JP2007093320A - 接続装置及び被検査装置の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る接続装置は、被検査装置に電気的に接続する接触子を有する接続装置であって、支持板10と、支持板10上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロック20と、第1の高さ調節ブロック20上に固定され、第1の貫通孔36を有する第1のコンタクトベース部材30と、第2の高さ調節ブロック20上に固定され、第2の貫通孔36を有する第2のコンタクトベース部材30と、第1の貫通孔36に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子36aと、第2の貫通孔36に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子36aとを具備する。
【選択図】 図1
Description
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロック上に固定され、第1の貫通孔を有する第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロック上に固定され、第2の貫通孔を有する第2のコンタクトベース部材と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
を具備する。
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1乃至第3の高さ調節ブロックと、
前記第1及び第2の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2及び第3の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第1及び第2の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第3及び第4の貫通孔と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
前記第3の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第3の接触子と、
前記第4の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第4の接触子とを具備する。
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックに固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックに固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1の高さ調節ブロックを挟んで前記第2の高さ調節ブロックの反対側に配置された第1の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置された第2の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置され、前記第2の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第3の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置する第4の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置し、前記第4の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第5の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2の高さ調節ブロックを挟んで前記第1の高さ調節ブロックの反対側に配置された第6の貫通孔と、
前記第1乃至第6の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1乃至第6の接触子とを具備する。
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間した第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックの上面に固定された第1及び第2のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックの上面に固定された第3及び第4のコンタクトベース部材と、
前記第1乃至第4のコンタクトベース部材それぞれに設けられた貫通孔と、
前記貫通孔それぞれに挿通されることにより位置決めされた接触子とを具備する。
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロック上に固定され、第1の貫通孔を有する第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロック上に固定され、第2の貫通孔を有する第2のコンタクトベース部材と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、前記第1の接触子を第1の被検査装置に接触させ、前記第2の接触子を第2の被検査装置に接触させる工程である。
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1乃至第3の高さ調節ブロックと、
前記第1及び第2の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2及び第3の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第1及び第2の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第3及び第4の貫通孔と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
前記第3の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第3の接触子と、
前記第4の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第4の接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、前記第1及び第2の接触子を第1の被検査装置に接触させ、前記第3及び第4の接触子を、前記第1の被検査装置の隣に位置する第2の被検査装置に接触させる工程である。
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックに固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックに固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1の高さ調節ブロックを挟んで前記第2の高さ調節ブロックの反対側に配置された第1の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置された第2の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置され、前記第2の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第3の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置する第4の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置し、前記第4の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第5の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2の高さ調節ブロックを挟んで前記第1の高さ調節ブロックの反対側に配置された第6の貫通孔と、
前記第1乃至第6の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1乃至第6の接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、
前記第1の接触子を、第1の被検査装置の第1の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、前記第2の接触子を、前記第1の被検査装置の前記第1の辺と対向する第2の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第3の接触子を、前記第1の被検査装置の隣に位置する第2の被検査装置の一辺である第3の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、前記第4の接触子を、前記第2の被検査装置の前記第3の辺と対向する第4の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第5の接触子を、前記第2の被検査装置に隣に位置する第3の被検査装置の一辺である第5の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、前記第6の接触子を、前記第3の被検査装置の前記第5の辺と対向する第6の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続する工程である。
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間した第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックの上面に固定された第1及び第2のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックの上面に固定された第3及び第4のコンタクトベース部材と、
前記第1乃至第4のコンタクトベース部材それぞれに設けられた貫通孔と、
前記貫通孔それぞれに挿通されることにより位置決めされた接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、前記第1のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第1の被検査装置に接触させ、前記第2のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第2の被検査装置に接触させ、前記第3のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第3の被検査装置に接触させ、前記第4のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第4の被検査装置に接触させる工程である。
その他の構成は、第1の実施形態と同一であるため、第1の実施形態と同一の符号を付し、説明を省略する。また、本接続装置を用いた半導体チップの検査方法も、第1の実施形態に係る接続装置を用いた半導体チップの検査方法と同一である。
すなわち、第1行目に属するコンタクトベース部材30の列361によって位置決めされているワイヤープローブ36aは、第1行目の半導体チップの第1の辺近傍に配置された第1のパッド列(図示せず)に接続する。第1行目に属するコンタクトベース部材30の列362によって位置決めされているワイヤープローブ36aは、第1行目の半導体チップの第2の辺(第1の辺に対向する辺)近傍に配置された第2のパッド列(図示せず)に接続する。
本実施形態によっても第4の実施形態と同一の効果を得ることができる。
本実施形態によっても、支持板10は、熱膨張率が低い熱遮蔽板16によって覆われているため、第7の実施形態と同一の効果を得ることができる。
本実施形態によっても、第7の実施形態と同一の効果を得ることができる。
また、コンタクトベース部材30と支持板10の間の空間に位置するワイヤープローブ36aに、バネ(例えばツルマキバネ)を設けてもよい。
Claims (23)
- 被検査装置に電気的に接続する接触子を有する接続装置であって、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロック上に固定され、第1の貫通孔を有する第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロック上に固定され、第2の貫通孔を有する第2のコンタクトベース部材と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
を具備する接続装置。 - 前記第1の接触子は第1の被検査装置に接続し、前記第2の接触子は第2の被検査装置に接続する請求項1に記載の接続装置。
- 前記第1及び第2の高さ調節ブロックは、それぞれ上面が、前記第1及び第2のコンタクトベース部材より小さく、
前記第1及び第2の貫通孔は、前記第1及び第2のコンタクトベース部材のうち、下方に前記第1及び第2の高さ調節部材が位置していない部分に配置されており、
前記第1及び第2の接触子は、ともに、前記第1及び第2の高さ調節ブロックの外部を介して前記第1及び第2の貫通孔に挿通している請求項1又は2に記載の接続装置。 - 前記第1の貫通孔は、前記第1のコンタクトベース部材の縁近傍に位置しており、
前記第2の貫通孔は、前記第2のコンタクトベース部材の縁近傍に位置している請求項3に記載の接続装置。 - 前記支持板及び第1のコンタクトベースそれぞれに差し込まれることにより、該第1のコンタクトベースを前記支持板に対して位置決めする第1の位置決めピンと、
前記第1のコンタクトベースを前記第1の高さ調節ブロック上に固定する第1のネジ部材と、
前記支持板及び第2のコンタクトベースそれぞれに差し込まれることにより、該第2のコンタクトベースを前記支持板に対して位置決めする第2の位置決めピンと、
前記第2のコンタクトベースを前記第2の高さ調節ブロック上に固定する第2のネジ部材と、
を具備する請求項1〜4のいずれか一項に記載の接続装置。 - 前記第1の高さ調節ブロック及び第2の高さ調節ブロックは、それぞれ側面に、前記第1及び第2の位置決めピンとの干渉を防ぐ溝を有している請求項5に記載の接続装置。
- 前記第1及び第2の位置決めピンは、金属製である請求項5又は6に記載の接続装置。
- 前記支持板及び前記第1の高さ調節ブロックそれぞれに差し込まれることにより、該第1の高さ調節ブロックを前記支持板に対して位置決めする第3の位置決めピンと、
前記第1の高さ調節ブロックを前記支持板上に固定する第3のネジ部材と、
前記支持板及び前記第2の高さ調節ブロックそれぞれに差し込まれることにより、該第2の高さ調節ブロックを前記支持板に対して位置決めする第4位置決めピンと、
前記第2の高さ調節ブロックを前記支持板上に固定する第4のネジ部材と、
を具備する請求項1〜7のいずれか一項に記載の接続装置。 - 前記第3及び第4の位置決めピンは、金属製である請求項8に記載の接続装置。
- 前記支持板の上面に、該上面を覆うために設けられ、該支持板より熱膨張率が低い第1の低熱膨張率部材を更に具備する請求項1〜9のいずれか一項に記載の接続装置。
- 前記第1及び第2の高さ調節ブロックの上面に支持されることにより、前記支持板の上方に、該支持板を覆うように位置し、前記支持板より熱膨張率が低い第2の低熱膨張率部材を更に具備する請求項1〜10のいずれか一項に記載の接続装置。
- 被検査装置に電気的に接続する接触子を有する接続装置であって、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1乃至第3の高さ調節ブロックと、
前記第1及び第2の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2及び第3の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第1及び第2の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第3及び第4の貫通孔と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
前記第3の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第3の接触子と、
前記第4の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第4の接触子と、
を具備する接続装置。 - 前記第1の接触子は、第1の被検査装置の第1の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第2の接触子は、前記第1の被検査装置の第1の辺と対向する第2の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第3の接触子は、前記第1の被検査装置の隣に位置する第2の被検査装置の一辺である第3の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第4の接触子は、前記第2の被検査装置の前記第3の辺と対向する第4の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続する請求項12に記載の接続装置。 - 被検査装置に電気的に接続する接触子を有する接続装置であって、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックに固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックに固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1の高さ調節ブロックを挟んで前記第2の高さ調節ブロックの反対側に配置された第1の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置された第2の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置され、前記第2の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第3の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置する第4の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置し、前記第4の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第5の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2の高さ調節ブロックを挟んで前記第1の高さ調節ブロックの反対側に配置された第6の貫通孔と、
前記第1乃至第6の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1乃至第6の接触子と、
を具備する接続装置。 - 前記第1の接触子は、第1の被検査装置の第1の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第2の接触子は、前記第1の被検査装置の前記第1の辺と対向する第2の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第3の接触子は、前記第1の被検査装置の隣に位置する第2の被検査装置の一辺である第3の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第4の接触子は、前記第2の被検査装置の前記第3の辺と対向する第4の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第5の接触子は、前記第2の被検査装置の隣に位置する第3の被検査装置の一辺である第5の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第6の接触子は、前記第3の被検査装置の前記第5の辺と対向する第6の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続する、請求項14に記載の接続装置。 - 前記第1及び第2のコンタクトベース部材は、エンジニアリングプラスチック、シリコン樹脂、エラストマ、又はガラスにより形成されている請求項1〜15のいずれか一項に記載の接続装置。
- 前記第1及び第2のコンタクトベース部材は、それぞれ、該コンタクトベース部材の向きを示すマークを有する請求項1〜16のいずれか一項に記載の接続装置。
- 被検査装置に電気的に接続する接触子を有する接続装置であって、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間した第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックの上面に固定された第1及び第2のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックの上面に固定された第3及び第4のコンタクトベース部材と、
前記第1乃至第4のコンタクトベース部材それぞれに設けられた貫通孔と、
前記貫通孔それぞれに挿通されることにより位置決めされた接触子と、
を具備する接続装置。 - 接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程を具備する被検査装置の検査方法であって、
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロック上に固定され、第1の貫通孔を有する第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロック上に固定され、第2の貫通孔を有する第2のコンタクトベース部材と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、前記第1の接触子を第1の被検査装置に接触させ、前記第2の接触子を第2の被検査装置に接触させる工程である被検査装置の検査方法。 - 接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程を具備する被検査装置の検査方法であって、
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1乃至第3の高さ調節ブロックと、
前記第1及び第2の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2及び第3の高さ調節ブロックに跨る位置に配置され、該第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれ上に固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第1及び第2の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2及び第3の高さ調節ブロックそれぞれと干渉しない位置に配置された第3及び第4の貫通孔と、
前記第1の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1の接触子と、
前記第2の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第2の接触子と、
前記第3の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第3の接触子と、
前記第4の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第4の接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、前記第1及び第2の接触子を第1の被検査装置に接触させ、前記第3及び第4の接触子を、前記第1の被検査装置の隣に位置する第2の被検査装置に接触させる工程である被検査装置の検査方法。 - 接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程を具備する被検査装置の検査方法であって、
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間している第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックに固定された第1のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックに固定された第2のコンタクトベース部材と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1の高さ調節ブロックを挟んで前記第2の高さ調節ブロックの反対側に配置された第1の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置された第2の貫通孔と、
前記第1のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に配置され、前記第2の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第3の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置する第4の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第1及び第2の高さ調節ブロック相互間側に位置し、前記第4の貫通孔より前記第2の高さ調節ブロックの近くに位置する第5の貫通孔と、
前記第2のコンタクトベース部材に設けられ、前記第2の高さ調節ブロックを挟んで前記第1の高さ調節ブロックの反対側に配置された第6の貫通孔と、
前記第1乃至第6の貫通孔に挿通されることにより位置決めされた第1乃至第6の接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、
前記第1の接触子を、第1の被検査装置の第1の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、前記第2の接触子を、前記第1の被検査装置の前記第1の辺と対向する第2の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第3の接触子を、前記第1の被検査装置の隣に位置する第2の被検査装置の一辺である第3の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、前記第4の接触子を、前記第2の被検査装置の前記第3の辺と対向する第4の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、
前記第5の接触子を、前記第2の被検査装置に隣に位置する第3の被検査装置の一辺である第5の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続し、前記第6の接触子を、前記第3の被検査装置の前記第5の辺と対向する第6の辺近傍に設けられた外部接続端子に接続する工程である、被検査装置の検査方法。 - 接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程を具備する被検査装置の検査方法であって、
前記接続装置は、
支持板と、
前記支持板上に固定され、互いに離間した第1及び第2の高さ調節ブロックと、
前記第1の高さ調節ブロックの上面に固定された第1及び第2のコンタクトベース部材と、
前記第2の高さ調節ブロックの上面に固定された第3及び第4のコンタクトベース部材と、
前記第1乃至第4のコンタクトベース部材それぞれに設けられた貫通孔と、
前記貫通孔それぞれに挿通されることにより位置決めされた接触子と、
を具備し、
前記接続装置の接触子を被検査装置に接続する工程は、前記第1のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第1の被検査装置に接触させ、前記第2のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第2の被検査装置に接触させ、前記第3のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第3の被検査装置に接触させ、前記第4のコンタクトベースの前記貫通孔によって位置決めされた前記接触子を第4の被検査装置に接触させる工程である被検査装置の検査方法。 - 前記被検査装置の検査を行う工程において、前記被検査装置は加熱されている請求項19〜22のいずれか一項に記載の被検査装置の検査方法。
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JP2005281121A JP4745006B2 (ja) | 2005-09-28 | 2005-09-28 | 接続装置 |
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