JP2007109979A - 半導体光源モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハーフミラーMRで反射された変換光束は、受光素子PDの受光面に入射する。ここで、受光素子PDの受光面の中央が、光伝送路の中心に対応する。従って、光伝送路の中心を、入射光束の主光線が通過したときは、受光面に結像するスポット光SBの中心が、受光面の中心と一致するようになり、それにより結合効率は最大となる。これに対し、光伝送路の中心を、入射光束の主光線が通過しないと、スポット光SBの中心が、受光面の中心と不一致の状態となる。そこで、スポット光SBの中心が、受光面の中心と一致するように、レンズL2を駆動する。
【選択図】図1
Description
所定波長の光束を出射する半導体光源と、
複数の光学素子から構成され、前記半導体光源から出射された発散光束を集光させる集光光学系と、
当該集光光学系から出射された収束光束が入射する1μm以上15μm以下の入射開口径を有すると共に、当該収束光束を入射した後に変換光束として出射する光伝送路と、
前記半導体光源から出射された光束の主光線の光軸を曲げるか、あるいは平行移動させるために、前記複数の光学素子のうちの少なくともひとつを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする。
所定波長の光束を出射する半導体光源と、
複数の光学素子から構成され、前記半導体光源から出射された発散光束を集光させる集光光学系と、
当該集光光学系から出射された収束光束が入射する1μm以上15μm以下の入射開口径を有すると共に、当該収束光束を入射した後に変換光束として出射する光伝送路と、
前記集光光学系によって形成されるビームスポット位置を移動させるために、前記複数の光学素子のうちの少なくともひとつを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする半導体光源モジュール。
0.18 ≦ f/L ≦ 0.45 (1)
0.2≦f1/f2≦0.7 (2)
0.1≦f1/f2≦0.6 (3)
2≦|fM|/f2≦5 (4)
0.2≦f1/f2≦0.7 (1)
0.1≦f1/f2≦0.6 (2)
2≦|fM|/f2≦5 (3)
C 電極
CNT 制御回路
DH レンズホルダ
DHa 連結部
DHb 角溝
DR 駆動装置
H2 高調波発生装置
HC 熱電冷却装置
HD 支持体
HG 溝
HS 素子
HT 光導波路
HV カバー
IL 入射光束
L1,L2 レンズ
M レンズ
LD 半導体レーザ
LH レンズホルダ
LMX 光線強度ピーク領域
MR ハーフミラー
OL 出射光束
PD 受光素子
PDa 受光部
PDb 受光部
PDc 受光部
PDd 受光部
PE 圧電セラミックス
PP 平行平板
PS プリズム
PZ 圧電アクチュエータ
PZa 連結部
PZb 角溝
S 開口絞り
SB スポット光
XDS X軸駆動軸
XPZ X軸圧電アクチュエータ
YDS Y軸駆動軸
YPZ Y軸圧電アクチュエータ
Claims (45)
- 所定波長の光束を出射する半導体光源と、当該半導体光源から出射された発散光束を集光させる集光光学系と、当該集光光学系から出射された収束光束が入射する1μm以上15μm以下の入射開口径を有すると共に、当該収束光束を入射した後に変換光束として出射する光伝送路と、前記変換光束の一部を受光する受光素子とを備えることを特徴とする半導体光源モジュール。
- 前記半導体光源から出射された光束の主光線の光軸を曲げるか、あるいは平行移動させるために、前記集光光学系を構成する光学素子を駆動する駆動手段を有することを特徴とする請求項1記載の半導体光源モジュール。
- 前記集光光学系によって形成されるビームスポット位置を移動させるために、前記集光光学系を構成する光学素子を駆動する駆動手段を有することを特徴とする請求項1記載の半導体光源モジュール。
- 前記集光光学系は複数の光学素子から構成されるとともに、前記駆動手段はそのうちの少なくとも一つを駆動することを特徴とする請求項2又は3記載の半導体光源モジュール。
- 所定波長の光束を出射する半導体光源と、
複数の光学素子から構成され、前記半導体光源から出射された発散光束を集光させる集光光学系と、
当該集光光学系から出射された収束光束が入射する1μm以上15μm以下の入射開口径を有すると共に、当該収束光束を入射した後に変換光束として出射する光伝送路と、
前記半導体光源から出射された光束の主光線の光軸を曲げるか、あるいは平行移動させるために、前記複数の光学素子のうちの少なくともひとつを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする半導体光源モジュール。 - 所定波長の光束を出射する半導体光源と、
複数の光学素子から構成され、前記半導体光源から出射された発散光束を集光させる集光光学系と、
当該集光光学系から出射された収束光束が入射する1μm以上15μm以下の入射開口径を有すると共に、当該収束光束を入射した後に変換光束として出射する光伝送路と、
前記集光光学系によって形成されるビームスポット位置を移動させるために、前記複数の光学素子のうちの少なくともひとつを駆動する駆動手段とを有することを特徴とする半導体光源モジュール。 - 前記変換光束の一部を受光する受光素子を備えることを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体光源モジュール。
- 前記複数の光学素子は、正の屈折パワーもしくは屈折パワーがゼロの光学系を有し、正の屈折パワーを持つ光学素子は互いにパワーが異なることを特徴とする請求項4ないし7のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記半導体光源に最も近い側の光学素子の屈折パワーは、前記光伝送路に最も近い側の光学素子の屈折パワーよりも大きいことを特徴とする請求項8記載の半導体光源モジュール。
- 前記半導体光源に最も近い側の光学素子により、半導体光源からの光束を略平行光にコリメートすることを特徴とする請求項8記載の半導体光源モジュール。
- 前記コリメートされた光束を、1つの集光素子を介して前記光伝送路に集光させることを特徴とする請求項10記載の半導体光源モジュール。
- 前記1つの集光素子に、開口制限絞りが一体で設けられていることを特徴とする請求項11記載の半導体光源モジュール。
- 前記コリメートされた光束を、2つの集光素子を介して前記光伝送路に集光させることを特徴とする請求項10記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段により駆動される前記光学素子の焦点距離をfとし、前記半導体光源の出射端から前記光伝送路の出射端までの距離をLとしたときに、以下の条件式が成立することを特徴とする請求項2ないし13のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
0.18 ≦ f/L ≦ 0.45 (1) - 前記光学素子がアナモルフィック素子であることを特徴とする請求項11ないし14のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記集光光学系において、収束光の光路中に平行平板を配置したことを特徴とする請求項8ないし15のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記集光光学系において、収束光の光路中に、入射光の光軸に垂直な方向における異なる2方向に向かうにつれて厚さが変化するプリズムを配置したことを特徴とする請求項8ないし15のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記複数の光学素子のうち、一つのみを駆動することを特徴とする請求項4ないし17のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記複数の光学素子のうち、2つ以上を駆動することを特徴とする請求項4ないし17のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記複数の光学素子であって、互いに異なる正の屈折パワーを有する光学素子のうち、もっともパワーの小さい光学素子を駆動することを特徴とする請求項8ないし15および19のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記1つの集光素子を駆動することを特徴とする請求項11ないし12のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記2つの集光素子を駆動することを特徴とする請求項13記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向と垂直な方向に駆動させることを特徴とする請求項2ないし22のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向と垂直な1方向に駆動させることを特徴とする請求項2ないし22のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向と垂直なX軸方向と、光軸方向及びX軸方向に垂直なY軸方向の2方向に各々独立して駆動させることを特徴とする請求項2ないし22のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向に沿って駆動させることを特徴とする請求項2ないし25のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向に垂直な軸まわりに回動させることを特徴とする請求項2ないし26のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向に垂直な1つの軸まわりのみに回動させることを特徴とする請求項2ないし26のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、前記集光光学系を構成する光学素子を、前記半導体光源の光軸方向に垂直な軸であって、かつ互いに垂直な第1軸及び第2軸まわりに回動させることを特徴とする請求項2ないし26のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動手段は、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記集光光学系を構成する光学素子に連結され且つ前記駆動部材上に移動可能に保持された可動部材と、を有し、前記電気機械変換素子を、伸び方向と縮み方向とで速度を変えて繰り返し伸縮させることで、前記可動部材を移動させるようになっていることを特徴とする請求項2ないし29のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記駆動部材に回転防止機構が設けられていることを特徴とする請求項30記載の半導体光源モジュール。
- 前記回転防止機構は、前記駆動部材が矩形断面形状であると共に、前記可動部材が当該断面形状に対応した形状とされていることにより構成されることを特徴とする請求項31記載の半導体光源モジュール。
- 前記受光素子は、複数に分割された受光部から構成されたことを特徴とする請求項1ないし32のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記受光素子は、扇形状の受光部を周方向に並べた構成であることを特徴とする請求項33記載の半導体光源モジュール。
- 前記扇形状の受光部は4つであることを特徴とする請求項33又は34に記載の半導体光源モジュール。
- 前記分割された受光部の検出情報に基づいて、前記変換光束の光線強度分布を算出し、当該光線強度分布の偏りにより前記変換光束の主光線の光軸を移動させるように、前記駆動手段を駆動することを特徴とする請求項33ないし35のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記受光素子が検出する受光量が所定値を越えた場合、前記駆動手段を停止させることを特徴とする請求項2ないし36のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記受光素子が検出する受光量が最大になるように、前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項2ないし36のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記受光量が最大になった時点で前記駆動手段を停止させることを特徴とする請求項2ないし36のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記受光素子が検出中は前記駆動手段を停止させることを特徴とする請求項2ないし36のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記光伝送路は光ファイバーであることを特徴とする請求項1ないし40のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 前記光伝送路はSHG素子であることを特徴とする請求項1ないし40のいずれかに記載の半導体光源モジュール。
- 半導体光源から射出する光束を入射開口径が1μm以上15μm以下の光伝送路に入射させる集光光学系であって、前記半導体光源側に配置され、前記半導体光源側よりも光伝送路側に向いた面の曲率が大きい正のレンズ1と、光伝送路側に配置され、前記光伝送路側よりも半導体光源側に向いた面の曲率が大きい正のレンズ2よりなり、レンズ1の焦点距離をf1、レンズ2の焦点距離をf2とすると以下の条件式を満足することを特徴とする集光光学系。
0.2≦f1/f2≦0.7 (2) - 前記レンズ1の前記半導体光源側を平面とし、もう一方の面を光軸から離れるに従い、曲率が小さくなる非球面としたことを特徴とする請求項43記載の集光光学系。
- 半導体光源から射出する光束を入射開口径が1μm以上15μm以下の光伝送路に入射させる集光光学系であって、前記半導体光源側に配置され、前記半導体光源側よりも光伝送路側に向いた面の曲率が大きい正のレンズ1と、光伝送路側に配置され、前記光伝送路側よりも半導体光源側に向いた面の曲率が大きい正のレンズ2よりなり、前記レンズ1とレンズ2の中間にレンズ2より屈折力の弱いレンズMを配し、レンズ1の焦点距離をf1、レンズ2の焦点距離をf2、レンズMの焦点距離をfMとすると以下の条件式を満足することを特徴とする集光光学系。
0.1≦f1/f2≦0.6 (3)
2≦|fM|/f2≦5 (4)
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