JP2007035765A - Tray for sheet transfer and tray magazine - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tray for sheet transfer that is the one capable of mounting sheet-shaped articles one by one and storing them in a piled state of a plurality of the articles, and prevents dust originating from the tray from occurring even in piling, and to provide a tray magazine for holding the tray. <P>SOLUTION: A suction hole 20a penetrating upper and lower directions is formed at a prescribed position at the upper and lower piled sections of the tray 1 for sheet transfer. The upper and lower piled sections are composed of resin blocks 8 made of materials for cleaning. Further, the tray 1 is sucked from the suction hole 20a of the tray at the lowest or highest stage in the tray magazine for holding the tray 1 for sheet transfer in the piled state. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、薄板状の物品を１枚ずつ載置して搬送するトレイに関する。特に、搬送の際にトレイからダストが発生せず、搬送する薄板状の物品（枚葉）を汚染することのない枚葉搬送用トレイに関する。   The present invention relates to a tray on which thin plate-like articles are placed and conveyed one by one. In particular, the present invention relates to a single-wafer carrying tray that does not generate dust from the tray during conveyance and does not contaminate the thin plate-like article (sheet) to be conveyed.

例えば薄型表示装置の製造工程等において、ガラス基板に代表される薄板状の物品を搬送する技術が必要となっている。薄板状の物品は捻れや撓み等の変形が発生しやすく、搬送中に変形が原因で周囲に接触して表面に傷が付いたり、破損してしまう恐れがある。このため搬送には、薄板状の物品を変形させずに載置できる専用の容器が用いられる。   For example, in a manufacturing process of a thin display device or the like, a technique for transporting a thin plate-like article represented by a glass substrate is required. A thin plate-shaped article is likely to be deformed such as twisting and bending, and may be damaged or damaged on the surface due to deformation during transportation. For this reason, a dedicated container capable of placing a thin plate-shaped article without being deformed is used for conveyance.

薄板状の物品を、１枚ずつ個別の容器に載置して搬送することで、搬送中の物品の変形を防止することができる。しかしこのような搬送形態では、搬送途中で一時保管を行う場合に、保管スペースを広く占めてしまうという問題があった。また、別の場所にまとめて移送したい場合にも手間がかかるという問題があった。   By placing and transporting thin plate-like articles one by one in individual containers, it is possible to prevent deformation of the articles being conveyed. However, in such a transport mode, there is a problem that the storage space is occupied widely when temporary storage is performed during the transport. In addition, there is a problem that it takes time and effort to transport the materials collectively to another location.

そこで、薄板状の物品を個別に載置可能であり、且つ一時保管や別の場所への移送の際には容器同士を積み重ねることのできる容器が考案された。しかしながら、これらの容器には、容器内にダストが蓄積したり、積み重ねる際に自身からダストが発生して載置した物品を汚染してしまうという問題が発生した。また、積み重ねた場合の全体の重量が重くなり、保管や運搬が不便であるという問題があった。   In view of this, a container has been devised in which thin plate-like articles can be individually placed and the containers can be stacked at the time of temporary storage or transfer to another place. However, in these containers, there is a problem that dust accumulates in the containers or dust is generated from the containers when they are stacked to contaminate the placed article. In addition, there is a problem that the total weight when stacked is inconvenient, and storage and transportation are inconvenient.

このような問題点を克服すべく、薄板状の物品を搬送するために、複数枚の物品を一度に収容するカセットが考案された。しかし、このようなカセットを用いて装置間の搬送を行う場合には、物品を投入する各装置の入り口に、薄板状の物品をカセットから取り出して投入するための専用の投入ロボットが必要となった。   In order to overcome such problems, a cassette for accommodating a plurality of articles at a time has been devised in order to transport thin-plate articles. However, when transporting between apparatuses using such a cassette, a dedicated loading robot is required at the entrance of each apparatus for loading articles to take out and load the thin plate-shaped articles from the cassette. It was.

薄型表示装置等は、クリーンルーム内で製造されることが多く、クリーンルーム内の搬送が必要となる。クリーンルーム内の各製造装置にガラス基板を投入するためには、ダストの発生が極めて少なく、且つ無人運転が可能なクリーンルーム対応の投入ロボットが必要とされる。このような投入ロボットは非常に高価であり、搬送システムの導入コストの増大を招いていた。   Thin display devices and the like are often manufactured in a clean room and need to be transported in the clean room. In order to throw a glass substrate into each manufacturing apparatus in a clean room, a throwing robot corresponding to a clean room that generates very little dust and can be operated unattended is required. Such a feeding robot is very expensive, which has led to an increase in the introduction cost of the transfer system.

また、近年、薄型表示装置の急激な大型化が進んでおり、表示装置に使用される大型のガラス基板の重量は、１枚が数十キログラムとなっている。更に、大型のガラス基板を収容するカセットには相当の強度が要求されているために、カセット自体の重量が大きくなっている。通常、搬送には２０枚から４０枚のガラス基板を収容して一度に搬送する箱状のカセットが用いられているが、ガラス基板を収容したカセットの総重量は、１トンを超える場合がある。   In recent years, the size of thin display devices has been increasing rapidly, and the weight of a large glass substrate used in a display device is several tens of kilograms. Furthermore, since the cassette which accommodates a large glass substrate is required to have a considerable strength, the weight of the cassette itself is increased. Normally, a box-shaped cassette that accommodates 20 to 40 glass substrates and conveys them at a time is used for conveyance, but the total weight of the cassette that accommodates glass substrates may exceed 1 ton. .

大型化して重いガラス基板を投入するためのロボットが、更に高価なものとなっているばかりか、総重量が１トン前後のカセットを工程と工程の間で搬送するためにはクレーンが必要になっている。これらの設備が必要なために、カセットを使用する搬送システムでは、搬送する物品の大型化に伴って著しくシステムの導入コストが増大し、問題となっている。   Robots for loading heavy glass substrates with larger sizes are becoming more expensive, and cranes are required to transport cassettes with a total weight of around 1 ton between processes. ing. Since these facilities are necessary, in the transport system using the cassette, the introduction cost of the system is remarkably increased with the increase in size of articles to be transported, which is a problem.

また、１トン前後のカセットを人力で搬送することが非常に困難になってきたために、投入ロボットやクレーンが調整や修理のために停止したとき、ガラス基板の搬送が中断してしまう可能性がでてきた。このため、従来の搬送システムにおいては、投入ロボットやクレーンの停止によって薄型表示装置の製造工程が停止してしまい、製造工程全体の稼働率の低下を招く恐れがある。   In addition, since it has become very difficult to manually transport cassettes of about 1 ton, there is a possibility that the transportation of the glass substrate may be interrupted when the loading robot or crane stops for adjustment or repair. It came out. For this reason, in the conventional transfer system, the manufacturing process of the thin display device is stopped by stopping the feeding robot and the crane, and the operation rate of the entire manufacturing process may be reduced.

本願発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、薄板状の物品を一枚ずつ載置し、搬送し、複数枚積み重ねた状態で保管することのできる枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもダストの発生によって物品を汚染することがなく、ランダムな取り出しに対応可能であって、しかも軽量化された枚葉搬送用トレイを提供することを課題としている。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and is a single-wafer carrying tray capable of placing, carrying, and storing a plurality of thin plate-like articles one by one. However, it is an object of the present invention to provide a single-wafer carrying tray that can deal with random pick-up without causing contamination of articles due to generation of dust even when they are stacked.

請求項１の発明は、複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイであって、上下の積み重ね部の所定位置に上下に貫通する吸引孔を設けたことを特徴とする。   The invention of claim 1 is a single-sheet transport tray that can be stored in a stacked state, and is characterized in that a suction hole penetrating vertically is provided at a predetermined position of the upper and lower stacked portions.

請求項２の発明は、請求項１記載の枚葉搬送用トレイであって、上下の積み重ね部を樹脂ブロックで構成したことを特徴とする。   A second aspect of the present invention is the single-wafer carrying tray according to the first aspect, wherein the upper and lower stacked portions are constituted by resin blocks.

請求項３の発明は、請求項１記載の枚葉搬送用トレイを積み重ねた状態で保持するトレイマガジンであって、最下段又は最上段のトレイの吸引孔から吸引する事を特徴とする。   A third aspect of the present invention is a tray magazine that holds the single-wafer carrying trays according to the first aspect in a stacked state, and is characterized in that suction is performed from the suction holes of the lowermost or uppermost tray.

本願請求項１記載の発明の枚葉搬送用トレイによれば、上下に積み重ねることにより、積み重ね部からダストが発生しても、これを吸引孔により吸引して容易に取り除くことができ、収納する物品が汚染されるのを防止することができる。   According to the single wafer transfer tray of the present invention, even if dust is generated from the stacked portion by stacking up and down, it can be easily removed by suction through the suction holes and stored. The article can be prevented from being contaminated.

また本願請求項２記載の発明の枚葉搬送用トレイによれば、上下の積み重ね部を樹脂ブロックで構成したので、これによっても接触部からのダストの発生自体を抑えることができる。また、吸引孔を容易に形成することができる。   Further, according to the single-wafer carrying tray of the second aspect of the present invention, the upper and lower stacked portions are constituted by the resin blocks, so that generation of dust from the contact portion itself can be suppressed. Further, the suction hole can be easily formed.

また本願請求項３記載の発明のトレイマガジンによれば、上記の様な枚葉搬送用トレイが載置される事により、上記した枚葉搬送用トレイでの吸引に対する吸引源を提供する事ができる。   Further, according to the tray magazine of the invention described in claim 3, it is possible to provide a suction source for suction in the above-described single-wafer carrying tray by placing the single-wafer carrying tray as described above. it can.

以下に発明を実施するための最良の形態を列記する。
（形態１） 枚葉搬送用トレイは、４本の板状部材を略長方形に接合することで構成された外枠の間に、複数の桟を架け渡すことによって薄板状の物品の載置部が形成されている。
（形態２） 略長方形の外枠は、外側平坦部と外側平坦部よりも低い位置に設けられた内側平坦部を備えており、外側平坦部と内側平坦部の間に傾斜部が設けられている。複数個の樹脂ブロックが、外側平坦部の４辺全てに取り付けられている。
（形態３） 樹脂ブロックには、クリーン対策材料として、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れているためにダストが発生しにくい樹脂である超高分子量（高密度）ポリエチレン（ＵＰＥ）が使用される。
（形態４） 樹脂ブロックの上面は、外枠の外側平坦部の上面よりも高い位置にあり、樹脂ブロックの下面は、外側平坦部の下面よりも低い位置にある。上下方向に枚葉搬送用トレイを多段で積み重ねた状態では、各々の樹脂ブロックの上面と下面が接しており、樹脂ブロックが枚葉搬送用トレイの重量を支持する。
（形態５） 樹脂ブロックの上面には凸部が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部が設けられている。下面の凹部は、上面の凸部に対応した形状を有している。上下方向に重ねた枚葉搬送用トレイの樹脂ブロックの凸部と凹部を嵌め合わせることで、枚葉搬送用トレイの位置決め固定がなされる。
（形態６） 樹脂ブロックの被支持部が、外側平坦部の下面に沿って樹脂ブロックの左右に広がっている。把持装置の爪が樹脂ブロックの被支持部を支持することによって枚葉搬送用トレイを持ち上げることができる。
(形態７) 枚葉搬送用トレイが複数積み重ねられて載置される場所(例えば「受け座」。図１２の符号３２参照)には、樹脂ブロックなどの積み重ね部の吸引孔に連通するマガジン側吸引孔が設けられており、このマガジン側吸引孔が吸引ポンプなどにより吸引させておく事により、最下段の枚葉搬送用トレイの吸引孔に対する吸引源とすることができる。
(形態８) また最上段の枚葉搬送用トレイに対する吸引源は、複数積み重ねられた枚葉搬送用トレイの上方に設けられたマガジン側吸引孔である。そして、この複数枚葉搬送用トレイの高さ変化に追従可能に設けられたものである。その構成の形態例としては、このマガジン側吸引孔をトレイ側吸引孔の上方に設ける際には、上下移動可能に設けられると共に下方に付勢された状態で下方向きに設けるのである。そして、下方の複数の枚葉搬送用トレイが、昇降させられることにより、その最上段も昇降するが、これにより最上段の枚葉搬送用トレイは、その吸引孔が上方にあるマガジン側吸引孔に下から押圧され、これにより枚葉搬送用トレイの吸引孔を吸引する事ができる様になるのである。 The best mode for carrying out the invention is listed below.
(Embodiment 1) The single-wafer carrying tray has a thin-plate-shaped article placement section that spans a plurality of crosspieces between outer frames formed by joining four plate-like members into a substantially rectangular shape. Is formed.
(Mode 2) The substantially rectangular outer frame includes an outer flat part and an inner flat part provided at a position lower than the outer flat part, and an inclined part is provided between the outer flat part and the inner flat part. Yes. A plurality of resin blocks are attached to all four sides of the outer flat portion.
(Embodiment 3) The resin block has a high wear resistance as a clean countermeasure material, and is a resin that resists dust generation due to its excellent mechanical strength, and has a high molecular weight (high density) polyethylene (UPE). Is used.
(Mode 4) The upper surface of the resin block is located higher than the upper surface of the outer flat portion of the outer frame, and the lower surface of the resin block is located lower than the lower surface of the outer flat portion. In a state in which the single-sheet transport trays are stacked in the vertical direction, the upper and lower surfaces of each resin block are in contact with each other, and the resin block supports the weight of the single-sheet transport tray.
(Mode 5) A convex portion is provided on the upper surface of the resin block, and a concave portion is provided on the lower surface of the resin block. The concave portion on the lower surface has a shape corresponding to the convex portion on the upper surface. Positioning and fixing of the single-wafer carrying tray is performed by fitting the convex and concave portions of the resin block of the single-wafer carrying tray stacked in the vertical direction.
(Mode 6) The supported portion of the resin block extends to the left and right of the resin block along the lower surface of the outer flat portion. The single-wafer carrying tray can be lifted by the claws of the gripping device supporting the supported portion of the resin block.
(Embodiment 7) In a place where a plurality of single-sheet transport trays are stacked and placed (for example, “reception seat”; see reference numeral 32 in FIG. 12), the magazine side that communicates with the suction holes of the stacked portions such as resin blocks A suction hole is provided. By sucking the magazine side suction hole with a suction pump or the like, it can be used as a suction source for the suction hole of the lowermost sheet transport tray.
(Mode 8) Further, the suction source for the uppermost single-wafer carrying tray is a magazine side suction hole provided above the stacked single-wafer carrying tray. And it is provided so as to be able to follow the height change of this multi-sheet transport tray. As an example of the configuration, when the magazine-side suction hole is provided above the tray-side suction hole, the magazine-side suction hole is provided so as to be vertically movable and is provided downward while being biased downward. Then, when the lower plurality of single wafer transfer trays are moved up and down, the uppermost stage thereof is also moved up and down. As a result, the uppermost single sheet transfer tray has the suction hole on the upper side. Thus, the suction hole of the sheet transport tray can be sucked from below.

以下、本発明を適用した枚葉搬送用トレイ（以下、トレイとも言う）の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明による枚葉搬送用トレイの一実施例の構成を示す斜視図である。         Hereinafter, embodiments of a single-wafer carrying tray (hereinafter also referred to as a tray) to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an embodiment of a single-wafer carrying tray according to the present invention.

本実施例における枚葉搬送用トレイ１は、外枠２と、外枠２の対向する辺の間に掛け渡された複数の桟４と、外枠用部材の接合部近傍で隣り合う部材の間に斜めに掛け渡される接合部材６を備えている。   The single-wafer carrying tray 1 according to the present embodiment includes an outer frame 2, a plurality of crosspieces 4 spanned between opposite sides of the outer frame 2, and members adjacent to each other in the vicinity of the joint portion of the outer frame member. There is provided a joining member 6 that is slanted between them.

外枠２は、２本の長辺部材２ａと２本の短辺部材２ｂから構成される。本実施例における長辺部材２ａと短辺部材２ｂには一定の板厚のＳＵＳ３０４が使用されており、板金加工によって同一の断面形状となるように加工されている。   The outer frame 2 includes two long side members 2a and two short side members 2b. In the present embodiment, the long side member 2a and the short side member 2b are made of SUS304 having a constant thickness, and are processed to have the same cross-sectional shape by sheet metal processing.

図２と図３に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂを示す。長辺部材２ａと短辺部材２ｂは、外側平坦部１１と、外側平坦部１１よりも低い位置に形成される内側平坦部１２を備えており、外側平坦部１１と内側平坦部１２の間に傾斜部１３が設けられている。傾斜部１３は、外枠２が形成されたときに上方に向けて広がったコーン形状となるように角度が付けられている。又、外側平坦部１１の外側には、フランジ１４が設けられている。   2 and 3 show the long side member 2a and the short side member 2b. The long side member 2 a and the short side member 2 b include an outer flat portion 11 and an inner flat portion 12 formed at a position lower than the outer flat portion 11, and between the outer flat portion 11 and the inner flat portion 12. An inclined portion 13 is provided. The inclined portion 13 is angled so as to have a cone shape that spreads upward when the outer frame 2 is formed. A flange 14 is provided outside the outer flat portion 11.

この傾斜部の１３の高さは、１枚の薄板状の物品を安全に収容するために必要な収容高さを越えた長さとなっている。その長さは、長辺部材２ａと短辺部材２ｂが長方形の外枠２として組み合わされた場合に、外枠２の平面を維持するために必要な強度を保てる長さに設定されており、外枠２の形状が大型化された場合には、外枠２を強化するために傾斜部の１３の高さはより長くなる。   The height of the inclined portion 13 is a length exceeding the storage height necessary for safely storing one sheet-shaped article. The length is set to a length that can maintain the strength necessary to maintain the plane of the outer frame 2 when the long side member 2a and the short side member 2b are combined as a rectangular outer frame 2. When the shape of the outer frame 2 is increased, the height of the inclined portion 13 becomes longer in order to strengthen the outer frame 2.

長辺部材２ａと短辺部材２ｂを接合することにより、本実施例の外枠２が形成される。本実施例の外枠２は、その断面形状が、上述したように、フランジ１４，これより少し高い外側平坦部１１、これに連続して下降する傾斜部１３、この傾斜部１３の下方に連続する内側平坦部１２とで形成される。形成された外枠２単体の高さは、傾斜部の１３の高さで決定されるが、複数枚の枚葉搬送用トレイ１を積み重ねる場合には、この傾斜部１３を利用してより小さいピッチで積み重ねることが可能となるので、積み重ね高さをあまり高くならないようにすることができる。   The outer frame 2 of the present embodiment is formed by joining the long side member 2a and the short side member 2b. As described above, the outer frame 2 of the present embodiment has a flange 14, an outer flat portion 11 slightly higher than the flange 14, an inclined portion 13 that descends continuously, and a lower portion of the inclined portion 13. The inner flat portion 12 is formed. The height of the formed outer frame 2 alone is determined by the height of the inclined portion 13, but when a plurality of single-sheet transport trays 1 are stacked, the inclined portion 13 is used to make the height smaller. Since stacking at a pitch is possible, the stacking height can be kept from becoming too high.

本実施例における長辺部材２ａと短辺部材２ｂには、外側平坦部１１に、樹脂ブロック８を取り付けるためのブロック取付孔１５ａ、１５ｂが１部材にそれぞれ２カ所ずつ設けられている。又、それぞれの部材の外側平坦部１１の端部には、部材同士を接合するための接合孔１６が３個ずつ設けられている。内側平坦部１２には、桟４を接合するための桟取付孔１７が設けられている。   In the long side member 2a and the short side member 2b in the present embodiment, two block attachment holes 15a and 15b for attaching the resin block 8 are provided in the outer flat portion 11, respectively. Further, three joining holes 16 for joining the members to each other are provided at the end of the outer flat portion 11 of each member. The inner flat portion 12 is provided with a crosspiece mounting hole 17 for joining the crosspiece 4.

図４に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂに取り付けられる前の樹脂ブロック８の斜視図を示す。樹脂ブロック８は、略直方体の本体部２０の上面に凸部２１が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部２２が設けられている。またこの本体部２０にはその上面から下面に貫通する吸引孔２０ａが平面視方形な本体部の四隅寄りに設けられている。また、本体部２０の高さは、１枚の薄板状の物品を安全に収容する為の収容高さと等しくなるように形成されている。   FIG. 4 is a perspective view of the resin block 8 before being attached to the long side member 2a and the short side member 2b. The resin block 8 is provided with a convex portion 21 on the upper surface of a substantially rectangular parallelepiped main body portion 20 and a concave portion 22 on the lower surface of the resin block. The main body 20 is provided with suction holes 20a penetrating from the upper surface to the lower surface near the four corners of the main body having a square shape in plan view. Further, the height of the main body 20 is formed to be equal to the storage height for safely storing one sheet-like article.

本実施例における樹脂ブロック８の凸部２１は、円錐台形状に形成されている。下面の凹部２２は、上面の凸部２１に対応した形状を有している。本体部２０の右面と左面には、把持装置との接触部となる被支持部２３が伸びている。被支持部２３には、長辺部材２ａ又は短辺部材２ｂに樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔２４が貫通している。   The convex portion 21 of the resin block 8 in the present embodiment is formed in a truncated cone shape. The concave portion 22 on the lower surface has a shape corresponding to the convex portion 21 on the upper surface. A supported portion 23 serving as a contact portion with the gripping device extends on the right surface and the left surface of the main body portion 20. An outer frame mounting hole 24 for fixing the resin block 8 to the long side member 2a or the short side member 2b passes through the supported portion 23.

樹脂ブロック８は、上下に積み重ねられる枚葉搬送用トレイ１との接触部となるために、クリーン対策材料で形成されることが好ましい。本実施例における樹脂ブロック８は、耐磨耗性の高く、機械的な強度に優れた超高分子量（高密度）ポリエチレン（ＵＰＥ）で形成されている。樹脂ブロック８は、ブロック同士が接触しても摩耗せず、ダストを発生することがないために、搬送する薄板状の物品を汚染しない。   The resin block 8 is preferably formed of a clean countermeasure material in order to be a contact portion with the single-wafer carrying tray 1 stacked up and down. The resin block 8 in this embodiment is formed of ultra high molecular weight (high density) polyethylene (UPE) having high wear resistance and excellent mechanical strength. The resin block 8 does not wear even if the blocks come into contact with each other and does not generate dust, and therefore does not contaminate the thin plate-like article to be conveyed.

樹脂ブロック８は、外枠２に、リベット若しくはネジによって固定されている。図５と図６は、樹脂ブロック８が長辺部材２ａにリベット若しくはネジによって固定された状態を模式的に示す図である。図５は、長辺部材２ａの長手方向の断面図を示しており、図６は、長辺部材２ａの側面図を示している。樹脂ブロック８は、被支持部２３の上面が長辺部材２ａの外側平坦部の下面に突き当てられて、ブロック取付孔１５ａから凸部２１と本体部２０の上部が突出した状態で固定されている。   The resin block 8 is fixed to the outer frame 2 with rivets or screws. 5 and 6 are diagrams schematically showing a state in which the resin block 8 is fixed to the long-side member 2a with rivets or screws. FIG. 5 shows a sectional view in the longitudinal direction of the long side member 2a, and FIG. 6 shows a side view of the long side member 2a. The resin block 8 is fixed in a state in which the upper surface of the supported portion 23 is abutted against the lower surface of the outer flat portion of the long side member 2a and the upper portion of the convex portion 21 and the main body portion 20 protrudes from the block mounting hole 15a. Yes.

外枠２に固定された樹脂ブロック８は、本体部２０の上面が、長辺部材２ａの外側平坦部１１よりも高くなっている。また、本体部２０の下面は、外側平坦部１１に設けられたフランジ１４の下面よりも低くなっている。このような配置を採用することで、上下方向に枚葉搬送用トレイ１を多段で積み重ねると、各々のトレイの樹脂ブロック８の本体部２０の上面と下面が互いに接することとなり、枚葉搬送用トレイ１は、１枚の薄板状の物品を安全に収容する為の収容高さをピッチとして積み重ねられる。又この様に積み重ねると、本体部２０に設けられている４つの吸引孔２０ａは、上下に隣接する他の樹脂ブロックの吸引孔２０ａと連通することとなる。つまり複数積み重ねられた枚葉搬送用トレイは、その最上段から最下段までを貫く様にして、それらの吸引孔２０ａが連通することとなるのである。又このとき、枚葉搬送用トレイ１の重量は、樹脂ブロック８によって支持されている。   As for the resin block 8 fixed to the outer frame 2, the upper surface of the main-body part 20 is higher than the outer side flat part 11 of the long side member 2a. Further, the lower surface of the main body 20 is lower than the lower surface of the flange 14 provided on the outer flat portion 11. By adopting such an arrangement, when the single-wafer carrying trays 1 are stacked in a vertical direction in the vertical direction, the upper surface and the lower surface of the main body portion 20 of the resin block 8 of each tray come into contact with each other. The tray 1 is stacked with an accommodation height for safely containing one sheet-like article as a pitch. Further, when stacked in this way, the four suction holes 20a provided in the main body 20 communicate with the suction holes 20a of other resin blocks adjacent in the vertical direction. That is, a plurality of stacked single-sheet transport trays have their suction holes 20a communicated so as to penetrate from the uppermost stage to the lowermost stage. At this time, the weight of the single-wafer carrying tray 1 is supported by the resin block 8.

上下のトレイの接触部となる樹脂ブロック８と外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成をとることによって、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、接触部８を容易に加工し、形成することができる。また、外枠２の素材にクリーン対策材料以外のものを適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。   By adopting a configuration in which the resin block 8 and the outer frame 2 which are the contact portions of the upper and lower trays are separately formed from different materials and then fixed, the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment can easily make the contact portion 8 Can be processed and formed. In addition, it is possible to apply a material other than the clean countermeasure material to the material of the outer frame 2, and the degree of freedom for selecting the material of the outer frame 2 can be expanded.

外枠２の構成について更に説明する。長辺部材２ａと短辺部材２ｂとは、図７に示すＬ字型の接合金具１０を用いて接合されている。本実施例における接合金具１０には、Ｌ字型のそれぞれの辺に３個ずつ係６個の接合孔１８が設けられている。接合孔１８同士の相対位置は、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合孔１６の孔同士の相対位置関係と同一になるように、配置されている。   The configuration of the outer frame 2 will be further described. The long side member 2a and the short side member 2b are joined using the L-shaped joining metal fitting 10 shown in FIG. The joint fitting 10 according to the present embodiment is provided with six joint holes 18 each having three L-shaped sides. The relative positions of the joint holes 18 are arranged to be the same as the relative positional relationship between the joint holes 16 of the long side member 2a and the short side member 2b.

接合金具１０の一辺は、長辺部材２ａの端部に重ね合わされる。長辺部材２ａの接合孔１６と接合金具１０の接合孔１８の両方を貫通するようにブラインドリベットが打たれ、長辺部材２ａと接合金具１０がリベット接合される。接合金具１０の他辺は、短辺部材２ｂの端部に重ね合わされる。短辺部材２ｂの接合孔１６と接合金具１０の接合孔１８の両方を貫通するようにブラインドリベットが打たれ、短辺部材２ｂと接合金具１０がブラインドリベット接合される。２本の長辺部材２ａと２本の短辺部材２ｂが４個の接合金具１０を用いてブラインドリベット接合されて、略長方形の外枠２が形成される。   One side of the joint fitting 10 is overlapped with the end of the long side member 2a. A blind rivet is struck so as to penetrate both the joint hole 16 of the long side member 2a and the joint hole 18 of the joint fitting 10, and the long side member 2a and the joint fitting 10 are rivet joined. The other side of the joint fitting 10 is overlaid on the end of the short side member 2b. A blind rivet is struck so as to penetrate both the joint hole 16 of the short side member 2b and the joint hole 18 of the joint fitting 10, and the short side member 2b and the joint fitting 10 are blind rivet joined. The two long side members 2a and the two short side members 2b are blind rivet-joined using the four joining fittings 10 to form the substantially rectangular outer frame 2.

ブラインドリベット接合により形成された外枠２は、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合部の上部に、空間１９（図１参照）が設けられている。空間１９が設けられていることで、接合部にダストが留まることがなく、又外枠２の洗浄と乾燥を容易に行うことができる。即ち空間１９を設けていることによって、外枠２の接合部にダストが蓄積されなくなり、載置する薄板状の物品の汚染を未然に防止する効果が得られている。   The outer frame 2 formed by blind rivet bonding is provided with a space 19 (see FIG. 1) at the upper part of the joint between the long side member 2a and the short side member 2b. Since the space 19 is provided, dust does not stay at the joint, and the outer frame 2 can be easily cleaned and dried. That is, by providing the space 19, dust is not accumulated at the joint portion of the outer frame 2, and the effect of preventing contamination of the thin plate-like article to be placed is obtained.

本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、外枠２の対向する短辺部材２ｂの間に、複数の桟４が掛け渡されて、薄板状の物品の載置部が形成されている。桟４には一定の板厚のＳＵＳ３０４が使用されており、板金加工によって所定の断面形状をとるように加工されている。   In the single-wafer carrying tray 1 of the present embodiment, a plurality of crosspieces 4 are spanned between the opposing short side members 2b of the outer frame 2 to form a sheet-like article placement portion. The crosspiece 4 is made of SUS304 having a certain thickness, and is processed to have a predetermined cross-sectional shape by sheet metal processing.

桟４の一端部の拡大図を図８に示す。桟４は、両側に外枠２への平坦な取付部２５が形成されており、平坦部の間に上方に突出する膨出部２６が形成されている。取付部２５の端部には、外枠２に接合するための外枠取付孔２７が設けられている。膨出部２６には、薄板状の物品を支持するための複数の載置ピン２８が固定されている。   An enlarged view of one end of the crosspiece 4 is shown in FIG. The crosspiece 4 is formed with flat attachment portions 25 to the outer frame 2 on both sides, and a bulging portion 26 protruding upward is formed between the flat portions. An outer frame mounting hole 27 for joining to the outer frame 2 is provided at the end of the mounting portion 25. A plurality of mounting pins 28 for supporting the thin plate-like article are fixed to the bulging portion 26.

載置ピン２８は耐磨耗性の高い超高分子量（高密度）ポリエチレン（ＵＰＥ）で形成されており、薄板状の物品を繰り返し搭載しても、磨耗によるダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   The mounting pin 28 is made of ultra-high molecular weight (high density) polyethylene (UPE) having high wear resistance, and even if a thin plate-like article is repeatedly mounted, dust due to wear is not generated, and the thin plate-like pin Does not contaminate the goods.

桟４の外枠取付孔２７と、外枠２の桟取付孔１７を貫通するようにリベットが打たれて、外枠２と桟４がリベット接合されている。桟４が膨出部２６を備えているために、桟４は外枠２に対して両端に開口部を持った状態で接合されている。このため外枠２と桟４の接合部にダストが蓄積されにくく、又枚葉搬送用トレイ１を洗浄する際に桟４の部分の洗浄と乾燥を容易に行うことができる。   A rivet is struck through the outer frame attachment hole 27 of the crosspiece 4 and the crosspiece attachment hole 17 of the outer frame 2, and the outer frame 2 and the crosspiece 4 are joined by rivets. Since the crosspiece 4 includes the bulging portion 26, the crosspiece 4 is joined to the outer frame 2 with openings at both ends. For this reason, it is difficult for dust to accumulate at the joint between the outer frame 2 and the crosspiece 4, and when the single-sheet transport tray 1 is washed, the portion of the crosspiece 4 can be easily cleaned and dried.

又、桟４は、膨出部２６が形成されているために、平板の部材を用いた場合よりも梁強度が向上している。このため、桟４にはより板厚の薄い素材を用いることが可能となっており、桟４の軽量化が図られている。   Further, since the bulge portion 26 is formed in the crosspiece 4, the beam strength is improved as compared with the case where a flat plate member is used. For this reason, it is possible to use a material with a thinner plate thickness for the crosspiece 4, thereby reducing the weight of the crosspiece 4.

接合部材６は、枚葉搬送用トレイ１に搭載される薄板状の物品の位置決めと、外枠２のコーナー部の補強のために、外枠２のコーナー部近傍の長辺部材２ａと短辺部材２ｂの間に、斜めに掛け渡されている。接合部材６の斜視図を図９に示す。接合部材６は、桟４と同様に膨出部２６が設けられており、膨出部の上に、薄板状の物品を支持するための載置ピン２８と、薄板状の物品のコーナー部を突き当てて載置位置の位置決めを行うための２個の位置決めピン２９が固定されている。   The joining member 6 includes a long side member 2a and a short side in the vicinity of the corner portion of the outer frame 2 in order to position the thin plate-like article mounted on the sheet conveying tray 1 and to reinforce the corner portion of the outer frame 2. It is spanned diagonally between the members 2b. A perspective view of the joining member 6 is shown in FIG. The joining member 6 is provided with a bulging portion 26 similarly to the crosspiece 4, and a mounting pin 28 for supporting a thin plate-like article and a corner portion of the thin plate-like article are provided on the bulging portion. Two positioning pins 29 for abutting and positioning the mounting position are fixed.

接合部材６の位置決めピン２９は、薄板状の物品のコーナー位置を定めるために設けられており、実際の薄板状の物品の寸法に対して片側で２ミリメートルから３ミリメートルのクリアランスを確保できるように配置されている。位置決めピン２９は、耐磨耗性の高い超高分子量（高密度）ポリエチレンで形成されており、薄板状の物品が位置決めのために繰り返し接触しても、磨耗によるダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   The positioning pin 29 of the joining member 6 is provided to determine the corner position of the thin plate-like article so that a clearance of 2 mm to 3 mm can be secured on one side with respect to the dimensions of the actual thin plate-like article. Has been placed. The positioning pin 29 is made of ultra high molecular weight (high density) polyethylene having high wear resistance, and even if a thin plate-like article is repeatedly contacted for positioning, dust due to wear does not occur, and the thin plate shape Do not pollute the goods.

図１０に、枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を模式的に示す。
枚葉搬送用トレイ１は、外枠２の傾斜部１３を利用することによって、１枚の薄板状の物品を安全に収容するために必要な収容高さを上下のピッチとして積み重ねられており、小さなスペースで多くのトレイを保管することが可能となっている。
枚葉搬送用トレイ１は、全ての樹脂ブロック８の凸部２１と凹部２２を嵌め合わせて積み重ねられている。凸部２１が円錐台形状であるために、上積みされる枚葉搬送用トレイ１が多少ずれて降下してきた場合でも、凸部２１と凹部２２の正確な嵌め合わせが可能である。 FIG. 10 schematically shows a state in which a plurality of single-wafer carrying trays 1 are stacked in the vertical direction.
The single-wafer carrying tray 1 is stacked by using the inclined portion 13 of the outer frame 2 so that the accommodation height necessary for safely accommodating one thin plate-like article is set at an upper and lower pitch. Many trays can be stored in a small space.
The single-wafer carrying tray 1 is stacked by fitting the convex portions 21 and concave portions 22 of all the resin blocks 8 together. Since the convex portion 21 has a truncated cone shape, the convex portion 21 and the concave portion 22 can be accurately fitted even when the stacked single-sheet transport trays 1 are slightly shifted and lowered.

この様に枚葉搬送用トレイ１は、凸部２１と凹部２２を嵌め合わされることで、位置決めされて正確に積み重ねられる。積み重ねられた状態では、多少の衝撃が加わった場合でも、積み重ねた枚葉搬送用トレイ１がずれたり落ちたりする恐れがなく、安定して積み重ねられる。   In this way, the single-wafer carrying tray 1 is positioned and accurately stacked by fitting the convex portion 21 and the concave portion 22 together. In the stacked state, even when a slight impact is applied, the stacked single-wafer carrying tray 1 does not have a risk of shifting or dropping, and can be stably stacked.

本実施例の枚葉搬送用トレイ１が上下方向に積み重ねられているとき、上下の枚葉搬送用トレイ１の間では、樹脂ブロック８だけが接触しており、外枠２と桟４は他の枚葉搬送用トレイ１と全く接触しない。樹脂ブロック８は超高分子量（高密度）ポリエチレン樹脂で形成されているために接触によってもダストが発生しない。また外枠２と桟４は他の枚葉搬送用トレイ１と接触しないためにダストを発生させない。このように、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は積み重ねてもダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   When the single-wafer carrying trays 1 of the present embodiment are stacked in the vertical direction, only the resin block 8 is in contact between the upper and lower single-wafer carrying trays 1, and the outer frame 2 and the crosspiece 4 are the other. No contact is made with the single-wafer carrying tray 1. Since the resin block 8 is made of ultra high molecular weight (high density) polyethylene resin, no dust is generated by contact. Further, since the outer frame 2 and the crosspiece 4 do not come into contact with the other single-wafer carrying tray 1, no dust is generated. As described above, the single-wafer carrying tray 1 according to the present embodiment does not generate dust even when stacked, and does not contaminate thin plate-like articles.

更に、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、上積みされた枚葉搬送用トレイ１の荷重を、樹脂ブロック８が支持する構成となっており、外枠２には、上側の枚葉搬送用トレイ１の荷重が加えられることがない。このために、外枠２は、自らの重量と、載置した薄板状の物品の重量を支持できる強度を備えていればよく、外枠２によって上積みされた枚葉搬送用トレイ１を支持する構成を採用した場合と比較すると、要求される強度は小さい。このため、外枠２の板厚をより薄くして軽量化することが可能となる。   Furthermore, the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment is configured such that the resin block 8 supports the load of the stacked single-wafer carrying tray 1, and the upper single-wafer carrying is provided on the outer frame 2. The load on the tray 1 is not applied. For this purpose, the outer frame 2 only needs to have a strength capable of supporting its own weight and the weight of the placed thin plate-like article, and supports the single-wafer carrying tray 1 stacked by the outer frame 2. Compared with the case where the configuration is adopted, the required strength is small. For this reason, it is possible to reduce the thickness of the outer frame 2 by reducing the plate thickness.

以上の様な枚葉搬送用トレイは、図１１に示すトレイマガジンに積み重ねて載置され、トレイマガジンの上方に設けられた把持装置３４により、積み重ねられた枚葉搬送用トレイの上方側の何枚かが把持される様になっている
即ち、トレイマガジン３１は、昇降可能な昇降台３１ａと、この昇降台３１ａの上面に設けられた受け座３２を有している。この受け座３２は、昇降台３１ａに載置される枚葉搬送用トレイの樹脂ブロックを受ける為のものであり、従って、枚葉搬送用トレイをこの昇降台に載置した際の、外枠に設けられた樹脂ブロックを受ける位置の８箇所に設けられたものである。 The single-sheet transport trays as described above are stacked and placed on the tray magazine shown in FIG. 11, and are held on the upper side of the stacked single-sheet transport trays by the gripping device 34 provided above the tray magazine. In other words, the tray magazine 31 has a lifting platform 31a that can be moved up and down and a receiving seat 32 provided on the upper surface of the lifting platform 31a. The receiving seat 32 is for receiving the resin block of the single-wafer carrying tray placed on the lifting platform 31a. Therefore, the outer frame when the single-wafer carrying tray is placed on the lifting platform. It is provided in eight places of the position which receives the resin block provided.

この受け座３２は上方に立設する突起部３２ａを有しており、この突起部３２ａの上面が、最下段の枚葉搬送用トレイの樹脂ブロックを受ける様になっている(後述の図１２参照)。そして突起部３２ａ上面は、最下段の樹脂ブロックの本体部２０の下面と重合できる平面に形成されている。   The receiving seat 32 has a projecting portion 32a erected upward, and the upper surface of the projecting portion 32a is adapted to receive a resin block of the lowermost sheet transport tray (see FIG. 12 described later). reference). The upper surface of the protrusion 32a is formed on a flat surface that can overlap with the lower surface of the main body 20 of the lowermost resin block.

またこの受け座３２には、その突起部３２ａ上面に、トレイ側の吸引孔に連通するマガジン側吸引孔３６が４つ設けられており、このマガジン側吸引孔は、昇降台の下から引き出されている吸引チューブ連通する様に構成されている。そしてこの吸引チューブが図示しない吸引ポンプにより吸引される事により、最下段の枚葉搬送用トレイの吸引孔に対する吸引源とすることができる。   The receiving seat 32 is provided with four magazine-side suction holes 36 communicating with the tray-side suction holes on the upper surface of the protrusion 32a. The magazine-side suction holes are pulled out from under the lifting platform. The suction tube is configured to communicate with each other. The suction tube is sucked by a suction pump (not shown), so that a suction source for the suction hole of the lowermost sheet feeding tray can be obtained.

そして、この様に、トレイマガジン３１による吸引は、積み重ねられた枚葉搬送用トレイ１の、上下に連なる樹脂ブロックに連通する吸引孔２０ａの全体をも吸引する事ができるのである。   In this way, the suction by the tray magazine 31 can also suck the entire suction holes 20a communicating with the resin blocks connected to the top and bottom of the stacked sheet feeding trays 1.

なお、この様なマガジン側吸引孔は、最下段の枚葉搬送用トレイに連通するものに限るものではなく、最上段側の吸引孔２０ａに連通させてもよい。この場合は、下方向きとなったマガジン側吸引孔を、昇降台に積み重ねられた枚葉搬送用トレイの更に上方に位置する様に設けられるものである(図１１の符号３７)。       Such magazine side suction holes are not limited to those communicating with the lowermost sheet feeding tray, and may be communicated with the uppermost suction holes 20a. In this case, the magazine-side suction hole directed downward is provided so as to be positioned further above the single-wafer carrying tray stacked on the lifting platform (reference numeral 37 in FIG. 11).

この最上段用となるマガジン側吸引孔３７は、上下移動可能に設けられると共に下方に付勢された状態で下方向きに設けることで構成できる。   The magazine side suction hole 37 for the uppermost stage can be configured so as to be vertically movable and downwardly biased in a state of being biased downward.

この様な構成にした理由であるが、昇降台３１ａは様々な高さに上昇するので、最上段の枚葉搬送用トレイの高さ位置も有る程度の上下幅を持つ事となり、この様な高さ位置が一様ではない最上段の枚葉搬送用トレイにマガジン側吸引孔３７を連通させようとする為には、上述した様に「下方付勢」を持たせた状態で「上下移動可能」に設けておく事により、吸引可能となるからである。   The reason for this configuration is that the lifting platform 31a rises to various heights, so that the height position of the uppermost single-wafer carrying tray has a certain vertical width. In order to make the magazine side suction hole 37 communicate with the uppermost sheet transporting tray whose height position is not uniform, the “up and down movement” is performed with the “downward bias” as described above. This is because it is possible to suck by providing “possible”.

これにより、下方の複数の枚葉搬送用トレイが、昇降させられると、その最上段がどの様な高さに上昇しようとも、これにより最上段のトレイ側吸引孔が、これに臨む上方のマガジン側吸引孔に押圧され、枚葉搬送用トレイの吸引孔を吸引する事ができる様になるのである。   As a result, when the lower plurality of single-sheet transport trays are moved up and down, the uppermost tray side suction hole can be adjusted so that the uppermost tray side suction hole faces the upper magazine. By being pressed by the side suction holes, the suction holes of the single-wafer carrying tray can be sucked.

本実施例の枚葉搬送用トレイ１を適用した搬送システムの一態様を、図１２から図１６に示し、樹脂ブロック８に設けられた被支持部２３の作用効果について説明する。ここでは、薄板状の物品を載置して積み重ねられた枚葉搬送用トレイ１の中から、任意の枚葉搬送用トレイ１を指定して搬出する場合を例にとって詳細な説明を行う。   One mode of a transport system to which the single-wafer transport tray 1 of the present embodiment is applied is shown in FIGS. Here, a detailed description will be given by taking as an example a case where an arbitrary single-wafer carrying tray 1 is designated and carried out of the single-wafer carrying trays 1 stacked and stacked with thin plate-like articles.

枚葉搬送用トレイ１は、薄板状の物品を載置してトレイマガジン３１の受け座３２上に積み重ねられている。トレイマガジン３１は、図示されない搬送コントローラに制御されており、搬送コントローラが指定した枚葉搬送用トレイ１を、トレイマガジン３１の上部に設けられたコンベア３３に移載できる位置に移動させる。   The single-wafer carrying tray 1 is stacked on a receiving seat 32 of a tray magazine 31 on which thin articles are placed. The tray magazine 31 is controlled by a conveyance controller (not shown), and moves the single-sheet conveyance tray 1 designated by the conveyance controller to a position where it can be transferred to a conveyor 33 provided on the upper portion of the tray magazine 31.

搬送コントローラが搬出を指定した枚葉搬送用トレイ１の上に、他のトレイ１が積み重ねられている場合には、コンベア３３の上部に配置されている把持装置３４が降下して、指定の枚葉搬送用トレイ１の上に積み重ねられているトレイ１を収容して把持するのである。   When other trays 1 are stacked on the single-wafer carrying tray 1 designated by the carrying controller, the gripping device 34 disposed on the upper portion of the conveyor 33 is lowered to designate the designated sheet. The tray 1 stacked on the leaf transport tray 1 is accommodated and gripped.

把持装置３４は、枚葉搬送用トレイ１の対向する２辺に固定されている樹脂ブロック８を支持して、枚葉搬送用トレイ１を持ち上げ可能に把持するのである。ここで、把持装置３４の爪３５は、図１３及び図１４に示すように、樹脂ブロック８の被支持部２３を下方から支持することによって枚葉搬送用トレイを相対的に持ち上げるのである。つまり、こま把持装置３４自身が持ち上げるのではなく、上昇した昇降台３１ａが、所定の枚葉搬送用トレイの把持が成された後に降下する事により、把持装置３４に把持された何枚かの枚葉搬送用トレイは、昇降台３１ａに対しては、相対的に持ち上げられた事となるのである。   The gripping device 34 supports the resin blocks 8 fixed to the two opposing sides of the single-wafer transport tray 1 and grips the single-wafer transport tray 1 so as to be lifted. Here, the claw 35 of the gripping device 34 lifts the single-wafer carrying tray relatively by supporting the supported portion 23 of the resin block 8 from below as shown in FIGS. 13 and 14. In other words, rather than the top gripping device 34 itself lifting, the raised elevator 31a descends after the gripping of the predetermined single-sheet transport tray, so that some of the sheets gripped by the gripping device 34 The single-wafer carrying tray is lifted relatively to the lifting platform 31a.

この時、相対的に持ち上げられた枚葉搬送用トレイ１は、その１つ下の、持ち上げられなかった枚葉搬送用トレイ１から上に離されるのであるが、具体的には、これら上下の枚葉搬送用トレイ１の、図１５に示す様に、その樹脂ブロック８同士が離されるのである。これにより、これら樹脂ブロック８の中に連通していた吸引孔２０ａ同士も上下に分かれる事となるのである。この場合、上下の樹脂ブロック８の接触していた面からダストが発生する事があるが、この上下の樹脂ブロック８が離れる直後には上下の間には狭い隙間Ｇができ、この隙間Ｇが吸引孔に吸引される事となるのである。つまり、上下２つの樹脂ブロック８は、それらの本体部２０同士が、上面と下面とが密着し合う様に重合しているのであるが、この重合している上下の面が上下に離される瞬間に、均一な狭さの隙間が重合面の間にでき、この離された直後の隙間を吸引する事となるのである。そして、この吸引により、離された時に接触面から発生するダストを吸引することができ、よって枚葉搬送用トレイの載置してある薄板状の物品を汚染しないのである。なおこの様な隙間への吸引は、隙間が広がってしまえばその吸引が効かなくなるので、枚葉搬送用トレイが持ち上げられる瞬間に成される作用である。       At this time, the relatively lifted single-wafer carrying tray 1 is separated from the lower single-wafer carrying tray 1 that has not been lifted. As shown in FIG. 15, the resin blocks 8 of the single wafer transfer tray 1 are separated from each other. As a result, the suction holes 20a communicating with the resin blocks 8 are also divided into upper and lower parts. In this case, dust may be generated from the surface where the upper and lower resin blocks 8 are in contact. Immediately after the upper and lower resin blocks 8 are separated, a narrow gap G is formed between the upper and lower sides. It will be sucked into the suction hole. That is, the two upper and lower resin blocks 8 are polymerized so that the main body portions 20 are in close contact with the upper surface and the lower surface, but the moment when the upper and lower surfaces are overlapped. In addition, a uniform narrow gap is formed between the overlapping surfaces, and the gap immediately after the separation is sucked. And by this suction, the dust generated from the contact surface when it is released can be sucked, so that the thin plate-like article placed on the single-wafer carrying tray is not contaminated. It should be noted that the suction into such a gap is an action that is performed at the moment when the single-wafer carrying tray is lifted because the suction does not work if the gap is widened.

また樹脂ブロック８は超高分子量（高密度）ポリエチレン樹脂で形成されており、被支持部２３も同一の素材で形成されているために、把持装置３４の爪３５が接触しても、ダストが発生しない。即ち、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は搬出、搬入のために把持装置３４の爪３５に支持される場合でも、積み重ねて保管する場合と同様にダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   The resin block 8 is made of ultra high molecular weight (high density) polyethylene resin, and the supported portion 23 is also made of the same material. Does not occur. That is, even when the single-wafer carrying tray 1 of the present embodiment is supported by the claws 35 of the gripping device 34 for carrying out and carrying in, no dust is generated as in the case of stacking and storing, and a thin plate-like article. Do not pollute.

搬出が指定された枚葉搬送用トレイ１は、上積みされた枚葉搬送用トレイ１が把持装置３４によって取り除かれると、図１６に示すように、コンベア３３によって外枠２のフランジ部１４を支持される。トレイマガジン３１が降下して、搬出される以外の枚葉搬送用トレイ１は低い位置に保持される。指定された枚葉搬送用トレイ１は、コンベア３３によって搬出される。   As shown in FIG. 16, the single-wafer carrying tray 1 designated for unloading supports the flange portion 14 of the outer frame 2 by the conveyor 33 when the stacked single-wafer carrying tray 1 is removed by the gripping device 34. Is done. The tray 1 for carrying sheets other than the tray magazine 31 is lowered and held out is held at a low position. The designated sheet feeding tray 1 is carried out by the conveyor 33.

以上述べてきたように、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、外枠２に樹脂ブロック８が固定されており、積み重ねた際には、樹脂ブロック８の上面と下面で上下の枚葉搬送用トレイ１が接触する。また、搬入と搬出の際には、把持装置３４の爪３５が樹脂ブロック８の被支持部２３を支持する。樹脂ブロック８は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れた樹脂で形成されているために、積み重ねられた際や、把持装置３４に支持された際にダストを発生せず、載置してある薄板状の物品を汚染しない。   As described above, in the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment, the resin block 8 is fixed to the outer frame 2, and when stacked, the upper and lower single-wafers on the upper and lower surfaces of the resin block 8. The conveyance tray 1 comes into contact. In addition, the claw 35 of the gripping device 34 supports the supported portion 23 of the resin block 8 during loading and unloading. Since the resin block 8 is formed of a resin having high wear resistance and excellent mechanical strength, dust is not generated when the resin block 8 is stacked or supported by the gripping device 34. It does not contaminate the laminar articles that are placed.

また、上下の枚葉搬送用トレイ１の接触部となる樹脂ブロック８と外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成をとることによって、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、接触部８を容易に加工し、形成することができる。また、外枠２の素材にクリーン対策材料以外のものを適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。   Further, by adopting a configuration in which the resin block 8 and the outer frame 2 which are the contact portions of the upper and lower single-wafer carrying trays 1 are separately formed from different materials and then fixed, the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment is used. Can easily process and form the contact portion 8. In addition, it is possible to apply a material other than the clean countermeasure material to the material of the outer frame 2, and the degree of freedom for selecting the material of the outer frame 2 can be expanded.

更に、本実施例の枚葉搬送用トレイ１の桟４は、膨出部を設けることによって従来よりも梁強度が高められている。これに加えて、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、上積みされた枚葉搬送用トレイ１の荷重を樹脂ブロック８が支持する構成を採用しており、外枠２に必要な強度が低減されている。これらの構成によって、枚葉搬送用トレイ１の外枠２と桟４を従来よりも軽量化することが可能となった。   Furthermore, the crosspiece 4 of the sheet conveying tray 1 according to the present embodiment has a beam strength higher than that of the related art by providing a bulging portion. In addition to this, the single-wafer carrying tray 1 of the present embodiment employs a configuration in which the resin block 8 supports the load of the stacked single-wafer carrying tray 1, and the outer frame 2 has a necessary strength. Has been reduced. With these configurations, it is possible to reduce the weight of the outer frame 2 and the crosspiece 4 of the single-wafer carrying tray 1 as compared with the conventional art.

以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。たとえば、実施例における外枠２の長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合方法や接合箇所、外枠２と桟４の接合方法や接合箇所は、搭載する薄板状の物品の大きさや重量に合わせて、適宜変更が可能である。また、樹脂ブロック８の形状や配置も、作用効果を損なわない範囲において、変更が可能である。   As mentioned above, although the specific example of this invention was described in detail in the Example, these are only illustrations and do not limit a claim. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above. For example, the joining method and joining location of the long side member 2a and the short side member 2b of the outer frame 2 and the joining method and joining location of the outer frame 2 and the crosspiece 4 in the embodiment depend on the size and weight of the thin plate-like article to be mounted. In addition, it can be changed as appropriate. Moreover, the shape and arrangement of the resin block 8 can be changed within a range not impairing the effects.

実施例の枚葉搬送用トレイ１の概要を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the outline | summary of the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example. 実施例の外枠２を構成する部材の斜視図である。It is a perspective view of the member which comprises the outer frame 2 of an Example. 実施例の外枠２を構成する部材端部の斜視図である。It is a perspective view of the member edge part which comprises the outer frame 2 of an Example. 実施例の樹脂ブロック８の斜視図である。It is a perspective view of the resin block 8 of an Example. 実施例の樹脂ブロック８が固定された長辺部材２ａの断面図である。It is sectional drawing of the long side member 2a to which the resin block 8 of the Example was fixed. 実施例の長辺部材２ａに固定された樹脂ブロック８の側面図である。It is a side view of the resin block 8 fixed to the long side member 2a of the Example. 実施例の接合金具１０の斜視図である。It is a perspective view of the joining metal fitting 10 of an Example. 実施例の桟４の一端部の拡大図である。It is an enlarged view of the one end part of the crosspiece 4 of an Example. 実施例の接合部材６の斜視図である。It is a perspective view of the joining member 6 of an Example. 実施例の枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the state which piled up the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example in the up-down direction. 実施例の、枚葉搬送用トレイを載置するトレイマガジンと、枚葉搬送用トレイを持ち上げる把持装置の説明図である。It is explanatory drawing of the holding | grip apparatus which raises the tray magazine which mounts the sheet | seat conveyance tray of an Example, and the sheet | seat conveyance tray. 実施例の枚葉搬送用トレイ１を適用した搬送システムの一態様を模式的に示す正断面図である。It is a front sectional view showing typically one mode of a conveyance system to which single-sheet conveyance tray 1 of an example is applied. 実施例の枚葉搬送用トレイ１を把持装置３４の爪３５が指示する様子を模式的に示す正断面図である。It is a front sectional view which shows typically signs that claw 35 of grasping device 34 directs single-sheet conveyance tray 1 of an example. 実施例の枚葉搬送用トレイ１の樹脂ブロック８を把持装置３４の爪３５が指示する様子を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically a mode that the nail | claw 35 of the holding | grip apparatus 34 points out the resin block 8 of the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example. 積み重ねられた枚葉搬送用トレイが持ち上げられる時の、吸引孔の機能を説明する図であり、枚葉搬送用トレイは樹脂ブロック以外を省略して示してある。It is a figure explaining the function of a suction hole when the stacked sheet transport tray is lifted, and the sheet transport tray is shown by omitting other than the resin block. 実施例の枚葉搬送用トレイ１のフランジ１４をコンベア３３が支持する様子を模式的に示す正断面図である。It is front sectional drawing which shows typically a mode that the conveyor 33 supports the flange 14 of the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example.

符号の説明Explanation of symbols

１： 枚葉搬送用トレイ
２： 外枠
２ａ： 長辺部材
２ｂ： 短辺部材
４： 桟
６： 接合部材
８： 樹脂ブロック
１０： 接合金具
１１： 外側平坦部
１２： 内側平坦部
１３： 傾斜部
１４： フランジ
１５ａ，１５ｂ： ブロック取付孔
１６，１８： 接合孔
１７： 桟取付孔
１９： 空間
２０： 本体部
２０ａ：樹脂ブロックの吸引孔
２１： 凸部
２２： 凹部
２３： 被支持部
２４,２７： 外枠取付孔
２５： 取付部
２６： 膨出部
２８： 載置ピン
２９： 位置決めピン
３１： トレイマガジン
３１ａ：昇降台
３２： 受け座
３３ａ：突起部
３３： コンベア
３４： 把持装置
３５： 爪
３６，３７：マガジン側吸引孔 1: Single-wafer carrying tray 2: Outer frame 2a: Long side member 2b: Short side member
4: Crosspiece 6: Joining member 8: Resin block 10: Joining metal fitting 11: Outer flat part 12: Inner flat part 13: Inclined part 14: Flange 15a, 15b: Block attachment holes 16, 18: Joining hole 17: Cross attachment hole 19: Space 20: Main body 20a: Resin block suction hole 21: Convex part 22: Concave part 23: Supported parts 24, 27: Outer frame attachment hole 25: Attachment part 26: Swelling part 28: Mounting pin 29: Positioning pin 31: Tray magazine 31a: Elevating table 32: Receiving seat 33a: Protruding portion 33: Conveyor 34: Holding device 35: Claw 36, 37: Magazine side suction hole

Claims (3)

複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイであって、上下の積み重ね部の所定位置に上下に貫通する吸引孔を設けたことを特徴とする枚葉搬送用トレイ。   A single-wafer carrying tray that can be stored in a stacked state, wherein a suction hole penetrating vertically is provided at a predetermined position of the upper and lower stacked portions. 上下の積み重ね部を樹脂ブロックで構成したことを特徴とする請求項１記載の枚葉搬送用トレイ。   2. A single-wafer carrying tray according to claim 1, wherein the upper and lower stacked portions are made of resin blocks. 請求項１記載の枚葉搬送用トレイを積み重ねた状態で保持するトレイマガジンであって、最下段又は最上段のトレイの吸引孔から吸引する事を特徴とするトレイマガジン。   A tray magazine for holding the single-wafer carrying tray according to claim 1 in a stacked state, wherein the tray magazine is sucked from the suction hole of the lowermost tray or the uppermost tray.
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