JP2007108151A - 水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計 - Google Patents

水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計 Download PDF

Info

Publication number
JP2007108151A
JP2007108151A JP2005328062A JP2005328062A JP2007108151A JP 2007108151 A JP2007108151 A JP 2007108151A JP 2005328062 A JP2005328062 A JP 2005328062A JP 2005328062 A JP2005328062 A JP 2005328062A JP 2007108151 A JP2007108151 A JP 2007108151A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carbon dioxide
water vapor
spectrum
dioxide gas
fourier transform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005328062A
Other languages
English (en)
Inventor
Kaisui O
海水 王
Junzo Umemura
純三 梅村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KAISUI O
Original Assignee
KAISUI O
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KAISUI O filed Critical KAISUI O
Priority to JP2005328062A priority Critical patent/JP2007108151A/ja
Priority to US11/548,414 priority patent/US20070125950A1/en
Publication of JP2007108151A publication Critical patent/JP2007108151A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0286Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by temperature, humidity or pressure, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a spectrometer, e.g. vacuum
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/0297Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/45Interferometric spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N2021/3595Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using FTIR

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

【課題】 フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR)を用いて、材料の赤外スペクトルを測定し、その構造や物性の評価を行う際に問題になるのが、光路中に存在する空気中の水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズである。このノイズを軽減又は除去するため、従来種々の方法がとられてきたが、それぞれ一長一短があり、決め手になる方法に欠ける。
【解決手段】バックグラウンド測定と試料測定の際の水蒸気や炭酸ガス濃度が同じになるよう、除湿または加湿制御することにより、スペクトル・ノイズを除去する簡便かつ経済的な方法を提供する。
【選択図】図1

Description

この発明は、フーリエ変換赤外分光光度計の水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズを軽減する技術に関している。
フーリエ変換赤外分光光度計(以下FTIRと略す)を用いて、材料の評価を行う際に問題になるのが、空気中の水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズである。通常、FTIRを用いて気体・液体・固体などの試料の赤外スペクトル(透過率や反射率を、cm単位で表したときの波長の逆数である波数に対してプロットしたもの、波数範囲は近赤外から遠赤外にわたる12000−10cm−1が考えられる)を測定するとき、試料がない状態でのバックグラウンド・スペクトル強度IBと、試料を入れたときのサンプル・スペクトル強度ISを別々(の時間)に測定し、その比T=IS/IBを計算して振動数に対してプロットし、試料の赤外スペクトルを得る。(Tの代わりに、A=−logTをとって、透過吸光度や反射吸光度を波数に対してプロットしても良い。)ところが、赤外線が光源を出て検知器に達するまでの光路には空気中の水蒸気や炭酸ガスなどの気体が存在し、その濃度がIBとISを測るときに異なり、しかも気体は微細構造のある連続したスペクトルを与えるため、測定したい試料のバンドに対してスペクトル・ノイズとなって現れる。このノイズを軽減又は除去するため、従来次のような方法がとられている。
(1) FTIRを密閉系とし、真空ポンプ等で減圧することにより、水蒸気や炭酸ガスを除く。
(2) FTIRを密閉系とし、乾燥剤を入れることにより、水蒸気量を減らす。これに関連して、光源の熱を利用して、乾燥剤の長期再生利用化を図っているもの(特許文献1)や、ペルチェ素子を用いて、水蒸気を室外に排出すべく設計されているもの(特許文献2)がある。
(3) FTIRを密閉系とし、窒素ガスや乾燥空気などを送ってパージし、水蒸気や炭酸ガスを除く。
(4) 上記(3)の操作につき、開閉弁を用い、その開閉をコンピューター上で制御し、密閉系内のパージを自動で行うことができるようにする(特許文献3)。
(5) 金属平面上や液体表面上に吸着した分子の赤外反射スペクトルを測定するときには、偏光の向きを周期的に変えて赤外線を入射し、データ処理により入射面に対する平行および垂直成分の差分と和分を計算し、その比をとることにより、反射スペクトルを得ることができる。この方法は偏光変調法と呼ばれるが、この場合には、計算の過程で水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズが消去される。
(6) コンピューター制御により、試料を光路から出したり入れたりし、IBとISを測るときに、その水蒸気や炭酸ガスなどの量が、時間的に余り変わらないようにして積算測定する。これはシャトル方式と呼ばれる。
(7) 水蒸気や炭酸ガスの標準赤外スペクトルだけをあらかじめ測定しておき、これを試料の赤外スペクトルに加えたり、引いたりしてスペクトル・ノイズを減少させる。
(8) 温度の異なる水蒸気や炭酸ガスの高分解能赤外スペクトル・データーベースを用い、これに特許文献4(関連文献:特許文献5)の分光光度計標準化法に使われている多変数解析手段を適用することにより、ソフトウエアー的に自動大気補正を行う(非特許文献1)。
特開平10−253454号公報 特開2004−108970号公報 特開平05−288606号公報 US−A1−006049762号公報 特開平06−167445号公報
Figure 2007108151
しかしながら、以上の(1)〜(8)の技術には、それぞれ欠点があり、改善の余地が残されている。たとえば、(1)の真空排気を行う場合には、真空ポンプの準備や分光光度計の筐体を圧力変形に耐える堅固なものとするために費用がかかるし、真空引きには時間がかかる。また、減圧により試料が散逸することを防ぐ必要がある。(1)〜(3)の技術では試料交換や検知器の液体窒素補充の際などに、いったん密閉系を破る必要があり、密閉後の再安定化に時間が掛かる。(3)の技術では、窒素ガスや乾燥空気の供給に多大な費用がかかる。(4)の技術は気体試料の測定には最適であるが、液体や固体試料の測定には必ずしも適さない。(5)の技術は特殊な反射測定系にのみしか適用できない。(6)では、シャトルの移動に時間を要し、測定時間が長くなる。また、この方法は透過スペクトル測定には向くが、光路調整のむずかしい反射スペクトルの測定には向かない。(7)の技術では、完全に除去することが難しい。これは、気体のスペクトルは、温度、濃度(水の場合は湿度)、圧力などに依存して、その強度や波数を変え、標準スペクトルの測定と実際の測定とで、これらの条件に違いが生じるからである。さらに(8)の技術は標準の高分解能測定のスペクドルデータベースをもとに、測定された強度や波数シフトを多変量解析して理論スペクトルを算出し、それを実測のスペクトルから引くのであるが、その際得られる理論スペクトルがあくまで近似的なものであり、スペクトル強度の小さい系の測定ではやはり限界がある。
そこで、この発明は、上述の問題を軽減し、常に水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズの少ない状態で、分析を行うことができるFTIRを提供することを課題とする。
以上の課題を解決するために、本出願の各発明において、試料測定中の水蒸気や炭酸ガス濃度を試料スペクトルからモニターし、第一発明では、加湿剤又は除湿剤の入った室の扉の開閉を手動又は遠隔自動操作して行うことにより、加湿又は除湿を行い、バックグラウンド測定とサンプル測定とで水蒸気量を等しくすることにより、水蒸気によるスペクトル・ノイズを軽減することを特徴とするFTIRを構成している。
また、第二発明では、上記加湿又は除湿を、加湿機又は除湿機からの空気あるいは窒素ガスの供給により行うことを特徴とするFTIRを構成している。
さらに、第三発明では、炭酸ガス供給機又は炭酸ガス吸着剤を用い、バックグラウンド測定とサンプル測定とで炭酸ガス量を等しくすることにより、炭酸ガスによるスペクトル・ノイズを軽減することを特徴とするFTIRを構成している。
第一発明、第二発明、または第三発明によれば、分析の途中で密閉系の水蒸気または炭酸ガスの増量または減量をコンピューターや目視により行い、手動又は遠隔指示するため、常にサンプル測定の水蒸気や二酸化炭素の濃度がバックグラウンド測定のそれらと等しく維持することでき、水蒸気または炭酸ガスによるスペクトル・ノイズを軽減することができる。また、この方法自体は通常の室内の水蒸気または炭酸ガス濃度でも問題はないため、従来の(1)、(3)、あるいは(4)の方法による減圧やパージにかかる、時間や経費を大幅に軽減できる。したがって、密閉系開閉後の待ち時間がないので、分析効率が格段に向上する。
第一発明の一実施形態を、図1に示す。図1は、本発明に係るFTIRの分析部の構成を概略的に示す。この図において、1は分光光度計のハウジングで、外壁2により外部と隔離された密閉系の室1を形成している。その一部は隔壁3によって室4に区画されている。室4は、試料5を置くための試料室で、赤外光が通る隔壁3の一部6と7には、赤外線透過窓材が取付けられている。室1内には、赤外光を発する光源8が設置され,ここから出た赤外光は、鏡9で平行光となり、干渉計のビームスプリッター10で、一部の光は反射され、固定鏡11に、残りの光は透過して移動鏡12に達する。固定鏡11と移動鏡12で反射された光は再びビームスプリッター10で合成され、固定鏡13に達し、窓6、試料5,窓7を通過後、固定鏡14により集光され検知器15に至る。この検知器で電気信号に変えられた後、外部に設置されたコンピューター16に送られ、移動鏡の移動に対する光強度の分布を示す干渉図が得られる。さらに、この干渉図をフーリエ変換することにより、波数に対する光強度の分布である赤外スペクトルが得られる。
室4に隣接して取り付けられている、室17および室18が今回の発明に関わる乾燥材および加湿材の入った室である。室17には、手動あるいはコンピューター制御によって開閉される扉19および20が付いていて、下部には電気ヒーター22が設置されている。その上にシリカゲルを代表とする乾燥剤が置かれる。室18には水だめ23があり、ここより、21の手動又は自動開閉器を通じて、水蒸気が室4の内部に供給される。
具体的には、まずIBを試料のない状態で測定しておく。つぎに、試料を入れてISを測るが、スキャンの回数はシグナルの弱い試料ほど多く取る必要がある。このときのスペクトルを縦軸に吸光度をとって、スキャンごとに積算表示すると、横軸の波数位置の特定の個所に、上向きのピークが現れる。その強度は、試料の吸収が強いほど大きい。水蒸気のノイズで見ると、IBに比較して、ISの時の方が水蒸気の量が多く、その分吸収が強いと、上向きのピークが現れる。逆に、ISの時の方が水蒸気の量が少ないと、下向きのピークが現れる。ピークの数は多く現れるので、試料の吸収位置とは違った、強度の大きいピークの波数位置を指定して、この水蒸気のピークをモニターすることができる。したがって、この上向きか下向きかの符号により、ISの時の水蒸気の量が、IBに比較して多いか少ないかを判断でき、さらにピーク強度から、どれ位多いか少ないかを判断できる。
そこで、多い場合には19の扉を開ける指令をコンピューターより発し、室4の水蒸気量をIBの時のそれと同じになるように仕向け、あらかじめ設定していた吸光度以下になると、その扉を閉じるようにする。逆に、ISの時の水蒸気の量が、IBに比較して少ない場合には、ピークは下向きに出るので、扉21を開け、水蒸気を室4に補給し、やはり、あらかじめ設定していた吸光度の絶対値以下になると、その扉を閉じるようにする。これらの扉の開け加減は、ピーク強度に応じてコントロールするようにする。こうすることにより、いつも水蒸気のピークの大きさが所定の絶対値以下に規制されるため、このことは、とりもなおさず、水蒸気によるノイズが、それ以下に抑えられることになる。必要に応じてその値は自由に設定できる。かくして、サンプルスペクトルの積算中に、水蒸気ノイズフリーのスペクトルが得られることになる。
図2のAは、この装置を使用しないで測定したときの、ステアリン酸キャスト超薄膜のFTIRスペクトルで、1900−1500波数領域において水蒸気によるノイズが大きいが、図2のBで、この装置を使用して測定したときの、同じ試料のFTIRスペクトルでは、水蒸気ノイズが明確に消失している。このBの場合はスペクトルの目視で、除加湿や測定の休止等の指令を手動制御しているが、ノイズ軽減の効果は顕著である。図3のAは、この装置を使用しないで、バックグラウンドのみを、試料室のふたの開閉前後に2回測定した際の水蒸気部分のFTIRスペクトルを示す。図3のBは、この装置を使用して、ふたの開閉前後に2回測定した際のバックグラウンドの水蒸気部分のFTIRスペクトルで、水蒸気のノイズは分光光度計に固有なS/N(シグナルとノイズの比)近くまで減少していることが分かる。
室17および18にはパイプ24および25を接続することが可能で、24より乾燥空気・窒素ガスなどの低湿度気体、25より加湿空気・加湿窒素などを、それぞれ加供給することも可能である。
発明2では、除湿・加湿をこのパイプ24および25からの低湿度気体および加湿気体のみにより行うことを意図している。
発明3では、炭酸ガスによるノイズを軽減する場合に、上記室17あるいはパイプ24において、除湿剤・乾燥空気の代わりに、炭酸ガス吸収剤・除炭酸ガス空気(あるいは窒素ガス)を用いること、また、上記室18あるいはパイプ25において、加湿剤・加湿空気の代わりに、炭酸ガス供給剤・供給機を用いることを企図している。
「実施形態の効果」
この実施形態によれば、除湿・あるいは加湿供給源17,18は室4に隣接して配置されており、上部に開閉窓を付ければ、乾燥剤や水の供給の際には、交換・補給が容易である。また、水の補給は、サイフォン式の大きめのタンクを23に連結しておけば、長期間にわたり、メンテナンス不要となる。さらに、乾燥剤の方は、夜間などの機器不使用時に、ヒーターを入れ、扉20を室外に開放しておけば、吸着していた水分を室外に放出することができ、長期にわたってメンテナンスフリーとなる。室4のみで蒸気量の制御が出来るため、加除湿の量は少なくてすみ、効果的となる。
「他の実施形態」
図1の実施形態では、除湿・あるいは加湿供給源17,18は室4の外側に配置されているが、他の実施形態では、これをコンパクトにして試料室内4に設けたものでも良い。この場合、扉20は室17の上側に設置し、室4から、室外に水蒸気を放出するようなデザインも考えられる。図1の実施形態を含めて、これらの実施形態では、窓6および7との距離が近いため、光学窓はKRS5(遠赤外領域ではポリエチレン)などの耐水性窓材を使用することが推奨される。ところで、この窓6および7であるが、本来室1を出来るだけ乾燥させて使用し、試料取り替えの際、室外の湿度にさらされる室4とを隔絶することを企図されたものであるが、本発明にもとづけば、水蒸気によるノイズは水蒸気量などの大小には依存せず、IBとISの差のみに依存し、それを常に等しくすることが出来るため、必ずしも、必要ではなくなる。最近のFTIRでは、ビームスプリッター表面に耐湿コーティングが施されているし、検知器窓にはKRS5などの耐水性窓材が使われるため、通常の60%程度以下の湿度では十分使用可能である。その意味では、窓6および7を付けなければ、加湿供給源17、18は分光光度計室内・室外の光路に近い、どの位置であってもよいことになる。
また、図1の実施形態では、水蒸気のみ(あるいは炭酸ガスのみ)のノイズを別個に除去することを前提に描かれているが、必要が有れば、室17、18以外にさらに2室を設置し、炭酸ガス除去剤や供給剤を用い、またパイプ24および25以外に、さらに2個のパイプを付加することによって、低炭酸ガス空気・窒素ガスや炭酸ガスを供給・コントロールすることにより、炭酸ガスと水蒸気によるノイズの両方を同時に除去することも可能である。
さらに、これまでの説明では、先にバックグラウンドのIBを測り、ついでサンプルのISを測り、その過程で水蒸気や炭酸ガスの量のコントロールをしている。これは順番を変えて、先にISを測り、後でIBを測る過程で水蒸気や炭酸ガスの量をコントロールしてもよい。
この発明の一実施形態を示す上面図である。 (A)この装置を使用しないで測定したときの、ステアリン酸キャスト超薄膜のFTIRスペクトル。(B)この装置を使用して測定したときの、ステアリン酸キャスト超薄膜のFTIRスペクトル。 (A)この装置を使用しないで、バックグラウンドのみを、ふたの開閉前後に2回測定した際の水蒸気部分のFTIRスペクトル。(B)この装置を使用してバックグラウンドのみを、ふたの開閉前後に2回測定した際の水蒸気部分のFTIRスペクトル。
符号の説明
1 室1
2 隔壁
3 隔壁
4 試料室
5 試料
6 赤外線透過窓
7 赤外線透過窓
8 光源
9 固定鏡
10 ビームスプリッター
11 固定鏡
12 移動鏡
13 固定鏡
14 固定鏡
15 検知器
16 コンピューター
17 室17
18 室18
19 手動又はコンピューター制御開閉扉
20 手動又はコンピューター制御開閉扉
21 手動又はコンピューター制御開閉扉
22 ヒーター
23 水だめ
24 パイプ
25 パイプ

Claims (3)

  1. 除湿剤又は加湿剤の入った室の扉の開閉を、手動あるいは遠隔自動操作して行うことにより、除湿又は加湿を行い、水蒸気によるスペクトル・ノイズを軽減することを特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
  2. 前記除湿又は加湿を、除湿機又は加湿機からの空気あるいは窒素ガスの供給により行うことを特徴とする請求項1記載のフーリエ変換赤外分光光度計。
  3. 炭酸ガス吸着剤・除炭酸ガス空気(あるいは窒素)又は炭酸ガス供給剤・供給機を用い、炭酸ガスによるスペクトル・ノイズを軽減することを特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
JP2005328062A 2005-10-14 2005-10-14 水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計 Pending JP2007108151A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005328062A JP2007108151A (ja) 2005-10-14 2005-10-14 水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計
US11/548,414 US20070125950A1 (en) 2005-10-14 2006-10-11 Fourier transform infrared spectrophotometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005328062A JP2007108151A (ja) 2005-10-14 2005-10-14 水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007108151A true JP2007108151A (ja) 2007-04-26

Family

ID=38034105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005328062A Pending JP2007108151A (ja) 2005-10-14 2005-10-14 水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20070125950A1 (ja)
JP (1) JP2007108151A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010237168A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Shimadzu Corp 赤外分光光度計
CN105426588A (zh) * 2015-11-05 2016-03-23 广东药学院 一种红外光谱建模工具包及其开发方法和应用
WO2021075344A1 (ja) 2019-10-18 2021-04-22 フェムトディプロイメンツ株式会社 電磁波信号解析装置および電磁波信号解析用プログラム

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7675611B2 (en) 2007-05-21 2010-03-09 Ahura Scientific Inc. Handheld infrared and Raman measurement devices and methods
US8203700B2 (en) * 2007-05-21 2012-06-19 Ahura Scientific Inc. Supporting remote analysis
JP2010230370A (ja) * 2009-03-26 2010-10-14 Shimadzu Corp 赤外分光光度計、及び付属装置
GB2482904B (en) 2010-08-19 2014-09-10 Perkinelmer Singapore Pte Ltd Spectroscopic instruments
AT512375B1 (de) * 2011-12-23 2013-11-15 Anton Paar Gmbh Verfahren und sensor zur messung des co2-gehaltes von fluiden
EP3734243A1 (en) * 2019-05-01 2020-11-04 Kaiser Optical Systems Inc. Standard reference material interface for raman probe

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435348A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Shimadzu Corp Gas analyzer
JPH02101239U (ja) * 1989-01-31 1990-08-13
JPH05288606A (ja) * 1992-04-08 1993-11-02 Horiba Ltd フーリエ変換赤外分光光度計
JPH10513560A (ja) * 1995-02-09 1998-12-22 フォス エレクトリック アクティーゼルスカブ 分光計の標準化方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4206353A (en) * 1978-05-30 1980-06-03 Technicon Instruments Corporation Analyzing system
US4547068A (en) * 1983-03-04 1985-10-15 Covey Joel P Optical analytical instrument beam condenser
US5473162A (en) * 1987-10-26 1995-12-05 Baylor University Infrared emission detection of a gas
US6049762A (en) * 1997-12-18 2000-04-11 Perkin Elmer Llc Standardizing a spectrometric instrument
US5895918A (en) * 1998-04-15 1999-04-20 Lockhead Martin Energy Systems, Inc. Apparatus for and method of performing spectroscopic analysis on an article
US6865926B2 (en) * 2000-01-25 2005-03-15 State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of Portland State University Method and apparatus for sample analysis
WO2003085422A2 (en) * 2001-09-04 2003-10-16 North Carolina State University Single pass attenuated total reflection infrared analysis identifying protein secondary structure, surface charge and binding affinity
JP3902939B2 (ja) * 2001-10-26 2007-04-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 標本中の微小領域測定装置及び方法
JP3951870B2 (ja) * 2002-09-19 2007-08-01 株式会社島津製作所 乾燥機付きフーリエ変換赤外分光光度計

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435348A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Shimadzu Corp Gas analyzer
JPH02101239U (ja) * 1989-01-31 1990-08-13
JPH05288606A (ja) * 1992-04-08 1993-11-02 Horiba Ltd フーリエ変換赤外分光光度計
JPH10513560A (ja) * 1995-02-09 1998-12-22 フォス エレクトリック アクティーゼルスカブ 分光計の標準化方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010237168A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Shimadzu Corp 赤外分光光度計
CN105426588A (zh) * 2015-11-05 2016-03-23 广东药学院 一种红外光谱建模工具包及其开发方法和应用
CN105426588B (zh) * 2015-11-05 2018-12-14 广东药学院 一种红外光谱建模工具包及其开发方法和应用
WO2021075344A1 (ja) 2019-10-18 2021-04-22 フェムトディプロイメンツ株式会社 電磁波信号解析装置および電磁波信号解析用プログラム
KR20210154236A (ko) 2019-10-18 2021-12-20 펨토 디플로이멘츠 가부시키가이샤 전자파 신호 해석 장치 및 전자파 신호 해석용 프로그램
US11680896B2 (en) 2019-10-18 2023-06-20 Femto Deployments Inc. Electromagnetic signal analysis apparatus and electromagnetic signal analysis program

Also Published As

Publication number Publication date
US20070125950A1 (en) 2007-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007108151A (ja) 水蒸気や炭酸ガスによるスペクトル・ノイズのないフーリエ変換赤外分光光度計
JP4317089B2 (ja) ガス中の不純物を定量する装置
US9513204B2 (en) Device and method for monitoring rooms equipped with high-voltage apparatuses
JP4715759B2 (ja) 水分計
US11961721B2 (en) Normal-incidence in-situ process monitor sensor
CN103487593A (zh) 一种气体分析装置及方法
JP2009539064A (ja) 光学計測装置に使用するための汚染モニタおよび制御技術
JP2010230370A (ja) 赤外分光光度計、及び付属装置
US5563330A (en) Method and device for measuring the concentration of a detector gas in a measuring gas containing an interfering gas
CA2663104A1 (en) Apparatus and method for obtaining a reflectance property indication of a sample
JP2000124534A (ja) ArFエキシマレーザ装置及びその狭帯域化モジュール
JP4574447B2 (ja) 水質分析計の除湿装置
JP2002079203A (ja) 紫外線照射装置と紫外線照射装置の制御方法
JP2001041877A (ja) 分光分析装置及びガス中の不純物の分析方法
Shrestha et al. An Experimental Evaluation of HVAC-Grade Carbon Dioxide Sensors--Part I: Test and Evaluation Procedure.
JP2528111B2 (ja) オゾン濃度計測方法および装置
JP2008275650A (ja) フーリエ変換赤外分光光度計
JP6715798B2 (ja) ガス分析装置
KR20090004827A (ko) 원격 인-라인 분광분석용 지능형 이중 광 시료 셀
JP3732921B2 (ja) 分光測定器用のパージ装置
JP3116465U (ja) フーリエ変換赤外分光光度計
JP2019124466A (ja) ガス濃度測定装置
US20230266240A1 (en) Infrared spectrometer
US20240090110A1 (en) Confocal Chromatic Metrology for EUV Source Condition Monitoring
US20220074037A1 (en) Method for patinating zinc surfaces and system therefor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081002

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110308

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111108

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20121225