JP2007019076A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露光装置1に、動作制御により露光パターンを形成することが可能な露光パターン形成手段と、前記露光パターン形成手段の動作を制御して前記露光パターン形成手段に所望の露光パターンを形成させる制御部12と、前記露光パターンを基板上で走査する偏向反射手段としてのガルバノミラ−9とを設け、ガルバノミラ−9のミラー面に前記露光パターンを該露光パターンと同一の複数の露光パターンに分岐させ、分岐した複数の露光パターンで同時に基板の露光を行う反射型回折光学素子を形成する。
【選択図】図1
Description
2 光源
3 DMD
4 コリメータレンズ
5,6 レンズ
7,8 絞り面
9 ガルバノミラー
10 結像レンズ
11 制御装置
12 制御部
13 入力部
14 記憶部
15 ステージ駆動部
Claims (6)
- 動作制御により露光パターンを形成することが可能な露光パターン形成手段と、前記露光パターン形成手段の動作を制御して前記露光パターン形成手段に所望の露光パターンを形成させる制御手段と、前記露光パターンを該露光パターンと同一の複数の露光パターンに分岐させ、分岐した複数の露光パターンで同時に基板の露光を行う反射型回折光学素子と、前記露光パターンを基板上で走査する偏向反射手段と、を備えることを特徴とする露光装置。
- 前記偏向反射手段はガルバノミラーにより構成され、該ガルバノミラーのミラー面に前記反射型回折光学素子が形成されていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記露光パターン形成手段は、角度可変なミラーが縦横に並設され該ミラーの各々の角度を独立制御可能であり、前記制御手段が前記ミラーの各々の角度を独立に制御することによって前記ミラーにより露光パターンを形成することが可能な空間光変調手段であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の露光装置。
- 露光パターンを偏向反射する偏向反射手段を使用して前記露光パターンを基板上で走査して前記露光パターンにより基板を露光する露光方法であって、前記露光パターンを該露光パターンと同一の複数の露光パターンに分岐させる反射型回折光学素子を使用することにより、分岐した複数の露光パターンで同時に基板の露光を行うことを特徴とする露光方法。
- 前記偏向反射手段としてミラー面に前記反射型回折光学素子が形成されたガルバノミラーを使用することを特徴とする請求項4記載の露光方法。
- 前記露光パターン形成手段として角度可変なミラーが縦横に並設され該ミラーの各々の角度を独立制御可能な空間光変調手段を使用し、前記ミラーの各々の角度を独立に制御して前記空間光変調手段の前記ミラーによって露光パターンを形成することを特徴とする請求項4又は請求項5記載の露光方法。
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