JP2007078658A - 電子部品の測定装置および測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 設置面積の小さい電子部品の測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】 発光素子３１を供給位置に供給する供給部３３、発光素子３１の諸特性を測定する第１測定部３７、発光素子３１の諸特性を測定する第２測定部３８、および排出位置に搬送された発光素子３１を収容する収容部４１は、この順で予め定める水平線上に並べられ、等間隔をあけてそれぞれ設けられる。発光素子３１を搬送する供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、移動台４７の第２方向Ｙの一表面上に、この順で第１方向Ｘに等間隔をあけて設けられる。供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、移動台４７の移動に伴なって移動し、供給部３３から第１測定部３７、第１測定部３７から第２測定部３８、および第２測定部３８から収容部４１に発光素子３１を搬送する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、発光素子などの電子部品の特性を測定する測定装置および測定方法に関する。

図８は、第１の従来の技術の発光素子１の測定装置２を示す平面図である。測定装置２は、回転テーブル３、発光素子１の諸特性を測定する第１〜第４測定部４，５，６，７、発光素子１を保持する第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８、発光素子１に電圧を印加する第１〜第４電圧印加部２１，２２，２３，２４、発光素子１を供給する供給部２５、発光素子１を供給部２５から第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかに搬送する供給用搬送部２６、良品の発光素子１を収容する良品収容部２７、不良品の発光素子１を収容する不良品収容部２８、および発光素子１を良品収容部２７または不良品収容部２８に搬送する収容用搬送部２９を含んで構成される。測定装置２は、発光素子１の光特性および電気特性を測定し、この測定結果に基づいて、良品の発光素子１と不良品の発光素子１とを選別する。

回転テーブル３は、鉛直方向に延びる軸線Ｌを中心軸とする円柱形を成す。回転テーブル３の鉛直方向上方の表面は、平面である。第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８は、回転テーブル３の鉛直方向上方の表面の周縁上にそれぞれ等間隔をあけて設けられる。回転テーブル３は、鉛直方向に延びる軸線Ｌを中心に、鉛直方向の上方から見て時計回りに回転する。第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８は、回転テーブル３の回転に伴なって、回転テーブル３と同様に回転する。

供給用搬送部２６は、供給部２５から供給される発光素子１を、予め定める供給位置Ａに位置する第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかに搬送する。発光素子１は、この発光素子１からの光の向きが、回転テーブル３の半径方向の外向きとなるように、供給位置Ａに位置する第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかに保持される。

供給位置Ａから、回転テーブル３の中心軸線Ｌを中心に、鉛直方向上方から見て時計回りに４５°、９０°、１３５°、１８０°、２２５°、２７０°および３１５°角変位した位置を、位置Ｂ、位置Ｃ、位置Ｄ、位置Ｅ、位置Ｆ、位置Ｇおよび位置Ｈとそれぞれ記載する。

第１〜第４測定部４，５，６，７は、回転テーブル３の周縁に沿って、周方向に隣接する測定部と互いに予め定める間隔をあけて設けられる。第１〜第３測定部４，５，６は、それぞれ受光素子を有する。第４測定部７は、分光器を有する。第１測定部４は、発光素子１を保持した第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかが位置Ｂに移動したときに、発光素子１の特性を測定することができる位置に設けられる。第２測定部５は、発光素子１を保持した第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかが位置Ｃに移動したときに、発光素子１の特性を測定することができる位置に設けられる。第３測定部６は、発光素子１を保持した第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかが位置Ｅに移動したときに、発光素子１の特性を測定することができる位置に設けられる。第４測定部７は、発光素子１を保持した第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかが位置Ｆに移動したときに、発光素子１の特性を測定することができる位置に設けられる。

第１〜第４電圧印加部２１，２２，２３，２４は、発光素子１に当接して、発光素子１に電圧を印加するコンタクトプローブをそれぞれ有する。第１〜第４電圧印加部２１，２２，２３，２４は、発光素子１を保持した第１〜第８クランプ部１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８のいずれかが位置Ｂ、位置Ｃ、位置Ｅおよび位置Ｆに移動したときに、コンタクトプローブを発光素子１に当接して、発光素子１に電圧を印加することができる位置にそれぞれ設けられる。

第１クランプ部１１が予め定める供給位置Ａに位置するときに、発光素子１が供給部２５から供給用搬送部２６によって第１クランプ部１１に搬送された場合に、この発光素子１の特性を測定する手順について説明する。まず第１クランプ部１１に搬送された発光素子１は、この発光素子１からの光の向きが、回転テーブル３の半径方向の外向きとなるように、第１クランプ部１１によって、機械的に保持される。機械的に保持とは、たとえば発光素子１を挟むなどして、発光素子１の位置を固定することである。

発光素子１を保持した第１クランプ部１１は、回転テーブル３の回転に伴なって位置Ｂに移動する。位置Ｂにおいて、第１電圧印加部２１のコンタクトプローブを発光素子１に当接し、所定の電圧を発光素子１に印加することによって、発光素子１が発光する。第１測定部４の受光素子は、発光素子１から発せられる光を受光する。これによって、第１測定部４は、発光素子１に流れる電流と発光素子１から発せられる光の強度との関係を測定する。

位置Ｂにおける測定が終了すると、発光素子１を保持した第１クランプ部１１は、回転テーブル３の回転に伴なって位置Ｃに移動する。位置Ｂにおいて、第２電圧印加部２２のコンタクトプローブを発光素子１に当接し、予め定める電圧を発光素子１に印加することによって、発光素子１が発光する。第２測定部５の受光素子は、発光素子１の発光中心を含む水平面上の、発光素子１の発光中心を中心とする予め定める半径の円弧上を移動する。発光素子１に予め定める電圧を印加し、発光素子１が発光した状態で、受光素子が前記円弧上を移動することによって、第２測定部５は、発光素子１の水平方向の光強度分布および放射軸を測定する。

位置Ｃにおける測定が終了すると、発光素子１を保持した第１クランプ部１１は、回転テーブル３の回転に伴なって位置Ｅに移動する。位置Ｅにおいて、第３電圧印加部２３のコンタクトプローブを発光素子１に当接し、予め定める電圧を発光素子１に印加することによって、発光素子１が発光する。第３測定部６の受光素子は、発光素子１の発光中心を含み、前記水平面に垂直な垂直面上の、発光素子１の発光中心を中心とする予め定める半径の円弧上を移動する。発光素子１に予め定める電圧を印加し、発光素子１が発光した状態で、受光素子が前記円弧上を移動することによって、第３測定部６は、発光素子１の垂直方向の光強度分布および放射軸を測定する。

位置Ｅにおける測定が終了すると、発光素子１を保持した第１クランプ部１１は、回転テーブル３が回転することによって位置Ｆに移動する。位置Ｆにおいて、第４電圧印加部２４のコンタクトプローブを発光素子１に当接し、予め定める電圧を発光素子１に印加することによって、発光素子１が発光する。発光素子１に予め定める電圧を印加した状態で、第４測定部２４の分光器が、発光素子１からの光を受光することによって、第４測定装置２は、発光素子１から発せられる光の波長を測定する。

位置Ｅにおける測定が終了すると、発光素子１を保持した第１クランプ部１１は、回転テーブル３の回転に伴なって位置Ｇに移動する。発光素子１は、第１〜第４測定部４，５，６，７による測定結果に基づいて、良品と不良品とに判別される。収容用搬送部２９は、良品と判断された発光素子１を第１クランプ部１１から良品収容部２７に搬送し、不良品と判断された発光素子１を第１クランプ部１１から不良品収容部２８に搬送する。

また第２の従来の技術の光素子のダイボンディング装置は、第１の従来の技術の発光素子１の測定装置２に加えて、レーザチップダイボンド手段を有する。このダイボンディング装置は、光素子のθ・Ｘ・Ｙの発光方向を測定した測定結果に基づいて、ステム上の光素子の位置を調整し、光素子のダイボンディングを行う。これによって、光素子をステム上の予め定める位置に正確にダイボンディングすることができる（たとえば特許文献１参照）。

特開平６−２８３８１９号公報

従来の測定装置２は、回転テーブル３を用いて発光素子１を搬送させるので、発光素子１が供給される供給位置Ａに供給部２５を設けることができない。したがって、供給部２５から供給位置Ａに発光素子１を搬送する供給用搬送部２６が、測定装置２の構成として必要となる。同様に発光素子１が排出される排出位置Ｇから良品収容部２７または不良品収容部２８に発光素子１を搬送する収容用搬送部２９が、測定装置２の構成として必要となる。したがって、測定装置２の構成が複雑となり、かつ測定装置２の設置面積が大きくなるという問題が生じる。

また、第１〜第４測定部４，５，６，７、第１〜第４電圧印加部２１，２２，２３，２４、供給用搬送部２６および収容用搬送部２９は、互いに干渉しないように予め定める間隔をあけて回転テーブル３の周縁に沿って設けられるので、これらを互いに等間隔をあけて設けることができない場合がある。この場合、たとえば位置Ｄおよび位置Ｈに位置するクランプ部のように、発光素子１の測定に直接的に関与しない部分が回転テーブル３に必要となる。従来の測定装置２には、このような発光素子１の測定に関与しない無駄なクランプ部が必要となる場合があり、測定装置２の設置面積が大きくなるという問題が生じる。

また、回転テーブル３の回転軸付近の中心部分は、発光素子１の測定に直接的に関与しない部分であるが、発光素子１を搬送するために必要不可欠な部分である。回転テーブル３の円周の最小値は、第１〜第４測定部４，５，６，７、第１〜第４電圧印加部２１，２２，２３，２４、供給用搬送部２６および収容用搬送部２９の配置関係によって定まるので、必然的に回転テーブル３の回転軸付近の中心部分の大きさも定まる。したがって、発光素子１の測定に直接的に関与しない回転テーブル３の回転軸付近の中心部分を小さくすることができず、測定装置２の設置面積が大きくなるという問題が生じる。

したがって本発明の目的は、設置面積の小さい電子部品の測定装置および測定方法を提供することである。

本発明は、測定対象物が供給される供給位置に設けられ、測定対象物を供給位置に供給する供給部と、
測定対象物が排出される排出位置に設けられ、排出位置に配置された測定対象物を回収する回収部と、
供給位置および排出位置にわたる搬送経路に沿って配置され、測定対象物の測定を行う複数の測定部と、
供給位置と供給部に最も近接して配置される測定部との間、相互に隣接して配置される測定部の間、および排出位置に最も近接して配置される測定部と排出位置との間で測定対象物を搬送する搬送部とを含むことを特徴とする電子部品の測定装置である。

また本発明は、前記測定部は、
搬送部によって搬送される測定対象物が載置される載置台と、
前記載置台に載置された測定対象物の載置状態を検出する載置状態検出手段と、
載置状態検出手段の検出結果に基づいて、測定対象物の測定を行うための予め定める測定位置に測定対象物を配置するように載置台を移動可能な載置台移動手段とを有することを特徴とする。

また本発明は、前記複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、測定対象物の互いに異なる特性を計測する複数の計測部を有することを特徴とする。

また本発明は、前記複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、この測定部を除く残余の測定部が有する計測部とは異なる測定対象物の特性を計測する計測部を少なくとも１つ有することを特徴とする。

また本発明は、前記搬送部は、
供給位置に最も近接して配置される測定部に供給位置から測定対象物を移動する第１移動部と、
相互に隣接して配置される測定部の間で測定対象物を移動する第２移動部と、
排出位置に最も近接して配置される測定部から排出位置に測定対象物を移動する第３移動部と、
第１〜第３移動部を駆動する駆動部と、
駆動部からの駆動力を第１〜第３移動部へそれぞれ伝達する伝達部とを有することを特徴とする。

また本発明は、前記駆動部に駆動されて移動し、測定対象物に電圧を印加する電圧印加部を有し、
前記伝達部は、前記駆動部からの駆動力を電圧印加部に伝達することを特徴とする。

また本発明は、前記複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、測定対象物の温度を調整する温度調整部を有することを特徴とする。

また本発明は、前記回収部は、
３つ以上の回収部分と、
測定部の測定結果に基づいて、３つ以上の回収部分のいずれか１つを前記排出位置に移動する回収部移動手段とを有することを特徴とする。

また本発明は、測定対象物が供給される供給位置に設けられ、測定対象物を供給位置に供給する供給部と、
測定対象物が排出される排出位置に設けられ、排出位置に配置された測定対象物を回収する回収部と、
測定対象物を載置する載置台を有し、供給位置および排出位置にわたる搬送経路に沿って配置され、測定対象物の測定を行う複数の測定部と、
供給位置と供給部に最も近接して配置される測定部との間、相互に隣接して配置される測定部の間、および排出位置に最も近接して配置される測定部と排出位置との間で測定対象物を搬送する搬送部とを含む電子部品の測定装置における電子部品の測定方法であって、
前記搬送部によって前記測定部に測定対象物を搬送して、載置台に測定対象物を載置し、
前記載置台に載置された測定対象物の載置状態を検出し、
測定対象物の載置状態に基づいて、測定対象物の測定を行うための予め定める測定位置に測定対象物を配置するように載置台を移動して、測定対象物を測定することを特徴とする電子部品の測定方法である。

また本発明は、前記回収部は、３つ以上の回収部分を有し、
測定対象物を測定した後、測定結果に基づいて、３つ以上の回収部分のいずれか１つを前記排出位置に移動することを特徴とする。

本発明によれば、測定対象物の測定を行う測定部は、供給位置および排出位置にわたる搬送経路に沿って配置される。また搬送部は、供給位置と供給部に最も近接して配置される測定部との間、相互に隣接して配置される測定部の間、および排出位置に最も近接して配置される測定部と排出位置との間で測定対象物を搬送する。つまり搬送部は、供給位置から排出位置にわたる搬送経路上で測定対象物を搬送する。換言すると、搬送部は、閉じた経路上で測定対象物を搬送しない。供給部は、測定対象物が供給される供給位置に設けられ、測定対象物を供給位置に供給する。回収部は、排出位置に配置された測定対象物が排出される排出位置に設けられ、測定対象物を収容する。

たとえば回転テーブルを用いて、閉じた経路上で測定対象物を搬送する場合、供給位置に供給部を設けることができず、供給部から供給位置に測定対象物を搬送する手段が必要となる。同様に、排出位置に回収部を設けることができず、排出位置から回収部に測定対象物を搬送する手段が必要となる。本発明では、搬送部は、供給位置から排出位置にわたる搬送経路上で測定対象物を搬送ので、供給部を供給位置に配置する、および回収部を排出位置に配置することが可能となる。したがって、閉じた経路上で測定対象物を搬送する搬送部を有する従来の測定装置に比べて、供給部から供給位置に測定対象物を搬送する手段、および排出位置から回収部に測定対象物を搬送する手段を省くことができる。これによって装置の構成を簡略化することができ、装置の設置面積を小さくすることができる。

また回転テーブルを用いて測定対象物を搬送する従来の技術の測定装置では、測定部などの大きさの関係によって、回転テーブルの周縁に沿って測定部を等間隔をあけて配置することができないことがある。この場合に、測定対象物を保持するクランプ部は、回転テーブルの周縁部に等間隔をあけて設けられるので、測定対象物の測定のために直接的に機能しないクランプ部が生じる。本発明に従えば、このような測定対象物の測定に不要なクランプ部を省くことができるので、回転テーブルを用いる従来の測定装置に比べて、装置の設置面積を小さくすることができる。

また回転テーブルを用いて測定対象物を搬送する従来の技術の測定装置は、測定対象物の測定に直接的に関与しない回転テーブルの回転軸付近の中心部分を有するが、本発明においては、搬送部は、閉じた経路上で測定対象物を搬送しないので、測定対象物の測定に直接的に関与しない回転テーブルの回転軸付近の中心部分を省略することができる。これによって、装置の設置面積を小さくすることができる。

また本発明によれば、載置状態検出手段は、載置台に載置された測定対象物の載置状態を検出するので、測定対象物がどのような状態で載置台に載置されたかを検出することができる。載置台移動手段は、この検出結果に基づいて、載置台を移動し、測定対象物の特性の測定に適した予め定める位置に測定対象物を移動するので、測定対象物がどのような状態で載置台に載置されたとしても、確実に測定対象物の測定を行うための予め定める測定位置に測定対象物を移動することができる。これによって、精度良く測定対象物の測定を行うことができる。

また載置台を移動することによって測定対象物を測定位置に移動するので、測定対象物を機械的に保持して測定対象物を移動する必要がなくなる。これによって、測定対象物に機械的な応力による損傷を与えることなく、測定対象物を予め定める測定位置に移動することができる。

また本発明によれば、複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、測定対象物の互いに異なる特性を計測する複数の計測部を有するので、測定対象物の複数の特性を測定する測定項目の数よりも、測定部の数を少なくすることができる。したがって、測定項目の数と同数の数の測定部を必要とする従来の測定装置に比べて、測定装置を小形化することができる。さらに、測定項目の数よりも、測定部の数を少なくすることができるので、測定装置の構成を簡略化することができる。

また本発明によれば、複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、この測定部を除く残余の測定部が有する計測部とは異なる測定対象物の特性を計測する計測部を少なくとも１つ有する。つまり、複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、他の測定部と異なる測定対象物の特性を計測することができる。したがって、測定装置によって測定対象物の複数の特性を測定することができる。

また本発明によれば、搬送部は、供給位置に最も近接して配置される測定部に供給位置から測定対象物を移動する第１移動部と、相互に隣接して配置される測定部の間で測定対象物を移動する第２移動部と、排出位置に最も近接して配置される測定部から排出位置に測定対象物を移動する第３移動部と、第１〜第３移動部を駆動する駆動部と、駆動部からの駆動力を第１〜第３移動部へとそれぞれ伝達する伝達部を有する。すなわち、第１〜第３移動部は、伝達部を介して伝達される共通の駆動部からの駆動力によって移動する。したがって、第１〜第３移動部をそれぞれ駆動する３つの駆動部を有する測定装置の構成に比べて、測定装置の構成を簡略化することができ、測定装置の小形化を実現することができる。これによって、測定装置を作成するためのコストを抑制することができる。

また本発明によれば、測定対象物に電圧を印加する電圧印加部は、前記伝達部を介して伝達される駆動部からの駆動力によって移動する。すなわち電圧印加部は、第１〜第３移動部を駆動する駆動部の駆動力によって移動する。したがって、第１〜第３駆動部を駆動する駆動部とは異なる駆動部の駆動力によって電圧印加部を駆動して移動する測定装置の構成に比べて、測定装置の構成を簡略化することができ、測定装置の小形化を実現することができる。

また本発明によれば、複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、測定対象物の温度を調整する温度調整部を有するので、温度調整部を有する測定部によって、測定対象物の特性の温度依存性を測定することができる。

また本発明によれば、回収部は、３つ以上の回収部分と、測定部の測定結果に基づいて、３つ以上の回収部分のいずれか１つを前記排出位置に移動する回収部移動手段を有する。回収部分が３つ以上あるので、測定結果に基づいて測定対象物を単に良品と不良品との２つに選別するのではなく、測定対象物を回収部分の数と同じ数のランクに分けることができる。これによって、たとえば良品の中で特に性能の良い測定対象物と、良品の中で性能の悪い測定対象物とを選別することができる。

また本発明によれば、載置台に載置された測定対象物の載置状態を検出するので、測定対象物がどのような状態で載置台に載置されたかを検出することができる。測定対象物の載置状態に基づいて載置台を移動し、測定対象物の測定を行うための予め定める測定位置に測定対象物を移動するので、測定対象物がどのような状態で載置台に載置されたとしても、確実に測定対象物の測定に適した予め定める測定位置に測定対象物を移動することができる。これによって、精度良く測定対象物の測定を行うことができる。

また載置台を移動することによって測定対象物を移動するので、測定対象物を機械的に保持して測定対象物を移動する必要がなくなる。これによって、測定対象物に機械的な応力による損傷を与えることなく、測定対象物の特性の測定に適した予め定める位置に測定対象物を移動することができる。

また本発明によれば、前記回収部は、３つ以上の回収部分を有する。また測定対象物の特性を測定した後、測定結果に基づいて、３つ以上の回収部分のいずれか１つを前記排出位置に移動する。この回収部分は、３つ以上あるので、測定結果に基づいて測定対象物を単に良品と不良品との２つに選別するのではなく、測定対象物を回収部分の数と同じ数のランクに分けることができる。これによって、たとえば良品の中で特に性能の良い測定対象物と、良品の中で性能の悪い測定対象物とを選別することができる。

図１は、本発明の実施の一形態の電子部品の測定装置３２の正面図であり、図２は電子部品の測定装置３２の平面図である。図３は、測定装置３２の構成を示す機能ブロック図である。本実施の形態においては、電子部品は、発光素子３１である。測定装置３２は、発光ダイオードおよび半導体レーザ素子などの発光素子３１の光特性および電気特性などの諸特性を測定し、測定結果に基づいて、発光素子３１の性能のランク分けを行う。発光素子３１は、本実施の形態においては半導体レーザ素子である。

測定装置３２は、発光素子３１を供給位置に供給する供給部３３、発光素子３１を搬送する搬送部３４、第１電圧印加部３５、第２電圧印加部３６、第１測定部３７、第２測定部３８、排出位置に搬送された発光素子３１を回収し、収容する収容部４１、第１支持柱４２、第２支持柱４３、支持部材４４、基台４５および処理部４９を含んで構成される。

処理部４９は、中央処理装置（Central Processing Unit：略称ＣＰＵ）によって実現される。処理部４９は、供給部３３、搬送部３４、第１電圧印加部３５、第２電圧印加部３６、第１測定部３７、第２測定部３８、および収容部４１の動きを制御する。また処理部４９は、所定の演算を行う。

発光素子３１は、板状の略直方体を成す。発光素子３１の厚み方向の一表面部には、表面電極部が形成されている。また発光素子３１の厚み方向の他表面部には、裏面電極部が形成されている。表面電極部と裏面電極部との間に電圧を印加すると、発光素子３１からレーザ光が発せられる。

基台４５は、板状であって、略直方体を成す。供給部３３、第１測定部３７、第２測定部３８、収容部４１、第１支持柱４２および第２支持柱４３は、基台４５の厚み方向の一表面上に設けられる。第１支持柱４２は、基台４５の長手方向の一端に設けられる。第２支持柱４３は、基台４５の長手方向の他端に設けられる。測定装置３２は、基台４５の厚み方向一表面が水平となるように作業場に設置される。

搬送部３４は、発光素子３１が供給される供給位置および発光素子３１が排出される排出位置にわたる搬送経路に沿って発光素子３１を搬送する。

供給部３３、第１測定部３７、第２測定部３８、および収容部４１は、第１支持柱４２と第２支持柱４３との間に、基台４５の厚み方向一表面上に設けられる。第１測定部３７と第２測定部３８とは、供給位置および排出位置にわたる搬送経路に沿って配列される。本実施の形態では、供給部３３、第１測定部３７、第２測定部３８、および収容部４１は、この順で予め定める水平線上に並べられ、等間隔をあけてそれぞれ設けられる。また供給位置と排出位置とは、前記水平線上に位置する。具体的には、供給位置は、供給部３３の鉛直方向上端に位置し、排出位置は、収容部４１の鉛直方向上端に位置する。前記予め定める水平線の延びる方向を第１方向Ｘと記載する。また第１方向Ｘおよび鉛直方向に垂直な方向を第２方向Ｙと記載する。

第１および第２支持柱４２，４３は、基台４５から鉛直方向に延び、支持部材４４を支持する。支持部材４４は、略直方体を成し、第１支持柱４２と第２支持柱４３との間に渡って第１方向Ｘに延びる。支持部材４４の第１方向Ｘの一端部の鉛直方向下端部は、第２支持柱４３に支持され、支持部材４４の第１方向Ｘの他端部の鉛直方向下端部は、第１支持柱４２に支持される。

搬送部３４は、供給部３３から第１測定部３７に発光素子３１を搬送する。また搬送部３４は、第１測定部３７から第２測定部３８に発光素子３１を搬送する。また搬送部３４は、第２測定部３８から収容部４１に発光素子３１を搬送する。

搬送部３４は、支持部材４４に設けられる。搬送部３４は、駆動部である移動台駆動部４６、伝達部、移動台４７、第１移動部である供給用移動部４８、第２移動部である搬送用移動部５１、および第３移動部である収納用移動部５２を含んで構成される。

移動台４７は、支持部材４４の第２方向Ｙの一表面上に、第１方向Ｘに移動可能に設けられる。移動台４７は、板状の略直方体を成し、第１方向Ｘに延びる。移動台４７の第１方向Ｘの長さは、少なくとも供給部３３と第２測定部との間隔よりも長い。供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、移動台４７の第２方向Ｙの一表面上に、この順で第１方向Ｘに等間隔をあけて設けられる。供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２が第１方向Ｘにそれぞれ離間する間隔は、供給部３３、第１測定部３７、第２測定部３８、および収容部４１が第１方向Ｘにそれぞれ離間する間隔に等しい。移動台４７に設けられる供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、移動台４７の第１方向Ｘの移動に伴なって、第１方向Ｘに移動する。供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、前記予め定める水平線を含む鉛直方向に平行な仮想一平面上を、第１方向Ｘに移動する。

移動台駆動部４６は、移動台４７を駆動して、第１方向Ｘに移動させる。移動台駆動部４６は、たとえばステッピングモータによって実現される。

伝達部は、移動台駆動部４６からの駆動力を、移動台４７に伝達する。伝達部は、第１方向Ｘに延びるネジと、このネジに勘合されたボールナットからなる、いわゆるボールネジによって構成される。伝達部のネジの一端は移動台駆動部４６に連結され、ネジに勘合されたボールナットは移動台４７に連結される。移動台駆動部４６からの駆動力によりネジが回転することで、ネジに勘合されたボールナットが移動し、移動台４７が第１方向Ｘに移動する。この移動台４７の第１方向Ｘの移動に伴なって、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、第１方向Ｘに移動する。すなわち１つの移動台駆動部４６の駆動力によって、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、第１方向Ｘに移動する。

供給部３３は、発光素子３１を供給位置に供給する。供給部３３は、供給部本体５３と、供給部本体５３から鉛直方向上方に突出する円柱形の供給台５４と、第１鉛直方向駆動部５５と、供給台５４を第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに移動する駆動部とを含んで構成される。供給位置とは、供給台５４の鉛直方向上方の表面上であって、供給用移動部４８が供給部３３の鉛直方向上方に位置するときの供給コレット５７の鉛直方向下方の位置である。発光素子３１は、発光素子３１から出射する光の向きが第２方向一方向きとなり、かつ裏面電極部が供給台５４の表面に当接するように供給位置に供給される。

供給台５４の鉛直方向上方の表面上には、複数の発光素子３１が、一定の間隔で行・列をなして、碁盤の目状に整列して配置されている。供給台５４を第１方向Ｘまたは第２方向Ｙに移動させることによって、碁盤の目状に配置された複数の発光素子３１のうちの１つを、供給位置に配置する。供給位置に配置された発光素子３１は、供給用移動部４８によって保持され、第１測定部３７に搬送される。供給位置に配置された発光素子３１が供給用移動部４８によって保持されて第１測定部３７に搬送されると、供給台５４を第１方向Ｘまたは第２方向Ｙに移動させ、発光素子３１を供給位置に再度配置する。このように供給台５４を移動させることによって、供給台５４の表面上に整列した発光素子３１を順次、供給位置に供給する。

第１鉛直方向駆動部５５は、供給部本体５３の鉛直方向上方であって、支持部材４４の鉛直方向の上端部に設けられる。第１鉛直方向駆動部５５は、たとえば電動シリンダによって実現される。

供給用移動部４８は、供給部３３から供給される発光素子３１を保持して、この発光素子３１を第１測定部３７に搬送する。供給用移動部４８は、供給用移動部本体５６と、鉛直方向に移動する供給コレット５７とを含んで構成される。

供給コレット５７は、円柱形を成し、供給用移動部本体５６から鉛直方向の下向きに突出する。供給コレット５７は、第１鉛直方向駆動部５５によって、鉛直方向に移動する。供給コレット５７の鉛直方向下方側の一表面部には、孔が形成されている。供給コレット５７の内部の気圧を大気圧よりも低くすると、供給コレット５７の鉛直方向下方側の一表面部に形成された孔から空気が供給コレット５７に流れ込む。この供給コレット５７内への空気の流れ込みによって、供給コレット５７は、所定の物体を真空吸着する。

供給用移動部４８が、供給台５４の表面上に配置された発光素子３１の鉛直方向上方に位置するときに、第１鉛直方向駆動部５５が供給コレット５７を鉛直方向下方に移動させ、供給コレット５７の鉛直方向下方側の一表面を発光素子３１に近接させる。これによって、供給コレット５７は、発光素子３１を真空吸着する。次に第１鉛直方向駆動部５５が供給コレット５７を鉛直方向上方に移動させる。供給コレット５７が発光素子３１を吸着した状態で、移動台駆動部４６が移動台４７を第１方向Ｘの一方に移動させることによって、供給用移動部４８は、第１測定部３７に移動し、発光素子３１を第１測定部３７に搬送する。

図４は、供給用移動部４８が、第１測定部３７に移動したときの測定装置３２の正面図である。

第１測定部３７は、発光素子３１が載置される第１載置部５８、第１計測部６１、第２計測部６２、第３計測部６３、第１撮像部６４、第１計測台６５、第２計測台６６、および第２鉛直方向駆動部６７を含んで構成される。

第１載置部５８は、第１載置台本体６８、載置台である第１検査コレット７１、第１回転用駆動部７２、第１Ｘ方向駆動部７３、および第１Ｙ方向駆動部７４を含んで構成される。

第１検査コレット７１は、第１載置台本体６８から鉛直方向上方に突出する。第１検査コレット７１は、円柱形を成し、第１回転用駆動部７２によって、円柱の中心軸を中心に回転する。また第１検査コレット７１は、第１Ｘ方向駆動部７３によって第１方向Ｘに移動し、第１Ｙ方向駆動部７４によって第２方向Ｙに移動する。

第２鉛直方向駆動部６７は、第１検査コレット７１の鉛直方向上方であって、支持部材４４の鉛直方向の上端部に設けられる。第２鉛直方向駆動部６７は、たとえば電動シリンダによって実現される。供給用移動部４８が、発光素子３１を保持して第１検査コレット７１の鉛直方向上方の位置に移動すると、第２鉛直方向駆動部６７は、供給コレット５７を鉛直方向下方に移動させ、発光素子３１を第１検査コレット７１の表面上に載置させる。供給用移動部４８が発光素子３１を第１検査コレット７１の表面上に載置すると、第２鉛直方向駆動部６７は、供給コレット５７を鉛直方向上方に移動させる。次に移動台４７は、移動台駆動部４６によって、第１方向Ｘの他方に移動し、供給用移動部４８は、移動台４７の移動に伴なって第１方向Ｘの他方に移動する。

第１撮像部６４は、第１検査コレット７１の鉛直方向上方に、支持部材４４に固定されて設けられる。第１撮像部６４は、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）イメージセンサを含んで実現される。供給用移動部４８が第１計測部６１から供給部３３に向かって移動している間に、第１撮像部６４は、第１検査コレット７１に載置された発光素子３１を撮像し、２値数で表される画像データを作成する。この２値数で表される画像データは、たとえば予め定める光強度よりも強い光を受光したＣＣＤの領域のデータを数値「１」で表し、予め定める光強度よりも弱い光を受光したＣＣＤの領域のデータを数値「０」で表す。第１検査コレット７１の反射率を発光素子３１の反射率と異ならせることによって、発光素子３１の存在する領域と、発光素子３１が存在しない領域とを画像データによって区別することができる。

図５は、発光素子３１の位置決め前の第１検査コレット７１上の発光素子３１を表す図であり、図６は、発光素子３１の位置決め後の第１検査コレット７１上の発光素子３１を表す図である。第１撮像部６４が作成した画像データは、処理部４９に与えられる。処理部４９は、この画像データを解析し、第１検査コレット７１上における発光素子３１の長手方向の一端面７５を認識し、発光素子３１の載置状態を検出する。第１検査コレット７１は、発光素子３１の載置状態に基づいて、発光素子３１が、発光素子３１の特性を測定するための最適な予め定める位置となるように移動する。このように位置決めされた発光素子３１は、第２方向Ｙの一方に向かってレーザ光を出射する。

このように第１検査コレット７１が移動することによって発光素子３１を予め定める位置に移動するので、発光素子３１を機械的に保持することなく発光素子３１を移動することができる。したがって、発光素子３１に損傷を与えることなく、発光素子３１を、特性の測定に最適な予め定める位置に移動させることができる。

発光素子３１に電圧を印加する第１電圧印加部３５は、搬送用移動部５１の供給用移動部４８側に隣接して移動台４７に設けられる。第１電圧印加部３５は、第１電圧印加部本体７６と第１コンタクトプローブ７７とを含んで構成される。第１コンタクトプローブ７７は、第１電圧印加部本体７６から鉛直方向下方に突出する。第１コンタクトプローブ７７は、第２鉛直方向駆動部６７によって鉛直方向に移動する。第１電圧印加部３５が第１検査コレット７１の鉛直方向上方に位置するときに、第１コンタクトプローブ７７は、第２鉛直方向駆動部６７によって鉛直方向下方に移動し、発光素子３１の表面電極部に当接する。発光素子３１は、第１撮像部６４によって生成される画像データに基づいて予め定める位置に位置決めされているので、第１コンタクトプローブ７７は、確実に発光素子３１の表面電極部に当接する。

図７は、第１電圧印加部３５が、第１検査コレット７１の鉛直方向上方に位置するときの測定装置３２の正面図である。第１コンタクトプローブ７７が発光素子３１の表面電極部に当接し、第１検査コレット７１の鉛直方向上方の表面が発光素子３１の裏面電極部に当接し、発光素子３１の表面電極部と裏面電極部との間に予め定める電圧を印加することによって、発光素子３１は、発光する。

第１計測部６１は、発光素子３１に流れる電流と発光素子３１から発せられる光の強度との関係を測定する。第２計測部６２は、発光素子３１から発せられる光の波長を測定する。第３計測部６３は、発光素子３１の水平方向の光強度分布および放射軸を測定する。第１〜第３計測部６１，６２，６３は、それぞれが予め定める測定位置に移動することによって、発光素子３１の諸特性を測定する。

第１計測部６１および第２計測部６２は、発光素子３１からの光を受光する受光面が、搬送部３４を臨む向きを除く向きとなるように、第１計測台６５に設けられる。つまり、第１計測部６１および第２計測部６２は、受光面が鉛直方向上方に向かないように第１計測台６５に設けられる。第１計測台６５は、第１計測台本体７８、第１計測移動部８１および第１計測用駆動部８２を含んで構成される。第１計測台本体７８は、基台４５から鉛直方向に、第１検査コレット７１の先端と水平な位置近くまで延びる。第１計測移動部８１は、第１計測台本体７８の鉛直方向の上方部から第１方向Ｘの一方に突出する。第１計測移動部８１は、板状であって、第１方向Ｘに延びる。第１計測移動部８１は、第１計測用駆動部８２に駆動されて第１方向Ｘに移動する。第１計測移動部８１は、第１検査コレット７１の第２方向Ｙの一方側に位置する。第１計測部６１および第２計測部６２は、第１計測移動部８１に第１方向Ｘに予め定める間隔をあけて設けられる。

第１計測部６１および第２計測部６２は、第１計測移動部８１の移動に伴なって、第１方向Ｘに移動し、発光素子３１からの光を受光する測定位置に移動する。第１計測部６１は、受光した光の強度を計測する受光素子を含んで構成される。第１計測部６１は、発光素子３１からの光の強度を受光素子によって受光し、発光素子３１に流れる電流と、発光素子３１から発せられる光の強度との関係を測定する。第２計測部６２は、分光器を含んで構成される。第２計測部６２は、発光素子３１からの光を分光器によって受光し、発光素子３１から発せられる光の波長を測定する。

第３計測部６３は、第１受光素子８３、水平方向回転アーム８４および水平回転駆動部８５を含んで構成される。第３計測部６３の第１受光素子８３は、受光面が、搬送部３４を臨む向きを除く向きとなるように配置される。つまり、第３計測部６３の第１受光素子８３は、受光面が鉛直方向上方に向かないように配置される。水平方向回転アーム８４は、第２計測台６６に設けられる。第２計測台６６は、第１検査コレット７１の鉛直方向下方に設けられる。水平方向回転アーム８４は、第２計測台６６から鉛直方向上方に突出する第１回転軸８６と、第１回転軸８６の鉛直方向上方の端部から水平方向に延びる第１水平部８７と、第１水平部８７の第１回転軸８６と接続する端部と反対側の他端部から鉛直方向上方に延びる鉛直部８８とを含んで構成される。鉛直部８８の鉛直方向上方の端部は、発光素子３１と水平な位置となる。第１受光素子８３は、水平方向回転アーム８４の鉛直部８８の鉛直方向上方の端部に設けられる。水平方向回転アーム８４の第１回転軸８６は、水平回転駆動部８５に駆動されて、第１回転軸８６の鉛直方向に延びる軸線周りに回転する。第１回転軸８６の回転に伴なって、第１受光素子８３は、発光素子３１を含む水平面上において、発光素子３１を中心とする予め定める半径の円弧上を移動する。第３計測部６３の第１受光素子８３を、発光素子３１を含む水平面上において、発光素子３１を中心とする予め定める半径の円弧上を移動させながら、発光素子３１の光強度を測定することによって、発光素子３１の水平方向の光強度分布および放射軸の測定を行う。

第１〜第３計測部６１，６２，６３によって発光素子３１の３種類の特性の測定を終えると、各測定結果は、第１〜第３計測部６１，６２，６３から処理部４９に与えられる。搬送用移動部５１は、次に移動台駆動部４６によって、第１検査コレット７１の鉛直方向上方に移動する。

搬送用移動部５１は、発光素子３１を保持して、第１測定部３７から第２測定部３８に発光素子３１を搬送する。搬送用移動部５１は、供給用移動部４８と同様の構成である。搬送用移動部５１は、搬送用移動部本体９１と、鉛直方向に移動する搬送コレット９２とを含んで構成される。

搬送コレット９２は、供給コレット５７と同様の構成であり、搬送コレット９２の鉛直方向下方の表面に所定の物体を真空吸着することができる。

搬送用移動部５１が、第１検査コレット７１の表面上に配置された発光素子３１の鉛直方向上方に位置するときに、第２鉛直方向駆動部６７が搬送コレット９２を鉛直方向下方に移動させ、搬送コレット９２の鉛直方向下方側の一表面を発光素子３１に近接させる。これによって、搬送コレット９２は、発光素子３１を真空吸着する。次に第２鉛直方向駆動部６７が搬送コレット９２を鉛直方向上方に移動させる。搬送コレット９２が発光素子３１を吸着した状態で、移動台駆動部４６が移動台４７を第１方向Ｘの一方に移動させることによって、搬送用移動部５１は、第２測定部３８に移動し、発光素子３１を第２測定部３８に搬送する。

第２測定部３８は、発光素子３１が載置される第２載置部９３と、第４計測部９４、第５計測部９５、第２撮像部９６、第３計測台９７、第４計測台９８、第３鉛直方向駆動部９９を含んで構成される。

第２載置部９３は、第２載置台本体１０１、載置台である第２検査コレット１０２、温度調整部であるヒータ、第２回転用駆動部１０３、第２Ｘ方向駆動部１０４、および第２Ｙ方向駆動部１０５を含んで構成される。

第２検査コレット１０２は、第２載置台本体１０１から鉛直方向上方に突出する。第２検査コレット１０２は、円柱形を成し、第２回転用駆動部１０３によって、円柱の中心軸を中心に回転する。また第２検査コレット１０２は、第２Ｘ方向駆動部１０４によって第１方向Ｘに移動し、第２Ｙ方向駆動部１０５によって第２方向Ｙに移動する。載置台を移動可能な載置台移動手段は、第１および第２回転用駆動部７２，１０３と、第１および第２Ｘ方向駆動部７３，１０４と、第１および第２Ｙ方向駆動部７４，１０５とによって実現される。

第３鉛直方向駆動部９９は、第２検査コレット１０２の鉛直方向上方であって、支持部材４４の鉛直方向の上端部に設けられる。第３鉛直方向駆動部９９は、たとえば電動シリンダによって実現される。搬送用移動部５１が、発光素子３１を保持して第２検査コレット１０２の鉛直方向上方の位置に移動すると、第３鉛直方向駆動部９９は、供給コレット５７を鉛直方向下方に移動させ、発光素子３１を第２検査コレット１０２の表面上に載置させる。供給用移動部４８が発光素子３１を第２検査コレット１０２の表面上に載置すると、第３鉛直方向駆動部９９は、供給コレット５７を鉛直方向上方に移動させる。

第２撮像部９６は、第２検査コレット１０２の鉛直方向上方に、支持部材４４に固定されて設けられる。搬送用移動部５１が第２計測部６２から第１計測部６１に移動している間に、第２撮像部９６は、第２検査コレット１０２に載置された発光素子３１を撮像し、２値数で表される画像データを作成する。第２撮像部９６は、ＣＣＤ（Charge Coupled
Device）イメージセンサを含んで実現される。

第２検査コレット１０２は、第１検査コレット７１と同様に、前記画像データに基づいて、第２Ｘ方向駆動部１０４、第２Ｙ方向駆動部１０５、および第２回転用駆動部１０３によって移動し、発光素子３１を、特性を測定するために最適な予め定める位置に移動する。このように第２検査コレット１０２が移動することによって発光素子３１を予め定める位置に移動するので、発光素子３１を機械的に保持することなく発光素子３１を移動することができる。したがって、発光素子３１に損傷を与えることなく、発光素子３１を、特性の測定に最適な予め定める位置に移動させることができる。発光素子３１の載置状態を検出する載置状態検出手段は、処理部４９、第１撮像部６４および第２撮像部９６によって実現される。

発光素子３１に電圧を印加する第２電圧印加部３６は、収納用移動部５２の搬送用移動部５１側に隣接して移動台４７に設けられる。第２電圧印加部３６は、第２電圧印加部本体１０６と第２コンタクトプローブ１０７とを含んで構成される。第２コンタクトプローブ１０７は、第２電圧印加部３６本体から鉛直方向下方に突出する。第２コンタクトプローブ１０７は、第３鉛直方向駆動部９９によって鉛直方向に移動する。第２電圧印加部３６が、第２検査コレット１０２の鉛直方向上方に位置するときに、第２コンタクトプローブ１０７は、第２鉛直方向駆動部６７によって鉛直方向下方に移動し、発光素子３１の表面電極部に当接する。発光素子３１は、第２撮像部９６によって生成される画像データに基づいて予め定める位置に位置決めされているので、第２コンタクトプローブ１０７は、確実に発光素子３１の表面電極部に当接する。

第２コンタクトプローブ１０７が発光素子３１の表面電極部に当接し、第２検査コレット１０２の鉛直方向上方の表面が発光素子３１の裏面電極部に当接し、発光素子３１の表面電極部と裏面電極部との間に電圧を印加することによって、発光素子３１は、発光する。

ヒータは、第２検査コレット１０２に設けられ、第２検査コレット１０２を予め定める温度に保持する。第２検査コレット１０２を予め定める温度に保持することによって、第２検査コレット１０２に載置される発光素子３１の温度を予め定める温度に保持することができる。

第４計測部９４は、発光素子３１に流れる電流と発光素子３１から発せられる光の強度との関係の温度依存性を測定する。第５計測部９５は、発光素子３１の垂直方向の光強度分布および放射軸を測定する。第４計測部９４および第５計測部９５は、それぞれが予め定める測定位置に移動することによって、発光素子３１の諸特性を測定する。

第４計測部９４は、発光素子３１からの光を受光する受光面が、搬送部３４を臨む向きを除く向きとなるように、第３計測台９７に設けられる。つまり、第４計測部９４は、受光面が鉛直方向上方に向かないように第３計測台９７に設けられる。第３計測台９７は、第３計測台本体１０８、第２計測移動部１１１および第２計測用駆動部１１２を含んで構成される。第３計測台本体１０８は、基台４５から鉛直方向に、第２検査コレット１０２の先端に水平な位置近くまで延びる。第２計測移動部１１１は、第３計測台本体１０８の鉛直方向の上方部から第１方向Ｘの一方に突出する。第２計測移動部１１１は、板状であって、第１方向Ｘに延びる。第２計測移動部１１１は、第２計測用駆動部１１２に駆動されて第１方向Ｘに移動する。第２計測移動部１１１は、第２検査コレット１０２の第２方向Ｙの一方側に位置する。第４計測部９４は、第２計測移動部１１１に設けられる。

第４計測部９４は、第２計測移動部１１１の移動に伴なって第１方向Ｘに移動し、発光素子３１からの光を受光する測定位置に移動する。第４計測部９４は、受光した光の強度を計測する受光素子を含んで構成される。第４計測部９４は、ヒータによって予め定める温度に保たれた発光素子３１からの光を受光素子によって受光し、発光素子３１に流れる電流と、発光素子３１から発せられる光の強度との関係の温度依存性を測定する。

第５計測部９５は、第２受光素子１１３、垂直方向回転アーム１１４および垂直回転駆動部１１５を含んで構成される。第５計測部９５の第２受光素子１１３は、受光面が、搬送部３４を臨む向きを除く向きとなるように配置される。つまり、第５計測部９５の第２受光素子１１３は、受光面が鉛直方向上方に向かないように配置される。第４計測台９８は、第２載置部９３の第１方向Ｘの一方側に設けられる。第４計測台９８は、基台４５から鉛直方向上方に、第２検査コレット１０２に載置される発光素子３１と水平となる位置近くまで延びる。垂直方向回転アーム１１４は、第４計測台９８の鉛直方向上端部から第２検査コレット１０２に載置される発光素子３１に水平方向に向かって延びる第２回転軸１１６と、第２回転軸１１６の第２計測台６６に接続される端部と反対側の他端部から第２回転軸１１６の延びる方向に垂直な方向に延びる垂直部１１７と、垂直部１１７の第２回転軸１１６に接続される端部と反対側の他端部から第２回転軸１１６の延びる方向に平行に延びる第２水平部１１８とを含んで構成される。第２水平部１１８の垂直部１１７に接続される端部と反対側の端部は、発光素子３１を含み、鉛直方向および第２方向Ｙに平行な仮想一平面上に位置する。第２受光素子１１３は、第２水平部１１８の垂直部１１７に接続される端部と反対側の端部に設けられる。第２回転軸１１６は、垂直回転駆動部１１５に駆動されて、第２回転軸１１６の軸線周りに回転する。第２回転軸１１６の回転に伴なって、第２受光素子１１３は、発光素子３１を含み、鉛直方向および第２方向Ｙに平行な仮想一平面上において、発光素子３１を中心とする予め定める半径の円弧上を移動する。第５計測部９５の第２受光素子１１３を、発光素子３１を含み、鉛直方向および第２方向Ｙに平行な仮想一平面上において、発光素子３１を中心とする予め定める半径の円弧上を移動させながら、発光素子３１の光強度を測定することによって、発光素子３１の垂直方向の光強度分布および放射軸の測定を行う。

第４計測部９４および第５計測部９５によって、発光素子３１の２種類の特性の測定を終えると、各測定結果は、第４計測部９４および第５計測部９５から処理部４９に与えられる。処理部４９は、第１測定部３７および第２測定部３８による発光素子３１の特性の測定結果に基づいて、発光素子３１の性能のランク分けを行う。本実施の形態では、処理部４９は、発光素子３１の特性の測定結果に基づいて、発光素子３１を、性能の良い順にＡランク，Ｂランク，Ｃランク，Ｄランクの４つのランクに分ける。たとえばまず発光素子３１を性能の良い良品と性能の悪い不良品との２つのランクに分ける。さらに、良品の発光素子３１のうち、特に性能の良い発光素子３１をＡランクとし、そうでない発光素子３１をＢランクとする。さらに、不良品の発光素子３１のうち、特に性能の悪い発光素子３１をＤランクとし、そうでない発光素子３１をＣランクとする。

収納用移動部５２は、発光素子３１を保持して、第２測定部３８から収容部４１に発光素子３１を搬送する。収納用移動部５２は、供給用移動部４８と同様の構成である。収納用移動部５２は、収納用移動部本体１２１と、鉛直方向に移動する収納コレット１２２とを含んで構成される。

収納コレット１２２は、供給コレット５７と同様の構成であり、収納コレット１２２の鉛直方向下方の表面に所定の物体を真空吸着することができる。

収納用移動部５２が、第２検査コレット１０２の表面上に配置された発光素子３１の鉛直方向上方に位置するときに、第３鉛直方向駆動部９９が収納コレット１２２を鉛直方向下方に移動させ、収納コレット１２２の鉛直方向下方側の一表面を発光素子３１に近接させる。これによって、収納コレット１２２は、発光素子３１を吸着する。次に第３鉛直方向駆動部９９が収納コレット１２２を鉛直方向上方に移動させる。収納コレット１２２が発光素子３１を吸着した状態で、移動台駆動部４６が移動台４７を第１方向Ｘの一方に移動させることによって、収納用移動部５２は、収容部４１に移動し、発光素子３１を排出位置に搬送する。

収容部４１は、収納用移動部５２によって排出位置に搬送された発光素子３１を収容する。収容部４１は、収容部本体１２３、３つ以上の回収部分、第４鉛直方向駆動部１３１、第３Ｘ方向駆動部１２４および第３Ｙ方向駆動部１２５を含んで構成される。本実施の形態では、３つ以上の回収部分は、円柱形を成す第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９から成る。収容部本体１２３は、第２方向Ｙに延びる略直方体を成す。第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９は、収容部本体１２３の鉛直方向上方の一表面上に、第２方向Ｙに予め定める間隔をあけて設けられる。第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９は、第３Ｘ方向駆動部１２４および第３Ｙ方向駆動部１２５によって、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに移動する。排出位置とは、第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９のいずれかの鉛直方向上方の表面上であって、収納用移動部５２が収容部４１の鉛直方向上方に位置するときの収納コレット１２２の鉛直方向下方の位置である。

収容部４１は、排出位置に搬送された発光素子３１を、第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９のそれぞれに一定の間隔で行・列をなして、碁盤の目状に整列させて収容する。第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９のいずれかは、第３Ｘ方向駆動部１２４および第３Ｙ方向駆動部１２５によって、発光素子３１が排出される排出位置に移動する。このとき発光素子３１を収納する度に、第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９を、前回発光素子３１を収納した位置から第１方向Ｘまたは第２方向Ｙに一定の間隔をあけて移動させることによって、発光素子３１を碁盤の目状に整列させて収容することができる。

収容部移動手段は、第３Ｘ方向駆動部１２４および第３Ｙ方向駆動部１２５を含んで実現される。

第４鉛直方向駆動部１３１は、収容部４１本体の鉛直方向上方であって、支持部材４４の鉛直方向の上端部に設けられる。第４鉛直方向駆動部１３１は、電動シリンダによって実現される。

収納用移動部５２が収容部４１に移動し、第４鉛直方向駆動部１３１の鉛直方向下方に位置すると、収納用移動部５２の収納コレット１２２は、第４鉛直方向駆動部１３１によって鉛直方向下方の排出位置に移動し、第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９のいずれかに発光素子３１を載置する。

第３Ｘ方向駆動部１２４および第３Ｙ方向駆動部１２５は、Ａランクの発光素子３１が第１収納部１２６に載置され、Ｂランクの発光素子３１が第２収納部１２７に載置され、Ｃランクの発光素子３１が第３収納部１２８に載置され、Ｄランクの発光素子３１が第４収納部１２９に載置されるように、第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９を駆動して予め定める位置に移動させる。具体的には、たとえば収納用移動部５２がＡランクと判断された発光素子３１を収容部４１に搬送してきた場合、第１収納部１２６は、収納用移動部５２の鉛直方向下方に位置するように移動する。これによって、４つにランク分けされた発光素子３１を、それぞれのランクに対応する第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９にそれぞれ振り分けることができる。

以上のように構成される本実施の形態の発光素子３１の測定装置３２によれば、供給部３３は、発光素子３１を供給用移動部４８が供給部３３の鉛直方向上方に位置するときの供給コレット５７の鉛直方向下方の供給位置に供給する。すなわち、供給部３３は、供給位置に設けられる。また収容部４１の第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９のいずれかは、発光素子３１が排出される排出位置に位置する。すなわち収容部４１は、排出位置に設けられる。したがって、測定装置３２は、供給部３３から供給位置に発光素子３１を搬送する手段、および排出位置から収容部４１に発光素子３１を搬送する手段を必要としない。これによって、供給部３３から供給位置に発光素子３１を搬送する手段、および排出位置から収容部４１に発光素子３１を搬送する手段を必要とする従来の技術の測定装置２に比べて、測定装置３２の構成を簡略化することができ、測定装置３２の設置面積を小さくすることができる。

また、供給部３３、第１測定部３７、第２測定部３８、および収容部４１は、この順で予め定める水平線上に並べられ、等間隔をあけてそれぞれ設けられる。搬送部３４は、発光素子３１が供給される供給位置および発光素子３１が排出される排出位置にわたる搬送経路に沿って発光素子３１を搬送する。すなわち、搬送部３４は、閉じた経路上で測定対象物を搬送しない。回転テーブルを用いて発光素子１を搬送する従来の技術の測定装置２は、発光素子１の測定に直接的に関与しない回転テーブルの回転軸付近の中心部分を有するが、本発明においては、搬送部３４は、閉じた経路上で発光素子３１を搬送しないので、発光素子３１の測定に直接的に関与しない回転テーブルの回転軸付近の中心部分を省略することができる。これによって、測定装置３２の設置面積を小さくすることができる。

さらに、第１〜第５計測部６１，６２，６３，９４，９５の受光部は、発光素子３１からの光を受光する受光面の向きが搬送部を臨む向きを除く向きとなるように設けられる。したがって、作業者は、搬送部に遮られることなく受光面に対峙して測定部のメンテナンスを行うことができる。

従来の技術の測定装置２のように各測定部を円周上に配置し、回転テーブルを回転させることによって発光素子１を１つの測定部から他の測定部に搬送するような測定装置２では、必然的に、発光素子１は、発光素子１からの光が回転テーブルの半径方向の外向きとなるように保持される。発光素子３１がこのように保持されるので、各測定部は、発光素子１からの光を受光する受光部の受光面が、回転テーブルの中心を向くように配置される。したがって、測定部のメンテナンスを行うときの作業面は、回転テーブルの中心に向く。従来の技術の測定装置２は、回転テーブルがあるので、作業者は、前記作業面に対峙して測定部のメンテナンスを行うことができない。したがって、従来の技術の測定装置２のメンテナンスの作業性は、低くなる。本実施の形態の発光素子３１の測定装置３２では、作業者が受光面に対峙して各測定部のメンテナンスを行うことができるので、回転テーブルを用いて発光素子を搬送するような従来の技術の測定装置２に比べて、各測定部のメンテナンスの作業性が高くなる。

さらに、処理部４９は、第１撮像部６４および第２撮像部９６がそれぞれ作成した第１検査コレット７１上の発光素子３１の画像データおよび第２検査コレット１０２上の発光素子３１の画像データに基づいて、第１検査コレット７１および第２検査コレット１０２上の発光素子３１の載置状態を検出する。第１検査コレット７１および第２検査コレット１０２は、この発光素子３１の載置状態の検出結果に基づいて移動し、発光素子３１の特性の測定に適した予め定める位置に発光素子３１を移動するので、発光素子３１がどのような状態で第１検査コレット７１および第２検査コレット１０２に載置されたとしても、確実に発光素子３１の特性の測定に適した予め定める位置に発光素子３１を移動することができる。これによって、精度良く発光素子３１の特性の測定を行うことができる。

また第１検査コレット７１および第２検査コレット１０２が移動することによって発光素子を移動するので、発光素子３１を機械的に保持して発光素子３１を移動する必要がなくなる。これによって、発光素子３１に機械的な応力による損傷を与えることなく、発光素子３１の特性の測定に適した予め定める位置に発光素子３１を移動することができる。

さらに、第１測定部３７は、第１〜第３計測部６１，６２，６３を有し、第２測定部３８は、第４計測部９４および第５計測部９５を有するので、２つの測定部によって発光素子３１の５つの特性を測定を行うことができる。つまり測定部の数よりも多くの数の発光素子３１の特性の測定を行うことができる。したがって、各測定部に各１つの計測部を有し、測定項目と同数の測定部を必要とする従来の技術の測定装置２に比べて、測定装置３２を小形化することができる。さらに、測定項目の数よりも、測定部の数を少なくすることができるので、測定装置３２の構成を簡略化することができる。

さらに、第１測定部３７の有する第１〜第３計測部６１，６２，６３は、第２測定部３８の有する第４計測部９４および第５計測部９５とは異なる。これによって、各測定部に各１つの計測部を有し、測定項目と同数の測定部を必要とする従来の技術の測定装置２に比べて、測定装置３２を小形化することができる。さらに、測定項目の数よりも、測定部の数を少なくすることができるので、測定装置３２の構成を簡略化することができる。

さらに、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、移動台４７に設けられ、移動台４７の移動に伴なって移動する。この移動台４７は、伝達部を介して移動台駆動部４６から与えられる駆動力によって移動する。すなわち、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、１つの移動台駆動部４６からの駆動力によって移動する。したがって、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２をそれぞれ駆動する３つの駆動部を有する測定装置の構成に比べて、測定装置３２の構成を簡略化することができ、測定装置の小形化を実現することができる。

さらに、発光素子３１に電圧を印加する第１電圧印加部３５および第２電圧印加部３６は、移動台４７に設けられ、移動台４７の移動に伴なって移動する。この移動台４７は、伝達部を介して移動台駆動部４６から与えられる駆動力によって移動する。すなわち、第１電圧印加部３５および第２電圧印加部３６は、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２を駆動する１つの移動台駆動部４６からの駆動力によって移動する。したがって、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２を駆動する駆動部とは異なる駆動部によって第１電圧印加部３５および第２電圧印加部３６を駆動する測定装置の構成に比べて、測定装置３２の構成を簡略化することができ、測定装置３２の小形化を実現することができる。

また、第１電圧印加部３５によって発光素子３１に電圧を印加することによって、第１〜第３計測部６１，６２，６３による測定を行い、第２電圧印加部３６によって発光素子３１を印加することによって、第４計測部９４および第５計測部９５による測定を行う。つまり第１電圧印加部３５を３つの特性の測定に共用し、第２電圧印加部３６を２つの特性の測定に共用する。これによって、発光素子３１の特性の測定項目の数よりも電圧印加部を少なくすることができる。したがって、各測定部にそれぞれ１つの計測部しかなく、各測定部に対してそれぞれ１つの電圧印加部を有する従来の技術の測定装置に比べて、電圧印加部の数を少なくすることができ、測定装置３２の構成を簡略化することができる。これによって測定装置３２の小形化を実現することができる。さらに電圧印加部の数が少ないので、電圧印加部のコンタクトプローブのメンテナンス作業を少なくすることができる。

さらに、複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、発光素子３１の温度を調整する温度調整部を有する。具体的には、第２測定部３８は、ヒータを有する。したがって、第２測定部３８の第４計測部９４および第５計測部９５によって、発光素子の光特性および電気特性の温度依存性を測定することができる。

また、ヒータを有する第２測定部３８は、第４計測部９４および第５計測部９５を有するので、１つのヒータによって、２つの発光素子３１の特性の測定の温度依存性を得ることができる。したがって、測定項目の数と同数のヒータを必要とする従来の技術の測定装置２に比べて、ヒータの数を抑制することができ、測定装置３２を作成するコストを低減することができる。

さらに、収納用移動部５２は、第１測定部３７および第２測定部３８の測定結果に基づいて、第１〜第４収納部１２６，１２７，１２８，１２９のいずれか１つに発光素子３１を搬送する。収納部は、３つ以上あるので、測定結果に基づいて発光素子を単に良品と不良品との２つに選別するのではなく、発光素子３１を４つのランクに分けることができる。これによって、たとえば良品の中で特に性能の良い発光素子３１と、良品の中で性能の悪い発光素子３１とを選別することができる。

さらに、第２鉛直方向駆動部６７は、供給用移動部４８の供給コレット５７、第１電圧印加部３５の第１コンタクトプローブ７７および搬送用移動部５１の搬送コレット９２を鉛直方向に移動させ、第３鉛直方向駆動部９９は、搬送用移動部５１の搬送コレット９２、第２電圧印加部３６の第２コンタクトプローブ１０７、および収納用移動部５２の収納コレット１２２を鉛直方向に移動させる。このように供給コレット５７、第１コンタクトプローブ７７および搬送コレット９２を鉛直方向に移動させる駆動力を１つの第２鉛直方向駆動部６７から与え、搬送コレット９２、第２コンタクトプローブ１０７、および収納コレット１２２を鉛直方向に移動させる駆動力を１つの第３鉛直方向駆動部９９から与えるので、それぞれのコレットおよびコンタクトプローブを専用の駆動部によって鉛直方向に移動する装置に比べて、測定装置３２の構成を簡略化することができる。

さらに、供給用移動部４８、搬送用移動部５１および収納用移動部５２は、移動台４７の移動に伴なって同時に移動するので、供給部３３から第１測定部３７への発光素子３１の搬送と、第１測定部３７から第２測定部３８への発光素子３１の搬送と、第２測定部３８から収容部４１への発光素子３１の搬送とを並列して行うことができる。これによってタクトタイムを短縮することができる。

さらに、第１〜第５計測部６１，６２，６３，９４，９５は、それぞれが測定位置に移動することによって、発光素子３１の特性を測定する。従来の技術の測定装置２のように、発光素子３１を保持する複数のクランプ部が各測定部移動して発光素子３１の特性を測定する場合、各クランプ部に保持される発光素子３１の保持位置を、全て同じにしない限り、発光素子３１の特性の測定結果にばらつきが生じる。また各クランプ部に保持される発光素子３１の保持位置を全て同じに調整するために手間がかかる。また複数のクランプ部を必要とするため装置のコストが高くなる。本発明の測定装置３２は、発光素子３１を保持するクランプ部が移動するのではなく、第１〜第５計測部６１，６２，６３，９４，９５がそれぞれ測定位置に移動することによって発光素子３１の特性を測定するので、発光素子３１の保持位置を調整する必要がなく、発光素子３１の特性の測定結果がばらつかず、精度の高い測定を行うことができる。

本発明の実施の一形態の電子部品の測定装置３２の正面図である。 電子部品の測定装置３２の平面図である。 測定装置３２の構成を示す機能ブロック図である。 供給用移動部４８が、第１測定部３７に移動したときの測定装置３２の正面図である。 発光素子３１の位置決め前の第１検査コレット７１上の発光素子３１を表す図である。 発光素子３１の位置決め後の第１検査コレット７１上の発光素子３１を表す図である。 第１電圧印加部３５が、第１検査コレット７１の鉛直方向上方に位置するときの測定装置３２の正面図である。 第１の従来の技術の発光素子１の測定装置２を示す平面図である。

符号の説明

３１ 発光素子
３２ 測定装置
３３ 供給部
３４ 搬送部
３５ 第１電圧印加部
３６ 第２電圧印加部
３７ 第１測定部
３８ 第２測定部
４１ 収容部
４６ 移動台駆動部
４７ 移動台
４８ 供給用移動部
４９ 処理部
５１ 搬送用移動部
５２ 収納用移動部
５５ 第１鉛直方向駆動部
６１ 第１計測部
６２ 第２計測部
６３ 第３計測部
６４ 第１撮像部
６７ 第２鉛直方向駆動部
７１ 第１検査コレット
９４ 第４計測部
９５ 第５計測部
９６ 第２撮像部
１０２ 第２検査コレット
１２６ 第１収納部
１２７ 第２収納部
１２８ 第３収納部
１２９ 第４収納部
１３１ 第４鉛直方向駆動部

Claims (10)

1. 測定対象物が供給される供給位置に設けられ、測定対象物を供給位置に供給する供給部と、
   測定対象物が排出される排出位置に設けられ、排出位置に配置された測定対象物を回収する回収部と、
   供給位置および排出位置にわたる搬送経路に沿って配置され、測定対象物の測定を行う複数の測定部と、
   供給位置と供給部に最も近接して配置される測定部との間、相互に隣接して配置される測定部の間、および排出位置に最も近接して配置される測定部と排出位置との間で測定対象物を搬送する搬送部とを含むことを特徴とする電子部品の測定装置。
2. 前記測定部は、
   搬送部によって搬送される測定対象物が載置される載置台と、
   前記載置台に載置された測定対象物の載置状態を検出する載置状態検出手段と、
   載置状態検出手段の検出結果に基づいて、測定対象物の測定を行うための予め定める測定位置に測定対象物を配置するように載置台を移動可能な載置台移動手段とを有することを特徴とする請求項１記載の電子部品の測定装置。
3. 前記複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、測定対象物の互いに異なる特性を計測する複数の計測部を有することを特徴とする請求項１または２記載の電子部品の測定装置。
4. 前記複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、この測定部を除く残余の測定部が有する計測部とは異なる測定対象物の特性を計測する計測部を少なくとも１つ有することを特徴とする請求項３記載の電子部品の測定装置。
5. 前記搬送部は、
   供給位置に最も近接して配置される測定部に供給位置から測定対象物を移動する第１移動部と、
   相互に隣接して配置される測定部の間で測定対象物を移動する第２移動部と、
   排出位置に最も近接して配置される測定部から排出位置に測定対象物を移動する第３移動部と、
   第１〜第３移動部を駆動する駆動部と、
   駆動部からの駆動力を第１〜第３移動部へそれぞれ伝達する伝達部とを有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電子部品の測定装置。
6. 前記駆動部に駆動されて移動し、測定対象物に電圧を印加する電圧印加部を有し、
   前記伝達部は、前記駆動部からの駆動力を電圧印加部に伝達することを特徴とする請求項５記載の電子部品の測定装置。
7. 前記複数の測定部のうちの少なくともいずれか１つは、測定対象物の温度を調整する温度調整部を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電子部品の測定装置。
8. 前記回収部は、
   ３つ以上の回収部分と、
   測定部の測定結果に基づいて、３つ以上の回収部分のいずれか１つを前記排出位置に移動する回収部移動手段とを有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の電子部品の測定装置。
9. 測定対象物が供給される供給位置に設けられ、測定対象物を供給位置に供給する供給部と、
   測定対象物が排出される排出位置に設けられ、排出位置に配置された測定対象物を回収する回収部と、
   測定対象物を載置する載置台を有し、供給位置および排出位置にわたる搬送経路に沿って配置され、測定対象物の測定を行う複数の測定部と、
   供給位置と供給部に最も近接して配置される測定部との間、相互に隣接して配置される測定部の間、および排出位置に最も近接して配置される測定部と排出位置との間で測定対象物を搬送する搬送部とを含む電子部品の測定装置における電子部品の測定方法であって、
   前記搬送部によって前記測定部に測定対象物を搬送して、載置台に測定対象物を載置し、
   前記載置台に載置された測定対象物の載置状態を検出し、
   測定対象物の載置状態に基づいて、測定対象物の測定を行うための予め定める測定位置に測定対象物を配置するように載置台を移動して、測定対象物を測定することを特徴とする電子部品の測定方法。
10. 前記回収部は、３つ以上の回収部分を有し、
    測定対象物を測定した後、測定結果に基づいて、３つ以上の回収部分のいずれか１つを前記排出位置に移動することを特徴とする請求項９記載の電子部品の測定方法。

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