JP2007033048A - はんだ接合判定方法,はんだ検査方法,はんだ検査装置およびはんだ検査用プログラムならびに記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光Loによるスキャニングが電極部21先端からはんだ22に切り替わる第1のスキャナライン(電極部先端の測定,検知データの1ドット目)の高さ画像によって、電極部21近傍のはんだ高さhを計測する。電極部21の回路基板15からの高さをT、電極部21の厚さをtとすると、(T−t)によって電極部21下面の回路基板15からの高さ(電極下面高さ)Δtが得られる。そして、電極下面高さΔtとはんだ高さhとを比較して、h>Δtであれば電極部21の下面とはんだ22の上面とが接合していることになる。よって、h>Δtであればはんだ接合が良であり、h<Δtであれば不良と判断する。
【選択図】図7
Description
12 ポリゴンミラー
15 回路基板
16a〜16d 受光素子(PSD)
18 電子部品
19 ピンフォトダイオード
21 電子部品の電極部
22 はんだ
25 CPU(中央演算処理部)
26 メモリ(ROM,RAM,EEPROM)
28 第1外部装置
29 第2外部装置
30 計測部
31 データ入力部
33 表示部
Claims (28)
- 電極が基板にはんだ付けされた電子部品に対して光ビームを照射して、電子部品とはんだとの接合状態を判定するはんだ接合判定方法において、
前記電極表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記電極の前記基板からの高さを検知し、かつ前記電極近傍におけるはんだ表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記はんだの前記基板からの高さを検知し、検知された電極とはんだとの基板からの高さに基づいて、前記電極と前記はんだとの接合状態を判定することを特徴とするはんだ接合判定方法。 - 前記電極の基板からの高さに基づいて前記電極下面の基板からの距離を算出し、前記電極下面の基板からの高さが前記はんだの基板からの高さよりも大である場合にはんだ接合不良であると判定することを特徴とする請求項1記載のはんだ接合判定方法。
- 前記電極下面の基板からの距離を、前記電極の厚さと前記電極の基板からの高さの差から求めることを特徴とする請求項1または2記載のはんだ接合判定方法。
- 前記はんだを横切るように光ビームをスキャンさせ、該スキャンデータからスキャンされたはんだ部分の断面形状を得て、該断面形状に基づいて前記はんだの基板からの高さを検知することを特徴とする請求項1または2記載のはんだ接合判定方法。
- 前記電極近傍のはんだ上面に対する最初のスキャンラインにおけるスキャンデータに基づいて、前記はんだの基板からの高さを検知することを特徴とする請求項1または4記載のはんだ接合判定方法。
- 使用されるはんだが、鉛を含まないはんだであることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項記載のはんだ接合判定方法。
- 電極が基板にはんだ付けされた電子部品に対して光ビームを照射して、電子部品とはんだとの接合状態を検査するはんだ検査方法において、
前記電極表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記電極の前記基板からの高さを検知する工程と、前記電極近傍のはんだ表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記はんだの前記基板からの高さを検知する工程と、検知された電極とはんだとの基板からの高さに基づいて、前記電極と前記はんだとの接合状態を判定する工程とを含むことを特徴とするはんだ検査方法。 - 前記電極の基板からの高さに基づいて前記電極下面の基板との距離を算出する工程と、前記電極下面の基板からの高さが前記はんだの前板からの高さよりも大である場合にはんだ接合不良であると判定する工程を含むことを特徴とする請求項7記載のはんだ検査方法。
- 前記電極下面の基板からの距離を算出する工程において、前記電極の厚さと前記電極の基板からの高さの差を求める工程を含むことを特徴とする請求項7または8記載のはんだ検査方法。
- 前記はんだの基板からの高さを検知する工程において、はんだを横切るように光ビームをスキャンさせ、該スキャンデータからスキャンされたはんだ部分の断面形状を得て、該断面形状に基づいてはんだの基板からの高さを検知する工程を含むことを特徴とする請求項7または8記載のはんだ検査方法。
- 前記はんだの基板からの高さを検知する工程において、前記電極近傍のはんだ上面に対する最初のスキャンラインにおけるスキャンデータに基づいて、前記はんだの基板からの高さを検知する工程を含むことを特徴とする請求項7または10記載のはんだ検査方法。
- 使用されるはんだが、鉛を含まないはんだであることを特徴とする請求項7〜11いずれか1項記載のはんだ検査方法。
- 電極が基板にはんだ付けされた電子部品に対して光ビームを照射して、電子部品とはんだとの接合状態を検査するはんだ検査装置において、
前記電子部品の電極近傍のはんだ表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記はんだの前記基板からの高さを検知するはんだ高さ検知手段と、前記電極表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記電極の前記基板からの高さを検知する電極高さ検知手段と、検知された電極とはんだとの基板からの高さのデータに基づいて、前記電極と前記はんだとの接合状態を判定する判定手段とを備えたことを特徴とするはんだ検査装置。 - 前記判定手段において、前記電極の基板からの高さを、前記電極の厚さのデータと、前記電極高さ検知手段から得た電極高さのデータとに基づいて演算して求めることを特徴とする請求項13記載のはんだ検査装置。
- 前記判定手段において、前記電極の基板からの高さと前記はんだの基板からの高さとを比較し、前記電極の基板からの高さが前記はんだの基板からの高さよりも大である場合にはんだ接合不良であると判定することを特徴とする請求項13または14記載のはんだ検査装置。
- 前記はんだ高さ検知手段が、光ビームをはんだを横切るようにスキャンさせる光出射部と、該光出射部からの反射光を受光する受光部と、該受光部からのスキャンデータに基づいてスキャンされた前記はんだ部分の断面形状を得て、該断面形状に基づいて前記はんだの高さを求める演算処理部とを備えたことを特徴とする請求項13記載のはんだ検査装置。
- 前記演算処理部において、前記電極近傍のはんだ上面に対する最初のスキャンラインにおけるスキャンデータに基づいて、前記はんだの高さを求めることを特徴とする請求項16記載のはんだ検査装置。
- 前記はんだとして、鉛を含まないはんだを用いたことを特徴とする請求項13〜17いずれか1項記載のはんだ検査装置。
- 電極が基板にはんだ付けされた電子部品に対して光ビームを照射して、電子部品とはんだとの接合状態を検査するはんだ検査装置に搭載させるコンピュータを、
前記電子部品の電極近傍のはんだ表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記はんだの前記基板からの高さを検知するはんだ高さ検知手段、
前記電極表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記電極の前記基板からの高さを検知する電極高さ検知手段、
検知された電極とはんだとの基板からの高さのデータに基づいて、前記電極と前記はんだとの接合状態を判定する判定手段、
として機能させることを特徴とするはんだ検査用プログラム。 - 前記コンピュータを前記判定手段として、前記電極の基板からの高さを、前記電極の厚さのデータと、前記電極高さ検知手段から得た電極高さのデータとに基づいて演算するように機能させることを特徴とする請求項19記載のはんだ検査用プログラム。
- 前記コンピュータを前記判定手段として、前記電極の基板からの高さと前記はんだの基板からの高さとを比較し、前記電極の基板からの高さが前記はんだの基板からの高さよりも大である場合にはんだ接合不良であると判定するように機能させることを特徴とする請求項19または20記載のはんだ検査用プログラム。
- 前記コンピュータを前記はんだ高さ検知手段として、光ビームをはんだを横切るようにスキャンさせ、該スキャンデータからスキャンされた前記はんだ部分の断面形状を検知し、該断面形状に基づいて前記はんだの高さを検知するように機能させることを特徴とする請求項19記載のはんだ検査用プログラム。
- 前記コンピュータを前記はんだ高さ検知手段として、前記電極近傍のはんだ上面に対する最初のスキャンラインにおけるスキャンデータに基づいて、前記はんだの高さを検知するように機能させることを特徴とする請求項19または22記載のはんだ検査用プログラム。
- 電極が基板にはんだ付けされた電子部品に対して光ビームを照射して、電子部品とはんだとの接合状態を検査するはんだ検査装置に搭載させるコンピュータを、
前記電子部品の電極近傍のはんだ表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記はんだの前記基板からの高さを検知するはんだ高さ検知手段、
前記電極表面を光ビームにてスキャンさせ、該スキャンデータから前記電極の前記基板からの高さを検知する電極高さ検知手段、
検知された電極とはんだとの基板からの高さのデータに基づいて、前記電極と前記はんだとの接合状態を判定する判定手段、
として機能させるためのはんだ検査用プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。 - 前記コンピュータを前記判定手段として、前記電極の基板からの高さを、前記電極の厚さのデータと、前記電極高さ検知手段から得た電極高さのデータとに基づいて演算するように機能させるためのはんだ検査用プログラムを記録したことを特徴とする請求項24記載の記録媒体。
- 前記コンピュータを前記判定手段として、前記電極の基板からの高さと前記はんだの基板からの高さとを比較し、前記電極の基板からの高さが前記はんだの基板からの高さよりも大である場合にはんだ接合不良であると判定するように機能させるためのはんだ検査用プログラムを記録したことを特徴とする請求項24または25記載の記録媒体。
- 前記コンピュータを前記はんだ高さ検知手段として、光ビームをはんだを横切るようにスキャンさせ、該スキャンデータからスキャンされた前記はんだ部分の断面形状を検知し、該断面形状に基づいて前記はんだの高さを検知するように機能させるためのはんだ検査用プログラムを記録したことを特徴とする請求項24記載の記録媒体。
- 前記コンピュータを前記はんだ高さ検知手段として、前記電極近傍のはんだ上面に対する最初のスキャンラインにおけるスキャンデータに基づいて、前記はんだの高さを検知するように機能させるためのはんだ検査用プログラムを記録したことを特徴とする請求項24または27記載の記録媒体。
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