JP2007139516A - 点灯検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査部への搬送途中で液晶パネルＰがずれたり破損したりするのを防止する。
【解決手段】液晶パネルＰを点灯検査する点灯検査装置１１である。この点灯検査装置１１は、上記液晶パネルＰを斜めに支持して点灯検査する検査部１３と、当該検査部１３に上記液晶パネルＰを搬送する搬送部１２と、外部から水平状態で搬入された液晶パネルＰを受け取って位置決めして支持した後、傾斜させて上記搬送部１２に受け渡す位置決め機構１４とを備えた。この位置決め機構１４は、液晶パネルＰの下側面に当接して受け取るパネル受け８９と、上記液晶パネルＰの周縁部に当接して位置決め支持する１対又は複数対のパネルクランプ９１と、一方のパネルクランプ９１を上記周縁部に押圧する方向に付勢すると共に上記各パネルクランプ９１を離間させるに先だって上記付勢を解除するバッファ機構９３とを備えた。
【選択図】 図１

Description

本発明は、外部から搬送されてくる検査対象板を装置内に搬入して点灯検査を行う点灯検査装置に関するものである。

液晶基板等のパネル（検査対象板）を、その端子にプローブ針を接触させて、点灯検査を行う点灯検査装置は一般に知られている。このような点灯検査装置は主に、上記パネルを支持して点灯検査を行う検査部と、当該検査部に上記パネルを搬送する搬送部と、上記パネルを位置決めする位置決め装置とを備えている。この例は特許文献１及び特許文献２に示されている。

上記位置決め装置は、互いに近接離間する一対のローラと、当該一対のローラを互いに近接離間させる移動機構とを備えて構成されている。上記一対のローラは、ＸＹ軸方向に二組設けられる。そして、この一対のローラが上記移動機構によって上記パネルの周縁部に当接することで、上記パネルの位置決めがなされると共に、この一対のローラによって上記パネルが支持される。このとき、上記一対のローラが上記パネルの周縁に当接して支持する際に、上記パネルがずれないように上記各ローラが当該パネルに一定の押圧力で押し付けられる。

この位置決め装置で位置決めして支持されたパネルは、搬送部に渡され、検査部に搬送されて検査が行われる。
特開２００２−３７３９２５号公報 特開２００２−３６８０５８号公報

ところで、上述した従来の点灯検査装置では、上記各ローラが上記パネルの周縁に当接して当該パネルを支持する際に、パネルがずれないように上記各ローラが当該パネルに一定の押圧力で押し付けられるが、この押圧力の調整が容易でない。弾性を有する上記ローラの移動量を調整することで上記押圧力の調整を行うが、この移動量が設定値よりも僅かにずれて、押圧力が強くなりすぎると上記パネルが破損するおそれがあり、押圧力が弱くなりすぎると上記パネルがずれるおそれがある。

特に、上記パネルが大型で重い場合は、それに対応した強さの押圧力で支持する必要があるため、上記現象が顕著になる。上記パネルが大型の場合は、上記押圧力が基準値よりも僅かに強すぎる程度でも上記パネルが容易に撓んでしまったり、破損したりするおそれがある。上記パネルが重い場合は、上記押圧力が僅かに弱すぎる程度でも上記パネルが容易にずれてしまうおそれがある。このため、上記パネルを安全に位置決めするのが難しいという問題点がある。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、検査対象板を安全に位置決めして支持することができる点灯検査装置を提供することを目的とする。

本発明に係る点灯検査装置は、


外部から搬送されてくる検査対象板を点灯検査する点灯検査装置であって、上記検査対象板を斜め、水平又は垂直に支持して点灯検査する検査部と、当該検査部に上記検査対象板を搬送する搬送部と、外部から搬入された検査対象板を受け取って位置決めして支持して上記搬送部に受け渡す位置決め機構とを備え、上記位置決め機構が、外部から搬入された検査対象板を受け取るパネル受けと、当該パネル受けで受け取った検査対象板の周縁部に対して近接離間されると共に上記周縁部に当接して上記検査対象板を位置決めした上で支持する１対又は複数対のパネルクランプと、当該対をなす各パネルクランプのうちの一方を支持して当該一方のパネルクランプが上記検査対象板の周縁部に当接された状態で当該一方のパネルクランプを上記周縁部に押圧する方向に付勢すると共に、上記対をなす各パネルクランプを離間させるに先だって上記付勢を解除するバッファ機構とを備えたことを特徴とする。

上記構成により、上記位置決め機構が検査対象板を受け取って位置決め支持する際に、上記バッファ機構が、上記検査対象板の周縁部に当接した上記パネルクランプを付勢して設定値以上の押圧力にならないようにして支持する。各パネルクランプを上記検査対象板から離間させる場合は、それに先だって上記バッファ機構が上記パネルクランプへの付勢を解除する。

上記バッファ機構は、上記対をなす各パネルクランプが互いに近接する方向に上記一方のパネルクランプを常時付勢する常時付勢手段と、当該常時付勢手段で付勢された上記一方のパネルクランプをその付勢方向と逆方向に押圧して上記常時付勢手段による付勢力を規制する規制手段とを備えることが望ましい。

上記構成により、上記検査対象板を上記パネルクランプで支持するときは、常時付勢手段が上記パネルクランプを常時付勢して、上記検査対象板を設定値以上の押圧力にならないようにして支持する。また、上記各パネルクランプを上記検査対象板から離間させるときは、それに先だって上記規制手段で上記常時付勢手段による付勢力を規制して、上記パネルクランプへの付勢を解除する。その後、上記各パネルクランプを上記検査対象板から離間させて、上記搬送部に受け渡す。

以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。

上記バッファ機構が、上記検査対象板の周縁部に当接した上記パネルクランプを付勢して設定値以上の押圧力にならないようにして支持するため、上記検査対象板を確実に支持することができると共に、上記検査対象板が撓んだり破損したりするのを防止することができる。

各パネルクランプが上記検査対象板から離間される場合は、それに先だって上記バッファ機構が上記パネルクランプへの付勢を解除するため、当該パネルクランプが上記検査対象板を付勢し続けて上記検査対象板がずれるのを防止することができる。

上記検査対象板を上記パネルクランプで支持するときは、常時付勢手段が上記パネルクランプを常時付勢して、上記検査対象板を設定値以上の押圧力にならないようにして支持するため、上記検査対象板が撓んだり破損したりすることなく、上記検査対象板を上記パネルクランプで安全にかつ確実に支持することができる。

また、上記各パネルクランプを上記検査対象板から離間させるときは、それに先だって上記規制手段で上記常時付勢手段による付勢力を規制して、上記パネルクランプへの付勢を解除するため、その後、上記各パネルクランプを上記検査対象板から離間させて上記搬送部に受け渡す際に、上記常時付勢手段による付勢力で上記検査対象板がずれるのを防止することができる。

以下、本発明の実施形態に係る点灯検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す斜視図、図２は本発明の実施形態に係る点灯検査装置を示す正面図、図３は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の搬送部を示す正面図、図４は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の検査部を示す側面断面図、図５は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の検査部を示す概略正面図、図６は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の検査部を示す概略側面断面図、図７は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す側面図、図８は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す斜視図、図９は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す平面図、図１０は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す正面図、図１１は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す側面図、図１２は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構のクランプ時の動作を示す側面図、図１３は本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構の開放時の動作を示す側面図である。

本実施形態に係る点灯検査装置１１は図１〜４に示すように主に、搬送部１２と、検査部１３と、位置決め機構１４から構成されている。

搬送部１２は外部から搬入された液晶パネルＰを位置決め機構１４から受け取って検査部１３へ搬送すると共に検査終了後の液晶パネルＰを位置決め機構１４に渡すための装置である。搬送部１２は図２，３に示すように主に、搬送アーム１５と、駆動機構１６とから構成されている。

搬送アーム１５は、液晶パネルＰを支持する部分である。この搬送アーム１５は、アーム部２０と、クランプアーム部２１と、レール部２２と、パネルクランプ２３とから構成されている。

アーム部２０は、支持される液晶パネルＰの上下位置に配設されて、液晶パネルＰを支持する部材である。アーム部２０は駆動機構１６によって上下に移動可能に支持されて、液晶パネルＰの上下の端部に対して近接離間するようになっている。クランプアーム部２１は、液晶パネルＰを支持するための部材である。クランプアーム部２１は、上下クランプアーム部２１Ａと、左右クランプアーム部２１Ｂとからなり、液晶パネルＰを上下左右から支持するようになっている。上下クランプアーム部２１Ａは、アーム部２０の上下動によって液晶パネルＰを上下から把持する。下側の上下クランプアーム部２１Ａはアーム部２０に固定されている。

左右クランプアーム部２１Ｂは、アーム部２０に設けられた後述するレール部２２の機能によって左右に移動して液晶パネルＰを左右から把持する。レール部２２は、クランプアーム部２１の左右クランプアーム部２１Ｂを左右に移動可能に支持するための部材である。左右クランプアーム部２１Ｂには、ガイド２１Ｃが設けられ、このガイド２１Ｃがレール部２２にスライド可能に支持されている。

パネルクランプ２３は、液晶パネルＰの端部に直接的に当接するための部材である。このパネルクランプ２３は、弾力性のある合成樹脂等で構成され、液晶パネルＰの周縁を弾性的に支持する。

駆動機構１６は、搬送アーム１５で液晶パネルＰを支持させると共に液晶パネルＰを搬送部１２と検査部１３との間で往復動させるための装置である。駆動機構１６は主に、Ｘ方向移動機構部２５と、Ｙ方向移動機構部２６とから構成されている。

Ｘ方向移動機構部２５は、搬送アーム１５を搬送部１２と検査部１３との間で往復動させるための機構である。Ｘ方向移動機構部２５は主に、レール部２８と、Ｘ軸駆動モータ２９と、ボールネジ３０と、ナット(図示せず)とから構成されている。

レール部２８は、搬送部１２と検査部１３との間での搬送アーム１５の往復動を支持する部材である。レール部２８に後述するスライド板３３が往復動可能に支持されている。Ｘ軸駆動モータ２９は、ボールネジ３０に連結されてこのボールネジ３０を回転駆動するためのモータである。ボールネジ３０は、スライド板３３を直接的に往復動させるための部材である。ボールネジ３０は、軸受け(図示せず)に支持されて、搬送アーム１５の往復動方向である横方向に配設されている。ナットは、ボールネジ３０の回転によって往復動するための部材である。ナットは、ボールネジ３０にねじ込まれ、このボールネジ３０がＸ軸駆動モータ２９で回転駆動されることで、往復動する。ナットは、スライド板３３に固定されており、ボールネジ３０の回転によってスライド板３３を往復動させる。

Ｙ方向移動機構部２６は、搬送アーム１５のアーム部２０を上下に移動可能に支持するための機構である。このＹ方向移動機構部２６は主に、スライド板３３と、レール部３４と、Ｙ軸駆動モータ３５と、ボールネジ３６と、ナット(図示せず)とから構成されている。

スライド板３３は、搬送アーム１５を支持して往復動させるための部材である。スライド板３３の裏面には、その上下にガイド(図示せず)がそれぞれ設けられ、このガイドがＸ方向移動機構部２５のレール部２８に取り付けられている。これにより、スライド板３３がレール部２８によってＸ軸方向に往復動可能に支持されている。

レール部３４は、搬送アーム１５のアーム部２０の上下の移動を案内するためのレールである。レール部３４はスライド板３３の表面に取り付けられている。このレール部３４にガイド４０が取り付けられている。このガイド４０は、レール部３４に二つ設けられ、搬送アーム１５の上下のアーム部２０をそれぞれ支持している。

Ｙ軸駆動モータ３５はボールネジ３６を回転駆動させるためのモータである。Ｙ軸駆動モータ３５は、搬送アーム１５の上下のアーム部２０を互いに近接させたり、離間させたりする際に、ボールネジ３６を回転させる。ボールネジ３６は、直接的にはナット(図示せず)を上下に近接離間させるための部材である。ボールネジ３６は、上半分と下半分とでそのネジ溝の螺旋方向が逆になっており、カップリング４１で１本に接続されている。ボールネジ３６の上端部は軸受け４２で回転可能に支持されている。そして、ボールネジ３６の上下に上記ナットがそれぞれ設けられ、ボールネジ３６を一方へ回転させると、各ナット３７が互いに近接し、逆方向に回転させると、各ナットが互いに離間するようになっている。このナットは、ガイド４０と一体的に設けられ、このガイド４０を介してアーム部２０に一体的に設けられている。上記ナットがボールネジ３６で近接離間されると、直接的にガイド４０を近接離間させる。そして、間接的に搬送アーム１５の上下のアーム部２０を近接離間させる。そして、ボールネジ３６の回転により、ガイド４０が上下に移動してアーム部２０が上下に移動されるようになっている。

検査部１３は、液晶パネルＰを支持して点灯試験を行うための装置である。検査部１３は図２，４〜６に示すように主に、ＸＹＺθステージ４３と、バックライト４４と、ワークテーブル４５と、プローバ４６とを備えて構成されている。

ＸＹＺθステージ４３は、その前面でバックライト４４とワークテーブル４５とを支持してこのワークテーブル４５に取り付けられた液晶パネルＰの位置合わせを行うアライメントステージである。このＸＹＺθステージ４３は、液晶パネルＰを支持するワークテーブル４５のＸＹＺ軸方向の調整とθ回転方向の調整とを行うと共に、液晶パネルＰの受け渡しのときにワークテーブル４５をＺ軸方向に移動させるための装置である。ＸＹＺθステージ４３内には、ワークテーブル４５をＸＹ軸方向に移動させる駆動モータ(図示せず)と、ワークテーブル４５をθ回転方向に回転させる駆動モータ(図示せず)と、ワークテーブル４５をＺ軸方向に移動させる駆動モータ(図示せず)とがそれぞれ設けられている。各駆動モータは制御手段(図示せず)にそれぞれ接続され、制御手段によって上記液晶パネルＰが正確に位置決めされるようになっている。

バックライト４４は、ワークテーブル４５に支持された液晶パネルＰを裏側から照明するための部材である。バックライト４４は、筐体５６と、この筐体５６内に収納されたランプ５７とから構成されている。

ワークテーブル４５は、検査対象板である液晶パネルＰを支持するための部材である。このワークテーブル４５の開口部４５Ａには、拡散板６０が取り付けられている。

プローバ４６は、液晶パネルＰの端子に接触して液晶パネルＰの検査を行うための装置である。プローバ４６は、プローブベース６７と、プローブブロック６８と、カメラ６９と、プローブステージ７０から構成されている。

プローブベース６７は、プローブブロック６８及びカメラ６９を支持するための部材である。プローブベース６７は、ワークテーブル４５に載置された液晶パネルＰに望ませた状態でプローブステージ７０を介してフレーム(図示せず)に固定されている。プローブブロック６８は、その先端のプローブ針７１が液晶パネルＰに望ませた状態で、プローブベース６７に固定されている。カメラ６９は、液晶パネルＰに設けたれたマークを見ながら液晶パネルＰの位置合わせをするためのカメラである。プローブステージ７０は、フレームに固定された状態で、プローブベース６７を支持している。

位置決め機構１４は、外部から水平状態で搬入された液晶パネルＰを受け取って位置決めして支持した後、回転、傾斜させて上記搬送部１２に受け渡すための機構である。

この位置決め機構１４は、図１、７〜１１に示すように、パネル受け機構部８１と、位置決め支持機構部８２と、回転機構部８３と、傾斜機構部８４と、昇降機構部８５とから構成されている。

パネル受け機構部８１は、外部から水平状態で搬入された液晶パネルＰを受け取るための機構部である。このパネル受け機構部８１は、その基端部を後述する回転機構部８３の上側ベース板１１５に固定されて水平方向に且つ放射状に配設された４本の支持棒８８と、各支持棒８８にそれぞれ垂直方向に向けて設けられたパネル受け８９とから構成されている。パネル受け８９は、液晶パネルＰの下側面に直接に当接して液晶パネルＰを支持する部材であるため、液晶パネルＰを傷つけないように合成樹脂等の柔軟性のある部材で構成されている。

位置決め支持機構部８２は、パネル受け機構部８１に支持された液晶パネルＰを位置決めした上で支持するための機構部である。この位置決め支持機構部８２は、パネルクランプ９１と、移動装置９２と、バッファ機構９３とから構成されている。

パネルクランプ９１は、液晶パネルＰの周縁部に当接して当該液晶パネルＰを位置決めした上で支持するための部材である。このパネルクランプ９１は、対をなして、互いに直交する方向（水平状態でのＸＹ軸方向）に２組設けられている。各パネルクランプ９１は、円柱状又は円筒状の合成樹脂を垂直方向に配設して構成されている。対をなす各パネルクランプ９１は、そのうち一方に２つ、他方に１つ設けられている。対をなすパネルクランプ９１は、上記移動装置９２によって、液晶パネルＰの周縁部に対して近接離間されるようになっている。

移動装置９２は、パネルクランプ９１を支持して近接離間されるための装置である。この移動装置９２は、図中のＸ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ設けられている。Ｘ軸方向の移動装置９２もＹ軸方向の移動装置９２も同じ構成を有している。この移動装置９２は具体的には、レール９６と、ガイド９７と、ガイド板９８と、連結部材９９と、ラック１００と、ピニオン１０１と、駆動モータ１０２とから構成されている。

レール９６は、基端部が上側ベース板１１５に固定されてＸＹ軸方向の両側にそれぞれ配設された支持板１０４にそれぞれ設けられている。ガイド９７は、各レール９６にスライド可能に取り付けられている。ガイド板９８は、上記ガイド９７に一体的に設けられている。連結部材９９は、その上端部がガイド板９８に一体的に設けられた状態で、下方に延ばして設けられている。ラック１００は、上記レール９６に平行に設けられている。ピニオンギア１０１は、両側から延びた各ラック１００とその上側及び下側で噛み合って、各ラック１００を同時に且つ互いに逆方向に移動させるようになっている。駆動モータ１０２は、その回転軸が上記ピニオンギア１０１に嵌合して、ピニオンギア１０１を回転駆動させるようになっている。そして、駆動モータ１０２を一方へ回転させると、各ラック１００を介して上記各パネルクランプ９１を互いに近接させ、駆動モータ１０２を逆方向に回転させると、上記各パネルクランプ９１を互いに離間させるようになっている。

バッファ機構９３は、上記対をなすパネルクランプ９１の一方を他方のパネルクランプ９１側へ一定の付勢力で付勢すると共にその付勢力を解除するための装置である。即ち、対をなす各パネルクランプ９１のうちの一方を支持して当該一方のパネルクランプ９１が上記液晶パネルＰの周縁部に当接された状態で当該一方のパネルクランプ９１を他方のパネルクランプ９１側へ一定の付勢力で付勢すると共に、上記液晶パネルＰを上記搬送部１２に受け渡すために対をなす各パネルクランプ９１を離間させるに先だって、上記付勢を解除するための装置である。このバッファ機構９３は、スライド機構１０５と、常時付勢手段１０６と、規制手段１０７とから構成されている。

バッファ機構９３は、上記対をなすパネルクランプ９１の一方を他方のパネルクランプ９１側へ一定の付勢力で付勢すると共にその付勢力を解除するための装置である。即ち、対をなす各パネルクランプ９１のうちの一方を支持して当該一方のパネルクランプ９１が上記液晶パネルＰの周縁部に当接された状態で当該一方のパネルクランプ９１を他方のパネルクランプ９１側へ一定の付勢力で付勢すると共に、上記液晶パネルＰを上記搬送部１２に受け渡すために対をなす各パネルクランプ９１を離間させるに先だって、上記付勢を解除するための装置である。このバッファ機構９３は、スライド機構１０５と、常時付勢手段１０６と、規制手段１０７とから構成されている。

スライド機構１０５は、バッファレール１１０と、バッファガイド１１１と、バッファガイド板１１２とから構成されている。バッファレール１１０は、移動装置９２のガイド板９８に、移動装置９２のレール９６と同じ方向に向けて取り付けられている。バッファガイド１１１は、バッファレール１１０にスライド可能に取り付けられている。バッファガイド板１１２は、バッファガイド１１１に一体的に設けられている。そして、このバッファガイド板１１２に上記パネルクランプ９１が取り付けられている。

常時付勢手段１０６は、対をなす各パネルクランプ９１が互いに近接する方向に上記一方のパネルクランプ９１を常時付勢するための手段である。この常時付勢手段１０６は具体的にはバネで構成されている。この常時付勢手段１０６の一方がバッファガイド板１１２側に、他方が移動装置９２のガイド板９８側にそれぞれ取り付けられて、上記一方のパネルクランプ９１を他方のパネルクランプ９１側に付勢している。この常時付勢手段１０６の特性（付勢力）は、載置される上記液晶パネルＰの寸法等に合わせた最適な値に設定される。

規制手段１０７は、上記常時付勢手段１０６で付勢された上記一方のパネルクランプ９１をその付勢方向と逆方向に押圧して常時付勢手段１０６による付勢力を規制するための手段である。この規制手段１０７は具体的にはエアシリンダーで構成され、このエアシリンダーのピストン軸１０８が上記スライド機構１０５のバッファガイド板１１２に当接して当該バッファガイド板１１２を押圧するようになっている。規制手段１０７は、上記バッファガイド板１１２の内側（他方のパネルクランプ９１側）に設けられ、そのピストン軸１０８が上記バッファガイド板１１２を押すことで、上記常時付勢手段１０６による付勢力を規制するようになっている。

回転機構部８３は、上記パネル受け機構部８１及び位置決め支持機構部８２を支持して回転させるための機構である。この回転機構部８３は、上側ベース板１１５と、下側ベース板１１６と、上記上側ベース板１１５及び下側ベース板１１６を一体的に回転させる駆動モータ１１７とから構成されている。上側ベース板１１５は、上記パネル受け機構部８１及び位置決め支持機構部８２を支持している。この上側ベース板１１５は、４本の支柱１１８を介して下側ベース板１１６に取り付けられている。下側ベース板１１６は、駆動モータ１１７の回転軸に一体的に固定されている。これにより、駆動モータ１１７を設定角度だけ回転させることで、上記上側ベース板１１５及び下側ベース板１１６を介して、上記パネル受け機構部８１及び位置決め支持機構部８２で支持された上記液晶パネルＰを設定角度だけ回転させるようになっている。この回転機構部８３は、昇降機構部８５に一体的に取り付けられている。

傾斜機構部８４は、直交した状態で一体的に設けられた上記回転機構部８３及び昇降機構部８５を支持して傾斜させるための機構である。この傾斜機構部８４は、基板１２０と、支柱１２１と、回動支持軸１２２と、駆動モータ１２３と、減速ギア１２４とから構成されている。

基板１２０は、装置全体を支持するための板材である。支柱１２１は、一体的に設けられた上記回転機構部８３及び昇降機構部８５を支持するための部材である。この支柱１２１は、上記基板１２０に設定間隔を空けて２本設けられている。回動支持軸１２２は、２本の支柱１２１に掛け渡して設けられている。この回動支持軸１２２に、上記回転機構部８３及び昇降機構部８５が回転可能に取り付けられている。

上記駆動モータ１２３は上記減速ギア１２４に連結されている。減速ギア１２４の出力軸は上記回動支持軸１２２に連結されている。減速ギア１２４は、駆動モータ１２３の回転を減速させて、直接的に上記回転機構部８３を、間接的に上記パネル受け機構部８１及び位置決め支持機構部８２で支持された上記液晶パネルＰを設定角度に回動させるようになっている。これにより、駆動モータ１２３の回転が減速ギア１２４で減速されて、上記回動支持軸１２２を設定角度だけ回転させるようになっている。

昇降機構部８５は、上記液晶パネルＰを昇降させるための装置である。即ち、昇降機構部８５は、上記回転機構部８３を介して、上記パネル受け機構部８１及び位置決め支持機構部８２で支持された上記液晶パネルＰを、この液晶パネルＰの面と垂直な方向に昇降させるようになっている。昇降機構部８５は、固定板１３０と、スライド板１３１と、ボールネジ１３２と、ナット１３３と、駆動モータ１３４とから構成されている。固定板１３０は、上記回動支持軸１２２に一体的に固定されて、この回動支持軸１２２と共に回動するようになっている。スライド板１３１は、上記固定板１３０にスライド可能に支持されている。このスライド板１３１には、上記回転機構部８３が直交する角度で一体的に設けられている。これにより、上記スライド板１３１が上記固定板１３０に支持された状態でスライドすると、このスライド板１３１に支持された上記回転機構部８３が一体的にスライドするようになっている。

ボールネジ１３２は、上記スライド板１３１を上記固定板１３０に対してスライドさせるための部材である。このボールネジ１３２は、上記スライド板１３１のスライド方向に向けて上記固定板１３０に回転可能に支持されている。上記ナット１３３は、上記スライド板１３１に固定されて、上記ボールネジ１３２にねじ込まれている。これにより、ボールネジ１３２の回転によって、上記ナット１３３がボールネジ１３２の軸方向に移動して、上記スライド板１３１が上記ボールネジ１３２の軸方向にスライドするようになっている。駆動モータ１３４は、上記ボールネジ１３２に連結されて、このボールネジ１３２を回転させる。

［動作］
以上のように構成された点灯検査装置１１は、次のように動作する。

点灯検査装置１１の動作は次のようになる。

液晶パネルＰを複数枚収納したカセット(図示せず)が点灯検査装置１１に近傍に設置され、ロボットハンド(図示せず)が上記カセットから液晶パネルＰを水平状態で取り出して、点灯検査装置１１内に搬入する。

点灯検査装置１１内では、まず位置決め機構１４がロボットハンドから液晶パネルＰを受け取る。このとき、液晶パネルＰは位置決め機構１４のパネル受け機構部８１に載置される。具体的には、４つのパネル受け８９に載置される。このとき、位置決め支持機構部８２のパネルクランプ９１は移動装置９２によって互いに離間されている。これにより、ロボットハンドは、液晶パネルＰを、パネルクランプ９１に接触することなく４つのパネル受け８９に載置する。

次いで、位置決め支持機構部８２で液晶パネルＰの位置決め及び支持がなされる。具体的には、移動装置９２の駆動モータ１０２を駆動させてピニオン１０１を設定方向に設定角度だけ回転させ、ラック１００を設定量だけ設定方向に移動させる。位置決めの場合は、ラック１００を設定量だけ互いに近接する方向に移動させる。このとき、バッファ機構９３では、バッファガイド板１１２が常時付勢手段１０６で付勢されて規制手段１０７のピストン軸１０８に当接した状態になっている。この状態で、上記ラック１００が互いに近接する方向に移動されると、まず図１２（Ａ）のように、液晶パネルＰの周縁部にパネルクランプ９１が当接する。さらに、上記ラック１００を設定量だけ互いに近接する方向に移動されると、図１２（Ｂ）のように、バッファレール１１０及び規制手段１０７がさらに押し込まれて、バッファガイド板１１２が規制手段１０７のピストン軸１０８から離れて、常時付勢手段１０６がパネルクランプ９１を液晶パネルＰの周縁部に押し付ける。このとき、上記ラック１００の移動量を正確に調整することで、常時付勢手段１０６の身長量を調整して、パネルクランプ９１の液晶パネルＰの周縁部への押圧力を調整する。

また、バッファ機構９３が設けられていない他方のパネルクランプ９１は、常時付勢手段１０６でずれることがないため、この他方のパネルクランプ９１が位置決めの基準位置に移動するように調整する。

これにより、液晶パネルＰは、他方のパネルクランプ９１に当接することで、その位置決めがなされ、一方のパネルクランプ９１が当接して常時付勢手段１０６によって設定押圧力で付勢されることで、液晶パネルＰがずれないように支持する。

この状態で、回転機構部８３によって、上記パネル受け機構部８１及び位置決め支持機構部８２と共に液晶パネルＰが９０度回転される。

次いで、傾斜機構部８４で、上記パネル受け機構部８１、位置決め支持機構部８２及び回転機構部８３と共に液晶パネルＰが設定角度（図４の検査部１３での液晶パネルＰの傾斜角）まで回動させる。

さらに、昇降機構部８５で、上記パネル受け機構部８１、位置決め支持機構部８２、回転機構部８３及び傾斜機構部８４と共に液晶パネルＰが、その表面に垂直な方向の上方へ移動されて、搬送部１２に受け渡される。

このとき、バッファ機構９３では、規制手段１０７のピストン軸１０８が延出されて、図１３（Ａ）の状態から図１３（Ｂ）のように、バッファガイド板１１２を押して、パネルクランプ９１を液晶パネルＰの周縁部から離す。これにより、常時付勢手段１０６による液晶パネルＰの付勢が解除されて、液晶パネルＰがずれるのを防止する。このとき、他方のパネルクランプ９１は設定位置から移動していないため、液晶パネルＰはこの他方のパネルクランプ９１に当接した状態で設定位置に維持される。

この状態で、搬送部１２の搬送アーム１５が液晶パネルＰを受け取って支持する。次いで、駆動機構１６で搬送アーム１５を検査部１３側へ移動させて、液晶パネルＰをワークテーブル４５に載置させる。

検査部１３では、ＸＹＺθステージ４３で、ワークテーブル４５に支持された液晶パネルＰの位置決めがなされる。具体的には、液晶パネルＰの端子とプローバ４６のプローブ針７１とが整合されて互いに接触され、さらにバックライト４４が点灯されて、導通試験が行われる。

検査終了後は、搬送部１２がワークテーブル４５から液晶パネルＰを受け取り、位置決め機構１４に戻す。

位置決め機構１４では、上記同様にして液晶パネルＰを位置決めして支持し、水平に戻して９０度回転させ、外部のロボットハンドに受け渡す。

［効果］
以上のように、位置決め機構１４が液晶パネルＰを受け取って位置決め支持する際に、上記バッファ機構９３の常時付勢手段１０６が、上記液晶パネルＰの周縁部に当接した上記パネルクランプ９１を付勢して設定値以上の押圧力にならないようにして支持すると共に、各パネルクランプ９１を上記液晶パネルＰから離間させる場合に、それに先だって上記バッファ機構９３の規制手段１０７が上記パネルクランプ９１への付勢を解除するため、上記液晶パネルＰを確実に支持することができ、搬送途中で液晶パネルＰがずれるのを防止することができる。さらに、上記液晶パネルＰが撓んだり破損したりするのを防止することができる。

[変形例]
上記実施形態では、上記バッファ機構９３の規制手段１０７をエアシリンダーで構成したが、規制手段１０７は、バッファガイド板１１２を押すことができればよいため、油圧シリンダ等の他の構成でも良い。

また、上記実施形態では、常時付勢手段１０６をバネで構成されたが、パネルクランプ９１を液晶パネルＰの周縁部に設定押圧力で押圧できる構成であればよいため、エアスプリングやゴム等の他の付勢手段で構成してもよい。

さらに、上記実施形態では、液晶パネルＰを傾斜させて検査する点灯検査装置１１を基に説明したが、水平状態、垂直状態等で検査する他の検査装置でも良いことはいうまでもない。位置決め機構１４を備えた全ての装置に適用することができる。

本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の搬送部を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の検査部を示す側面断面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の検査部を示す概略正面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の検査部を示す概略側面断面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す正面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構のクランプ時の動作を示す側面図である。 本発明の実施形態に係る点灯検査装置の位置決め機構の開放時の動作を示す側面図である。

符号の説明

１１：点灯検査装置、１２：搬送部、１３：検査部、１４：位置決め機構、１５：搬送アーム、１６：駆動機構、２０：アーム部、２１：クランプアーム部、２１Ａ：上下クランプアーム部、２１Ｂ：左右クランプアーム部、２１Ｃ：ガイド、２２：レール部、２３：パネルクランプ、２５：Ｘ方向移動機構部、２６：Ｙ方向移動機構部、２８：レール部、２９：Ｘ軸駆動モータ、３０：ボールネジ、３１：ナット、３３：スライド板、３４：レール部、３５：Ｙ軸駆動モータ、３６：ボールネジ、３７：ナット、３９：ガイド、４０：ガイド、４１：カップリング、４２：軸受け、４３：ＸＹＺθステージ、４４：バックライト、４５：ワークテーブル、４６：プローバ、５６：筐体、５７：ランプ、６０：拡散板、６７：プローブベース、６８：プローブブロック、６９：カメラ、７０：プローブステージ、７１：プローブ針、８１：パネル受け機構部、８２：位置決め支持機構部、８３：回転機構部、８４：傾斜機構部、８５：昇降機構部、８８：支持棒、８９：パネル受け、９１：パネルクランプ、９２：移動装置、９３：バッファ機構、９６：レール、９７：ガイド、９８：ガイド板、９９：連結部材、１００：ラック、１０１：ピニオン、１０２：駆動モータ、１０５：スライド機構、１０６：常時付勢手段、１０７：規制手段、１１０：バッファレール、１１１：バッファガイド、１１２：バッファガイド板、１１５：上記上側ベース板、１１６：下側ベース板、１１７：駆動モータ、１１８：支柱、１２０：基板、１２１：支柱、１２２：回動支持軸、１２３：駆動モータ、１２４：減速ギア、１３０：固定板、１３１：スライド板、１３２：ボールネジ、１３３：ナット、１３４：駆動モータ、Ｐ：液晶パネル。

Claims (4)

1. 外部から搬送されてくる検査対象板を点灯検査する点灯検査装置であって、
   上記検査対象板を斜め、水平又は垂直に支持して点灯検査する検査部と、
   当該検査部に上記検査対象板を搬送する搬送部と、
   外部から搬入された検査対象板を受け取って位置決めして支持して上記搬送部に受け渡す位置決め機構とを備え、
   上記位置決め機構が、
   外部から搬入された検査対象板を受け取るパネル受けと、
   当該パネル受けで受け取った検査対象板の周縁部に対して近接離間されると共に上記周縁部に当接して上記検査対象板を位置決めした上で支持する１対又は複数対のパネルクランプと、
   当該対をなす各パネルクランプのうちの一方を支持して当該一方のパネルクランプが上記検査対象板の周縁部に当接された状態で当該一方のパネルクランプを上記周縁部に押圧する方向に付勢すると共に、上記対をなす各パネルクランプを離間させるに先だって上記付勢を解除するバッファ機構と
   を備えたことを特徴とする点灯検査装置。
2. 請求項１に記載の点灯検査装置において、
   上記バッファ機構が、
   上記対をなす各パネルクランプが互いに近接する方向に上記一方のパネルクランプを常時付勢する常時付勢手段と、
   当該常時付勢手段で付勢された上記一方のパネルクランプをその付勢方向と逆方向に押圧して上記常時付勢手段による付勢力を規制する規制手段とを備えたことを特徴とする点灯検査装置。
3. 請求項２に記載の点灯検査装置において、
   上記バッファ機構の常時付勢手段がバネであることを特徴とする点灯検査装置。
4. 請求項２又は３に記載の点灯検査装置において、
   上記バッファ機構の規制手段が、エアシリンダーであることを特徴とする点灯検査装置。
   

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