JP2007115939A - ドライエッチング装置および方法ならびに膜付き水晶振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドライエッチング手段1を用意する。被エッチング材料5を、ドライエッチング手段1によってエッチングされるように配置する。水晶振動子2を、被エッチング材料5と同一条件でドライエッチング手段1によってエッチングされるように配置する。膜厚制御装置3を水晶振動子2に接続する。ドライエッチング手段1によって被エッチング材料5および水晶振動子2をエッチングする。エッチング作業中に膜厚制御装置3によって水晶振動子2の振動数をモニタリングし、振動数の変化に基づいて、水晶振動子2から除去された重量を求める。除去された重量を被エッチング材料5から減じられた厚みに換算し、その換算された値が所定値に達したときにドライエッチング手段1によるエッチング作用を停止する。
【選択図】 図1
Description
本発明は特に、薄膜磁気ヘッドのスライダーに溝を形成する技術に有用であるが、これに限定されるものではない。
被エッチング材料をエッチングするためのドライエッチング手段と、
前記被エッチング材料と同一条件でエッチングされるように配置された水晶振動子と、
前記水晶振動子に接続された膜厚制御装置にして、前記水晶振動子の振動数をモニタリングすることによって前記被エッチング材料から減じられた厚みを求め、その減じられた厚みが所定値に達したときに前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止するための膜厚制御装置と、
を備えるドライエッチング装置が提供される。
前記膜厚制御装置は、単位時間当たりに前記被エッチング材料から減じられる厚みに基づき、所定の厚みが減じられるまでの時間の経過に応答して前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止させる機能を有するものとすることができる。
ドライエッチング手段を用意し、
被エッチング材料を、前記ドライエッチング手段によってエッチングされるように配置し、
水晶振動子を、前記被エッチング材料と同一条件で前記ドライエッチング手段によってエッチングされるように配置し、
膜厚制御装置を前記水晶振動子に接続し、
前記ドライエッチング手段によって前記被エッチング材料および前記水晶振動子をエッチングし、
エッチング作業中に前記膜厚制御装置によって前記水晶振動子の振動数をモニタリングし、前記振動数の変化に基づいて、前記水晶振動子から除去された重量を求め、前記除去された重量を前記被エッチング材料から減じられた厚みに換算し、その換算された値が所定値に達したときに前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止する、
ドライエッチング方法も提供される。
また、単位時間当たりに前記被エッチング材料から減じられる厚みに基づき、所定の厚みが減じられるまでの時間の経過に応答して前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止させるようにすることもできる。
ドライエッチング手段および膜厚制御装置とともに用いられる膜付き水晶振動子であって、
水晶母体と前記水晶母体に形成された膜体とを備えており、
前記膜厚制御装置に接続され、被エッチング材料と同一条件で前記ドライエッチング手段によって前記膜体をエッチングされ、前記膜厚制御装置によって振動数の変化をモニタリングされることにより除去された重量を求められ、この除去された重量が、前記被エッチング材料から減じられた厚みに換算されるようになされた、
膜付き水晶振動子も提供される。
ハウジング4内には、イオンビームミリング装置1によってエッチングされるべき被エッチング材料5が複数配置されている。水晶振動子2は、被エッチング材料5と同一条件でエッチングされるよう配置される。例えば、複数の被エッチング材料5を均一にエッチングできるよう設置することのできるプラネタリーステージの1箇所に、被エッチング材料5に代えて水晶振動子2を配置するようにしてもよい。
Claims (8)
- 被エッチング材料をエッチングするためのドライエッチング手段と、
前記被エッチング材料と同一条件でエッチングされるように配置された水晶振動子と、
前記水晶振動子に接続された膜厚制御装置にして、前記水晶振動子の振動数をモニタリングすることによって前記被エッチング材料から減じられた厚みを求め、その減じられた厚みが所定値に達したときに前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止するための膜厚制御装置と、
を備えるドライエッチング装置。 - 前記水晶振動子が膜付き水晶振動子である、請求項1に記載のドライエッチング装置。
- 前記膜厚制御装置は、単位時間当たりに前記被エッチング材料から減じられる厚みに基づき、所定の厚みが減じられるまでの時間の経過に応答して前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止させる機能を有している、請求項1または2に記載のドライエッチング装置。
- ドライエッチング手段を用意し、
被エッチング材料を、前記ドライエッチング手段によってエッチングされるように配置し、
水晶振動子を、前記被エッチング材料と同一条件で前記ドライエッチング手段によってエッチングされるように配置し、
膜厚制御装置を前記水晶振動子に接続し、
前記ドライエッチング手段によって前記被エッチング材料および前記水晶振動子をエッチングし、
エッチング作業中に前記膜厚制御装置によって前記水晶振動子の振動数をモニタリングし、前記振動数の変化に基づいて、前記水晶振動子から除去された重量を求め、前記除去された重量を前記被エッチング材料から減じられた厚みに換算し、その換算された値が所定値に達したときに前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止する、
ドライエッチング方法。 - 前記水晶振動子が膜付き水晶振動子である、請求項4に記載のドライエッチング方法。
- 単位時間当たりに前記被エッチング材料から減じられる厚みに基づき、所定の厚みが減じられるまでの時間の経過に応答して前記ドライエッチング手段によるエッチング作用を停止させる、請求項4または5に記載のドライエッチング方法。
- ドライエッチング手段および膜厚制御装置とともに用いられる膜付き水晶振動子であって、
水晶母体と前記水晶母体に形成された膜体とを備えており、
前記膜厚制御装置に接続され、被エッチング材料と同一条件で前記ドライエッチング手段によって前記膜体をエッチングされ、前記膜厚制御装置によって振動数の変化をモニタリングされることにより除去された重量を求められ、この除去された重量が、前記被エッチング材料から減じられた厚みに換算されるようになされた、
膜付き水晶振動子。 - 前記膜体が被エッチング材料と同じ材質でできている、請求項5に記載の膜付き水晶振動子。
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JP2005306768A JP2007115939A (ja) | 2005-10-21 | 2005-10-21 | ドライエッチング装置および方法ならびに膜付き水晶振動子 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103668081A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-03-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种晶振片清理设备 |
CN109937471A (zh) * | 2016-11-14 | 2019-06-25 | 应用材料公司 | 选择性蚀刻速率监控器 |
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JPH02248042A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-03 | Nec Corp | ドライエッチング装置 |
-
2005
- 2005-10-21 JP JP2005306768A patent/JP2007115939A/ja active Pending
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