JP2007101291A - テストプログラム転送システム - Google Patents

Abstract

【課題】半導体製造検査に用いるテストプログラムにおける検査品質の向上。
【解決手段】提出用ＥＷＳサーバ８に提出されたテストプログラム７は、ファイル検証装置１２およびプログラムチェック装置１３によって、必要ファイルの有無のチェック,検査条件・検査規格・検査項目のチェックを受けた後、プログラム承認装置１４を用いて承認される。承認情報は転送システム用データベース群１１に記録される。そして、承認されたテストプログラム７のみ、提出用ＥＷＳサーバ８から保存用ＥＷＳサーバ９に自動転送されて保存される。製造部門のコンピュータ３は、転送プログラム検索装置１７を用いて承認済で転送可能となったテストプログラム７を、製造部門用ＥＷＳサーバ１０に自動転送させる。これにより、チェックを受けて承認されたテストプログラム７のみを、ファイルの不足なく確実に製造部門のコンピュータ３に転送する。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造過程の検査におけるテストプログラムを、開発部門のコンピュータから製造部門のコンピュータに転送するシステムに関する。

半導体製造過程の検査におけるテストプログラムは、開発部門のコンピュータで作成されたうえで製造部門のコンピュータに転送される。その際、作成されたテストプログラムは、第三者によるテストプログラムチェックを受けてその承認を得た後、開発部門のコンピュータから直接、手動でＦＴＰ転送によってプログラム転送される。あるいは、開発部門のコンピュータで自動生成されたテストプログラムが、直接開発部門のコンピュータから製造部門のコンピュータに転送される。この場合、第三者によるチェックは実施されない（特許文献１、特許文献２参照）。

以下に、従来のテストプログラム転送システム（第３者によるチェックを実施する方法）について説明する。

図１４は、従来の開発部門のコンピュータから、製造部門のコンピュータへのテストプログラム転送システムの構成図である。１は開発部門のコンピュータ、２は第三者であるチェック部門のコンピュータ、３は製造部門のコンピュータ、７はテストプログラム、８は提出用ＥＷＳサーバ、１０は製造部門用ＥＷＳサーバ、３５は開発部門用ＥＷＳサーバ、３６はプログラムチェック、３７はプログラム承認である。

まず開発部門のコンピュータ１においてテストプログラム７を手動あるいは自動で作成し、開発部門用ＥＷＳサーバ３５に格納する。つぎに開発部門のコンピュータ１はチェック部門のコンピュータ２にプログラムチェック３６の依頼を行い、同時にテストプログラム７を開発部門用ＥＷＳサーバ３５から提出用ＥＷＳサーバ８に転送する。依頼を受けたチェック部門のコンピュータ２は、提出用ＥＷＳサーバ８に転送されたテストプログラム７を参照してプログラムチェック３６を行う。これにより、テストプログラム７において検査項目・検査条件・検査規格が正しく設定・記述されているかどうかを確認する。

プログラムチェック３６が完了した時点で、そのテストプログラム７を製造部門のコンピュータ３で検査に用いても良いと承認するプログラム承認３７を行い、このことを開発部門のコンピュータ１に通知する。通知を受けた開発部門のコンピュータ１は、プログラム承認３７されたテストプログラム７を、開発部門用ＥＷＳサーバ３５から製造部門用ＥＷＳサーバ１０に転送する。以上が、従来のテストプログラム転送システムの動作である。
特開平１１−２６５３８号公報（第６頁、第一図） 特開平７−１５１８２６号公報（第３頁、第一図）

従来のテストプログラム転送システムでは、プログラムチェックそのものと、テストプログラムの転送とが直接連動していないため、故意にせよ、事故にせよプログラム承認されていないテストプログラムが、製造部門のコンピュータに転送される可能性がある。プログラム承認されていないテストプログラムで、半導体のテストを行った場合、当然ながら、その品質を十分に保証できないため、市場に不良品を流出させてしまうおそれがある。

また、製造部門のコンピュータへの転送は、開発部門の担当者により手動で行われるため、必要なテストプログラムに漏れが生じる、あるいは誤ったテストプログラムが転送されてしまうという可能性がある。その場合、製造部門のコンピュータで正常にテストを行うことができず、正常にテストが行えるようにするまでに時間を費やすことで、逸失利益を生じさせる可能性がある。また誤ったテストプログラムが転送されてしまった結果として、品質上の問題を起こす可能性があるが、それは承認されていないテストプログラムが転送された場合と同様である。他にも転送の際、テストプログラム名が重複すると、製造部門のコンピュータの保存装置（製造部門用ＥＷＳサーバ１０）内でテストプログラムが上書きされる危険性が生ずる。

他にも、複数の開発部門のコンピュータがプログラム転送を行うため、受け入れ側である製造部門のコンピュータが、個別にやり取りを行わねばならず、テストプログラムの取り違え・混在を招く恐れがある。

以上が、前者のテストプログラム転送システムの課題であるが、特許文献１、特許文献２に記されている構成の場合も、生成されたテストプログラムが正常なものであるか、必要なテストプログラムがすべて正常に転送されたかどうかをチェックする装置がない。

本発明は、上記に述べた従来システム・既存特許におけるプログラム転送に関する問題点を解決するもので、正しいテストプログラム一式が、漏れなく確実に製造部門のコンピュータに転送されるシステムの提供を目的とする。

上記課題を解決するために、テストプログラムの一元管理、転送経路の一元化、必要プログラムがそろっているかどうかのチェック、テストプログラムの承認と連動したファイルの保存・転送、承認されたテストプログラムの検索と、検索と連動した転送を行う必要がある。

そのために、本発明は、開発部門のコンピュータで生成される半導体製造過程の検査に用いるテストプログラムを、当該開発部門のコンピュータから製造部門のコンピュータに転送するシステムを次のように構成する。

すなわち、本発明のテストプログラム転送システムは、開発部門のコンピュータから入力される前記テストプログラムを一時的に保持するための第１の保存装置と、
前記開発部門のコンピュータから入力される前記テストプログラム個別の品種名,ＲＯＭ名,レビジョン番号,検査工程名,プログラム名,製造部門名,テストプログラム言語種類,および転送可能を示すフラグを含む情報を保持するためのデータベースと、
前記開発部門のコンピュータから入力される前記情報を、前記データベースに入力する処理,修正する処理,削除する処理および参照する処理を行なう情報入力装置と、
前記第１の保存装置に保持された前記テストプログラムが検査において必要なファイルをすべて含んでいるか否かを判定するファイル検証装置と、
前記第１の保存装置に保持された前記テストプログラムであって前記ファイル検証装置によって必要なファイルをすべて含んでいると判定されたテストプログラムについて、検査条件,検査規格および検査項目に誤りがあるか否かを判定するプログラムチェック装置と、
前記第１の保存装置に保持された前記テストプログラムを最終的に保存するための第２の保存装置と、
前記第１の保存装置から前記第２の保存装置に前記テストプログラムをデータ転送する第１のデータ転送装置と、
前記ファイル検証装置と前記プログラムチェック装置との判定に基づいて前記第１のデータ転送装置による前記テストプログラムの転送を許可するか否かを判定するとともに、前記第１のデータ転送装置による転送を許可した前記テストプログラムが転送可能であることを示すフラグを前記データベースに書き込むプログラム承認装置と、
前記第２の保存装置から前記製造部門のコンピュータに前記テストプログラムをデータ転送する第２のデータ転送装置と、
前記データベースに保持された前記情報を検索し、前記転送可能であることを示すフラグが書き込まれている前記テストプログラムを表示するとともに、表示された前記テストプログラムの中から操作担当者によって前記製造部門のコンピュータに転送を希望するテストプログラムを選択させたうえで、その選択内容を前記第２のデータ転送装置に送信する転送プログラム検索装置と、
前記製造部門のコンピュータに設けられて、前記第２のデータ転送装置が前記第２の保存装置から転送する前記テストプログラムを保持するための第３の保存装置と、
を有する。

本発明では、テストプログラムの転送に関わる情報を、データベースによって一元管理することで、承認されたテストプログラムのみ製造部門のコンピュータに転送することが可能となり、未承認のテストプログラムが製造部門（工場）へ導入されることを防ぐことができる。

また、ファイル検証装置によって必要なプログラムの漏れ・不要なファイルの提出をチェックすることができることと、転送はすべて自動で行われるため、ファイルの転送不足を防ぐことができる。

ほかにも、プログラムの保存装置を限定することで転送経路が一元化され、開発部門のコンピュータとの間の個別のやり取りが減ることや、データベースの検索による転送可能、転送済み、チェック中といった状況を把握できるため、製造部門のコンピュータによるテストプログラムの入手の効率化、管理の容易化を図ることができる。

システムの利用にあたっては個人認証を行うため、認証者以外のものがプログラムチェックの承認、あるいは転送可能プログラムの検索を行うことができない。これによりプログラムの誤転送を防ぐことができる。さらに、プログラム転送前後のファイルサイズを比較することで、プログラムの内容に変更がなく転送が確実に行われたことを確認することができる。

以上のように、本発明は、データベースによる管理、およびファイル検証機能を組み合わせることで、品質の高いテストプログラムを開発部門のコンピュータから製造部門のコンピュータに転送することのできる優れたシステムを実現する。

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１は本実施形態におけるテストプログラム転送システムの全体構成図を示す。本例ではシステムはイントラネット上に構成されており、インターフェースとしてＷＥＢブラウザが用いられる実施形態について説明する。

図１において、１は、開発部門に設けられたコンピュータ（以下、開発部門のコンピュータという）を概念的に示す。開発部門のコンピュータ１は、テストプログラム作成装置としても機能する。２は、チェック部門に設けられたコンピュータ（以下、チェック部門のコンピュータという）を概念的に示す。７はテストプログラムである。テストプログラム７は、開発部門のコンピュータ１にインストールされたテストプログラム作成ソフトウェア（図示省略）によってテストプログラム作成担当者の指示に基づいて作成される。１９は本テストプログラム転送システムの操作担当者（製造部門の操作担当者（テストプログラム作成担当者））に個別に割り当てられた個人認証ＩＤ・パスワードである。個人認証ＩＤ・パスワード１９は、本システムを操作する都度、操作担当者によって本システムに入力される。２０は、上述した開発部門のコンピュータ１において作成されるテストプログラムの詳細を示すテストプログラム情報である。テストプログラム情報２０は、製造部門の操作担当者によって本システムに入力される。

３は製造部門のコンピュータを概念的に示す。製造部門のコンピュータ３には、製造部門用ＥＷＳ(Engineering Workstation)サーバ１０がインストールされている。

４０は転送用のコンピュータである。転送用のコンピュータ４０には、提出用ＥＷＳ(Engineering Workstation)サーバ８と、個人認証装置４と、情報入力装置６と、保存用ＥＷＳ(Engineering Workstation)サーバ９と、ファイル検証装置１２と、プログラム承認装置１４と、第１のデータ転送装置１５と、自動通知装置１６と、転送プログラム検索装置１７と、第２のデータ転送装置１８と、プログラムチェック装置１３と、転送結果確認装置３４とがインストールされている。なお、情報入力装置６は、キーボード等の入力装置と入力装置を制御するソフトウエアとを含んで構成される。

本実施形態では、転送用コンピュータ４０は、電気通信回線より双方向通信可能に接続された複数のコンピュータの総体（システム）として構成される。上述した各装置８,４,６,９,１２,１４,１５,１６,１７,１８,１３,および３４は、転送用コンピュータ４０を構成する各コンピュータにインストールされている。しかしながら、転送用コンピュータ４０を処理能力の高い単一のコンピュータから構成したうえで、上述した各装置をその単一の転送用コンピュータ４０にインストールしてもよいのはいうまでもない。

本実施形態では、提出用ＥＷＳサーバ８は第１の保存装置を構成し、保存用ＥＷＳサーバ９は第２の保存装置を構成する。

１１は転送システム用データベース群である。転送システム用データベース群１１から本発明のデータベースは構成される。５は人事データベースである。２１は、ファイル検証装置１２が出力するファイル検証結果情報である。２２は、プログラム承認装置１４が出力する転送可能フラグ情報である。２３はファイルサイズ・チェックサム値情報である。ファイルサイズ・チェックサム値情報２３はテストプログラム７に関する情報であって、保存用ＥＷＳサーバ９に保存されるテストプログラム７に関する情報である。２４は自動通知装置１６から出力される転送可能プログラム情報である。２５はファイルサイズ・チェックサム値情報である。ファイルサイズ・チェックサム値情報２５は、テストプログラム７に関する情報であって、製造部門用ＥＷＳサーバ１０に転送されるテストプログラム７に関する情報である。２６は、転送プログラム検索装置１７から出力される転送完了情報である。

なお、上述した装置構成において、開発部門のコンピュータ１と、チェック部門のコンピュータ２と、転送用のコンピュータ４０と、製造部門のコンピュータ３と、人事データベース５と、転送システム用データベース群１１とは、ＬＡＮなどのイントラネット等の電気通信回線を介して、相互通信可能に接続されている。

図２はファイル検証装置１２の詳細図である。２７は構文解析装置である。２８はファイル提出判定装置である。２９はファイル名表示装置である。３０はファイル重複チェック装置である。

図３は構文解析装置２７の詳細図である。３１はテストプログラム言語Ａ用構文解析ルーチンである。３２はテストプログラム言語Ｂ用構文解析ルーチンである。３３はテストプログラム言語Ｚ用構文解析ルーチンである。ここでは、複数のテストプログラム言語（Ａ,Ｂ,…Ｚ）に対応して同数（Ａ,Ｂ,…Ｚ）の構文ス解析ルーチンか設けられている。

以上のように構成された本実施形態のテストプログラム転送システムについて以下、その動作を図４〜図１３のフローチャートを参照して説明する。まず、プログラム作成処理を図４のフローチャートを参照して説明する。テストプログラム７は、開発部門のコンピュータ１や、このコンピュータ１に相互通信可能に接続された他のコンピュータ（図示省略）を用いてテストプログラムの作成担当者（以下、開発部門の操作担当者と称す）によって作成される。ここで、テストプログラム７は、開発部門のコンピュータ１にインストールされた自動生成装置によって作成されてもよい。

作成されたテストプログラム７は、開発部門のコンピュータ１から提出用ＥＷＳサーバ８に転送（提出）される（Ｓ１０１,Ｓ１０２）。テストプログラム７はコンパイル後のオブジェクト形式と、アスキー形式との両形式のファイルが提出される。プログラム言語の種類によっては、アスキー形式のファイルしか存在しないため、その場合はアスキー形式のみ提出される。

テストプログラム７の作成が終了して提出用ＥＷＳサーバ８にテストプログラム７が転送されたことを確認した開発部門の操作担当者は、続けて自身の個人認証ＩＤ・パスワード１９を開発部門のコンピュータ１に入力する。開発部門のコンピュータ１に入力された個人認証ＩＤ・パスワード１９は、個人認証装置４に転送（提出）される（Ｓ１０３,Ｓ１０４）。

次に、個人認証ＩＤ・パスワード１９を受け取った個人認証装置４の処理を、図５のフローチャートを参照して説明する。個人認証装置４は、個人認証ＩＤ・パスワード１９が入力されるか否かを監視し（Ｓ２０１）、Ｓ２０１で個人認証ＩＤ・パスワード１９の入力を検知すると、その個人認証ＩＤ・パスワード１９を人事データベース５に参照する（Ｓ２０２）。これにより、開発部門の操作担当者がシステムを使用可能な権限を有しているか否かを判定する（Ｓ２０３）。このような判定が可能となるように、人事データベース５には、各操作担当者について、当人の個人認証ＩＤ・パスワード１９とその個人認証ＩＤ・パスワード（操作担当者）に付与されている権限とを対照させたテーブルデータが予め格納されている。

上記判定がＮＧの場合、個人認証装置４はエラー情報を情報入力装置６に返送して処理を終了する（Ｓ２０４）。エラー情報を受けた情報入力装置６は、その情報を表示する指令を開発部門のコンピュータ１に送信する。この指令を受けた開発部門のコンピュータ１は、そのエラー表示を図示しない表示器に表示することで、入力エラーを開発部門の操作担当者に報知する。

一方、Ｓ２０３で判定ＯＫとなった場合、個人認証装置４は転送システム用データベース群１１の情報を参照し、予め入力されている開発部門の操作担当者の権限を確認する。ここではその操作担当者にプログラムのチェック・転送依頼の権限が付与されているか否かが確認される（Ｓ２０５）。Ｓ２０５で権限が認められなかった場合、個人認証装置４は情報入力装置６にエラー情報を返送して処理を終了する（Ｓ２０４）。エラー情報を受けた情報入力装置６は、その情報を表示する指令を開発部門のコンピュータ１に送信する。この指令を受けた開発部門のコンピュータ１は、そのエラー表示を図示しない表示器に表示することで、入力エラーを開発部門の操作担当者に報知する。

一方、Ｓ２０５の判定で権限が認められた場合、個人認証装置４は、情報入力装置６に、データ入力プログラムの転送指令を送信する（Ｓ２０６）。

個人認証装置４によるデータ入力プログラムの転送指令（Ｓ２０６）を受けた情報入力装置６は、入力画面を表示する指令を開発部門のコンピュータ１に送信する。この指令を受けた開発部門のコンピュータ１は、図６のフローチャートに示すように、図示しない表示装置にデータ入力画面を表示させることで開発部門の操作担当者にテストプログラム情報２０の入力を促す。（Ｓ３０１）。

開発部門の操作担当者は、その入力画面を見ながら、先に作成したテストプログラム７によって検査される品種名、ＲＯＭ名、プログラムのレビジョン番号、検査工程名、検査を行う製造部門名、プログラム言語種別、メインプログラム名といったテストプログラム情報２０を開発部門のコンピュータ１に入力する。開発部門のコンピュータ１は、入力されたテストプログラム情報２０を電気通信回線を介して情報入力装置６に出力する。

情報入力装置６は、テストプログラム情報２０が入力されたか否かを監視し（
Ｓ３０２）、テストプログラム情報２０が入力されたことを確認すると、入力されたテストプログラム情報２０に文法上、入力制限上のエラーがないかを確認する（Ｓ３０３）。Ｓ３０３の確認処理は、はたとえば、数値を入力すべき部分に文字列を入力していないか等の確認処理である。Ｓ３０３で入力エラーを確認した場合、情報入力装置６は、再度入力を促す表示を行う指令を開発部門のコンピュータ１に送信する。この指令を受けた開発部門のコンピュータ１は、再入力指示を示す表示を図示しない表示器に表示する（Ｓ３０４）。これにより、訂正入力を開発部門の操作担当者に促す。Ｓ３０１〜Ｓ３０４の操作は、情報入力装置６に入力されるテストプログラム情報２０にエラーがなくなるまで繰り返される。エラーがない、もしくはエラーがなくなった時点で、情報入力装置６はテストプログラム情報２０を転送システム用データベース群１１に書き込む（Ｓ３０５）。これにより、処理はファイル検証装置１２に移行する。

次にファイル検証装置１２の構成およびその処理を図２のフロック図、および図７のフローチャートを参照して説明する。ファイル検証装置１２は、図２に示すように、構文解析装置２７、ファイル提出判定装置２８、ファイル名表示装置２９、およびファイル重複チェック装置３０を備えている。

まず構文解析装置２７は、提出用ＥＷＳサーバ８にある該当するテストプログラム７のメインプログラムのアスキー形式のファイルを読み込み、そのメインプログラム中の記述を一字一句読み取る（Ｓ４０１）。さらに、構文解析装置２７は、転送システム用データベース群１１から読み出したテストプログラム情報２０（プログラム名およびレビジョン番号）を、テストプログラム７中の記述に照合し、両者が一致するかどうかを確認する（Ｓ４０２）。

Ｓ４０２でデータが一致しない場合はエラー情報を情報入力装置６に転送する（Ｓ４０３）。エラー情報を受けた情報入力装置６は、その情報を表示する指令を開発部門のコンピュータ１に送信する。この指令を受けた開発部門のコンピュータ１は、そのエラー表示を図示しない表示器に表示することで、入力エラーを開発部門の操作担当者に報知する。

Ｓ４０２でデータが一致する場合は以下に説明する必要ファイルのチェックに移る。必要ファイルのチェックとしてまず最初に、構文解析装置２７は、チェックを行なう必要ファイルの抽出を行なう（Ｓ４０４）。すなわち、構文解析装置２７は、まず、テストプログラム７のメインプログラムからサブルーチン，パターンファイルを必要ファイルとして抽出する。次に、構文解析装置２７は、抽出した必要ファイルのプログラム記述を解読し、そのプログラムの記述中に、さらに別のサブルーチンやパターンファイルを呼び出す命令があるか否かを判断する。そして、そのような命令があると判断すると、その命令により呼び出されるファイルを必要ファイルとして抽出する。以降、構文解析装置２７は、抽出した必要ファイルすべてに対して、同様の作業（Ｓ４０４）を再帰的に行う。この作業は抽出するべき必要ファイルがなくなるまでくりかえし行う。構文解析装置２７は、抽出された必要ファイル名すべてをまとめた必要ファイルリストを最終的に作成する（Ｓ４０５）。

次に、ファイル提出判定装置２８の処理を図８のフローチャートを参照して説明する。ファイル提出判定装置２８は、構文解析装置２７が作成した必要ファイルリストと提出用ＥＷＳサーバ８に提出されているファイル（開発部門のコンピュータ１からテストプログラム７のメインプログラムとともに提出される）とを照合することで提出状況を判定する（Ｓ５０１）。

Ｓ５０１の判定においては、テストプログラム７における必要ファイルが揃っていないと判定される場合と、不必要な余剰ファイルが提出されていると判定される場合とが生じる。以下、このような判定を、提出エラー判定という。提出エラー判定を下した場合、ファイル提出判定装置２８は、それらのファイル名データ（未提出ファイル名や余剰ファイル名に関するデータ）をファイル名表示装置２９に送信してそのファイル名をファイル名表示装置２９で画面表示させる（Ｓ５０２）。具体的には、電気通信回線を介してファイル名表示装置２９からファイル名の画面表示指令を受けた開発部門のコンピュータ１の表示装置（図示省略）においてファイル名が画面表示される。これにより、ファイル提出判定装置２８は、提出用ＥＷＳサーバ８における余剰ファイルの削除と、未提出ファイルの提出とを開発部門の操作担当者に促す。

開発部門の操作担当者は、上記催促に沿ってファイルの提出・削除を行なったのち、その旨をシステムに報知するため、情報入力装置６に再入力確定操作（例えば、情報入力装置６に電気通信回線を介して接続された開発部門のコンピュータ１において画面表示されたフォームボタンのクリック操作）を行う。ファイル提出判定装置２８は情報入力装置６に再入力操作確定操作が実行されたか否かを監視し（Ｓ５０３）、操作の実行を確認した時点で、再度、未提出ファイルの有無と不要ファイルの有無とを確認する（Ｓ５０１）。Ｓ５０１〜Ｓ５０３の処理を繰り返すことで、提出ファイルを確定する。

構文解析装置２７は、図３に示すように、テストプログラム言語Ａ用構文解析ルーチン３１、テストプログラム言語Ｂ用構文解析ルーチン３２、テストプログラム言語Ｚ用構文解析ルーチン３３といった複数の構文解析ルーチンから構成される。これは、テストプログラム７が品種によってそれぞれ異なるテストプログラム言語で記述されていることに対応するための構成である。各構文解析ルーチンは、それぞれのテストプログラム言語特有のファイルの呼び出し記述や、ファイル構成にあわせた構文解析を行う。構文解析装置２７は、図３に示すように、転送システム用データベース群１１に格納されているテストプログラム情報２０を参照して、テストプログラム７の言語種類を確認し、適切な構文解析ルーチンを選択して使用する。

なお、構文解析装置２７は、実際の検査には不必要なデバッグ用のルーチンやパターンファイルも、必要ファイルとして判定する場合がある。また、テストプログラム７には記述されていないが製造部門のコンピュータ３に転送する必要があるデータファイルなどが提出された状態においても、そのファイルを不要と判定する場合がある。しかしながら、このような場合であっても、該当するファイルの提出、あるいは削除がなくてもテストプログラム７としては転送する必要がある。その処理について、以下、図９のフローチャートを参照して説明する。

ファイル提出判定装置２８は、ファイル名表示装置２９の表示画面上（具体的には、電気通信回線を介してファイル名表示装置２９からファイル名の画面表示指令を受けた開発部門のコンピュータ１の表示装置（図示省略））で、必要ファイルと判定されたが未提出のままである、あるいは不要ファイルと判定されたが削除されないままである、という情報（以下、誤判定情報という）を表示する（Ｓ６０１）。

開発部門の操作担当者は、Ｓ６０１の処理によってファイル名表示装置２９の表示画面上に表示されている誤判定情報を目視により確認し、必要と判定されているが不要である、あるいは不要と判定されているが必要である、というチェック（承認）を、ファイル名表示装置２９の入力装置（具体的には、電気通信回線を介してファイル名表示装置２９からファイル名の画面表示指令を受けた開発部門のコンピュータ１の入力装置（図示省略））に入力する。ファイル提出判定装置２８は、開発部門の操作担当者による承認／非承認入力を監視する。このような監視を、一つのテストプログラムとして提出用ＥＷＳサーバ８に提出される全ファイルに関する誤判定情報が開発部門の操作担当者によってすべて承認されるまで行う。そして、ファイル提出判定装置２８は開発部門の操作担当者により誤判定情報が全て承認されると、次の処理段階にすすむ。

ファイル提出判定装置２８のファイル判定処理と同時に、ファイル重複チェック装置３０は、図１０のフローチャートに示す処理を実行する。すなわち、ファイル重複チェック装置３０は、必要ファイルの抽出を行ったあと必要と判断したファイル名が、他のテストプログラムのファイル名と重複していないかどうかを、転送システム用データベース群１１を検索することで判定する（Ｓ７０１）。Ｓ７０１で重複があると判断する場合、ファイル重複チェック装置３０は、その結果をファイル名表示装置２９に表示する（Ｓ７０２）。実際には、電気通信回線を介してファイル名表示装置２９から重複判定結果の画面表示指令を受けた開発部門のコンピュータ１においてその結果が画面表示される。なお、ファイル名の重複をチェックするのは、検査に際して内容が異なる同名ファイルを混同し、誤って使用することを避けるためである。

ファイル名の重複をファイル名表示装置２９によって警告された場合、開発部門の操作担当者はそのファイル名を変更しなければ、つぎの処理に進むことができない。ここで、ファイル名の重複がある場合であっても別のテストプログラムと共通で使用するファイルの場合は、当然同名であるので、ファイル名を変更する必要はなく、ファイル名重複判定から除外する必要がある。そこで、ファイル重複チェック装置３０は、ファイル名が重複しているファイルのうち共通で使用するファイルについては、ファイルサイズとチェックサム値の値とが一致することに着目して、ファイル名誤判定の判定処理（Ｓ７０１）を、図１１のフローチャートに示すように判定する。すなわち、ファイル名が重複していると判定したファイルどうしのファイルサイズとチェックサム値の値とを比較し（Ｓ８０１）、両ファイルのファイルサイズとチェックサム値の値とが一致する場合には、それらのファイルは、異なるテストプログラムにおいて共通で使用する同一のファイルであると判断して（Ｓ８０２）、ファイル名が重複すると判定した判定結果を覆して、重複警告対象から除外する。一方、両ファイルのファイルサイズとチェックサム値の値とが一致しない場合には、それらのファイルは、異なるテストプログラムにおいて共通で使用する同一のファイルではないと判断して（Ｓ８０３）、ファイル名が重複すると判定した判定結果を維持して、重複警告対象から除外しない。

ファイル検証装置１２は、一連のファイル検証動作が繰り返されるたびに転送システム用データベース群１１に、ファイル検証結果情報２１を書き込む。ファイル検証結果情報２１には、
・プログラムチェック装置１３に処理を移行させてもよいかを示す検証フラグ、
・個別の必要ファイルのファイルサイズ・ファイルのチェックサム値、
・不要と判断されたかどうかのフラグ、
・不要ファイルのファイルサイズ・ファイルのチェックサム値、
・必要と判断されたかどうかのフラグ、
の各情報が含まれる。

ファイル検証装置１２は、
・必要ファイルが揃っている、
・不要ファイルが削除されている、
・必要だが提出されていないファイルがあるものの、その未提出ファイルは不要とチェックされている、
・不要だが削除されていないファイルがあるものの、その未削除ファイルは必要とチェックされている、
という条件を全て満たす場合、ファイル検証結果情報２１に、プログラムチェック装置１３に処理を移行させてもよいかを示す検証フラグをＯＫ（進んで良し）とする書き込みを行う。

次にプログラムチェック装置１３の動作を図１２のフローチャートを参照して説明する。プログラムチェック装置１３は、転送システム用データベースファイル群１１を参照し、ファイル検証結果情報２１の検証フラグがＯＫであることを確認すると（Ｓ９０１）、図示しない表示装置にプログラムチェック用の各種データを表示する（Ｓ９０２）。実際には、電気通信回線を介してプログラムチェック装置１３から画面表示指令を受けたチェック部門のコンピュータ２においてプログラムチェック用の各種データが画面表示される。

Ｓ９０２の表示動作においては、
・テストプログラム情報２０、
・ファイル検証装置１２で必要と判断されたが製造部門の操作担当者によって不要とチェックされたファイル名、
・不要と判断されたが未削除であり最終的にはファイル検証装置１２によって必要とチェックされたファイル名、
・提出用ＥＷＳサーバ８に提出されたテストプログラム７のデータ、
・本件システムとは別にあらかじめ実行されて提出された各種テストプログラムチェックツールの実行結果ログ、
がプログラムチェック装置１３により指示されたチェック部門のコンピュータ２の表示装置（図示省略）に表示される。

チェック部門の操作担当者は、チェック部門のコンピュータ２の表示装置（図示省略）に表示されるこれらの情報を参照しながら、テストプログラム７の検査条件・検査規格・検査項目に誤りがないことを確認してゆく。チェックツールの結果だけでは判断できない部分は、プログラム記述の目視によるチェックを行う。このチェックで疑義を生じた場合、チェック部門の操作担当者は、プログラムチェック装置１３の入力装置（具体的にはチェック部門のコンピュータ２の入力装置）に、指摘・質問を入力する。プログラムチェック装置１３では、指摘・質問が入力されるか否かを監視し（Ｓ９０３）、指摘・質問の入力を検知すると、その指摘・質問を、開発部門のコンピュータ１に電気通信回線を介して送信する（Ｓ９０４）。

送信されてきた指摘・質問は、開発部門のコンピュータ１の表示装置に表示される。開発部門のコンピュータ１の表示装置に表示された指摘・質問を確認した開発部門の操作担当者は、開発部門のコンピュータ１に、この指摘に対する回答を入力して、その回答を同様に電気通信回線を介してプログラムチェック装置１３に返送する。

プログラムチェック装置１３では、開発部門のコンピュータ１から回答が入力されたか否かを監視し（Ｓ９０５）、回答が入力された場合、その回答を、チェック部門のコンピュータ２の表示装置（図示省略）に表示させる（Ｓ９０６）。チェック部門の操作担当者は、表示装置に表示された回答が適切で、テストプログラム７に問題がないと判断した場合、個々の回答それぞれに対してでＯＫ、ＮＧの判定を行い、その判定結果をチェック部門のコンピュータ２に入力する。チェック部門のコンピュータ２は入力される判定結果を電気通信回線を介してプログラムチェック装置１３に送信する。プログラムチェック装置１３では、ＯＫ,ＮＧの入力を監視し（Ｓ９０７）、Ｓ９０７でＮＧの回答が入力されことを確認すると、その指摘・質問の再回答指示を、開発部門のコンピュータ１に電気通信回線を介して送信する（Ｓ９０８）。

開発部門のコンピュータ１に送信されてきた再回答指示は、開発部門のコンピュータ１の表示装置に表示される。表示装置に表示された再回答指示を確認した開発部門の操作担当者は、開発部門のコンピュータ１に、この指示に対する再回答を入力して、その再回答を電気通信回線を介してプログラムチェック装置１３に返送する。

Ｓ９０７において、すべての指摘に対して回答があり、かつその回答に対するチェック部門の操作担当者の判定がすべてＯＫになったことを確認すると、プログラムチェック装置１３は、チェック部門の操作担当者によってプログラム承認装置１４の起動指示が入力されるか否かを監視する（Ｓ９０９）。プログラム承認装置１４の起動指示は、テストプログラムのチェックが良好に完了した時点において、チェック部門の操作担当者によってチェック部門のコンピュータ２に入力される。チェック部門の操作担当者によって上記起動指示がチェック部門のコンピュータ２に入力されたことを検知すると、プログラムチェック装置１３は、プログラム承認装置１４に起動指示を出力する（Ｓ９１０）。

なお、上述したチェック部門のコンピュータ２における指摘、判定、承認操作は、個人認証装置４により認証を受けたチェック部門の操作担当者だけにその権限が与えられている。一方、開発部門のコンピュータ１における回答と表示情報の参照操作は、個人認証装置４により認証を受けた開発部門の操作担当者だけにその権限が与えられている。認証は、図５のフローチャートを参照して説明した認証動作と同様の処理により実施される。

プログラムチェック装置１３から起動指示を受信したプログラム承認装置１４は、承認されたテストプログラム７のテストプログラム情報２０のうち、提出用ＥＷＳサーバ８のどのディレクトリに提出したかの示す情報を選択して、その情報を第１のデータ転送装置１５に出力する。その情報を受け取った第１のデータ転送装置１５は、その情報で指定されるディレクトリにあるテストプログラム７を提出用ＥＷＳサーバ８から読み出して保存用ＥＷＳサーバ９にＦＴＰ（File Transfer Protocol）転送したうえで、提出ファイルをひとつのファイルに圧縮して保存用ＥＷＳサーバ９に保存する。ここでいう提出ファイルとは、提出用ＥＷＳサーバ８に格納されたファイル一式を示す。検証フラグがＯＫの時点では、必要ファイル一式と、未削除ファイルであるが必要とチェックされたファイルとが、提出用ファイルに該当する。

保存に際して、第１のデータ転送装置１５はその圧縮ファイル名に重複しない固有番号をつけ、ファイルの区別ができるようにする。

第１のデータ転送装置１５は、ファイル保存が正常に完了した場合、圧縮ファイルのファイルサイズとチェックサム値情報２３をプログラム承認装置１４に送信する。なんらかの原因で保存が出来なかった場合、エラー情報を送信する。

ファイルサイズとチェックサム値情報２３とを受け取ったプログラム承認装置１４は、それらの値とともに転送可能フラグ情報２２を、転送システム用データベース群１１に書き込む。その後、自動通知装置１６にテストプログラム情報２０を送る。

自動通知装置１６は、テストプログラム情報２０の格納されている、どの製造部門で検査されるかの情報に基づいて次の処理を行う。すなわち、自動通知装置１６は、承認されたテストプログラム７のファイル名、品種名、検査工程名等の転送可能プログラム情報２４が記載された電子メールを電気通信回線を介して該当する製造部門のコンピュータ３に送信する。また、自動通知装置１６が通知する転送可能プログラム情報２４には、転送プログラム検索装置１７に対して、転送可能なテストプログラム７の情報を検索するための検索条件を引数として引渡して、自動的に検索させるためのスクリプト記述（ＵＲＬアドレス）を含む。

転送可能プログラム情報２４が記載された電子メールを受け取った製造部門のコンピュータ３は、表示等の手段によって製造部門の操作担当者に報知する。上記電子メールの受信を製造部門のコンピュータ３から報知された製造部門の操作担当者は、製造部門のコンピュータ３を介して個人認証装置４にアクセスして認証を受けてシステムを利用する。このような認証が可能となるように製造部門の操作担当者には予め転送プログラム検索装置１７の利用権限が与えられている。

上述した電子メールには、転送プログラム検索装置１７にアクセスし自動的に該当するテストプログラム７の情報を入手して製造部門のコンピュータ３で表示できるＵＲＬアドレスが記載されている。そこで、製造部門の操作担当者は、メールソフトを立ち上げて上記電子メールを表示させた状態の製造部門のコンピュータ３の表示装置において、表示中の上記ＵＲＬアドレスをクリックする、あるいは、そのＵＲＬアドレスをコピーし、ウェブブラウザのアドレス入力欄にペーストすることで、テストプログラム７の情報を、転送プログラム検索装置１７から自動的に入手して製造部門のコンピュータ３の表示装置（図示省略）に表示させる。あるいは、製造部門の操作担当者は、製造部門のコンピュータ３から直接、転送プログラム検索装置１７にアクセスして、電子メールに記載された転送可能プログラム情報２４を転送プログラム検索装置１７に送信することで、転送プログラム検索装置１７からテストプログラム７の情報を入手して製造部門のコンピュータ３の表示装置（図示省略）に表示させる。

テストプログラム７の情報の入手処理に際して、転送プログラム検索装置１７は、転送システム用データベース群１１にアクセスし、該当するテストプログラム７の情報に、転送可能フラグ情報２２が存在するかを検索し、転送可能フラグ情報２２が存在すればそのテストプログラム７の情報を、製造部門のコンピュータ３に送信する。一方、転送可能フラグ情報２２が存在しない場合には、送信できない旨を、製造部門のコンピュータ３を通知する。製造部門の操作担当者は、製造部門のコンピュータ３の表示装置（図示省略）に表示されたテストプログラム７の情報を確認し相違なければ、転送する指示を製造部門のコンピュータ３に入力する。製造部門のコンピュータ３は、入力された転送指示を転送プログラム検索装置１７に送信する。転送プログラム検索装置１７は、転送指示されたテストプログラム７の情報を第２のデータ転送装置１８に転送する。

なお、製造部門のコンピュータ３によって転送プログラム検索装置１７に直接アクセスして転送可能プログラム情報２４を送信する場合、検索入力条件によっては該当する情報として複数のテストプログラム７の情報が製造部門のコンピュータ３に送られる可能性がある。その場合、転送プログラム検索装置１７は、複数のテストプログラム７の中から必要とするものの選択を要求する情報を製造部門のコンピュータ３に送信する。この選択要求情報を受信した製造部門のコンピュータ３は、受信した選択要求情報をその表示装置（図示省略）に表示することで製造部門の操作担当者に報知する。製造部門の操作担当者は、製造部門のコンピュータ３の表示装置（図示省略）に表示された選択要求情報を目視により確認したうえで、その中から製造部門に転送したいテストプログラム７を選択する指示を製造部門のコンピュータ３に入力する。製造部門のコンピュータ３は、入力された選択指示を転送プログラム検索装置１７に送信する。転送プログラム検索装置１７は、選択指示されたテストプログラム７の情報を第２のデータ転送装置１８に転送する。

第２のデータ転送装置１８は、転送プログラム検索装置１７から転送されてきたテストプログラム７の情報のなかから、保存用ＥＷＳサーバ９のどこに、どのようなファイル名で該当するテストプログラム７が保存されているかに関する情報を抽出して、その内容を解読する。そのうえで、第２のデータ転送装置１８は、要望されているテストプログラム７を保存用ＥＷＳサーバ９から読み出して製造部門用ＥＷＳサーバ１０にＦＴＰ（File Transfer Protocol）転送する。

上記テストプログラム７の転送に際して、第２のデータ転送装置１８は、製造部門のコンピュータ３（具体的には製造部門用ＥＷＳサーバ１０）に対して次の格納処理を行なう。すなわち、第２のデータ転送装置１８は、テストプログラム７のプログラム言語種類ごとに別のディレクトリに格納し、その中に、さらに品種名,ＲＯＭ名,レビジョン番号を含んだディレクトリを自動的に作成した状態で製造部門用ＥＷＳサーバ１０に格納する。このようにしてディレクトリ名に法則性を持たせることで、製造部門のコンピュータ３におけるプログラム管理が容易となる。

第２のデータ転送装置１８は、テストプログラム７を製造部門用ＥＷＳサーバ１０に格納した後、圧縮ファイルのファイルサイズ・チェックサム値情報２５を転送プログラム検索装置１７に送信する。また、正常に転送が完了しなかった場合、第２のデータ転送装置１８はエラー情報を転送プログラム検索装置１７に送信する。

圧縮ファイルのファイルサイズ・チェックサム値情報２５を受け取った転送プログラム検索装置１７は、転送システム用データベース群１１にアクセスして、保存用ＥＷＳサーバ９に保存されたときのファイルサイズとチェックサム値情報２３を呼び出して、両情報２５,２３を比較することで、ファイル転送が正常に行われたか、ファイルが改竄されていないかをチェックする。そして転送プログラム検索装置１７はチェック結果を、転送完了情報２６として転送システム用データベース群１１に書き込む。

ファイル転送とその確認とはバックグラウンドで処理することで、ウェブからＥＷＳサーバ８,９,１０へのアクセスを占有しないようにして、いくつもの転送を同時進行させることが可能となる。

バックグラウンド処理を行うため、転送結果は転送結果確認装置３４を介して各担当者で確認することが可能となる。すなわち、製造部門の操作担当者は検索キーとしてテストプログラム情報２０をウェブ上から入力するか、転送結果確認装置３４に対して該当するテストプログラム情報２０を自動的に引き渡すためのＵＲＬ（転送実行後に表示される）を入力（クリック操作）する。転送結果確認装置３４は転送システム用データベース群１１を検索し、該当するテストプログラム７の転送完了情報２６が存在すればそれを表示する。転送完了情報２６は正常完了か、異常終了かの情報であり、異常終了の場合、異常原因の情報も含む。

テストプログラム７が保存される保存用ＥＷＳサーバ９は、提出用ＥＷＳサーバ８以外からの転送を受け付けず、またチェック部門の操作担当者の管理者以外はデータの追加,削除,複製などのファイル処理を行うことはできない。また、製造部門用ＥＷＳサーバ１０は、保存用ＥＷＳサーバ９以外からの転送を受け付けない。いずれの制限も特定のＩＰアドレス以外からのＦＴＰ転送を制限することによって実現することができる。これにより、開発部門のコンピュータ１から製造部門のコンピュータ３へのテストプログラム転送が完全に一元化・自動化され、個別・手動の転送がなくなることでファイルの誤転送を無くすことが可能となる。

なお、提出用ＥＷＳサーバ８から、製造部門用ＥＷＳサーバ１０へ直接転送を行わない構成としているのは、製造部門のコンピュータ３が検査のスケジュールにあわせて必要とするテストプログラム７のみをその都度入手することで、製造部門のコンピュータ３が保持するテストプログラム７を管理しやすくするためである。同時に、ＥＷＳサーバ資源の有効利用を図るためでもある。開発部門の操作担当者により開発されたうえでプログラムチェック装置１３を介してチェック部門の操作担当者により承認されたテストプログラム７のすべてが検査に使われるわけではなく、検査の実施までにテストプログラム７が修正される場合もある。その場合、使用しないテストプログラム７を製造部門のコンピュータ３で保持しておくことは、サーバ容量を消費することになるため、最終的に検査で使うテストプログラム７のみを製造部門のコンピュータ３において選択し、転送することでサーバ容量を無駄なく活用できる。

本発明のプログラム転送システムは、半導体製造業における開発部門から製造部門へのテストプログラムの転送方法として有用である。

本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの構成図である。 本発明の最良の実施形態におけるファイル検証装置の構成図である。 本発明の最良の実施形態における構文解析装置の構成図である。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第１の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第２の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第３の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第４の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第５の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第６の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第７の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第８の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第９の処理を示すフローチャートである。 本発明の最良の実施形態におけるテストプログラム転送システムの第１０の処理を示すフローチャートである。 従来のテストプログラム転送システムの構成図である。

符号の説明

１ 開発部門のコンピュータ
２ チェック部門のコンピュータ
３ 製造部門のコンピュータ
４ 個人認証装置
５ 人事データベース
６ 情報入力装置
７ テストプログラム
８ 提出用ＥＷＳサーバ
９ 保存用ＥＷＳサーバ
１０ 製造部門用ＥＷＳサーバ
１１ 転送システム用データベース群
１２ ファイル検証装置
１３ プログラムチェック装置
１４ プログラム承認装置
１５ 第１のデータ転送装置
１６ 自動通知装置
１７ 転送プログラム検索装置
１８ 第２のデータ転送装置
１９ 個人認証ＩＤ・パスワード
２０ テストプログラム情報
２１ ファイル検証結果情報
２２ 転送可能フラグ情報
２３ ファイルサイズ・チェックサム値情報
２４ 転送可能プログラム情報
２５ ファイルサイズ・チェックサム値情報
２６ 転送完了情報
２７ 構文解析装置
２８ ファイル提出判定装置
２９ ファイル名表示装置
３０ ファイル重複チェック装置
３１ テストプログラム言語Ａ用構文解析ルーチン
３２ テストプログラム言語Ｂ用構文解析ルーチン
３３ テストプログラム言語Ｚ用構文解析ルーチン
３４ 転送結果確認装置
４０ 転送用のコンピュータ

Claims (13)

1. 開発部門のコンピュータで生成される半導体製造過程の検査に用いるテストプログラムを、当該開発部門のコンピュータから製造部門のコンピュータに転送するシステムであって、
   前記開発部門のコンピュータから入力される前記テストプログラムを一時的に保持するための第１の保存装置と、
   前記開発部門のコンピュータから入力される前記テストプログラム個別の品種名,ＲＯＭ名,レビジョン番号,検査工程名,プログラム名,製造部門名,テストプログラム言語種類,および転送可能を示すフラグを含む情報を保持するためのデータベースと、
   前記開発部門のコンピュータから入力される前記情報を、前記データベースに入力する処理,修正する処理,削除する処理および参照する処理を行なう情報入力装置と、
   前記第１の保存装置に保持された前記テストプログラムが検査において必要なファイルをすべて含んでいるか否かを判定するファイル検証装置と、
   前記第１の保存装置に保持された前記テストプログラムであって前記ファイル検証装置によって必要なファイルをすべて含んでいると判定されたテストプログラムについて、検査条件,検査規格および検査項目に誤りがあるか否かを判定するプログラムチェック装置と、
   前記第１の保存装置に保持された前記テストプログラムを最終的に保存するための第２の保存装置と、
   前記第１の保存装置から前記第２の保存装置に前記テストプログラムをデータ転送する第１のデータ転送装置と、
   前記ファイル検証装置と前記プログラムチェック装置との判定に基づいて前記第１のデータ転送装置による前記テストプログラムの転送を許可するか否かを判定するとともに、前記第１のデータ転送装置による転送を許可した前記テストプログラムが転送可能であることを示すフラグを前記データベースに書き込むプログラム承認装置と、
   前記第２の保存装置から前記製造部門のコンピュータに前記テストプログラムをデータ転送する第２のデータ転送装置と、
   前記データベースに保持された前記情報を検索し、前記転送可能であることを示すフラグが書き込まれている前記テストプログラムを表示するとともに、表示された前記テストプログラムの中から製造部門の操作担当者によって前記製造部門のコンピュータに転送を希望するテストプログラムを選択させたうえで、その選択内容を前記第２のデータ転送装置に送信する転送プログラム検索装置と、
   前記製造部門のコンピュータに設けられて、前記第２のデータ転送装置が前記第２の保存装置から転送する前記テストプログラムを保持するための第３の保存装置と、
   を有することを特徴とするテストプログラム転送システム。
2. 前記ファイル検証装置は、前記テストプログラムにおけるファイルの呼び出し命令によって指定されるファイル名を前記テストプログラムから抽出するとともに、抽出するファイル名と一致するファイルが前記第１の保存装置に保存されているか否かを判別するものである、
   ことを特徴とする請求項１に記載のテストプログラム転送システム。
3. 前記ファイル検証装置は、前記テストプログラムを記述するテストプログラム言語の種類ごとに対応する個別の処理モジュールに分割されている、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のテストプログラム転送システム。
4. 前記ファイル検証装置は、検査において必要なファイルであるものの、前記第１の保存装置に保持されていないファイルを操作担当者に報知するものである、
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のテストプログラム転送システム。
5. 前記ファイル検証装置は、検査において必要なファイルが、検査対象とは異なる他のテストプログラムと重複していないかどうかを、前記データベースを検索することでチェックしたうえで、そのチェック結果を操作担当者に報知するものである、
   ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のテストプログラム転送システム。
6. 前記操作担当者の当該システムの操作権限に関する人事情報を記録した人事データベースと、
   前記人事データベースの前記人事情報を参照することで、前記情報入力装置、前記プログラムチェック装置、前記プログラム承認装置、および前記転送プログラム検索装置に対する操作を制限する個人認証装置と、
   をさらに有する、
   ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のテストプログラム転送システム。
7. 前記個人認証装置は、テストプログラムの承認を担う操作担当者だけに選択的に前記プログラム承認装置の操作権限を付与するものである、
   ことを特徴とする請求項６に記載のテストプログラ転送システム。
8. 前記第１のデータ転送装置が前記テストプログラムを前記第２の保存装置に転送したことを確認すると、前記製造部門のコンピュータに、前記テストプログラムを前記第３の保存装置に転送する準備が整ったことを通知する自動通知装置を、
   さらに有する、
   ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のテストプログラム転送システム。
9. 前記自動通知装置は、前記通知を、電子メール送信により実施する、
   ことを特徴とする請求項８に記載のテストプログラム転送システム。
10. 前記自動通知装置が通知する情報は、前記転送可能なテストプログラムの情報を検索するための検索条件を引数として前記転送プログラム検索装置に引渡して自動的に検索させるためのスクリプト記述を含む、
    ことを特徴とする請求項８または９に記載のテストプログラム転送システム。
11. 前記第１のデータ転送装置は、前記第１の保存装置から前記第２の保存装置へのデータ転送以外のデータ転送を制限する、
    ことを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のテストプログラム転送システム。
12. 前記第２のデータ転送装置は、前記第２の保存装置から前記第３の保存装置へのデータ転送以外のデータ転送を制限する、
    ことを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載のテストプログラム転送システム。
13. 前記第２のデータ転送装置は、前記第２の保存装置から前記第３の保存装置へのデータ転送を実施する前後で、ファイルサイズまたはチェックサム値を比較することで、前記テストプログラムの内容に変化がないかをチェックする、
    ことを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１項に記載のテストプログラム転送システム。

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