JP2007017967A - 平板ディスプレイ装置及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】平板ディスプレイ装置及びその製造方法に係り、金属基板を利用してフレキシブルが可能で、外部からの電気的衝撃を受けない平面ディスプレイ装置。
【解決手段】基板10の一面を覆う第1絶縁体11、前記基板10の他面に配置されたディスプレイ部20、及び前記基板10の端部が露出されないように前記基板10の端部を覆う第2絶縁体12を備えることを特徴とする平板ディスプレイ装置である。
【選択図】図6

Description

本発明は、平板ディスプレイ装置及びその製造方法に係り、特に金属基板を利用してフレキシブル化が可能であり、かつ外部からの電気的衝撃を受けない平板ディスプレイ装置及びその製造方法に関する。
通常的に有機電界発光ディスプレイ装置、TFT(Thin Film Transistor)−LCD(Liquid Crystal Display)のような平板型のディスプレイ装置は、駆動特性上、超薄型化及びフレキシブル化が可能であって、これについての多くの研究が行われている。
平板型のディスプレイ装置が薄型化及び柔軟性を有するためには、フレキシブル基板を使用するが、このようなフレキシブル基板としては、一般的に合成樹脂材からなる基板が使われた。しかし、平板型のディスプレイ装置は、その特性によって、有機膜、駆動のためのTFT、電極または配向膜などの多様な構造を備えているため、それらを形成するための非常に複雑な工程条件も満足させねばならない。したがって、合成樹脂材の基板を利用する場合、そのような工程条件により基板が変形されるか、または基板上に形成される薄膜などが変形されるという問題点があった。
このような合成樹脂材の基板の限界を克服するために、最近は、前記合成樹脂材の基板の代わりに金属フォイルを基板として使用する技術が研究されつつある。
このような金属フォイルの基板は、光が金属フォイルの基板の逆方向に放出される前面発光型の構造として使用するのに十分であり、また、非晶質シリコンを多結晶シリコンに結晶化する高温工程を比較的自由に行えるなど、従来の基板に比べて工程条件に比較的敏感ではないという長所がある。特許文献1には、このように金属フォイルを基板として使用した能動駆動型の有機電界発光ディスプレイ装置が開示されている。
一方、このような金属基板は、電気的導体であるので、最終のディスプレイ装置で外部に露出させないことが望ましい。このとき、ディスプレイ部が備えられる面の逆面は、絶縁体で覆って露出させないが、量産時には、一連の工程を経て一つのディスプレイ装置のみを製造するものではなく、複数個のディスプレイ装置を同時に生産するので、金属基板の端部は外部に露出されるという問題点があった。すなわち、一つの金属基板上に複数個のディスプレイ部を形成した後、金属基板を切断して複数個のディスプレイ装置を同時に製造するが、この過程で、ディスプレイ部の形成前に金属基板を絶縁体で覆うとしても、金属基板を切断して複数個のディスプレイ装置を形成するステップで金属基板の端部が露出されるという問題点があった。このように金属基板の一部が露出される場合、静電気などがディスプレイ部に影響を与えて寿命を短縮させ、不良をもたらすという問題点があった。
米国特許出願公開第2004/0,087,066号明細書
本発明の目的は、金属基板を利用してフレキシブル化が可能であり、かつ外部からの電気的衝撃を受けない平板ディスプレイ装置及びその製造方法を提供することである。
前記の目的を達成するために、本発明は、基板、前記基板の一面を覆う第1絶縁体、前記基板の他面に配置されたディスプレイ部、及び前記基板の端部が露出されないように前記基板の端部を覆う第2絶縁体を備えることを特徴とする平板ディスプレイ装置を提供する。
本発明の他の特徴によれば、前記基板の他面を覆う第3絶縁体をさらに備え、前記ディスプレイ部は、前記第3絶縁体上に備えられる。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第1絶縁体及び前記第3絶縁体は、同一な物質で形成される。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は無機絶縁体である。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム及びそれらの化合物のうち少なくとも一つを含む。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は有機絶縁体である。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は、PI(ポリイミド)、パリレン、PMMA(ポリメチルメタクリレート)、エポキシ、PS(ポリスチレン)、PE(ポリエチレン)、PP(ポリプロピレン)、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、PPS(ポリフェニレンサルファイド)、PC(ポリカーボネート)、PET(ポリエチレンテレフタレート)、PVC(ポリ塩化ビニル)、BCB(ベンゾシクロブテン)、PVP(ポリビニルピロリドン)、PAN(ポリアクリロニトリル)、PVA(ポリビニルアルコール)、フェノール樹脂及びCYPE(シクロペンテン)のうち少なくとも一つを含む。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記基板は金属基板である。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記金属基板は、ステンレススチール、Ti、Mo、インバー合金、インコネル合金及びコバール合金のうち少なくとも一つを含む。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記ディスプレイ部は、電界発光素子を備えるディスプレイ部である。
前記の目的を達成するために、本発明は、金属基板の一面を覆うように第1絶縁体を形成する工程、前記金属基板の他面に複数個のディスプレイ部を形成する工程、前記金属基板を前記各ディスプレイ部の外周部に沿って切断して複数個のディスプレイパネルを形成する工程、及び前記各ディスプレイパネルの金属基板の端部を覆うように第2絶縁体を形成する工程を含むことを特徴とする平板ディスプレイ装置の製造方法を提供する。
本発明の他の特徴によれば、前記第1絶縁体を形成する工程と前記ディスプレイ部を形成する工程との間に、前記金属基板の他面を覆うように第3絶縁体を形成する工程をさらに含み、前記ディスプレイ部を形成する工程は、前記第3絶縁体上に複数個のディスプレイ部を形成する工程である。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第1絶縁体を形成する工程及び前記第3絶縁体を形成する工程は、同時に行われる。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は、無機物で形成される。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム及びそれらの化合物のうち少なくとも一つを含むように形成される。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は、有機物で形成される。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記第2絶縁体は、PI、パリレン、PMMA、エポキシ、PS、PE、PP、PTFE、PPS、PC、PET、PVC、BCB、PVP、PAN、PVA、フェノール樹脂及びCYPEのうち少なくとも一つを含む。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記金属基板は、ステンレススチール、Ti、Mo、インバー合金、インコネル合金及びコバール合金のうち少なくとも一つを含む。
本発明のさらに他の特徴によれば、前記ディスプレイ部を形成する工程は、電界発光素子を備えたディスプレイ部を形成する工程である。
本発明の平板ディスプレイ装置及びその製造方法によれば、次のような効果が得られる。
第一に、金属基板あるいは導電性基板を使用することによって、高温工程でも容易に平板ディスプレイ装置を製造できる。
第二に、金属基板あるいは導電性基板を使用することによって、さらにフレキシブルな平板ディスプレイ装置を製造できる。
第三に、金属基板あるいは導電性基板を露出させないことによって、静電気のような外部からの電気的衝撃からディスプレイ部を保護して不良などを防止でき、それを通じてディスプレイ装置の寿命を著しく延長させうる。
以下、添付された図面を参照して、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。
図1ないし図6は、本発明の望ましい第1実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図または断面図である。
まず、図1及び図2に示したように、金属基板10を利用して平板ディスプレイ装置を製造する。金属基板10は、金属フォイルで備えられるが、ステンレススチール、Ti、Mo、インバー合金、インコネル合金及びコバール合金のうち少なくとも一つを含む。前記金属基板10は、その表面を洗浄した後に平坦化処理を行うことが望ましいが、この平坦化処理は、化学的機械的研磨(Chemical Mechanical Polishing:CMP)方法を利用して行える。
前記金属基板10の一面には、第1絶縁体11が形成される。この第1絶縁体11は、最終的に製造された平板ディスプレイ装置で金属基板10の面の露出を防止する役割を行うものであって、有機物または無機物で形成される。このような無機物としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム及びそれらの化合物のうち少なくとも一つを含むものが挙げられ、有機物としては、PI、パリレン、PMMA、エポキシ、PS、PE、PP、PTFE、PPS、PC、PET、PVC、BCB、PVP、PAN、PVA、フェノール樹脂またはCYPEのような物質が挙げられる。
次いで、図3に示したように、金属基板10の他面に複数個のディスプレイ部20を形成する。このディスプレイ部20は、多様な素子を利用して形成できるが、例えば電界発光素子、電子放出素子または液晶素子などが挙げられる。特に、本発明は、前述したようにフレキシブル特性が要求されるディスプレイ装置に適用されるときにその効用性が高く、このようなフレキシブル特性の具現に最も望ましい素子としては電界発光素子が挙げられる。
この電界発光素子の構造を簡略に説明すれば、次の通りである。
電界発光素子を備えた平板ディスプレイ装置は、発光層での発光色相によって多様な画素パターンを備えるが、例えば赤色、緑色及び青色の画素を備える。前記電界発光素子は、電流駆動方式の発光素子であって、素子を構成する両電極の間の電流フローによって赤色、緑色または青色の光を発光して所定の画像を具現する。
電界発光素子は、第1電極、第1電極の上部に備えられる少なくとも発光層を備える中間層、及び中間層の上部に備えられる第2電極から構成される。本発明は、必ずしも前記のような構造に限定されるものではなく、多様な電界発光素子の構造がそのまま適用されうる。
第1電極はアノード電極の機能を行い、第2電極はカソード電極の機能を行うが、もちろん、それらの第1電極及び第2電極の極性は逆になってもよい。
第1電極は、透明電極または反射型電極で備えられるが、透明電極として使われるときには、ITO、IZO、ZnOまたはInで備えられる。反射型電極として使われるときには、Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Crまたはそれらの化合物などで反射膜を形成した後、その上にITO、IZO、ZnOまたはIn層を形成して備えられる。第1電極のパターンは、受動駆動型(Passive Matrix:PM)の場合には、フォトリソグラフィ方法などを利用して互いに所定間隔ほど離れたストライプ状のラインで形成され、能動駆動型(Active Matrix:AM)の場合には、画素に対応する形態に形成される。AMの場合には、また、第1電極と基板との間に少なくとも一つのTFTを備えたTFT層がさらに備えられ、第1電極は、このTFT層に電気的に連結される。
第2電極も、透明電極または反射型電極で備えられるが、透明電極として使われるときには、第2電極がカソード電極として使われうるので、Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mgまたはそれらの化合物が中間層に向かうように蒸着した後、その上にITO、IZO、ZnOまたはInなどの透明電極形成用の物質で補助電極やバス電極ラインを備えて形成できる。そして、反射型電極として使われるときには、Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mgまたはそれらの化合物を全面蒸着して形成できる。しかし、必ずしもこれに限定されるものではなく、第1電極及び第2電極として伝導性ポリマーなど有機物を使用してもよい。
第2電極は、PMの場合には、第1電極のパターンに直交するストライプ状のラインで備えられ、AMの場合には、全体画素を覆うように、または各画素に対応するように備えられる。
一方、第1電極と第2電極との間に介在される中間層は、第1電極と第2電極の電気的駆動により発光する発光層を有し、中間層の種類によって、電界発光素子が有機電界発光素子または無機電界発光素子に区分されうる。
有機電界発光素子の場合には、低分子有機膜または高分子有機膜で備えられる。
低分子有機膜を使用する場合、中間層は、ホール注入層(Hole Injection Layer:HIL)、ホール輸送層(Hole Transport Layer:HTL)、発光層(Emission Layer:EML)、電子輸送層(Electron Transport Layer:ETL)及び電子注入層(Electron Injection Layer:EIL)などが単一あるいは複合の構造に積層されて形成され、使用可能な有機材料も銅フタロシアニン(CuPc)、N,N’−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N’−ジフェニル−ベンジジン(NPB)、トリス−8−ヒドロキシキノリンアルミニウム(Alq3)などを始めとして多様に適用可能である。このような低分子有機膜は、真空中で有機物を加熱して蒸着する方式で形成されうる。もちろん、中間層の構造は、必ずしも前記に限定されるものではなく、必要に応じて多様な層として構成できる。
高分子有機膜を使用する場合には、中間層は、ほぼHTL及びEMLで備えられる。高分子HTLは、ポリエチレンジヒドロキシチオフェン(PEDOT)やポリアニリン(PANI)などを使用して、インクジェットプリンティング法やスピンコーティング法により形成されうる。高分子のEMLは、ポリフェニレンビニレン(PPV)、可溶性PPV、シアノ−PPV、ポリフルオレンなどで備えられ、インクジェットプリンティングやスピンコーティングまたはレーザを利用した熱転写方式などの通常の方法でカラーパターンを形成できる。もちろん、このような高分子有機層の場合にも、前記中間層の構造は、必ずしも前記に限定されるものではなく、必要に応じて多様な層として構成できる。
無機電界発光素子の場合には、中間層は、無機膜で備えられ、これは、EML及び前記EMLと電極との間に介在された絶縁層で備えられる。もちろん、中間層の構造は、必ずしも前記に限定されるものではなく、必要に応じて多様な層として構成できる。このとき、EMLは、ZnS、SrS、CaSのような金属硫化物またはCaGa、SrGaのようなアルカリ土類ガリウム硫化物、及びMn、Ce、Tb、Eu、Tm、Er、Pr、Pbなどを含む遷移金属またはアルカリ希土類金属で備えられる。
このようにディスプレイ部20を形成した後、金属基板10を各ディスプレイ部20の外周部に沿って切断して複数個のディスプレイパネルを形成する。すなわち、図4で概略的に示した破線10a,10bに沿って金属基板10を切断して、複数個のディスプレイパネルを形成する。
図5は、このように切断して製造されたディスプレイパネルを示す図面である。このとき、金属基板10の端部が外部に露出しているので、図6に示したように、ディスプレイパネルの金属基板10の端部を覆うように第2絶縁体12を形成する。
前記第2絶縁体12も、有機物または無機物で形成されうる。無機物としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム及びそれらの化合物のうち少なくとも一つを含むものが挙げられ、有機物としては、PI、パリレン、PMMA、エポキシ、PS、PE、PP、PTFE、PPS、PC、PET、PVC、BCB、PVP、PAN、PVA、フェノール樹脂またはCYPEのような物質が挙げられる。
一方、図6に示すように、金属基板10の面のうち、ディスプレイ部20が形成された面が露出している。さらに正確に説明すれば、ディスプレイ部20の外周部で金属基板10は露出しているが、図6に示したような平板ディスプレイ装置は、携帯電話または他の装置に結合されることによって、金属基板10を露出させない。
もちろん、前記平板ディスプレイ装置が他の装置に結合されず、それ自体として独立されたディスプレイ装置となることもあるが、図7は、そのような変形例を概略的に示す図面である。
すなわち、図7に示したように、シーラント40を利用してディスプレイ部20の外側に金属基板10に付着される対向部材30がさらに備えられる。特に、ディスプレイ部20が前述したように電界発光素子で備えられる場合、この電界発光素子は、外部の水分及び酸素などに非常に脆弱であるので、それを保護するために対向部材30がさらに備えられることが望ましい。この場合、対向部材30の内側には、外部から浸透した水分及び酸素などを除去するための除湿剤などが必要に応じてさらに備えられてもよい。一方、ディスプレイ部20から放出される光は、金属基板10でない対向部材30を通じて外部に取り出されねばならないので、この対向部材30は透明であることが望ましい。
もちろん、図6のように対向部材が備えられていない場合にも、第2絶縁体12が、金属基板10が露出されないようにディスプレイ部20に隣接した部分まで備えられてもよいなど、多様な変形が可能であるということは自明である。
この場合、金属基板10は、露出されず、フレキシブル特性を維持し、かつ外部からの静電気などによりディスプレイ部20の損傷を防止できる。
もちろん、第2絶縁体12が形成される前に対向部材30が備えられ、次いで、第2絶縁体12が形成されてもよいが、図8は、そのような平板ディスプレイ装置を示す図面である。
本実施形態において、基板10が金属基板である場合についてのみ説明したが、本発明は、これに限定されていない。すなわち、導電性物質で形成された基板ならば、前述したようにその端部を外部に露出させない必要があるので、このような場合にも本発明が適用されうる。これは、後述する実施形態においても同一である。
図9ないし図12は、本発明の望ましい第2実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図または断面図である。
本実施形態による製造工程が前述した製造工程と異なる点は、金属基板10の他面にディスプレイ部を形成する前に、その面に第3絶縁体13を形成するという点である。
金属基板10は、電気的に導体であるので、その上部に形成されるディスプレイ部と絶縁させる必要がある場合には、前記第3絶縁体13をあらかじめ形成する必要がある。もちろん、その上部に形成されるディスプレイ部の一構成要素と電気的疎通をなす場合にも、そのディスプレイ部の他の構成要素と電気的に絶縁される必要があるので、必要に応じて前記第3絶縁体13を備える。また、金属基板10から後でディスプレイ部に金属成分が拡散されることを防止するための目的でも、前記第3絶縁体13が必要に応じて形成されてもよい。
この場合、第1絶縁体11及び第3絶縁体13は、相異なる工程を経て形成されてもよく、同時に形成されてもよい。例えば、ディッピング法のような方法を利用して同時に形成されてもよい。この場合には、第1絶縁体11及び第3絶縁体13は、同じ物質で形成される。
次いで、図10に示したように、第3絶縁体13上に複数個のディスプレイ部20を形成し、図11に示したように、各ディスプレイ部の外周部に沿って金属基板10を切断して複数個のディスプレイパネルを製造する。
この場合、金属基板10を切断することによって、第1絶縁体11及び第3絶縁体13により覆われていない金属基板10の端部が露出されるが、これを防止するために、金属基板10の端部に第2絶縁体12を形成して金属基板10を露出させない。第1絶縁体11及び第2絶縁体12の材料などは、前述した実施形態で説明した通りである。
もちろん、図示していないが、前述した実施形態及び変形例で説明したように、対向部材がさらに備えられてもよいなど多様な変形が可能である。
前記実施形態及びその変形例では、ディスプレイ部が電界発光素子を備えた場合である電界発光ディスプレイ装置について説明したが、本発明はこれに限定されていない。すなわち、ディスプレイ部は、液晶で形成されてもよく、電子放出素子で形成されてもよいなど多様な変形が可能である。
本発明は、図面に示した実施形態を参照して説明されたが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により決まらねばならない。
本発明は、平板ディスプレイ装置関連の技術分野に適用可能である。
本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図である。 本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す断面図である。 本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図である。 本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図である。 本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す断面図である。 本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す断面図である。 図6に示した本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の変形例を概略的に示す断面図である。 図6に示した本発明の望ましい一実施形態による平板ディスプレイ装置の他の変形例を概略的に示す断面図である。 本発明の望ましい他の実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す断面図である。 本発明の望ましい他の実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図である。 本発明の望ましい他の実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す平面図である。 本発明の望ましい他の実施形態による平板ディスプレイ装置の製造工程を概略的に示す断面図である。
符号の説明
10 基板
11 第1絶縁体
12 第2絶縁体
13 第3絶縁体
20 ディスプレイ部
30 対向部材
40 シーラント

Claims (19)

  1. 基板と、
    前記基板の一面を覆う第1絶縁体と、
    前記基板の他面に配置されたディスプレイ部と、
    前記基板の端部が露出されないように前記基板の端部を覆う第2絶縁体と、を備えることを特徴とする平板ディスプレイ装置。
  2. 前記基板の他面を覆う第3絶縁体をさらに備え、前記ディスプレイ部は、前記第3絶縁体上に備えられることを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ装置。
  3. 前記第1絶縁体及び前記第3絶縁体は、同一な物質で形成されることを特徴とする請求項2に記載の平板ディスプレイ装置。
  4. 前記第2絶縁体は、無機絶縁体であることを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ装置。
  5. 前記第2絶縁体は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム及びそれらの化合物のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項4に記載の平板ディスプレイ装置。
  6. 前記第2絶縁体は、有機絶縁体であることを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ装置。
  7. 前記第2絶縁体は、PI、パリレン、PMMA、エポキシ、PS、PE、PP、PTFE、PPS、PC、PET、PVC、BCB、PVP、PAN、PVA、フェノール樹脂及びCYPEのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項6に記載の平板ディスプレイ装置。
  8. 前記基板は、金属基板であることを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ装置。
  9. 前記金属基板は、ステンレススチール、Ti、Mo、インバー合金、インコネル合金及びコバール合金のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項8に記載の平板ディスプレイ装置。
  10. 前記ディスプレイ部は、電界発光素子を備えるディスプレイ部であることを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ装置。
  11. 金属基板の一面を覆うように第1絶縁体を形成する工程と、
    前記金属基板の他面に複数個のディスプレイ部を形成する工程と、
    前記金属基板を前記各ディスプレイ部の外周部に沿って切断して複数個のディスプレイパネルを形成する工程と、
    前記各ディスプレイパネルの金属基板の端部を覆うように第2絶縁体を形成する工程と、を含むことを特徴とする平板ディスプレイ装置の製造方法。
  12. 前記第1絶縁体を形成する工程と前記ディスプレイ部を形成する工程との間に、前記金属基板の他面を覆うように第3絶縁体を形成する工程をさらに含み、
    前記ディスプレイ部を形成する工程は、前記第3絶縁体上に複数個のディスプレイ部を形成する工程であることを特徴とする請求項11に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  13. 前記第1絶縁体を形成する工程及び前記第3絶縁体を形成する工程は、同時に行われることを特徴とする請求項12に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  14. 前記第2絶縁体は、無機物で形成されることを特徴とする請求項11に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  15. 前記第2絶縁体は、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム及びそれらの化合物のうち少なくとも一つを含むように形成されることを特徴とする請求項14に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  16. 前記第2絶縁体は、有機物で形成されることを特徴とする請求項11に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  17. 前記第2絶縁体は、PI、パリレン、PMMA、エポキシ、PS、PE、PP、PTFE、PPS、PC、PET、PVC、BCB、PVP、PAN、PVA、フェノール樹脂及びCYPEのうち少なくとも一つを含むように形成されることを特徴とする請求項16に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  18. 前記金属基板は、ステンレススチール、Ti、Mo、インバー合金、インコネル合金及びコバール合金のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項11に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
  19. 前記ディスプレイ部を形成する工程は、電界発光素子を備えたディスプレイ部を形成する工程であることを特徴とする請求項11に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
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