JP2007101006A - 恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】恒温液循環装置において、外部装置の熱負荷変動による循環液の温度変化幅を小さく抑え、外部装置の性能を安定化させる。
【解決手段】恒温の循環液をポンプ１４によって送給する管路１２の吐出口１２ａと戻り口１２ｂとに、外部装置２における循環液の配管３を接続する恒温液循環装置１において、上記管路に、流量センサ１５と、該管路からの循環液の吐出温度（Ｔ１）及び循環液の戻り温度（Ｔ２）を検出する温度センサ１６，１７を設け、それらの出力に基づいて求められる外部装置の熱負荷に応じて、コントローラ１８により、循環液の流量及び温度を制御する。その制御は、吐出及び戻り温度の差が設定値よりも小さい場合、循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させ、該温度の差が設定値よりも大きくい場合、上記温度制御に加えて外部装置の配管への循環液流量の増加により上記熱負荷に対応させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、温調すべき外部装置の熱負荷変動に伴う循環液の温度変化幅を小さく抑えることにより、外部装置において安定した性能が得られるようにした恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法に関するものである。

温調された恒温の循環液をポンプによって送給する管路を備え、該管路の吐出口と戻り口とに、温調すべき外部装置における上記循環液の流路を形成する配管の両端をそれぞれ接続して、上記循環液が環流する循環流を形成するようにした恒温液循環装置は、例えば特許文献１等に開示されているように、従来から一般的に知られている。

図６はその一例の構成を説明するためのもので、同図の恒温液循環装置４０では、温調液を収容するタンク４１と、該タンク４１内の温調液と熱交換器４３を介して熱交換した恒温の循環液を外部装置５０の配管５１を通して循環させるための吐出口４２ａ及び戻り口４２ｂを有する管路４２と、該管路４２中に介在させて上記恒温循環液を外部装置５０の配管５１に送給するポンプ４４とを備え、該管路４２の吐出口４２ａ及び戻り口４２ｂに、上記循環液の温度（Ｔ１，Ｔ２）を検出する温度センサ４６，４７を設けて、それらの温度を監視するコントローラ４８により、循環液の温度を制御するようにしている。

このような恒温液循環装置４０において、管路４２の吐出口４２ａにおける循環液吐出温度（Ｔ１）を設定温度に制御する従来の温度制御方法として、循環液流量を一定とし、外部装置５０の熱負荷変動により循環液戻り温度（Ｔ２）が上昇／低下した分を、タンク４１内の熱交換器４３において循環液を冷却／加熱することにより、吐出温度（Ｔ１）が設定温度となるように制御する方法がある。

この場合、外部装置５０にとっては、配管５１における循環液の出入口間の温度変化（ΔＴ）を小さくして、外部装置自体の温度を安定させることが望まれるが、流量が一定であることから、図７に示すように、熱負荷に応じて戻り温度（Ｔ２）が大きく変化し、そのため、上記出入口間の温度変化（ΔＴ）は熱負荷の変動に伴って大きく変化し、当然に外部装置自体の温度も大きく変動することになる。

一方、恒温液循環装置４０にとっては、循環液戻り温度（Ｔ２）の変化を小さくし、タンク４１内の温度を安定させることにより、吐出温度（Ｔ１）を安定させることが望まれるが、実際には、前述のとおり、戻り温度（Ｔ２）が熱負荷により大きく変化し、その結果、図７に示すように吐出温度（Ｔ１）の振れも大きくなり、安定するのに時間がかかることになる。

また、上記図６の恒温液循環装置４０において、管路４２の戻り口４２ｂにおける循環液戻り温度（Ｔ２）を設定温度に制御する従来の温度制御方法では、循環液流量を一定とし、外部装置５０の熱負荷変動により循環液戻り温度（Ｔ２）が上昇／低下した分を、熱交換器４３において循環液を冷却／加熱することにより、上記戻り温度（Ｔ２）が設定温度となるよう制御される。

この場合、外部装置５０にとっては、上述したところと同様に、循環液の出入口間の温度変化（ΔＴ）を小さくして、外部装置自体の温度を安定させることが望まれるが、流量が一定であることから、まず、熱負荷に応じて戻り温度（Ｔ２）が大きく変化し、すると、その戻り温度（Ｔ２）を一定にするために上記吐出温度（Ｔ１）の低下／上昇幅を大きくしなければならず、その結果、上記出入口間の温度変化（ΔＴ）は、図８に示すようにより大きくなる。

一方、恒温液循環装置４０にとっては、循環液戻り温度（Ｔ２）を制御するための吐出温度（Ｔ１）の低下／上昇の幅を、できるだけ小さくすることが望まれるが、前述のとおり、負荷変動時の戻り温度（Ｔ２）の振れが大きくなるため（図８参照）、該戻り温度（Ｔ２）を一定にするための上記吐出温度（Ｔ１）の低下／上昇幅を大きくしなければならず、しかも、戻り温度（Ｔ２）の安定には時間がかかることになる。
また、タンク４１内にある全ての循環液を、広い温度幅で低下／上昇させるため、余分なエネルギーが必要となる。

特開平９−３２５８２１号公報

本発明の技術的課題は、上記恒温液循環装置において、外部装置の熱負荷に応じて循環液の温度ばかりでなく流量をも変化させ、それによって、熱負荷変動による循環液の温度変化幅を小さく抑え、外部装置の性能を安定化できるようにした恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、上記循環液の温度変化に対する応答性を良くし、温度の安定性を向上させるようにした恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法を提供することにある。
本発明の他の技術的課題は、恒温液循環装置における温調液及び循環液の冷却、加熱の変化量を低減させ、省エネルギー化できるようにした恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明は、温調された恒温の循環液をポンプによって送給する管路を備え、該管路の吐出口と戻り口とに、上記循環液により温調される外部装置において上記循環液の流路を形成する配管の両端をそれぞれ接続して、上記循環液が環流する循環流路を形成する恒温液循環装置において、上記管路に流量センサを設けると共に、該管路からの循環液の吐出温度（Ｔ１）及び該管路に戻る循環液の戻り温度（Ｔ２）を検出する温度センサを設け、それらのセンサの出力に基づいて求められる外部装置の熱負荷に応じて循環液の流量及び温度を制御するコントローラに、上記吐出及び戻り温度の温度差が設定値よりも小さい場合には循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させるが、上記温度差が上記設定値よりも大きくなった場合には、上記循環液の温度制御に加えて外部装置の配管の熱負荷部への循環液流量または圧力の増加により上記熱負荷に対応させる制御機能をもたせたことを特徴とするものである。

本発明に係る恒温液循環装置の好ましい実施形態においては、上記コントローラにおいて、温度センサで検出される循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差と、流量センサにおいて検出される循環液流量から、外部装置の熱負荷を算出し、その熱負荷が一定の設定値よりも大きいときに、上記温度差または熱負荷に応じて、外部装置の配管の熱負荷部への循環液流量または圧力を増加させる制御が行われる。

本発明に係る恒温液循環装置の他の好ましい実施形態においては、上記コントローラにおける循環液の流量または圧力を制御する制御機能として、上記ポンプの回転数をインバータにより制御して、上記循環流路に送給する循環液を制御する機能が付与される。

また、上記管路の吐出口と戻り口とを連通させるバイパス流路を設けると共に、該バイパス流路にそこを流れる液体の流量を調整して外部装置の熱負荷部に流れる循環液の流量を制御する電動弁を設け、上記コントローラにおける循環液の流量または圧力を制御する制御機能として、上記電動弁の制御によりバイパス流路に流れる液体の流量を制御する機能をもたせることもできる。この場合、上記電動弁は、上記恒温液循環装置における管路の吐出口における、上記外部装置の熱負荷部に至る配管と上記バイパス流路との分岐点に設けられた電動三方弁とすることができる。

更に、上記恒温液循環装置における管路の吐出口に、そこを通して外部装置の配管に流れる循環液の流量を制御する電動比例弁を設け、上記コントローラにおける循環液の流量または圧力を制御する制御機能として、上記電動比例弁の制御により外部装置の配管に流れる液体を制御する機能をもたせることもできる。

また、上記課題を解決するための本発明の温度制御方法は、温調された恒温の循環液をポンプによって送給する管路を備え、該管路の吐出口と戻り口とに、上記循環液により温調される外部装置において上記循環液の流路を形成する配管の両端をそれぞれ接続して、上記循環液が環流する循環流路を形成し、上記管路に流量センサを設けると共に、該管路からの循環液の吐出温度（Ｔ１）及び該管路に戻る循環液の戻り温度（Ｔ２）を検出する温度センサを設けた恒温液循環装置における温度制御方法であって、上記恒温液循環装置の動作制御を行うコントローラにおいて、上記両温度センサで検出される循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差と、流量センサにおいて検出される循環液流量から、外部装置の熱負荷を算出し、その熱負荷が一定の設定値よりも小さい場合にはその熱負荷に対応する循環液の温度制御を行い、上記熱負荷が上記一定の設定値よりも大きいときには、上記循環液の温度制御に加えて、その熱負荷に対応して外部装置の配管の熱負荷部への循環液流量または圧力を増減させる制御を行うことを特徴とするものである。

上記温度制御方法においては、上記コントローラにおける循環液の温度制御を、該循環液の吐出温度（Ｔ１）が設定温度になるようにする制御とし、あるいは、該循環液の戻り温度（Ｔ２）が設定温度になるようにする制御とすることができる。

上記構成を有する恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法においては、外部装置の熱負荷を、循環液の温度のみで制御していた従来技術に、外部装置に流れる循環液の流量を熱負荷に応じて可変とする機能を加えた複合的な制御を行い、具体的には、恒温液循環装置における管路に設けた温度センサにより、循環液の吐出温度（Ｔ１）及び戻り温度（Ｔ２）を検出し、コントローラにおいて上記循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差と、流量センサで検出された循環液流量から外部装置の熱負荷を算出し、その熱負荷が一定の設定値よりも小さい場合には、その熱負荷に対応する循環液の温度制御を行い、上記熱負荷が上記一定の設定値よりも大きいときには、上記循環液の温度制御に加えて、その熱負荷に対応して外部装置の熱負荷部への循環液流量または圧力を増減させる制御を行うようにしているので、循環液の温度変化を小さく抑え、それに伴う外部装置自体の温度変化を小さく安定させることができる。

以上に詳述した本発明の恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法によれば、外部装置の熱負荷に応じて循環液の温度ばかりでなく流量をも変化させるので、熱負荷変動による循環液の温度変化幅を小さく抑え、外部装置自体の温度変化をも小さくして性能を安定化させることができ、上記循環液の温度変化に対する応答性も改善し、温度の安定性を向上させることができる。
また、恒温液循環装置における温調液及び循環液等の冷却、加熱の変化量を低減させるので、省エネルギー化することができる。

以下に、図面を参照して本発明の実施例について詳細に説明する。
図１は、本発明に係る恒温液循環装置の第１実施例を示している。この恒温液循環装置１は、温調液を収容するタンク１１と、該タンク１１内の温調液と熱交換器１３を介して熱交換した恒温の循環液を外部装置２の配管３を通して循環させるための吐出口１２ａ及び戻り口１２ｂを有する管路１２と、該管路１２中に介在させて上記恒温循環液を外部装置２の配管３に送給するポンプ１４とを備えている。上記管路１２には、該ポンプ１４と直列に流量センサ１５を設けると共に、該管路１２の吐出口１２ａ及び戻り口１２ｂの付近に、上記循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）を検出する温度センサ１６，１７を設け、それらのセンサが出力する流量及び温度を監視するコントローラ１８の制御機能により、後述するように循環液の流量または圧力、及び温度を制御するようにしている。

上記外部装置２は、上記管路１２と共に循環液の流路を形成する配管３の途中に熱負荷部３ａを備えるもので、外部装置２のユーザーにおいて、上記配管３の両端の出入口をそれぞれ上記吐出口１２ａ及び戻り口１２ｂに接続して、上記循環液が環流する循環流路を形成し、上記恒温液循環装置１に接続されるものである。上記温度センサ１６，１７は、図１では、管路１２の吐出口１２ａ及び戻り口１２ｂに設けるものとしているが、それらのセンサ１６，１７の設置位置は、外部装置２における配管３の入口側及び出口側にすることもでき、要は、温度制御の対象位置に近いところであればよい。

また、上記ポンプ１４は、流量センサ１５と温度センサ１６，１７の出力に基づくコントローラ１８による制御で、インバータ１９を介して周波数制御（回転数制御）され、上記循環流路に送給する循環液の流量または圧力が制御されるものである。
なお、恒温液循環装置１におけるタンク１１内の恒温液を一定の温度に制御する制御手段、あるいは、タンクを備えない熱交換器１３において循環液の温度を一定に制御する制御手段としては、冷却方式として、水冷式、冷凍式、ペルチェ方式などがあり、加熱方式には、ヒータ方式、ホットガス方式などがある。これらは、上記コントローラ１８により制御されるものである。

上記恒温液循環装置１のコントローラ１８においては、その制御機能により、基本的には、以下の制御が行われる。
まず、上記コントローラ１８において、温度センサ１６，１７で検出される循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差と、流量センサ１５において検出される循環液流量から、外部装置２の熱負荷が逐次算出される。
上記恒温液循環装置１の稼働中に循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差が大きくなり、コントローラ１８において熱負荷が適宜設定される設定値よりも大きくなったと判断されると、インバータ１９を介してその温度差または熱負荷に応じてポンプ１４の回転数を上げ、外部装置２の配管３の熱負荷部３ａへの循環液流量または圧力を増加させることにより、吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差を小さくするように制御される。

循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差が大きくなっても、それが上記熱負荷の設定値よりも小さい場合には、インバータ１９によりポンプ１４の回転数を制御することなく、熱交換器１３による循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させる。つまり、前記従来技術と同様に、循環液流量を一定として、外部装置２の熱負荷変動により循環液吐出温度（Ｔ１）または戻り温度（Ｔ２）が上昇／低下した分を、タンク１１内の熱交換器１３において循環液を冷却／加熱することにより、それらの温度が設定温度となるように制御する。
また、大きくなった上記熱負荷がなくなり、循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差が小さくなると、インバータ１９によりポンプ１４の回転数を下げ、流量を低下させて、定常状態に戻す。

即ち、上記外部装置２の熱負荷に応じて循環液を制御するコントローラ１８に、上記吐出及び戻り温度の温度差が設定値よりも小さい場合には、循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させるが、上記温度差が上記設定値よりも大きくなった場合には、上記循環液の温度制御に加えて、外部装置２の配管３の熱負荷部３ａへの循環液流量または圧力の増加により、上記熱負荷に対応させる制御機能をもたせている。

このように、熱負荷がコントローラ１８に設定した一定の設定値を超えたときには、外部装置２の熱負荷に応じて循環液の温度ばかりでなく流量または圧力をも変化させと、熱負荷変動による循環液の温度変化幅を小さく抑え、外部装置２自体の温度変化をも小さくして性能を安定化させることができ、上記循環液の温度変化に対する応答性も改善し、温度の安定性を向上させることができる。また、恒温液循環装置における温調液及び循環液等の冷却、加熱の変化量を低減させるので、省エネルギー化することができる。
上記熱負荷についての設定値は、上述した熱負荷変動による循環液の温度変化幅をどの程度小さく抑えるかによって適宜設定されるものである。

上記コントローラ１８における循環液の温度制御には、該循環液の吐出温度（Ｔ１）を設定温度に制御する方式と、該循環液の戻り温度（Ｔ２）を設定温度に制御する方式がある。
前者の吐出温度（Ｔ１）を設定温度に制御する場合、外部装置２側から見た制御動作としては、外部装置２の熱負荷に応じてポンプ１４による循環液流量を変化させることにより、配管３の出入口間の温度変化（ΔＴ）が小さくなる（図２参照）ため、外部装置２内における温度変化も小さく抑えられ、安定した性能が得られる。なお、図２中の点線は、図７に示した循環液流量の変化のない従来例の特性を示している。

恒温液循環装置１側から見た上記制御動作としては、上記温度変化（ΔＴ）が小さくなれば、上記戻り温度（Ｔ２）の変動も小さくなり、その結果、タンク１１の内部の温度は安定し、吐出温度（Ｔ１）の振れが小さくなって、応答性が向上し、吐出温度（Ｔ１）の温度安定性が良くなる（図２参照）。

また、上記吐出温度（Ｔ１）に代えて戻り温度（Ｔ２）を設定温度に制御する場合、外部装置２から見た制御動作としては、上記吐出温度（Ｔ１）に制御する場合と同様に、外部装置２の熱負荷に応じて循環液流量を変化させることにより、戻り温度（Ｔ２）の変化は小さくなる。これにより、戻り温度（Ｔ２）を一定とするための吐出温度（Ｔ１）の低下／上昇の幅を小さくすることができ、上記温度変化（ΔＴ）は小さくなる（図３参照）。その結果、外部装置２の温度変化も小さく抑えられ、安定した性能が得られる。

恒温液循環装置１側から見た上記制御動作としては、前述のとおり、外部装置２の熱負荷に応じて循環液流量を変化させることで、負荷変動時の戻り温度（Ｔ２）の振れが小さくなり（図３参照）、戻り温度（Ｔ２）の安定が早くなって、応答性が向上する。
そのため、戻り温度（Ｔ２）を一定とするための吐出温度（Ｔ１）の低下／上昇幅も小さくでき、タンク１１内にある全ての循環液の温度低下／上昇幅も小さくなるため、省エネルギー化できる。

次に、図４を参照して本発明に係る恒温液循環装置の第２実施例について説明する。
上記第１実施例では、コントローラ１８に、外部装置２の配管３に送給する循環液の流量または圧力を制御する制御機能をもたせるにあたり、上記ポンプ１４の回転数をインバータ１９により制御しているが、この第２実施例の恒温液循環装置５では、当該構成に代えて、該恒温液循環装置５における管路１２の吐出口１２ａと戻り口１２ｂとを連通させるバイパス流路３１を設けると共に、該バイパス流路３１に、そこを吐出口１２ａ側から戻り口１２ｂ側に流れる液体の流量を調整して外部装置２における上記配管３に流れる循環液の流量を制御し、結果的に該配管３内の圧力を制御する電動弁３２を設けている。

上記電動弁３２は、それを、図示するように上記恒温液循環装置５における管路１２の吐出口１２ａにおける上記外部装置２の配管３と上記バイパス流路３１との分岐点に設ける場合には、配管３側への流れとバイパス流路３１側への流れを無段階的または段階的に制御できる電動三方弁とすることができる。また、該電動三方弁とすることなく、配管３側への流れとバイパス流路３１側への流れを制御できるようにした単一または複数の電動弁３２を配管３側やバイパス流路３１側に設けることもできる。

この第２実施例の場合、コントローラ１８において、温度センサ１６，１７の出力に基づいて外部装置２の熱負荷が大きくなったと判断された場合、該コントローラ１８において、電動弁３２を制御することによりバイパス流路３１の流量を低下させ、それによって配管３の熱負荷部３ａへの流量を増加させるように制御する。
また、上記外部装置２の熱負荷が小さい場合には、バイパス流路３１の流量を増加させて、熱負荷部３ａ側の流量を低減させ、該熱負荷がコントローラ１８に設定された設定値よりも小さければ、前記第１実施例と同様に、循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させる。

このような電動弁３２を設ける場合、前記温度センサ１６，１７は、恒温液循環装置５の管路１２の吐出口１２ａと戻り口１２ｂにおけるバイパス流路３１との接合点よりも外部装置２側に設け、その部分を制御対象にすることになる。
なお、この第２実施例におけるその他の構成及び作用は、第１実施例の場合と実質的に変わるところがないので、図中の同一または相当部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

次に、図５を参照して本発明の第３実施例について説明する。
この第３実施例の恒温液循環装置６は、上記第２実施例におけるバイパス流路３１及び電動弁３２に代えて、恒温液循環装置６における管路１２の吐出口１２ａに、そこを通して外部装置２の配管３に流れる循環液の流量を制御する電動比例弁３５を設け、コントローラ１８において、温度センサ１６，１７の出力に基づく上記電動比例弁３５の制御により、外部装置２の配管３に流れる液体の流量を制御するようにし、即ち、外部装置２における熱負荷が大きくなった場合には、該電動比例弁３５をその熱負荷に応じて開くことにより、熱交換部３ａへの流量を増加させるものである。

この第３実施例における温度センサ１６，１７は、上記電動比例弁３５の下流側で、恒温液循環装置６における熱交換器１３に至る間に設けることができる。
なお、この第３実施例におけるその他の構成及び作用は、第１実施例の場合と実質的に変わるところがないので、図中の同一または相当部分に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

本発明に係る恒温液循環装置の第１実施例を示す構成図である。 上記第１実施例において、恒温循環液の管路の吐出口温度（Ｔ１）を設定温度に制御する場合の外部装置の熱負荷変動と上記管路の出戻り口温度（Ｔ１，Ｔ２）との関係を説明するための模式的説明図である。 同実施例において、恒温循環液の管路の戻り口温度（Ｔ２）を設定温度に制御する場合の外部装置の熱負荷変動と上記管路の出戻り口温度（Ｔ１，Ｔ２）との関係を説明するための模式的説明図である。 本発明に係る恒温液循環装置の第２実施例を示す構成図である。 本発明に係る恒温液循環装置の第３実施例を示す構成図である。 従来の恒温液循環装置についての構成図である。 上記従来の装置において、恒温循環液の管路の戻り口温度（Ｔ１）を一定温度に制御する場合の外部装置の熱負荷変動と上記管路の出戻り口温度（Ｔ１，Ｔ２）との関係を説明するための模式的説明図である。 同装置において、恒温循環液の管路の戻り口温度（Ｔ２）を一定温度に制御する場合の外部装置の熱負荷変動と上記管路の出戻り口温度（Ｔ１，Ｔ２）との関係を説明するための模式的説明図である。

符号の説明

１，５，６ 恒温液循環装置
２ 外部装置
３ 配管
３ａ 熱交換部
１２ 管路
１２ａ 吐出口
１２ｂ 戻り口
１３ 熱交換器
１４ ポンプ
１５ 流量センサ
１６，１７ 圧力センサ
１８ コントローラ
１９ インバータ
３１ バイパス流路
３２ 電動弁
３５ 電動比例弁

Claims (9)

1. 温調された恒温の循環液をポンプによって送給する管路を備え、該管路の吐出口と戻り口とに、上記循環液により温調される外部装置において上記循環液の流路を形成する配管の両端をそれぞれ接続して、上記循環液が環流する循環流路を形成する恒温液循環装置において、
   上記管路に流量センサを設けると共に、該管路からの循環液の吐出温度（Ｔ１）及び該管路に戻る循環液の戻り温度（Ｔ２）を検出する温度センサを設け、
   それらのセンサの出力に基づいて求められる外部装置の熱負荷に応じて循環液の流量及び温度を制御するコントローラに、上記吐出及び戻り温度の温度差が設定値よりも小さい場合には循環液の温度制御によりその熱負荷に対応させるが、上記温度差が上記設定値よりも大きくなった場合には、上記循環液の温度制御に加えて外部装置の配管の熱負荷部への循環液流量または圧力の増加により上記熱負荷に対応させる制御機能をもたせた、
   ことを特徴とする恒温液循環装置。
2. 上記コントローラにおいて、温度センサで検出される循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差と、流量センサにおいて検出される循環液流量から、外部装置の熱負荷を算出し、その熱負荷が一定の設定値よりも大きいときに、上記温度差または熱負荷に応じて、外部装置の配管の熱負荷部への循環液流量または圧力を増加させる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の恒温液循環装置。
3. 上記コントローラにおける循環液の流量または圧力を制御する制御機能が、上記ポンプの回転数をインバータにより制御して、上記循環流路に送給する循環液を制御する機能である、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の恒温液循環装置。
4. 上記管路の吐出口と戻り口とを連通させるバイパス流路を設けると共に、該バイパス流路にそこを流れる液体の流量を調整して外部装置の熱負荷部に流れる循環液の流量を制御する電動弁を設け、
   上記コントローラにおける循環液の流量または圧力を制御する制御機能が、上記電動弁の制御によりバイパス流路に流れる液体の流量を制御する機能である、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の恒温液循環装置。
5. 上記電動弁が、上記恒温液循環装置における管路の吐出口における、上記外部装置の熱負荷部に至る配管と上記バイパス流路との分岐点に設けられた電動三方弁である、
   ことを特徴とする請求項４に記載の恒温液循環装置。
6. 上記恒温液循環装置における管路の吐出口に、そこを通して外部装置の配管に流れる循環液の流量を制御する電動比例弁を設け、
   上記コントローラにおける循環液の流量または圧力を制御する制御機能が、上記電動比例弁の制御により外部装置の配管に流れる液体を制御する機能である、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の恒温液循環装置。
7. 温調された恒温の循環液をポンプによって送給する管路を備え、該管路の吐出口と戻り口とに、上記循環液により温調される外部装置において上記循環液の流路を形成する配管の両端をそれぞれ接続して、上記循環液が環流する循環流路を形成し、上記管路に流量センサを設けると共に、該管路からの循環液の吐出温度（Ｔ１）及び該管路に戻る循環液の戻り温度（Ｔ２）を検出する温度センサを設けた恒温液循環装置における温度制御方法であって、
   上記恒温液循環装置の動作制御を行うコントローラにおいて、上記両温度センサで検出される循環液の吐出及び戻り温度（Ｔ１，Ｔ２）の温度差と、流量センサにおいて検出される循環液流量から、外部装置の熱負荷を算出し、その熱負荷が一定の設定値よりも小さい場合にはその熱負荷に対応する循環液の温度制御を行い、上記熱負荷が上記一定の設定値よりも大きいときには、上記循環液の温度制御に加えて、その熱負荷に対応して外部装置の配管の熱負荷部への循環液流量または圧力を増減させる制御を行う、
   ことを特徴とする恒温液循環装置における温度制御方法。
8. 上記コントローラにおける循環液の温度制御が、該循環液の吐出温度（Ｔ１）が設定温度になるようにする制御である、
   ことを特徴とする請求項７に記載の恒温液循環装置における温度制御方法。
9. 上記コントローラにおける循環液の温度制御が、該循環液の戻り温度（Ｔ２）が設定温度になるようにする制御である、
   ことを特徴とする請求項７に記載の恒温液循環装置における温度制御方法。

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