JP2007101402A - 粘着力兼厚み測定装置及びその測定方法 - Google Patents
粘着力兼厚み測定装置及びその測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基盤5上に載置した被測定物4の表面に接触させる接触端子22を被測定物4の表面と平行な平面の任意の位置に移動可能なXY軸方向駆動手段7と、接触端子22を垂直方向に移動させることで被測定物4が接触端子22に作用する押圧力及び引張力を測定する測定手段とを備えた粘着力測定装置であって、XY軸方向駆動手段7には、接触端子22が接触する箇所の被測定物4の表面にレーザ光を照射して被測定物4の厚みを測定する非接触式厚み測定装置24を備える。
【選択図】 図1
Description
以下、この発明の実施の形態1について図面を参照しながら説明する。
被測定物4の厚みも測定できる。
3 定盤
4 被測定物
5 基盤
6 試料板
7 XY軸方向駆動手段
8 X軸ガイドレール
13 制御モニタ
14 X方向スライダ
15 Y軸ガイドレール
19 Y方向スライダ
20 Z軸ガイドレール
21 Z方向スライダ
22 接触端子
23 粘着力測定装置
24 非接触式厚み測定装置
25 測定点
27 X軸用ステッピングモータ
28 Y軸用ステッピングモータ
29 Z軸用ステッピングモータ
30 マイクロコンピュータ
32 パソコン
33 ディスプレイ
34 モータドライバ
Claims (5)
- 基盤上に載置した被測定物の表面に接触させる接触端子を前記被測定物の表面と平行な平面の任意の位置に移動可能なXY軸方向駆動手段と、前記接触端子を垂直方向に移動させることで前記被測定物が前記接触端子に作用する押圧力及び引張力を測定する測定手段とを備えた粘着力測定装置であって、前記XY軸方向駆動手段には、前記接触端子が接触する箇所の前記被測定物の表面にレーザ光を照射して被測定物の厚みを測定する非接触式厚み測定装置を備えていることを特徴とする粘着力兼厚み測定装置。
- 前記接触端子を垂直方向に昇降させるためのZ軸方向駆動手段と、予め設定された条件で前記接触端子が昇降するように、前記Z軸方向駆動手段に対して制御信号を供給する制御手段と、前記接触端子に加わる応力を検出するための前記接触端子と結合されたセンサと、前記センサからの検出信号を処理して一つの前記被測定物に対する複数の測定点における前記接触端子に作用する押圧力及び引張力の測定値及び厚みの測定値を表示装置に一覧表示するためのデータ処理手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の粘着力兼厚み測定装置。
- 前記被測定物は磁力又は真空力によって吸着することのできる試料板に粘着固定されたものであり、前記基盤にはその表面に吸着力を発生し又は吸着力を消去させることのできる切替手段を有する吸着固定装置を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の粘着力兼厚み測定装置。
- 基盤上に載置した被測定物の表面に接触させる接触端子を前記被測定物の表面と平行な平面の任意の位置に移動可能なXY軸方向駆動手段と、前記接触端子を垂直方向に移動させることで前記被測定物が前記接触端子に作用する押圧力及び引張力を測定する測定手段とを設けた粘着力兼厚み測定装置を使用した測定方法であって、前記接触端子を前記被測定物に接触させてその厚みを測定する工程と、前記被測定物の厚みを測定した位置で、前記接触端子を前記被測定物側に押し込んで所定の圧力を加えたときに前記接触端子に生じる応力を測定する工程と、前記接触端子を前記被測定物から引き上げるときに前記接触端子に生じる応力を測定する工程とを有することを特徴とする粘着力兼厚みの測定方法。
- 前記XY軸方向駆動手段には、レーザ光を照射して被測定物の厚みを測定する非接触式厚み測定装置を備えており、該非接触式厚み測定装置から発射されるレーザ光を前記接触端子が接触する箇所の前記被測定物の表面に照射して被測定物の厚みを測定するようにしたことを特徴とする請求項4に記載の粘着力兼厚みの測定方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103389045A (zh) * | 2013-08-09 | 2013-11-13 | 昆山允可精密工业技术有限公司 | 一种手动单测头薄板厚度接触式测量装置 |
KR101354631B1 (ko) * | 2012-08-27 | 2014-01-24 | (주)테크원코리아 | 배터리 차단막용 비닐 두께 측정장치 |
KR101398849B1 (ko) * | 2012-07-17 | 2014-05-27 | 한국기계연구원 | 인쇄 공정 모사에 의한 전도성 잉크의 물성 평가 장치 및 방법 |
KR20180007229A (ko) * | 2016-07-12 | 2018-01-22 | 김승복 | 브레이크 패드 두께 측정 장치 |
JP2018146544A (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-20 | 株式会社 資生堂 | 測定装置、測定方法および測定プログラム |
CN109115129A (zh) * | 2018-11-12 | 2019-01-01 | 江西丝安本精密制版有限公司 | 一种网版拉网角度测试装置及其使用方法 |
CN110095074A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-08-06 | 西安航天计量测试研究所 | 一种高精度激光测量***及方法 |
CN111811906A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-23 | 上海交通大学 | 一种大尺寸胶接构件的试样制备与性能测试装置及方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103389044A (zh) * | 2013-08-09 | 2013-11-13 | 昆山允可精密工业技术有限公司 | 一种手动单测头薄板接触式厚度测量方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61274876A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-05 | Shibayama Kikai Kk | 自動平面研削盤における半導体ウエハの計測方法 |
JPS63272524A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-11-10 | Toray Ind Inc | 熱可塑性重合体シートの製造方法 |
JPH03264804A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Anritsu Corp | 表面形状測定装置 |
JPH06273302A (ja) * | 1993-03-01 | 1994-09-30 | Navas Garcia Jose M Las | 試験片の特性を測定する方法、及び装置 |
JPH0850065A (ja) * | 1994-05-26 | 1996-02-20 | Ford Motor Co | 強化ガラスの引張り膜応力と圧縮層厚さの測定方法 |
JPH11190616A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-07-13 | Anritsu Corp | 表面形状測定装置 |
JP2001009716A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | ウエハの厚み測定方法 |
JP2001159598A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Bridgestone Corp | タッキネス測定装置、タッキネス測定方法及びタッキネス測定装置用接触端子 |
JP2003083877A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Tosoku Kogyo Kk | 粘着度測定器および粘着度測定器を有する試験装置 |
JP2003232778A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Japan Science & Technology Corp | 試料の物理的性質の測定方法 |
JP2004165276A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Nikon Corp | 吸着装置および搬送装置 |
JP2004299184A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | プロファイル測定装置とそのプロファイル測定方法 |
JP2005077363A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 粘着力測定装置 |
JP2005224779A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布層検知方法及び装置、及びそれを用いた筒貼り方法及び装置 |
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61274876A (ja) * | 1985-05-29 | 1986-12-05 | Shibayama Kikai Kk | 自動平面研削盤における半導体ウエハの計測方法 |
JPS63272524A (ja) * | 1987-05-01 | 1988-11-10 | Toray Ind Inc | 熱可塑性重合体シートの製造方法 |
JPH03264804A (ja) * | 1990-03-15 | 1991-11-26 | Anritsu Corp | 表面形状測定装置 |
JPH06273302A (ja) * | 1993-03-01 | 1994-09-30 | Navas Garcia Jose M Las | 試験片の特性を測定する方法、及び装置 |
JPH0850065A (ja) * | 1994-05-26 | 1996-02-20 | Ford Motor Co | 強化ガラスの引張り膜応力と圧縮層厚さの測定方法 |
JPH11190616A (ja) * | 1997-10-20 | 1999-07-13 | Anritsu Corp | 表面形状測定装置 |
JP2001009716A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Okamoto Machine Tool Works Ltd | ウエハの厚み測定方法 |
JP2001159598A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Bridgestone Corp | タッキネス測定装置、タッキネス測定方法及びタッキネス測定装置用接触端子 |
JP2003083877A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Tosoku Kogyo Kk | 粘着度測定器および粘着度測定器を有する試験装置 |
JP2003232778A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Japan Science & Technology Corp | 試料の物理的性質の測定方法 |
JP2004165276A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Nikon Corp | 吸着装置および搬送装置 |
JP2004299184A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | プロファイル測定装置とそのプロファイル測定方法 |
JP2005077363A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 粘着力測定装置 |
JP2005224779A (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗布層検知方法及び装置、及びそれを用いた筒貼り方法及び装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101398849B1 (ko) * | 2012-07-17 | 2014-05-27 | 한국기계연구원 | 인쇄 공정 모사에 의한 전도성 잉크의 물성 평가 장치 및 방법 |
KR101354631B1 (ko) * | 2012-08-27 | 2014-01-24 | (주)테크원코리아 | 배터리 차단막용 비닐 두께 측정장치 |
CN103389045A (zh) * | 2013-08-09 | 2013-11-13 | 昆山允可精密工业技术有限公司 | 一种手动单测头薄板厚度接触式测量装置 |
KR20180007229A (ko) * | 2016-07-12 | 2018-01-22 | 김승복 | 브레이크 패드 두께 측정 장치 |
KR101868605B1 (ko) * | 2016-07-12 | 2018-06-18 | 김승복 | 브레이크 패드 두께 측정 장치 |
JP2018146544A (ja) * | 2017-03-09 | 2018-09-20 | 株式会社 資生堂 | 測定装置、測定方法および測定プログラム |
CN109115129A (zh) * | 2018-11-12 | 2019-01-01 | 江西丝安本精密制版有限公司 | 一种网版拉网角度测试装置及其使用方法 |
CN110095074A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-08-06 | 西安航天计量测试研究所 | 一种高精度激光测量***及方法 |
CN110095074B (zh) * | 2019-04-17 | 2024-06-07 | 西安航天计量测试研究所 | 一种高精度激光测量***及方法 |
CN111811906A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-23 | 上海交通大学 | 一种大尺寸胶接构件的试样制备与性能测试装置及方法 |
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Publication number | Publication date |
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