JP2007147305A - 分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パルスレーザ光Lを分析対象物12に照射し、パレスレーザ光Lの照射にて分析対象物12から放出される蛍光Fを蛍光伝送用光ファイバ15で伝送する。光学系ユニット13の先端に気密ポット36を設ける。分析対象物12から放出される蛍光Fが蛍光伝送用光ファイバ15に入射するまでの気密ポット36から光学系ユニット13の内部の領域の空気を排気し、空気の影響を除く。空気を排気する体積が気密ポット36および光学系ユニット13の内部だけで少ないため、排気の時間が短い。
【選択図】図1
Description
12 分析対象物
13 光学系ユニット
15 蛍光伝送用光ファイバ
16 分析手段
24 分配手段としての分配反射ミラー
27 集光手段
36 気密カバーとしての気密ポット
38 開口部
39 パッキング
61 レーザ光集光手段
62 蛍光集光手段
F 蛍光
L レーザ光としてのパルスレーザ光
Claims (6)
- レーザ光を透過するとともにこのレーザ光の分析対象物への照射にて放出される蛍光を反射する分配手段、およびこの分配手段を透過したレーザ光を集光して前記分析対象物に照射させるとともにこの分析対象物からの前記蛍光を集光して前記分配手段に導光させる集光手段を有する光学系ユニットと、
前記光学系ユニットに一端が接続され、前記分配手段で反射された蛍光を入射して伝送する蛍光伝送用光ファイバと、
前記光学系ユニットの先端に設けられ、少なくとも前記分析対象物から前記集光手段までの領域を排気状態およびガス置換状態のいずれか一方に保つ気密カバーと、
前記蛍光伝送用光ファイバの他端に伝送される蛍光に基づいて前記分析対象物に含まれている元素を定量する分析手段と
を具備していることを特徴とする分析装置。 - レーザ光を集光して分析対象物に照射するレーザ光集光手段、および前記レーザ光の照射によって分析対象物から放出される蛍光を集光する蛍光集光手段を有する光学系ユニットと、
前記光学系ユニットに一端が接続され、前記蛍光集光手段で集光された蛍光を入射して伝送する蛍光伝送用光ファイバと、
前記光学系ユニットの先端に設けられ、少なくとも前記分析対象物から前記蛍光集光手段までの領域を排気状態およびガス置換状態のいずれか一方に保つ気密カバーと、
前記蛍光伝送用光ファイバの他端に伝送される蛍光に基づいて前記分析対象物に含まれている元素を定量する分析手段と
を具備していることを特徴とする分析装置。 - 分析対象物から放出された蛍光が蛍光伝送用光ファイバの一端に入射するまでの気密カバーから光学系ユニットの内部の領域が排気状態およびガス置換状態のいずれか一方に保たれる
ことを特徴とする請求項1または2記載の分析装置。 - 気密カバーは、分析対象物にレーザ光を照射する開口部、およびこの開口部の周囲で分析対象物に密着するパッキングを備えている
ことを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の分析装置。 - 気密カバー内を排気状態とするときには4kPa以下に排気される
ことを特徴とする請求項1ないし4いずれか記載の分析装置。 - 気密カバー内をガス置換状態とするときには空気が50%以下にガス置換される
ことを特徴とする請求項1ないし4いずれか記載の分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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-
2005
- 2005-11-24 JP JP2005338334A patent/JP2007147305A/ja active Pending
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