JP2007065261A - 反射鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基材11と、窒化ケイ素、酸化ケイ素および酸窒化ケイ素からなる群から選ばれる1種からなるケイ素化合物膜14と、基材11とケイ素化合物膜14との間に設けられた銀または銀合金からなる銀膜13と、ケイ素化合物膜14上にプラズマ処理を施すことによって形成された炭化水素膜15と、必要に応じて基材11と銀膜13との間に設けられた酸化物からなる下地膜12とを有する反射鏡10。
【選択図】 図1
Description
炭化水素膜は、プラズマCVD法により形成された膜であることが好ましい。
原料ガスは、メタンガス、エタンガス、プロパンガス、アセチレンガスおよびエチレンガスからなる群から選ばれる1種以上であることが好ましい。
酸化物は、TiOx (1.5≦x<2)で表される酸化チタンであることが好ましい。
銀膜の膜厚は、60〜300nmであり、ケイ素化合物膜の膜厚は、2〜20nmであることが好ましい。
炭化水素膜の膜厚は、0.5〜20nmであることが好ましい。
下地膜の膜厚は、1〜50nmであることが好ましい。
図1は、本発明の反射鏡の一例を示す断面図である。反射鏡10は、基材11と、該基材11上に設けられた下地膜12と、該下地膜12上に設けられた銀膜13と、該銀膜13上に設けられたケイ素化合物膜14と、該ケイ素化合物膜14上に設けられた炭化水素膜15とを有するものである。
基材11の材質としては、たとえば、ガラス;ポリエチレンテレフタレート、アクリル樹脂、ポリカーボネート等のプラスチック等が挙げられる。
基材の形状は、平面、拡散面、凹面、凸面、台形等、各種の反射鏡の基材として求められる形状であればよい。
基材11としては、軽量化できる点で、プラスチックのフィルムが特に好ましい。
基材11の厚さは、平面形状である場合、30〜500μmが好ましい。
基材11は、フィルムである場合、下地膜12、銀膜13等との密着性を向上させるために、プラズマ処理等が施されていてもよい。
下地膜12は、酸化物からなる膜である。下地膜12を設けることにより、これに接する基材11と銀膜13との密着性を高めることができ、その結果、反射鏡10の耐湿性をさらに向上できる。
酸化物としては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化アルミニウム、酸化クロム、酸化ニオブ等が挙げられる。これらのうち、密着性の点から、酸化チタンが好ましく、TiOx (1.5≦x<2)で表される、酸素欠損を有する酸化チタンが特に好ましい。
下地膜12の膜厚は、1〜50nmが好ましく、3〜15nmが特に好ましい。下地膜12の膜厚が1nm未満では、基材11と銀膜13との密着性を向上させる効果が現れにくい。下地膜12の膜厚が50nmを超えると、下地膜12表面の凹凸が大きくなり、反射率が低くなったり、内部応力が高くなるため密着性が低下したりするおそれがある。膜厚は、物理膜厚であり、物理膜厚は、エリプソメーター、触針式段差計等により求めることができる。
銀膜13は、銀または銀合金からなる膜であり、光を反射させる反射膜としての役割を果たす。反射膜を銀膜13とすることにより、反射鏡10の可視光領域の反射率を高め、入射角による反射率の依存性を低減させることができる。可視光領域とは、400〜700nmの波長領域を意味する。また、入射角とは、膜面に対して垂直な線に対する角度を意味する。
銀膜13が銀合金からなる膜である場合、銀は、銀膜13における銀とその他の金属との合計(100原子%)中、90〜99.8原子%が好ましい。また、その他の金属は、耐久性の点から0.2〜10原子%が好ましい。
ケイ素化合物膜14は、窒化ケイ素、酸化ケイ素および酸窒化ケイ素からなる群から選ばれる1種からなる膜であり、これに接する銀膜13の変質を抑え、その結果、反射鏡10の耐湿性、耐硫黄性を向上させる膜である。
ケイ素化合物膜14は、化学気相成長法(以下、CVD法と記す。)により製膜された窒化ケイ素膜であることが好ましい。CVD法により製膜された窒化ケイ素膜は、スパッタ法により製膜された窒化ケイ素膜に比べ、膜応力が低い、複雑形状へのカバレッジがよい、ガスバリア性能が高い等の利点を有する。この結果、反射鏡10の耐硫黄性が向上する。
炭化水素膜15は、反射鏡10の最表面に設けられる、炭化水素からなる膜である。炭化水素膜15を設けることにより、反射鏡10の耐湿性、耐硫黄性をさらに向上できる。
耐硫黄性の向上する理由としては、詳細には解明できてはいないが、以下のとおりであると考えられる。すなわち、炭化水素中の炭素原子と硫化水素等の含硫黄分子中の硫黄原子との吸着エネルギーが低いため、その結果、炭化水素膜15表面に含硫黄分子が付着しにくくなり、耐硫黄性が向上しているものと考えられる。
炭化水素膜15の膜厚は、0.5〜20nmが好ましく、1〜5nmが特に好ましい。炭化水素膜15の膜厚が0.5nm未満であると、ガスバリア性が低下する。炭化水素膜15の膜厚が20nmを超えると、反射率が低くなるおそれがある。
反射鏡10は、基材11上に、各膜を順次、スパッタ法、CVD法、プラズマ処理等により製膜することにより得られる。
下地膜12用のターゲットとしては、酸化性ガスを実質的に含まない雰囲気下で酸化物膜を製膜できる点で、酸化物ターゲットが好ましい。酸化物ターゲットとしては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム、酸化アルミニウム、酸化クロムおよび酸化ニオブからなる群から選ばれる1種以上を含むターゲットが挙げられる。
DCスパッタ法で下地膜12を製膜する場合、高速で製膜できる点で、酸素欠損ターゲットが好ましい。酸素欠損ターゲットとしては、たとえば、TiOx (1.5≦x<2.0)として表されるものが挙げられる。
銀ターゲットとしては、銀を95質量%以上含有するターゲットが好ましい。銀合金ターゲットとしては、銀を95〜99.7質量%含有し、その他の金属を0.3〜5.0質量%含有するターゲットが好ましい。
CVD法は、原料ガスに、熱または光によってエネルギーを与えたり、高周波でプラズマ化したりすることにより、原料ガスを反応させ、反応物の膜を析出させる方法である。
原料ガスとしては、シランガスとアンモニアガスとの混合ガス等が挙げられる。
プラズマCVD装置内の圧力が0.1Pa未満では、放電維持が困難となる。プラズマCVD装置内の圧力が1000Paを超えると、アーク放電が起こり、均一性よく製膜できない。
高周波の周波数が100kHz未満では、充分なプラズマ密度が得られず、得られる膜のバリア性能が不充分となる。高周波の周波数が100MHzを超えると、プラズマの均一性が悪く、基材が発熱する。
電力密度が0.1W/cm2 未満では、プラズマ密度があがらず、5W/cm2 を超えると、熱負荷がかかる。
真空槽内に、基材として、アクリルハードコートを施した平坦なポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ:50μm)を配置した。
ターゲットとして、TiOx 酸素欠損ターゲット(商品名「TXO」、旭硝子セラミックス社製)、金を添加した銀合金ターゲット(金含有率1質量%、銀の含有率99質量%)を、それぞれカソード上部の基材に対向するように設置した。真空槽内を2×10-5Paまで排気した。
得られた反射鏡について、以下の評価を行った。結果を表1〜3に示す。また、耐硫化水素試験後の反射鏡の膜面側の写真を図2に示す。
反射鏡を50mm×100mmに切り出しサンプルに供した。温度60℃、相対湿度90%の雰囲気中にサンプルを100時間放置し、放置後の膜剥離および腐食の有無を確認した。
○:膜の剥離もなく、腐食の検出も見られなかった。
×:膜に剥離および/または腐食の検出が見られた。
反射鏡を50mm×100mmに切り出しサンプルに供した。温度85℃、相対湿度30%以下の雰囲気中にサンプルを100時間放置し、放置後の膜剥離および腐食の有無を確認した。
○:膜の剥離もなく、腐食の検出も見られなかった。
×:膜に剥離および/または腐食の検出が見られた。
反射鏡を50×100mmに切り出しサンプルに供した。10ppmの硫化水素を導入し、温度50℃、相対湿度80%の雰囲気中に100時間サンプルを放置し、放置後の視感反射率、膜剥離および腐食の有無(外観)を確認した。
膜剥離および腐食の有無(外観)については、以下の基準で評価した。
○:膜の剥離もなく、腐食の検出も見られなかった。
×:膜に剥離および/または腐食の検出が見られた。
カラーアナライザー(TOPSCAN、東京電色社製)を用いて膜面側の反射率を測定し、JIS Z 8701(1982年)に規定する三刺激値の色度Yを計算により求め、視感反射率とした。測定は正反射光および拡散光の両方を測定することにより測定するSCI方式で行った。視感反射率は製膜直後、高温耐湿試験後、高温試験後、および耐硫化水素試験後に測定した。
窒化ケイ素膜上に炭化水素膜を形成しない以外は、実施例1と同様にして反射鏡を得た。
得られた反射鏡について、実施例1と同様の方法で評価した。結果を表1〜3に示す。また、耐硫化水素試験後の反射鏡の膜面側の写真を図3に示す。
11 基材
12 下地膜
13 銀膜
14 ケイ素化合物膜
15 炭化水素膜
Claims (9)
- 基材と、
窒化ケイ素、酸化ケイ素および酸窒化ケイ素からなる群から選ばれる1種からなるケイ素化合物膜と、
基材とケイ素化合物膜との間に設けられた銀または銀合金からなる銀膜と、
ケイ素化合物膜上にプラズマ処理を施すことによって形成された炭化水素膜と
を有する反射鏡。 - 炭化水素膜が、プラズマCVD法により形成された膜である、請求項1に記載の反射鏡。
- 炭化水素膜が、基材温度を−20〜150℃とし、0.1〜1000Paの圧力下、100kHz〜100MHzの高周波を電力密度0.1〜5W/cm2 で原料ガスに印加して原料ガスをプラズマ化し、原料ガスの反応物をケイ素化合物膜上に析出させることにより形成された膜である、請求項1または2に記載の反射鏡。
- 原料ガスが、メタンガス、エタンガス、プロパンガス、アセチレンガスおよびエチレンガスからなる群から選ばれる1種以上である、請求項3に記載の反射鏡。
- 基材と銀膜との間に設けられた酸化物からなる下地膜をさらに有する、請求項1〜4のいずれかに記載の反射鏡。
- 酸化物が、TiOx (1.5≦x<2)で表される酸化チタンである、請求項5に記載の反射鏡。
- 銀膜の膜厚が、60〜300nmであり、
ケイ素化合物膜の膜厚が、2〜20nmである、請求項1〜6のいずれかに記載の反射鏡。 - 炭化水素膜の膜厚が、0.5〜20nmである、請求項1〜7のいずれかに記載の反射鏡。
- 下地膜の膜厚が、1〜50nmである、請求項5に記載の反射鏡。
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