JP2007118054A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】偏光した超短光パルスレーザLを発生するレーザ発生器1と、超短光パルスレーザLの偏光面を回転させて偏光面が回転している状態の超短光パルスレーザを出射する回転偏光制御素子2と、回転偏光制御素子2から出射される偏光面が回転している状態の超短光パルスレーザを低フルーエンスで被加工材料5上に集光照射するレーザ照射手段3と、を有することを特徴とするレーザ加工装置。
【選択図】図1
Description
光産業技術振興協会、「光テクノロジーロードマップ報告書−光加工分野−」、2003年3月、p.64−65
図1は、本発明の実施形態1に係るレーザ加工装置の構成図である。1は偏光した超短光パルスレーザLを発生するレーザ発生器、2は偏光面が回転している状態の超短光パルスレーザを出射する回転偏光制御素子、3は超短光パルスレーザを低フルーエンスで被加工材料5の上に集光照射するレーザ照射手段を構成する集光レンズ、4はトレパニング手段、5は被加工材料、6はXY移動ステージである。
図2は、本発明の実施形態2に係るレーザ加工装置の構成図である。本実施形態のレーザ加工装置は、実施形態1のレーザ加工装置におけるガルバノミラーを用いたトレパニング手段4を回転ウエッジ板4’にし、XY移動ステージ6を省略した以外は基本的に同じである。実施形態1のレーザ加工装置と同じ構成要素には同じ符号を付し説明を省略する。
ここで、nはウエッジ板4’の屈折率である。
レーザLが点線で示す180°回転したウエッジ板4’に入射すると、光軸10と−θをなす方向に偏向され、点線で示すレーザLbを出射する。
超硬材を図1のレーザ加工装置にセットして、下記の条件で超短光パルスレーザを照射し、穴あけ加工を行った。
レーザ発生器1 :中心波長1045nm±5nm、出力400mW、パ ルス幅300fs、繰り返し周波数:200kHz、 直線偏光
回転偏光制御素子2:1/2波長板
回転手段7 :中空シャフト電動モータ、回転数16000rpm
トレパニング手段4:ガルバノミラーシステム(シグマ光機(株)製)
集光レンズ3 :倍率50倍、開口数0.55、焦点距離3.6mm
フルーエンス :40μJ/cm2
加工出力 :1mW
被加工材5 :超硬材
XY移動ステージ :移動量0mm
トレパニング径 :1μm
である。
2・・・・・・・・・回転偏光制御素子
3・・・・・・・・・集光レンズ(レーザ照射手段を一部兼ねる)
4、4’・・・・・・トレパニング手段
5・・・・・・・・・被加工材料
L・・・・・・・・・偏光した超短光パルスレーザ
Claims (5)
- 偏光した超短光パルスレーザの偏光面を回転させる回転ステップと、
前記回転ステップで偏光面が回転させられて偏光面が回転している状態の前記超短光パルスレーザを低フルーエンスで被加工材料上に集光照射するレーザ照射ステップと、
を有することを特徴とするレーザ加工方法。 - さらに、前記被加工材料上で前記集光照射する位置を円形に動かすトレパニングステップを有することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
- 偏光した超短光パルスレーザを発生するレーザ発生器と、
前記超短光パルスレーザの偏光面を回転させて偏光面が回転している状態の超短光パルスレーザを出射する回転偏光制御素子と、
前記回転偏光制御素子から出射される前記偏光面が回転している状態の超短光パルスレーザを低フルーエンスで被加工材料上に集光照射するレーザ照射手段と、
を有することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記偏光制御素子が1/2波長板であることを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。
- さらに、前記被加工材料上で前記集光照射する位置を円形に動かすトレパニング手段を有することを特徴とする請求項3或いは4に記載のレーザ加工装置。
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