JP2007070734A - ダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】膜厚が50〜400ÅのDLC膜をプラスチック容器の内壁面に形成する。DLC膜は、プラスチック容器5の外側に配置された外電極と、プラスチック容器5の内側に配置された内電極11と、減圧されたプラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給する管路12と、原料ガスの供給後、外電極および内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることによりプラスチック容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する高周波発振器9と、を備え、外電極は、プラスチック容器の底部に沿って配置される底部電極4と、プラスチック容器の胴部に沿って配置される胴部電極3と、を備えるとともに、底部電極の上端はプラスチック容器の上下端の中央位置よりも下方に位置付けられた製造装置を用いて形成できる。
【選択図】図1
Description
次に、上記装置を用いて、500mlのPETボトルの内壁面にDLC膜を形成したときの条件および評価結果について説明する。
次に、図6を参照して、上記装置により500mlのPETボトルの内壁面に実施例1よりも薄いDLC膜を形成したときの条件および評価結果について説明する。実施例2では、プラズマ時間を比較的短い時間に設定することにより、形成されるDLC膜の膜厚を小さくしている。
以下、図8を参照して、500mlのPETボトルの内壁面に上記装置を用いて形成されたDLC膜の密度について説明する。
以下、図9を参照して、500mlのPETボトルの内壁面に上記装置を用いて形成されたDLC膜の水素含量について説明する。
3 胴部電極
4 底部電極
5 プラスチック容器
8 整合器
9 高周波発振器
11 内電極
12 管路
100 ペットボトル
Claims (17)
- プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第1の電極と、前記プラスチック容器の胴部に沿って配置される第2の電極と、を備えるとともに、前記第1の電極の上端は前記プラスチック容器の上下端の中央位置よりも下方に位置付けられており、かつ、前記第1の電極と前記第2の電極とは容量結合しており、かつ、前記電源装置の出力が前記第1の電極のみに接続されていることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
- 前記電源装置は、容量結合によって、前記第2の電極に前記第1の電極よりも低い電力を印加することを特徴とする請求項1に記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
- 前記外電極は、前記第2の電極の上方に設けられ、前記プラスチック容器の肩部に沿って配置される第3の電極を備え、前記第1の電極と前記第2の電極と前記第3の電極とは上下同士でそれぞれ容量結合しており、かつ、前記電源装置の出力が前記第1の電極のみに接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
- プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第1の電極と、前記プラスチック容器の胴部に沿って配置される第2の電極と、前記プラスチック容器の肩部に沿って配置される第3の電極と、を備えるとともに、前記第1の電極と前記第2の電極と前記第3の電極とは上下同士でそれぞれ容量結合しており、かつ、前記電源装置の出力が前記第1の電極のみに接続されていることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
- 前記電源装置は、容量結合によって、前記第2の電極に前記第1の電極よりも低い電力を印加することを特徴とする請求項4に記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
- プラスチック容器の外側に配置された外電極と、前記プラスチック容器の内側に配置された内電極と、前記プラスチック容器内を減圧する真空手段と、前記真空手段によって減圧された前記プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給するガス供給手段と、前記ガス供給手段による前記原料ガスの供給後、前記外電極および前記内電極の間に電圧を印加してプラズマを発生させることにより前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する電源装置と、を備え、前記外電極は、前記プラスチック容器の底部に沿って配置される第1の電極と、該第1の電極の上部に配置される第2の電極と、該第2の電極の上部に配置される2以上の電極と、を備えるとともに、前記外電極である各電極は上下同士でそれぞれ容量結合しており、かつ、前記電源装置の出力が前記第1の電極のみに接続されていることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
- プラスチック容器の底部に沿って該プラスチック容器の上下端の中央位置よりも下方に外電極の一部を構成する第1の電極の上端が位置するように該第1の電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の胴部に沿って前記外電極の一部を構成する第2の電極を該プラスチック容器の外側に配置し、前記第1の電極と前記第2の電極とを容量結合させ、該プラスチック容器の内側に内電極を配置し、該プラスチック容器内を排気した後、該プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給し、前記第1の電極のみに電源装置の出力を接続して電力を供給することによって前記第1の電極と前記第2の電極、及び前記内電極との間に電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成させることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- 容量結合によって、前記第2の電極に前記第1の電極よりも低い電力を印加することを特徴とする請求項7記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- プラスチック容器の底部に沿って外電極の一部を構成する第1の電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の胴部に沿って外電極の一部を構成する第2の電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の肩部に沿って外電極の一部を構成する第3の電極を該プラスチック容器の外側に配置し、前記第1の電極と前記第2の電極と前記第3の電極とを上下同士でそれぞれ容量結合させ、該プラスチック容器の内側に内電極を配置し、該プラスチック容器内を排気した後、該プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給し、前記第1の電極のみに電源装置の出力を接続して電力を供給することによって前記第1の電極、前記第2の電極と前記第3の電極、及び前記内電極との間に電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成させることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- プラスチック容器の底部に沿って外電極の一部を構成する第1の電極を該プラスチック容器の外側に配置し、該プラスチック容器の外側に沿って該第1の電極の上部に外電極の一部を構成する第2の電極を配置し、該プラスチック容器の外側に沿って該第2の電極の上部に外電極の一部を構成する2以上の電極を配置し、前記外電極である各電極を上下同士でそれぞれ容量結合させ、該プラスチック容器の内側に内電極を配置し、該プラスチック容器内を排気した後、該プラスチック容器の内側に炭素源の原料ガスを供給し、前記第1の電極のみに電源装置の出力を接続して電力を供給することによって前記第1の電極、前記第2の電極と前記第2の電極の上部に配置した前記2以上の電極、及び前記内電極との間に電圧を印加してプラズマを発生させ、前記プラスチック容器の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成させることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- 容量結合によって、前記第1の電極以外の外電極に前記第1の電極よりも低い電力を印加することを特徴とする請求項9又は10記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- 内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性プラスチック容器であって、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚が50〜400Åで密度が1.2〜1.59g/cm3の範囲にあることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器。
- 内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性プラスチック容器であって、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚が50〜400Åで密度が1.2〜1.48g/cm3の範囲にあることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器。
- 前記ダイヤモンドライクカーボン膜の水素含量が16〜52水素原子%の範囲にあることを特徴とする請求項12又は13に記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器。
- 内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性プラスチック容器であって、前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚が232〜432Åで密度が1.39〜1.46g/cm3の範囲にあることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器。
- 内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性プラスチック容器であって、前記ガスバリア性プラスチック容器の底部における前記ダイヤモンドライクカーボン膜の膜厚が215〜304Åで密度が1.48〜1.59g/cm3の範囲にあることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器。
- 請求項1、2、3、4、5又は6に記載のダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器の製造装置を使用して製造したことを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜コーティングプラスチック容器。
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WO2010095011A1 (en) | 2009-02-18 | 2010-08-26 | Council Of Scientific & Industrial Research | Process to deposit diamond like carbon as protective coating on inner surface of a shaped object. |
RU2493478C2 (ru) * | 2008-05-28 | 2013-09-20 | Твистер Б.В. | Противообледенительное покрытие и его применение |
KR101446118B1 (ko) | 2012-12-27 | 2014-10-06 | 한국기초과학지원연구원 | 스월 형태의 플라즈마 내부로 개질 대상 물질의 주입이 용이한 플라즈마 반응기 |
EP3415302A1 (en) | 2017-06-15 | 2018-12-19 | Shibuya Corporation | Surface treatment method and surface treatment device for resin vessel |
-
2006
- 2006-11-21 JP JP2006314691A patent/JP2007070734A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2493478C2 (ru) * | 2008-05-28 | 2013-09-20 | Твистер Б.В. | Противообледенительное покрытие и его применение |
WO2010095011A1 (en) | 2009-02-18 | 2010-08-26 | Council Of Scientific & Industrial Research | Process to deposit diamond like carbon as protective coating on inner surface of a shaped object. |
EP2589680A1 (en) | 2009-02-18 | 2013-05-08 | Council of Scientific & Industrial Research | Apparatus for the deposition of diamondlike carbon as protective coating on an inner surface of a shaped object |
KR101446118B1 (ko) | 2012-12-27 | 2014-10-06 | 한국기초과학지원연구원 | 스월 형태의 플라즈마 내부로 개질 대상 물질의 주입이 용이한 플라즈마 반응기 |
EP3415302A1 (en) | 2017-06-15 | 2018-12-19 | Shibuya Corporation | Surface treatment method and surface treatment device for resin vessel |
US11370572B2 (en) | 2017-06-15 | 2022-06-28 | Shibuya Corporation | Surface treatment method and surface treatment device for resin vessel |
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