JP2007155628A - 測定装置および光学素子の評価方法 - Google Patents
測定装置および光学素子の評価方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】3つの球4を有する測定用の治具2に、非球面レンズ1のレンズ第1面7およびレンズ第2面8の外周部に形成された円筒基準形状9を三次元形状測定用のプローブによって測定するための基準形状測定空間3を設ける。まず、非球面レンズ1のレンズ第1面7およびレンズ第2面8の表面形状を測定し、治具2の3つの球4を基準とした座標の点列データを得る。次いで、非球面レンズ1の円筒基準形状9を測定し、3つの球4を基準とした座標の点群データを得て、円筒基準形状9とレンズ第1面7およびレンズ第2面8の相対位置を求める。
【選択図】図1
Description
2 治具
3 基準形状測定空間
4 球
5 第1のプレート
6 第2のプレート
7 レンズ第1面
8 レンズ第2面
9 円筒基準形状
10 球状凸形状
11 取り付け面
12、13 プローブ
Claims (8)
- 基準形状部および少なくとも1つの光学面を有する光学素子を測定するための測定用の治具において、
3つの球と、前記光学素子の前記光学面に対応する開口部と、前記開口部に前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子の前記基準形状部を前記光学面の光軸に垂直な方向から測定するための空所と、を有することを特徴とする治具。 - 基準形状部および少なくとも1つの光学面を有する光学素子を測定する測定装置において、
3つの球と、前記光学素子の前記光学面に対応する開口部と、前記開口部に前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子の前記基準形状部を測定するための空所と、を有する治具と、
前記3つの球および前記光学面を測定する第1の形状測定系と、
前記3つの球および前記基準形状部を測定する第2の形状測定系と、を備えたことを特徴とする測定装置。 - 前記光学素子が非球面レンズであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記光学素子がトーリックレンズであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記光学素子がミラーであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記光学素子がプリズムであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記第1の形状測定系による前記光学面の測定データと、前記第2の形状測定系による前記基準形状部の測定データとを、前記3つの球から定義される座標系に変換する計算部を有することを特徴とする請求項2ないし6いずれか1項記載の測定装置。
- 基準形状部および少なくとも1つの光学面を有する光学素子を、3つの球と、前記光学面に対応する開口部と、前記開口部に前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子の前記基準形状部を測定するための空所と、を有する治具に配置する工程と、
前記治具の3つの球および前記光学素子の前記光学面をそれぞれ測定する工程と、
前記治具の3つの球および前記光学素子の前記基準形状部をそれぞれ測定する工程と、
前記光学面の測定データと、前記基準形状部の測定データとを、前記3つの球の測定データから定義される座標系に変換する工程と、を有することを特徴とする光学素子の評価方法。
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JP2009002771A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Nsk Ltd | 物品の形状測定方法及び測定装置 |
JP2012093236A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nikon Corp | 載置台、形状測定装置、及び形状測定方法 |
KR101826288B1 (ko) * | 2011-09-22 | 2018-02-08 | 대우조선해양 주식회사 | 벨마우스 모형 측정용 지그 및 이를 이용한 벨마우스 모형의 모사방법 |
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2005
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