は１列に限らない。例えば７０μｍピッチずらして２列となるようにもう一列ノズル列を増やしてもよい。これによれば、より精細な７０μｍのピッチで液滴を吐出することができる。
（変形例３）液滴吐出ヘッド１３のノズル２１は、等間隔に配置されていることに限定されない。液滴４を吐出する画素領域２と隔壁部１の位置に対応したノズル２１を選択して液滴４を吐出すれば、同一方向に同一色層となる複数の画素領域２に膜厚ムラを低減して色層８を成膜することができる。
（変形例４）液滴吐出ヘッド１３は、ピエゾ方式インクジェットヘッドに限定されない。振動板とこれに所定の間隔を置いて対向配置された電極とからなる電気機械変換素子を有する静電アクチュエータで吐出室２２に充填されたインク１９を加圧して液滴として吐出する静電方式インクジェットヘッドとしてもよい。あるいはインク１９と接する発熱体を有し、発熱体によって加熱されたインク１９に気泡を発生させ、この気泡によって吐出室２２に充填されたインク１９を加圧して液滴として吐出するいわゆるバブル方式インクジェットヘッドとしてもよい。
（変形例５）吐出工程において、ストライプ状に同一方向に配置された同一色となる複数の画素領域２に対して、液滴吐出ヘッド１３のノズル列を交差する方向として吐出してもよい。このようにすれば、同一色となる複数の画素領域２の複数列を同時に成膜することができる。また画素領域２の配列ピッチがどのような寸法のピッチでも隣り合う画素領域２を区画する隔壁部１に対向するように液滴吐出ヘッド１３と基板Ｗとを相対移動させ、確実に隔壁部１上に液滴４を吐出することができる。
（変形例６）画素領域２の形状は、平面視で、長方形をなしているのに限定されず、例えば、正方形、台形、平行四辺形（菱形）等のような四角形、六角形、小判形状等であってもよい。また、隔壁部１における画素領域２に臨む部分の形状は、例えば、サインカーブ、凸状、微細なアール（ｒ）等の波形であってもよい。
（変形例７）画素領域２の配列は、ストライプ状に限定されない。同一方向に同一色層となる画素領域２が配列しているものならば、モザイク状（斜め方向に同一色の画素領域が配列）であっても、本実施形態のカラーフィルタの成膜方法を用いて同一延長線上に液滴を吐出して成膜することが可能である。
（変形例８）画素領域２の配列は、ストライプ状に限定されない。同一方向に同一色層となる画素領域２が複数（２つ以上）並ぶ部分があればよい。 Modifications other than the present embodiment are as follows.
(Modification 1) The color filter film forming apparatus 10 has a plurality of droplet discharge heads 13 corresponding to each color of the ejected ink 19 mounted on the carriage 17 and the ink tank 11 also has the ink 19 for each color. You may provide multiple so that it may store. According to this, it is possible to form a film with all the ink types necessary for forming the color filter with one film forming apparatus 10.
(Modification 2) The nozzle row of the droplet discharge head 13 is not limited to one row. For example, another nozzle row may be increased so that there are two rows shifted by a pitch of 70 μm. According to this, droplets can be discharged at a finer pitch of 70 μm.
(Modification 3) The nozzles 21 of the droplet discharge head 13 are not limited to being arranged at equal intervals. If the nozzle 21 corresponding to the position of the pixel region 2 that ejects the droplet 4 and the partition wall 1 is selected and the droplet 4 is ejected, film thickness unevenness is caused in the plurality of pixel regions 2 that are the same color layer in the same direction. The color layer 8 can be formed in a reduced manner.
(Modification 4) The droplet discharge head 13 is not limited to a piezoelectric inkjet head. An electrostatic system in which the ink 19 filled in the ejection chamber 22 is pressurized and ejected as droplets by an electrostatic actuator having an electromechanical conversion element composed of a diaphragm and an electrode disposed opposite to the diaphragm. An inkjet head may be used. Alternatively, a so-called bubble-type inkjet which has a heating element in contact with the ink 19, generates bubbles in the ink 19 heated by the heating element, and pressurizes the ink 19 filled in the discharge chamber 22 by the bubbles and discharges it as droplets. It may be a head.
(Modification 5) In the ejection step, the nozzle rows of the droplet ejection head 13 may be ejected in a direction intersecting the plurality of pixel regions 2 having the same color arranged in the same direction in a stripe shape. In this way, a plurality of columns of a plurality of pixel regions 2 having the same color can be formed simultaneously. Further, the droplet discharge head 13 and the substrate W are moved relative to each other so as to face the partition wall 1 that partitions the adjacent pixel region 2 regardless of the size of the arrangement pitch of the pixel regions 2, and the partition wall 1 The droplet 4 can be discharged on the top.
(Modification 6) The shape of the pixel region 2 is not limited to a rectangular shape in plan view, but is, for example, a quadrangle such as a square, a trapezoid, a parallelogram (diamond), a hexagon, or an oval shape. Etc. Further, the shape of the portion facing the pixel region 2 in the partition wall 1 may be, for example, a waveform such as a sine curve, a convex shape, or a fine radius (r).
(Modification 7) The arrangement of the pixel regions 2 is not limited to a stripe shape. If the pixel regions 2 having the same color layer are arranged in the same direction, the film forming method of the color filter according to the present embodiment is used even in a mosaic shape (pixel regions of the same color in the oblique direction are arranged). It is possible to form a film by discharging droplets on the same extension line.
(Modification 8) The arrangement of the pixel regions 2 is not limited to a stripe shape. It suffices if there is a portion in which a plurality (two or more) of pixel regions 2 having the same color layer are arranged in the same direction.

本実施形態および変形例から把握される技術的な思想は以下のとおりである。
（１）前記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、隣り合う前記画素領域を隔てる撥液性の隔壁部とに色材が分散された着色インクの液滴が等間隔で着弾するように吐出するカラーフィルタの成膜方法。
（２）（１）において吐出された液滴の少なくとも一部が隔壁部に着弾するカラーフィルタの成膜方法。
（３）前記吐出工程では、同一方向に配置された同一色層となる複数の画素領域と、隣り合う前記画素領域を隔てる撥液性の隔壁部との境界部に色材が分散された着色インクの液滴がチドリ（千鳥）配列で着弾するように吐出するカラーフィルタの成膜方法。 The technical idea grasped from this embodiment and the modification is as follows.
(1) In the ejection step, a colored ink liquid in which a color material is dispersed in a plurality of pixel regions that are the same color layer arranged in the same direction and a liquid repellent partition that separates adjacent pixel regions A film forming method of a color filter that ejects droplets so as to land at equal intervals.
(2) A color filter film forming method in which at least a part of the droplets ejected in (1) land on the partition wall.
(3) In the ejection step, a coloring material is dispersed in a boundary portion between a plurality of pixel regions that are the same color layer arranged in the same direction and a liquid repellent partition that separates the adjacent pixel regions. A film forming method of a color filter that ejects ink droplets so as to land in a plover arrangement.

本実施形態のカラーフィルタの成膜装置の要部構造を示す概略斜視図。FIG. 2 is a schematic perspective view showing the main structure of the color filter film forming apparatus according to the embodiment. （ａ）液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの構造を示す概略断面図。(A) The schematic perspective view which shows the structure of a droplet discharge head, (b) The schematic sectional drawing which shows the structure of a droplet discharge head. 吐出制御部および吐出制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。The block diagram which shows the electrical structure with each part relevant to a discharge control part and a discharge control part. ヘッド駆動部が液滴吐出ヘッドに送る駆動信号（パルス）を示すタイムチャート。4 is a time chart showing drive signals (pulses) sent from a head drive unit to a droplet discharge head. （ａ）〜（ｅ）カラーフィルタの成膜方法およびカラーフィルタを示す概略図。(A)-(e) The schematic which shows the film-forming method of a color filter, and a color filter. （ａ）〜（ｅ）画素領域と隔壁部とに吐出する液滴の吐出パターンを示す概略平面図。(A)-(e) The schematic plan view which shows the discharge pattern of the droplet discharged to a pixel area | region and a partition part. （ａ）〜（ｃ）画素領域と隔壁部との境界部に着弾するように液滴を吐出する吐出パターンを示す概略平面図。(A)-(c) The schematic plan view which shows the discharge pattern which discharges a droplet so that it may land on the boundary part of a pixel area | region and a partition part. 電気光学装置としてのパッシブ型液晶表示装置の構造を示す概略断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a structure of a passive liquid crystal display device as an electro-optical device. 電気光学装置としてのアクティブ型ＴＦＴ液晶表示装置を示す概略分解斜視図。1 is a schematic exploded perspective view showing an active TFT liquid crystal display device as an electro-optical device. （ａ）電気光学装置としてのプラズマ型表示装置を示す概略分解斜視図、（ｂ）電気光学装置としてのプラズマ型表示装置の構造を示す要部概略断面図。1A is a schematic exploded perspective view showing a plasma display device as an electro-optical device, and FIG. 2B is a schematic cross-sectional view of a main part showing the structure of the plasma display device as an electro-optical device. 電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図。The perspective view which shows the structure of the mobile type (or notebook type) personal computer as an electronic device. 電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。The perspective view which shows the structure of the mobile telephone (PHS is also included) as an electronic device. 電子機器としてのディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。The perspective view which shows the structure of the digital still camera as an electronic device.

符号の説明Explanation of symbols

１…隔壁部、２…画素領域、４…液滴、８…色層、１０…カラーフィルタの成膜装置、１３…液滴吐出部としての液滴吐出ヘッド、１４…配置手段としての第１位置制御部、１６…配置手段としての第２位置制御部、１９…機能液としてのインク、２０…吐出制御部、１００…電気光学装置としてのパッシブ型の液晶表示装置、４００…電気光学装置としてのアクティブ型の液晶表示装置、５００…電気光学装置としてのプラズマ型の表示装置、５０５…カラーフィルタ、１０００…電気光学装置、１１００…電子機器としてのモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータ、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのディジタルスチルカメラ、Ａ…カラーフィルタ、Ｆ…カラーフィルタ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Partition part, 2 ... Pixel area | region, 4 ... Droplet, 8 ... Color layer, 10 ... Color filter film-forming apparatus, 13 ... Droplet discharge head as a droplet discharge part, 14 ... 1st as arrangement means Position control unit, 16 ... second position control unit as arrangement means, 19 ... ink as functional liquid, 20 ... discharge control unit, 100 ... passive liquid crystal display device as electro-optical device, 400 ... electro-optical device Active type liquid crystal display device, 500 ... Plasma type display device as electro-optical device, 505 ... Color filter, 1000 ... Electro-optical device, 1100 ... Mobile type (or notebook type) personal computer as electronic device, 1200 A mobile phone as an electronic device, 1300 a digital still camera as an electronic device, A a color filter, and F a color filter.

Claims (1)

基板上の複数の画素領域に色層を形成してなり、前記複数の画素領域は、第１画素領域と、前記第１画素領域の短辺方向と同一方向に配列された第２画素領域及び第３画素領域を有し、前記第１画素領域、前記第２画素領域及び前記第３画素領域は、互いに異なる色の前記色層を有し、且つ、前記第２画素領域は前記第１画素領域と前記第３画素領域とに挟まれているカラーフィルタの成膜方法であって、
前記複数の画素領域を区画する撥液性の隔壁部を前記基板上に形成する隔壁形成工程と、
前記複数の画素領域に色材が分散された機能液を液滴として吐出する吐出工程と
、を備え、
前記吐出工程において、前記第２画素領域に前記機能液を前記液滴として吐出する際に、
前記第１画素領域及び前記第２画素領域の間に位置する前記隔壁と前記第２画素領域との境界部に位置する第１着弾位置に前記液滴を等間隔に吐出し、
前記第３画素領域及び前記第２画素領域の間に位置する前記隔壁と前記第２画素領域との境界部であって、且つ、前記第１着弾位置と千鳥配列となる第２着弾位置に、前記液滴を等間隔に吐出する
ことを特徴とするカラーフィルタの成膜方法。 A color layer is formed in a plurality of pixel regions on the substrate, and the plurality of pixel regions includes a first pixel region , a second pixel region arranged in the same direction as a short side direction of the first pixel region, and A third pixel region, wherein the first pixel region, the second pixel region, and the third pixel region have the color layers of different colors, and the second pixel region is the first pixel A color filter film forming method sandwiched between a region and the third pixel region,
A partition wall forming step of forming a liquid repellent partition wall partitioning the plurality of pixel regions on the substrate;
A discharge step of discharging a functional liquid in which a color material is dispersed in the plurality of pixel regions as droplets,
In the discharging step, when discharging the functional liquid as the droplets to the second pixel region,
Discharging the droplets at equal intervals to a first landing position located at a boundary portion between the partition wall and the second pixel region located between the first pixel region and the second pixel region;
At the boundary between the partition wall located between the third pixel region and the second pixel region and the second pixel region, and at the second landing position that is a staggered arrangement with the first landing position, A method for forming a color filter, wherein the droplets are ejected at equal intervals .
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11673155B2 (en) 2012-12-27 2023-06-13 Kateeva, Inc. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
JP5936294B2 (en) 2012-12-27 2016-06-22 カティーバ， インコーポレイテッド Techniques for controlling the amount of printing ink that deposits fluid within close tolerances
CN107901645B (en) 2013-12-12 2019-12-10 科迪华公司 method of manufacturing electronic device

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08230314A (en) * 1994-12-21 1996-09-10 Canon Inc Color filter, production thereof and liquid crystal panel using color filter
JPH08271720A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Canon Inc Color filter, its production and liquid crystal display device
JPH08271715A (en) * 1995-03-31 1996-10-18 Canon Inc Color filter, its production and liquid crystal display device
JPH08327816A (en) * 1995-03-31 1996-12-13 Canon Inc Method and device for producing color filter, color filter, display device, device provided with the display device and method for uniformalize colored state in each region
JPH0968611A (en) * 1995-09-01 1997-03-11 Canon Inc Color filter and its production
JPH09101411A (en) * 1995-07-31 1997-04-15 Canon Inc Manufacture of color filter and manufacturing device and color filter and display device and device equipped with this display device
JPH10260306A (en) * 1997-03-17 1998-09-29 Canon Inc Method and device for manufacturing color filter, color filter, display device, and device equipped with display device
JPH10260307A (en) * 1997-03-17 1998-09-29 Seiko Epson Corp Device and method for manufacturing color filter
JPH1114816A (en) * 1997-06-19 1999-01-22 Canon Inc Device and method for manufacturing color filter and color filter
JPH11101910A (en) * 1997-07-28 1999-04-13 Canon Inc Manufacture of color filter, color filter, display device, and device provided with this display device
JP2001154008A (en) * 1999-11-24 2001-06-08 Canon Inc Color filter, method of producing the same, liquid crystal device using the color filter
JP2002207114A (en) * 2001-01-10 2002-07-26 Canon Inc Optical element, method for producing the same and liquid crystal element using the same
JP2002243928A (en) * 2001-02-16 2002-08-28 Canon Inc Color filter, method for manufacturing the same, and liquid crystal element using the same
JP2002303715A (en) * 2001-04-05 2002-10-18 Canon Inc Color filter and method for manufacturing the same, liquid crystal element using the color filter
JP2003344640A (en) * 2002-05-29 2003-12-03 Canon Inc Optical element and method for manufacturing the same
JP2004179144A (en) * 2002-09-30 2004-06-24 Seiko Epson Corp Coating liquid composition and thin film forming method

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08230314A (en) * 1994-12-21 1996-09-10 Canon Inc Color filter, production thereof and liquid crystal panel using color filter
JPH08271720A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Canon Inc Color filter, its production and liquid crystal display device
JPH08271715A (en) * 1995-03-31 1996-10-18 Canon Inc Color filter, its production and liquid crystal display device
JPH08327816A (en) * 1995-03-31 1996-12-13 Canon Inc Method and device for producing color filter, color filter, display device, device provided with the display device and method for uniformalize colored state in each region
JPH09101411A (en) * 1995-07-31 1997-04-15 Canon Inc Manufacture of color filter and manufacturing device and color filter and display device and device equipped with this display device
JPH0968611A (en) * 1995-09-01 1997-03-11 Canon Inc Color filter and its production
JPH10260306A (en) * 1997-03-17 1998-09-29 Canon Inc Method and device for manufacturing color filter, color filter, display device, and device equipped with display device
JPH10260307A (en) * 1997-03-17 1998-09-29 Seiko Epson Corp Device and method for manufacturing color filter
JPH1114816A (en) * 1997-06-19 1999-01-22 Canon Inc Device and method for manufacturing color filter and color filter
JPH11101910A (en) * 1997-07-28 1999-04-13 Canon Inc Manufacture of color filter, color filter, display device, and device provided with this display device
JP2001154008A (en) * 1999-11-24 2001-06-08 Canon Inc Color filter, method of producing the same, liquid crystal device using the color filter
JP2002207114A (en) * 2001-01-10 2002-07-26 Canon Inc Optical element, method for producing the same and liquid crystal element using the same
JP2002243928A (en) * 2001-02-16 2002-08-28 Canon Inc Color filter, method for manufacturing the same, and liquid crystal element using the same
JP2002303715A (en) * 2001-04-05 2002-10-18 Canon Inc Color filter and method for manufacturing the same, liquid crystal element using the color filter
JP2003344640A (en) * 2002-05-29 2003-12-03 Canon Inc Optical element and method for manufacturing the same
JP2004179144A (en) * 2002-09-30 2004-06-24 Seiko Epson Corp Coating liquid composition and thin film forming method

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