JP2007123877A - 表示装置と表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による表示装置は、基板素材の上に形成されている薄膜トランジスタと;前記薄膜トランジスタと電気的に接続されており、第1最大粗度を有する画素電極と;前記画素電極の上に形成されており、前記第1最大粗度より小さい第2最大粗度を有するバッファー層と;前記バッファー層の上に形成されている有機発光層とを含むことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
従って、本発明の目的は、画素電極の粗度による不良が減少した表示装置を提供することにある。本発明の他の目的は、画素電極の粗度による不良が減少した表示装置を製造する方法を提供することにある。
ガラス、石英、セラミックまたはプラスチックなどの絶縁性材質を含んで作られた基板素材10の上にゲート電極21が形成されている。基板素材10とゲート電極21の上にはシリコン窒化物(SiNx)等からなるゲート絶縁膜22が形成されている。ゲート電極21が位置したゲート絶縁膜22の上には、非晶質シリコンからなる半導体層23と、n型不純物が高濃度ドーピングされたn+水素化非晶質シリコンからなる抵抗性接触層24が順番に積層されている。ここで、抵抗性接触層24はゲート電極21を中心に両側に分離されている。
本実施形態による表示装置1は有機発光層62の光が基板素材10に向かって出射されるため、バッファー層51の透過率が重要である。バッファー層51の透過率は85%以上であることができ、さらに詳しくは85%〜95%であることができる。
有機発光層62には画素電極32から正孔が注入される。バッファー層51は正孔注入効率を高めるために画素電極32と類似した仕事関数を有するのが良い。画素電極32として使用されるITOは約5.0eVの仕事関数を有するので、バッファー層51は4.7eV〜5.5eVの仕事関数を有するのが好ましい。
バッファー層51はITOまたは伝導性高分子を含むことができる。ここで、ITOはゾル−ゲル法で製造されたものであり、伝導性高分子はポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンのうちのいずれか一つであることができる。
フッ化リチウムは有機発光層62の材料によっては発光効率を増加させるため、有機発光層62と共通電極71の間にフッ化リチウム層を形成することもできる。共通電極71をアルミニウム、銀のような不透明な材質で作る場合、有機発光層62から発光された光は基板素材10に向かって出射される。これをボトムエミッション方式という。
図示していないが、表示装置1は有機発光層62と共通電極71の間に電子輸送層と電子注入層をさらに含むことができる。また、共通電極71の保護のための保護膜、有機発光層62への水分および空気浸透を防止するための封止部材をさらに含むことができる。封止部材は密封樹脂と密封カンからなることができる。
まず、図3Aのように基板素材10の上に、薄膜トランジスタ20、画素電極32、および隔壁41を形成する。薄膜トランジスタ20はチャンネル部が非晶質シリコンからなっており、公知の方法で製造されることができる。薄膜トランジスタ20の形成後、薄膜トランジスタ20の上に保護膜31を形成する。保護膜31がシリコン窒化物である場合、化学気相蒸着法を使用することができる。その後、保護膜31を写真エッチングして、ドレイン電極26を露出させる接触孔27を形成する。接触孔27を形成した後、接触孔27を通じてドレイン電極26と接続されている画素電極32を形成する。画素電極32はITOをスパッタリング方式で蒸着した後にパターニングして形成することができる。隔壁41は、画素電極32の上に感光性物質をコーティングした後、露光、現像して形成することができる。
尚、この実施形態とは異なり、バッファー層51が写真エッチングのような別途のパターニング過程を通じて形成されることができるのは勿論である。
第2実施形態では正孔注入層が別途に形成されておらず、バッファー層52は有機発光層62と直に接している。バッファー層52は正孔注入物質、例えばポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)を含むことができる。バッファー層52はインクジェット方式で形成されることができる。それにより、バッファー層52は隔壁41の上には形成されていない。
以上、本発明のいくつかの実施形態が図示されて説明された。しかし、当業者であれば、本発明の原理や精神から外れずに、上記の実施形態を変形できる。従って、本発明の技術的範囲は、添付された請求項に基づき、上記の実施形態のみならず、それらと均等な実施形態によって決められるべきである。
20 薄膜トランジスタ
31 保護膜
32 画素電極
41 隔壁
51 バッファー層
61 正孔注入層
62 有機発光層
71 共通電極
Claims (27)
- 基板素材の上に形成されている薄膜トランジスタと;
前記薄膜トランジスタと電気的に接続されており、第1最大粗度を有する画素電極と;
前記画素電極の上に形成されており、前記第1最大粗度より小さい第2最大粗度を有するバッファー層と;
前記バッファー層の上に形成されている有機発光層と;
を含むことを特徴とする表示装置。 - 前記第2最大粗度は100Å以下であることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層の平均粗度は10Å以下であることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記画素電極の上では前記バッファー層の厚さは前記第1最大粗度の1.2倍〜10倍であることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記画素電極の上では前記バッファー層の厚さは1200Å〜10000Åであることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層の仕事関数は4.7eV〜5.5eVであることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層の光透過率は85%以上であることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層の比抵抗は100Ωcm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層は正孔注入物質を含むことを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層はポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸を含むことを特徴とする、請求項9に記載の表示装置。
- 前記バッファー層はゾル−ゲル法で形成されたITOからなることを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記画素電極はITOからなっており、スパッタリング法によって形成されることを特徴とする、請求項11に記載の表示装置。
- 前記バッファー層は伝導性高分子を含むことを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層は、ポリピロール、ポリアニリン、ポリチオフェンのうち、少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする、請求項13に記載の表示装置。
- 前記画素電極間を区分する隔壁をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の表示装置。
- 前記バッファー層は前記隔壁の上に延びていることを特徴とする、請求項15に記載の表示装置。
- 前記バッファー層は前記画素電極の上での厚さが前記隔壁の上での厚さより大きいことを特徴とする、請求項16に記載の表示装置。
- 基板素材の上に薄膜トランジスタを形成する段階と;
前記薄膜トランジスタと電気的に接続されており、第1最大粗度を有する画素電極を形成する段階と;
前記画素電極の上に前記第1最大粗度より小さい第2最大粗度を有するバッファー層を形成する段階と;
前記バッファー層の上に有機発光層を形成する段階と;
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記バッファー層は正孔注入物質を含むことを特徴とする、請求項18に記載の表示装置の製造方法。
- 前記バッファー層は伝導性高分子を含むことを特徴とする、請求項18に記載の表示装置の製造方法。
- 前記バッファー層を形成する段階は、前記画素電極の上にバッファー溶液をコーティングする段階を含むことを特徴とする、請求項18に記載の表示装置の製造方法。
- 前記バッファー溶液のコーティングはスピンコーティング法またはスリットコーティング法によって行われることを特徴とする、請求項21に記載の表示装置の製造方法。
- 前記バッファー層を形成する段階は、前記コーティングされたバッファー溶液を硬化させる段階をさらに含むことを特徴とする、請求項21に記載の表示装置の製造方法。
- 前記硬化は熱または紫外線を利用して行われることを特徴とする、請求項23に記載の表示装置の製造方法。
- 前記バッファー層はITOからなっており、ゾル−ゲル法によって形成されることを特徴とする、請求項18に記載の表示装置の製造方法。
- 前記画素電極はスパッタリング法で形成されることを特徴とする、請求項25に記載の表示装置の製造方法。
- 前記画素電極を囲む隔壁を形成する段階をさらに含み、
前記有機発光層はインクジェット法で形成されることを特徴とする、請求項18に記載の表示装置の製造方法。
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