JP2007157765A - 窒化ガリウム半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】AlGaN半導体層とGaN系半導体層との界面に発生する自発分極やピエゾ分極によるキャリア空乏化を阻止して、駆動電圧を安定させることができる窒化ガリウム半導体発光素子を提供する。
【解決手段】サファイア基板1上に、発光領域を含む窒化ガリウム半導体結晶2が形成されている。窒化ガリウム半導体結晶2は、その成長表面がN(窒素)極性面になるように成膜されている。また、バルク基板3上に、低温バッファ層4が積層され、低温バッファ層4の上に発光領域を含む窒化ガリウム半導体結晶2が形成されている。窒化ガリウム半導体結晶2は、その成長表面がN(窒素)極性面になるように成膜されている。p側のGaN/AlGaNの界面で発生する電界の向きを逆転させて、正孔を発光領域側に引き込む。
【選択図】 図1
【解決手段】サファイア基板1上に、発光領域を含む窒化ガリウム半導体結晶2が形成されている。窒化ガリウム半導体結晶2は、その成長表面がN(窒素)極性面になるように成膜されている。また、バルク基板3上に、低温バッファ層4が積層され、低温バッファ層4の上に発光領域を含む窒化ガリウム半導体結晶2が形成されている。窒化ガリウム半導体結晶2は、その成長表面がN(窒素)極性面になるように成膜されている。p側のGaN/AlGaNの界面で発生する電界の向きを逆転させて、正孔を発光領域側に引き込む。
【選択図】 図1
Description
本発明は、GaNを用いた窒化ガリウム半導体発光素子に関する。
青色、又は紫色の光を発する半導体レーザ素子、発光ダイオード等の半導体発光素子として、窒化ガリウム半導体発光素子がある。GaN系半導体素子の製造の際には、GaNからなる基板の製造が困難であるため、サファイア、SiC、Si等からなる基板上にGaN系半導体層をエピタキシャル成長させている。
例えば、サファイア基板の(0001)面上にMOCVD(有機金属気相成長法)を用いて、アンドープのGaNバッファ層、n−GaNコンタクト層、n−AlGaNクラッド層、n−GaN光ガイド層、InGaN多重量子井戸(MQW)活性層等が順に形成され、活性層上には、p−GaN光ガイド層、p−AlGaNクラッド層、p−GaNコンタクト層等が順に形成される。
p−GaNコンタクト層からn−GaNコンタクト層の一部領域までがエッチングにより除去され、n−GaNコンタクト層を露出させ、n−GaNコンタクト層の露出した上面にn電極が形成され、p−GaNコンタクト層の上面にp電極が形成される。
図11は、サファイア単結晶の面方位を示すユニットセル図を表しており、サファイアの結晶構造は、図のように六方晶系で近似できる。サファイア基板上にGaN系半導体層を積層する場合には、サファイア基板のC面(0001)が用いられ、(0001)方位のサファイア基板上に積層したGaN系半導体は(0001)方位のウルツ鉱型の結晶構造を持ち、Gaのカチオン元素が成長表面方向になる結晶極性(C軸方向に成長)を有している。すなわち、サファイア基板に垂直方向がC軸[0001]で積層されている。
図12は、前述のサファイア基板上にGaN系半導体層を積層した窒化ガリウム半導体発光素子におけるn−AlGaNクラッド層21〜p−AlGaNクラッド層25までの価電子帯におけるバンドギャップエネルギーを示す。
特開2004−140339号公報
上記従来技術のように、サファイア基板のC面(0001)に積層されたGaN系半導体層は、Ga極性面が成長表面方向となるが、このように、成長方向が極性を持つと、成長したGaN系半導体層のGaN/AlGaNヘテロ結合界面では、C軸方向に対称性がなく、C面成長のエピタキシャル膜には表裏が生じるというウルツ鉱構造のため、自発分極と界面応力に起因するピエゾ分極が起こり、分極電荷が発生し、ヘテロ結合界面に電界が発生する。この電界は、n側では活性層に電子を引き込む形になるので問題は小さい。
しかし、p側では、図12に示すようにp−GaN光ガイド層24からp−AlGaNクラッド層25に向かって電界Eが発生するので、発生した電界Eによって、p−AlGaNクラッド層25からp−GaN光ガイド層24に流れ込む正孔が電気的な反発を受けてMQW活性層23に流れ込めなくなり、キャリア空乏化が発生して駆動電圧が上昇する。駆動電圧の上昇は、窒化ガリウム半導体発光素子の寿命を短くしてしまうことにもなるので、問題となっていた。
また、特許文献1には、窒化物系へテロ構造を有するデバイスとして、一部の半導体層の成長表面を窒素極性にしたり、またGa極性にしたりすることの記載はあるが、p側のGaN/AlGaNの界面や、GaN系半導体層とAlGaN半導体層との界面における自発分極やピエゾ分極によるキャリア空乏化を課題にしたものではなく、上記問題を解決することはできなかった。
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、AlGaN半導体層とGaN系半導体層との界面に発生する自発分極やピエゾ分極によるキャリア空乏化を阻止して、駆動電圧を安定させることができる窒化ガリウム半導体発光素子を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、基板上に少なくともn型半導体層、発光領域、p型半導体層を順に備え、前記p型半導体層側に形成されるAlGaN半導体層と該AlGaN半導体層よりもn側に位置するGaN半導体層との界面を有する窒化ガリウム半導体発光素子であって、前記n型半導体層からAlGaN半導体層までは、成長表面がGaNの窒素極性方向で形成されていることを特徴とする窒化ガリウム半導体発光素子である。
また、請求項2記載の発明は、基板上に少なくともn型半導体層、発光領域、p型半導体層を順に備え、前記p型半導体層側に形成されるAlGaN半導体層と該AlGaN半導体層よりもn側に位置するInGaN半導体層との界面を有する窒化ガリウム半導体発光素子であって、前記n型半導体層からAlGaN半導体層までは、成長表面がGaNの窒素極性方向で形成されていることを特徴とする窒化ガリウム半導体発光素子である。
また、請求項3記載の発明は、基板上に少なくともn型半導体層、発光領域、p型半導体層を順に備え、前記p型半導体層側に形成されるAlXGaN半導体層と該p型AlXGaN半導体層よりもn側に位置するAlYGaN半導体層(X>Y)との界面を有する窒化ガリウム半導体発光素子であって、前記n型半導体層からAlXGaN半導体層までは、成長表面がGaNの窒素極性方向で形成されていることを特徴とする窒化ガリウム半導体発光素子である。
本発明によれば、基板上に積層された窒化ガリウム半導体の成長方向(基板に対して垂直方向)が、GaNのN(窒素)極性方向、すなわち[000−1]軸方向で形成されているので、自発分極やピエゾ分極によってp側のAlGaN半導体層とGaN系半導体層との界面に発生する電界を反転させることでき、キャリア空乏化を阻止して駆動電圧を安定させることができることができる。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。図1は本発明の窒化ガリウム半導体発光素子の概略構成を示す。図1(a)の窒化ガリウム半導体発光素子は、サファイア基板1上に、発光領域を含む窒化ガリウム半導体結晶2が形成されている。窒化ガリウム半導体結晶2は、その成長表面がN(窒素)極性面になるように成膜されている。また、図1(b)に示すように、サファイア、SiC、Si、GaAs等のバルク基板3上に、低温バッファ層4が積層され、低温バッファ層4の上に発光領域を含む窒化ガリウム半導体結晶2が形成されている。窒化ガリウム半導体結晶2は、その成長表面がN(窒素)極性面になるように成膜されている。
図2は、窒化ガリウム半導体結晶2の面方位とサファイア基板1又はバルク基板3の面方位との位置関係を示す。白丸がN(窒素)原子の位置であり、黒丸がGa(ガリウム)原子の位置を示す。また、図3に、サファイア基板1又はバルク基板3のC面上にエピタキシャル成長させた窒化ガリウム半導体結晶2の結晶構造を模式的に示す。
このように、成長用基板としてのサファイア基板1又はバルク基板3は、(0001)面が用いられるが、窒化ガリウム半導体結晶2の成長方向はN原子が表面になるようにN極性方向、すなわち[000−1]軸方向で形成されている。このように、窒化ガリウム半導体結晶2の成長方向の極性をGa極性からN極性へと反転させることにより、p側のGaN/AlGaNの界面で発生する電界の向きを逆転させて、正孔を発光領域側に引き込もうとするものである。
サファイア基板1上に窒化ガリウム半導体結晶2を成長表面がN極性になるように成長させた窒化ガリウム半導体発光素子おけるLEDの一例を図4に示す。基板11をサファイア基板とし、基板11上に、バッファ層12、n型コンタクト層13、n型超格子層15、MQW活性層16、p型電子ブロック層17、p型コンタクト層18が形成される。さらに、p型コンタクト層18の上に正電極(p電極)20が、n型コンタクト層13上に負電極(n電極)14が形成されている。バッファ層12、n型コンタクト層13、n型超格子層15、MQW活性層16、p型電子ブロック層17、p型コンタクト層18は、すべて成長表面がN極性の結晶構造となる。
ここで、バッファ層12はアンドープのGaN、n型コンタクト層13はn−GaN、n型超格子層15はn−GaN薄膜とn−InGaN薄膜を交互に5〜10周期積層した超格子構造、MQW活性層16はInGaNからなる井戸層とGaN又はInGaNからなるバリア層との多重量子井戸構造、p型電子ブロック層17はp−AlGaN、p型コンタクト層18はp−GaNで構成した場合の価電子帯におけるバンドギャップエネルギーを図5に示す。
図12に示すように、従来Ga極性面が成長表面として窒化ガリウム半導体結晶が形成されていた場合には、p−GaN光ガイド層とp−AlGaNクラッド層との界面において、GaN半導体層からAlGaN半導体層に向かって電界Eが発生するが、N極性面を成長表面とした場合には、図5に示すように、p−AlGaN電子ブロック層17からGaNバリア層に向かって電界Eが発生する。このように電界Eの向きが反転するので、正電極19側から注入された正孔は、発光領域であるMQW活性層16側に引き込まれやすくなり、キャリア空乏化を防止することができる。
上記のように結晶を成長させるには、図1(a)の構成では、サファイア基板1上にMBE法(分子線エピタキシー法)を用いて窒化ガリウム半導体結晶2を形成する。MBE法は、各原料を加熱し、その分子線を基板に到達させて結晶成長を行う方法であり、原料原子の中間反応を避けることができ、原料原子の温度を独立に制御できるので、それぞれの分子線強度をセルの温度によって制御できる。
MBE装置は、図6に示すように、構成元素を固体蒸発源としてセルに配置し、これを500℃〜800℃程度まで加熱することで構成元素の蒸気を発生させ、構成元素を分子線(ビーム)として基板に供給して膜を形成するものであり、分子同士は基板に到達するまでお互いに衝突しない。本実施例では、セルに、窒化ガリウム半導体結晶2の構成元素となるAl、Ga、N、Inを配置した。セルのシャッター制御により原料供給をON/OFFでき、成膜中、装置内は真空排気される。また、成長は非熱平衡状態で行われるため低温成長が可能である。
図6のMBE装置を用いて、例えば、サファイア基板11のR面上に、アンドープGaNからなるバッファ層12を1〜3μm程度、SiドープのGaNコンタクト層13を1〜5μm程度、SiドープのInGaN/GaN超格子層15、MQW活性層16、MgドープのAlGaN電子ブロック層17、MgドープのGaNコンタクト層18を0.2〜1μm程度順次積層する。MQW活性層16は、1〜3nmのIn0.18Ga0.83Nからなる井戸層と10〜20nmのInZGaN(0≦Z≦0.05)からなるバリア層とを交互に積層して3〜10周期の多層構造とした。N極性方向の良質な結晶を得るために、InGaN井戸層のIn組成比率を50%以下、望ましくは35%以下で構成するのが良く、本実施例では、上記のように18%とした。
p−GaNコンタクト層18を形成した後、p−GaNコンタクト層18、p−AlGaN電子ブロック層17、MQW活性層16、n−InGaN/GaN超格子層15、n−GaNコンタクト層13の一部を反応性イオンエッチング等によりメサエッチングして除去する。その後、n−GaNコンタクト層13のエッチングされた面に負電極14を蒸着により形成し、p−GaNコンタクト層18の上に正電極19を蒸着により形成する。
次に、図1(b)に示す構成の製造法を説明する。バルク基板3をサファイア基板とし、この上に、低温バッファ層4を積層する。低温バッファ層4を積層するために、レーザアブレーション法を用い、低温度(600℃以下)で成長させる。このように形成された低温バッファ層4は、成長表面がN極性面となる。レーザアブレーション法は、図7に示すように、チャンバ内圧力が1×10−6Torr以下の真空チャンバ(図示せず)内にバルク基板3とターゲット33とを対向配置し、バルク基板3を加熱源31上に載置して、基板温度を600℃以下に維持し、例えば発振波長が248nmのKrFエキシマレーザからなるレーザ光34を、真空チャンバの石英窓からターゲット33に照射することにより、ターゲット33の材料が昇華(アブレーション)してブルーム8が形成され、昇華した原子がバルク基板3の表面に付着し、GaN単結晶の緩衝層となる低温バッファ層4を成長することができる。
ターゲット33としては、たとえばGaN、AlN、AlGaN系化合物、InGaN系化合物などの焼結体を用いることができ、一般的には、AlxGayIn1−x−yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)の組成で、この低温バッファ層4上に成長する窒化物半導体結晶層の組成に応じて定めることができる。この場合、Inは入りにくい物質であるため、組成が変動しやすいことに注意する必要がある。また、GaN層の単結晶薄膜を形成する場合には、アンモニアまたは窒素プラズマのガス雰囲気で昇華させることによってもGaN単結晶の緩衝層を成長することができる。
まず、バルク基板3としてのサファイア基板をロードロック室に入れ、まず、400℃程度の温度で5〜10分程度加熱し、余分な水分などを飛ばす。そして、チャンバ内に基板3を搬送し、基板温度を600℃以下に設定する。KrFエキシマレーザ光34をターゲット33に照射することにより、例えばターゲット33のGaNが昇華し、サファイア基板の表面に体積して低温バッファ層4を形成することができる。成長時間を長くすれば、所望の厚さだけ低温バッファ層4を成長することができる。
低温バッファ層4は、成長表面がN極性面となっているので、その後、MOCVD(有機金属気相成長法)等で窒化ガリウム半導体結晶2を成膜すれば、これらの結晶も成長表面がN極性面となって形成される。窒化ガリウム半導体結晶2の構造については、図4で説明したのと同じ構造とすることができる。図4の基板11がバルク基板3に相当し、低温バッファ層4がバッファ層12に相当する。
ところで、自発分極と界面応力に起因するピエゾ分極による電界Eの発生は、AlGaN/GaNの界面だけではなく、AlGaNと他のGaN系半導体層との界面でも見られる。特に、AlGaN/InGaNの界面、AlXGaN/AlYGaN(X>Y)の界面において、同様の電界が発生する。
例えば、サファイア基板1上に窒化ガリウム半導体結晶2を成長表面がN極性になるように成長させた窒化ガリウム半導体発光素子おけるLDの一例を図8に示す。製造方法は、上述したMBE法(分子線エピタキシー法)又はレーザアブレーション法を用いる。サファイア基板41のR面上に、アンドープGaNからなるバッファ層42を1〜3μm程度、SiドープのAlGaN/GaN超格子層からなるn型クラッド層44を1〜5μm程度、SiドープのInGaN/GaNからなるn型超格子層45、MQW活性層46、MgドープのAlGaNからなるp型電子ブロック層47、MgドープのAlGaN/GaN超格子層からなるp型クラッド層48を0.2〜1μm程度順次積層する。MQW活性層46は、1〜3nmのIn0.17Ga0.83Nからなる井戸層と10〜20nmのInXGaN(0≦X≦0.05)からなるバリア層とを交互に積層して3〜10周期の多層構造とした。
p型クラッド層48をエッチングによりパターニングしてリッジ部を形成した後、リッジ部側面からp型クラッド層48の平坦部までを絶縁層49で覆い、p型クラッド層48のリッジ部上にはMgドープのGaNからなるp型コンタクト層50を積層する。
p型コンタクト層50を形成した後、p型クラッド層48、p型電子ブロック層47、MQW活性層46、n型超格子層45、n型クラッド層44、バッファ層42の一部を反応性イオンエッチング等によりメサエッチングして除去する。その後、バッファ層42のエッチングされた面にn電極43を蒸着により形成し、p型コンタクト層40の上にp電極51を蒸着により形成する。バッファ層42、n型クラッド層44、n型超格子層45、MQW活性層46、p型電子ブロック層47、p型クラッド層48、p型コンタクト層50は、すべて成長表面がN極性の結晶構造となる。
上記のようにMQW活性層46のバリア層をInZGaN(0≦Z≦0.05)とし、Z≠0とすれば、AlGaNからなるp型電子ブロック層47とバリア層との間で、AlGaN/InGaN界面が形成される。また、p型電子ブロック層47とAlGaN/GaN超格子層からなるp型クラッド層48との間で、AlXGaN/AlYGaN(X>Y)の界面が形成される。
図9は、AlGaN/InGaNの界面の状態を価電子帯におけるバンドギャップエネルギーとともに示したものであるが、基板上の窒化ガリウム半導体結晶のエピタキシャル成長方向がGa極性面であると、図9(a)に示すように、AlGaN/InGaNの界面ではInGaN半導体層からAlGaN半導体層の方に向かって、電界Eが発生し、p電極側からの正孔が電気的な反発を受けて発光領域に流れ込みにくくなる。
また、図10は、AlXGaN/AlYGaN(X>Y)の界面の状態を価電子帯におけるバンドギャップエネルギーとともに示したものであるが、図10(a)に示すように、AlXGaN/AlYGaN(X>Y)界面では、AlYGaN半導体層からAlXGaN半導体層の方に向かって電界Eが発生し、p電極側からの正孔が電気的な反発を受けて発光領域に流れ込みにくくなる。
そこで、上述した方法で、図2、図3のように基板上の窒化ガリウム半導体結晶の半導体層の成長方向をN極性面とすれば、図9(b)に示すように、AlGaN/InGaNの界面では図9(a)の電界Eが反転してAlGaN半導体層からInGaN半導体層からの方に向かって発生し、p電極側からの正孔を発光領域に引き込むことができる。また、図10(b)に示すように、AlXGaN/AlYGaN(X>Y)界面でも、図10(a)の電界Eが反転してAlXGaN半導体層からAlYGaN半導体層(X>Y)に向かって発生し、p電極側からの正孔を発光領域に引き込むことができる。このようにして、キャリア空乏化を防ぎ、駆動電圧を安定させることができる。
1 サファイア基板
2 窒化ガリウム半導体結晶
3 バルク基板
4 低温バッファ層
2 窒化ガリウム半導体結晶
3 バルク基板
4 低温バッファ層
Claims (3)
- 基板上に少なくともn型半導体層、発光領域、p型半導体層を順に備え、前記p型半導体層側に形成されるAlGaN半導体層と該AlGaN半導体層よりもn側に位置するGaN半導体層との界面を有する窒化ガリウム半導体発光素子であって、
前記n型半導体層からAlGaN半導体層までは、成長表面がGaNの窒素極性方向で形成されていることを特徴とする窒化ガリウム半導体発光素子。 - 基板上に少なくともn型半導体層、発光領域、p型半導体層を順に備え、前記p型半導体層側に形成されるAlGaN半導体層と該AlGaN半導体層よりもn側に位置するInGaN半導体層との界面を有する窒化ガリウム半導体発光素子であって、
前記n型半導体層からAlGaN半導体層までは、成長表面がGaNの窒素極性方向で形成されていることを特徴とする窒化ガリウム半導体発光素子。 - 基板上に少なくともn型半導体層、発光領域、p型半導体層を順に備え、前記p型半導体層側に形成されるAlXGaN半導体層と該p型AlXGaN半導体層よりもn側に位置するAlYGaN半導体層(X>Y)との界面を有する窒化ガリウム半導体発光素子であって、
前記n型半導体層からAlXGaN半導体層までは、成長表面がGaNの窒素極性方向で形成されていることを特徴とする窒化ガリウム半導体発光素子。
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