JP2007017353A

JP2007017353A - 磁気エンコーダ

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Publication number: JP2007017353A
Application number: JP2005200899A
Authority: JP
Inventors: Eikichi Ariga; 英吉有賀; Katsuya Moriyama; 克也森山; Naoyuki Noguchi; 直之野口
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2005-07-08
Filing date: 2005-07-08
Publication date: 2007-01-25
Anticipated expiration: 2025-07-08
Also published as: JP5073183B2; CN101213424B; CN101213424A; US20100176801A1; WO2007007585A1

Abstract

【課題】回転磁界検出型の磁気エンコーダの検出精度を向上することのできる構成を提供すること。
【解決手段】磁気エンコーダ１において、磁気スケールとしての永久磁石２０では、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラック２１が３列、形成されている。永久磁石２０では、トラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの幅方向の縁部分２１１では、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されており、トラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの境界部分２１２に対して磁気センサ１５のセンサ面１６を面対向させている。
【選択図】図４

Description

本発明は、磁気抵抗素子をセンサ面に備えた磁気センサと、該磁気センサに対して相対移動する永久磁石とを有する磁気エンコーダに関するものである。

磁気エンコーダは、磁気抵抗素子をセンサ面に備えた磁気センサと、磁気センサに対して相対移動する永久磁石とを有し、この永久磁石には、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラックが形成されている（例えば、特許文献１、２、３参照）。

このような磁気エンコーダは、一般に、一定方向の磁界の強弱により位置検出するタイプと、飽和感度領域以上の磁界強度で回転磁界の方向を検出するタイプとがあり、後者の磁気エンコーダの代表的なものが、図１１（ａ）に示すロータリエンコーダである。このロータリエンコーダ１０１では、回転体１０５の上端面１５１に２つの磁極を備えた永久磁石１２０が形成されており、回転体１０５の回転によって、磁気センサ１２５が検出する回転磁界の方向を検出することにより、回転体１０５の回転数を検出する。

ここで、回転磁界の方向を検出する際の原理は以下のとおりである。まず、図１２（ａ）に示すように、強磁性金属からなる磁気抵抗パターン３０１に矢印Ａで示す電流を流し、かつ、図１２（ｂ）に示すように、抵抗値が飽和する磁界強度Ｈを印加したとき、磁界と電流方向がなす角度θと、磁気抵抗パターンの抵抗値Ｒとの間には、下式
Ｒ＝Ｒ₀−ｋ×ｓｉｎ²θ
Ｒ₀：無磁界中での抵抗値
ｋ：飽和感度領域以上のときは定数
で示す関係がある。従って、角度θが変化すると抵抗値、Ｒは図１２（ｃ）に示すように変化するので、磁気センサによって、回転体の回転数を検出することができる。また、特許文献３に開示の構成では、Ｓ／Ｎ比を改善することを目的に隙間寸法を狭くすると波形歪が大きくなるが、回転磁界検出型のエンコーダによれば、隙間寸法を狭くしても正弦波成分を安定して得ることができる。

また、図１１（ｂ）に示すように、永久磁石２２０において移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラック２２１を形成した場合、各磁極の間では、永久磁石２２０に対して垂直な面内で磁界の方向が連続的に変化し、回転磁界が形成されるので、永久磁石２２０に対してセンサ面２１６を垂直に向くように磁気センサ２１５を配置すれば、リニアエンコーダ２０１を構成することもできる。
特開平５−１７２９２１号公報特開平５−２６４７０１号公報特開平６−２０７８３４号公報

しかしながら、図１１（ｂ）に示すように、永久磁石２２０に対してセンサ面２１６を垂直に向けてリニアエンコーダ２０１を構成した場合、永久磁石２２０から離れた位置では磁界が飽和感度領域に達しないことがあり、このような場合には、回転磁界による検出精度が著しく低下するという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、回転磁界検出型の磁気エンコーダの検出精度を向上することのできる構成を提供することにある。

以上のような課題を解決するために、本発明では、磁気抵抗素子をセンサ面に備えた磁気センサと、該磁気センサに対して相対移動する永久磁石とを有し、当該永久磁石には、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラックが形成されている磁気エンコーダにおいて、前記磁気センサは、前記センサ面が前記トラックの幅方向の縁部分に面対向し、当該縁部分で面内方向の向きが変化する回転磁界を検出することを特徴とする。

本願出願人は、永久磁石の磁界を調査、検討したところ、Ｎ極とＳ極が交互に並ぶトラックの幅方向の縁部分では、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されているという新たな知見を得た。本発明は、かかる新たな知見に基づいて成されたものであり、トラックの幅方向の縁部分で面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されているのであれば、磁気センサのセンサ面をトラックの幅方向の縁部分に面対向させても、回転磁界を検出でき、磁気エンコーダを構成することができる。また、本発明では、磁気センサのセンサ面をトラックの幅方向の縁部分に面対向させているため、永久磁石に対してセンサ面を垂直に向けた場合と違って、永久磁石から離れた位置で磁界が飽和感度領域に達しないということを回避できるので、検出精度を向上することができる。

本発明において、前記永久磁石は、前記トラックが幅方向で複数、並列し、前記複数のトラックでは、隣接するトラック間でＮ極およびＳ極の位置が前記移動方向でずれていることが好ましい。隣接するトラック間でＮ極およびＳ極の位置が移動方向でずれていれば、トラックの幅方向における縁部分のうち、トラックの境界部分では、強度の大きな回転磁界が発生する。従って、かかるトラックの境界部分に対して磁気センサのセンサ面を面対向させれば、磁気エンコーダの感度を向上することができる。

本発明において、前記の隣接するトラック間でＮ極およびＳ極の位置が前記移動方向で１磁極分、ずれていることが好ましい。

本発明において、前記永久磁石は、例えば、前記トラックが幅方向で２列、並列している。

本発明において、前記永久磁石は、前記トラックが幅方向で３列以上、並列している場合があり、この場合、前記磁気センサは、前記センサ面が幅方向において３列以上のトラックと対向し、かつ、前記センサ面の両端部分が対向するトラック間では前記移動方向におけるＮ極およびＳ極の位置が一致していることが好ましい。このように構成すると、永久磁石と磁気センサとの幅方向における相対位置がずれても、検出感度が変化しないという利点がある。

本発明において、前記永久磁石は、前記トラックが１列、形成されている構成であってもよい。トラックが１列の場合でも、幅方向の縁部分で面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されているので、磁気センサのセンサ面をトラックの幅方向の縁部分に面対向させても、回転磁界を検出でき、磁気エンコーダを構成することができる。

本発明に係る磁気エンコーダは、リニアエンコーダまたはロータリエンコーダとして構成される。また、本発明に係る磁気エンコーダがロータリエンコーダとして構成する場合、前記永久磁石は、回転体の端面または周面に形成すればよい。

本発明では、永久磁石のトラックの幅方向の縁部分に面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されているのを利用して、磁気センサのセンサ面をトラックの幅方向の縁部分に面対向させて回転磁界を検出している。このため、回転磁界検出型の磁気エンコーダでありながら、永久磁石から離れた位置で磁界が飽和感度領域に達しないということを回避できるので、検出精度を向上することができる。

図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。

［実施の形態１］
図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明を適用した磁気エンコーダ（リニアエンコーダ）の構成を模式的に示す斜視図、断面図、およびその原理を示す説明図である。図２は、本発明の実施の形態１に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態１に係る磁気エンコーダにおいて、永久磁石に形成されている磁界の向きを平面的にみたときの説明図、斜めにみたときの説明図、および側方からみたときの説明図である。

図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、本形態の磁気エンコーダ１は、コード１９が接続されたセンサヘッド１０と、帯状に延びた永久磁石２０からなる磁気スケールとを有しており、センサヘッド１０と永久磁石２０とが長手方向に相対移動することにより、その相対位置を検出する。例えば、工作機械や実装装置において、センサヘッド１０および永久磁石２０のうちの一方を固定体側に配置し、他方を移動体側に配置しておけば、固定体に対する移動体の移動速度や移動距離を検出することができる。

センサヘッド１０には、磁気抵抗素子１２を基板１１上に備えた磁気センサ１５、回路基板１７、回路基板１７と磁気センサ１５とを接続するフレキシブル基板１８などが内蔵されており、基板１１の基板面がセンサ面１６として機能する。基板１１は、シリコン基板やセラミックグレーズ基板であり、基板１１の表面には、強磁性体ＮｉＦｅ等の磁性体膜からなる磁気抵抗パターンを備えた磁気抵抗素子１２が形成されている。ここで、磁気抵抗パターンは、例えば、ホイートストン・ブリッジなどを構成している。なお、磁気センサ１５では、基板１１において磁気抵抗素子１２が形成されている側をセンサ面１６として永久磁石２０に対向させる場合には、その表面に薄い保護膜を形成する。また、磁気センサ１５では、基板１１において磁気抵抗素子１２が形成されている側とは反対側をセンサ面１６とすることもある。

永久磁石２０には、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラック２１が形成されており、本形態では、２列のトラック２１（２１Ａ、２１Ｂ）が幅方向で並列している。ここで、隣接する２つのトラック２１Ａ、２１Ｂ間では、Ｎ極およびＳ極の位置が移動方向で１磁極分、ずれている。

本形態の磁気エンコーダ１において、永久磁石２０では、図３を参照して後述するように、トラック２１Ａ、２１Ｂの幅方向の縁部分２１１では、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されている。特に、トラック２１Ａ、２１Ｂの幅方向における縁部分２１１のうち、隣接するトラック２１Ａ、２１Ｂの境界部分２１２では、強度の大きな回転磁界が発生している。

そこで、本形態では、かかるトラック２１Ａ、２１Ｂの境界部分２１２に対して磁気センサ１５のセンサ面１６を面対向させている。ここで、１つのトラック２１の幅寸法は、例えば１ｍｍであり、センサ面１６の幅寸法は、例えば１ｍｍである。また、センサ面１６は、永久磁石２０の幅方向の中央に位置しているため、センサ面１６の幅方向における一方の端部１６１は、２つのトラック２１Ａ、２１Ｂのうち、一方のトラック２１Ａの幅方向の中央に位置し、他方の端部１６２は、他方のトラック２１Ｂの幅方向の中央に位置している。

このように構成した磁気エンコーダ１において、永久磁石２０の磁界の面内方向の向きをマトリクス状の微小領域毎に磁場解析したところ、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に矢印で示すように、トラック２１Ａ、２１Ｂの幅方向の縁部分２１１では、円Ｌで囲んだ領域のように、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成され、特に、トラック２１Ａ、２１Ｂの幅方向における縁部分２１１のうち、隣接するトラック２１Ａ、２１Ｂ同士の境界部分２１２では、円Ｌ２で囲んだ領域のように、強度の大きな回転磁界が発生している。

従って、回転磁界型の検出原理については図１２を参照して既に説明したので、その説明を省略するが、本形態の磁気エンコーダ１では、永久磁石２０の隣接するトラック２１Ａ、２１Ｂ同士の境界部分２１２に形成されている回転磁界を磁気センサ１５で検出でき、その結果に基づいて、センサヘッド１０と永久磁石２０との相対移動速度や相対移動距離を検出することができる。それ故、磁気センサ１５からは、波形品位の高い正弦波を得ることができ、かつ、外乱磁界に強いなど、回転磁界検出型の特徴を最大限発揮することができる。しかも、飽和感度領域を利用するので、磁気抵抗素子１２の製造ばらつきの影響を受けることなく、高い検出感度を得ることができる。

また、本形態では、磁気センサ１５のセンサ面１６をトラック２１Ａ、２１Ｂの境界部分２１２に面対向させて回転磁界を検出しているので、永久磁石２０に対してセンサ面を垂直に向けた場合と違って、永久磁石２０から離れた位置で磁界が飽和感度領域に達しないということを回避できるので、磁気センサ１５の取付け精度が低い場合でも、磁気エンコーダ１の検出精度を向上することができる。

なお、本形態では、センサ面１６の幅方向における端部１６１、１６２は各々、トラック２１Ａ、２１Ｂの幅方向の中央に位置している構成であったが、センサ面１６の幅寸法が永久磁石２０の幅寸法よりも広く、センサ面１６の端部１６１、１６２が永久磁石２０の幅方向外側にはみ出している構成を採用してもよい。

［実施の形態２］
図４は、本発明の実施の形態２に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態２に係る磁気エンコーダにおいて、永久磁石に形成されている磁界の向きを平面的にみたときの説明図、斜めにみたときの説明図、および側方からみたときの説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と共通するので、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

図４に示すように、本形態の磁気エンコーダ１も、実施の形態１と同様、磁気センサ１５と永久磁石２０とを有しており、永久磁石では、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラック２１が形成されている。本形態では、３列のトラック２１（２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ）が幅方向で並列している。ここで、隣接する２つのトラック２１Ａ、２１Ｂ間では、Ｎ極およびＳ極の位置が移動方向で１磁極分、ずれており、２つのトラック２１Ｂ、２１Ｃ間では、Ｎ極およびＳ極の位置が移動方向で１磁極分、ずれている。このため、２つのトラック２１Ａ、２１Ｃ間では、Ｎ極およびＳ極の位置が移動方向で一致している。

本形態の磁気エンコーダ１において、永久磁石２０では、図５を参照して後述するように、トラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの幅方向の縁部分２１１では、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されている。特に、隣接するトラック２１Ａ、２１Ｂの境界部分２１２、および隣接するトラック２１Ｂ、２１Ｃの境界部分２１２では、強度の大きな回転磁界が発生している。

そこで、本形態では、かかるトラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの境界部分２１２に対して磁気センサ１５のセンサ面１６を面対向させている。ここで、１つのトラック２１の幅寸法は、例えば１ｍｍであり、センサ面１６の幅寸法は、例えば２ｍｍである。また、センサ面１６は、永久磁石２０の幅方向の中央に位置しているため、センサ面１６の幅方向における一方の端部１６１は、トラック２１Ａの幅方向の中央に位置し、他方の端部１６２は、トラック２１Ｃの幅方向の中央に位置している。

このように構成した磁気エンコーダ１において、永久磁石２０の磁界の面内方向の向きを、マトリクス状の微小領域毎に磁場解析したところ、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、トラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの幅方向の縁部分２１１では、円Ｌで囲んだ領域のように、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成され、特に、トラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの幅方向における縁部分２１１のうち、隣接するトラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの境界部分２１２では、円Ｌ２で囲んだ領域のように、強度の大きな回転磁界が発生している。

従って、本形態の磁気エンコーダ１では、永久磁石２０の隣接するトラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ同士の境界部分２１２に形成されている回転磁界を磁気センサ１５で検出でき、その結果に基づいて、センサヘッド１０と永久磁石２０との相対移動速度や相対移動距離を検出することができる。

また、本形態では、磁気センサ１５のセンサ面１６をトラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃの境界部分２１２に面対向させて回転磁界を検出しているので、永久磁石２０に対してセンサ面を垂直に向けた場合と違って、永久磁石２０から離れた位置で磁界が飽和感度領域に達しないということを回避できるので、磁気エンコーダ１の検出精度を向上することができる。

さらに、本形態において、磁気センサ１５は、センサ面１６が幅方向において３列のトラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃと対向し、かつ、センサ面１６の両端部分が対向するトラック２１Ａ、２１Ｃ間では移動方向におけるＮ極およびＳ極の位置が一致している。このため、永久磁石２０と磁気センサ１５との幅方向における相対位置がずれても、検出感度が変化しないという利点がある。

［実施の形態２の変形例］
図６は、本発明の実施の形態２の変形例に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。

図４を参照して説明した形態では。トラック数が３であったが、図６に示すように、センサ面１６が幅方向において５列のトラック２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄ、２１Ｅと対向し、かつ、センサ面１６の両端部分が対向するトラック２１Ａ、２１Ｅ間では移動方向におけるＮ極およびＳ極の位置が一致している構成を採用してもよい。このように構成した場合も、実施の形態２と同様、永久磁石２０と磁気センサ１５との幅方向における相対位置がずれても、検出感度が変化しないという利点がある。

［実施の形態１、２の変形例］
図７は、本発明の実施の形態１、２の変形例に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。

実施の形態１、２では、隣接する２つのトラック２１Ａ、２１Ｂ間では、Ｎ極およびＳ極の位置が移動方向で１磁極分、ずれていたが、図７に示すように、隣接する２つのトラック２１Ａ、２１Ｂ間では、Ｎ極およびＳ極の位置が移動方向で１／２磁極分のみ、ずれている構成であってもよい。このように構成した場合も、隣接する２つのトラック２１Ａ、２１Ｂの境界部分に発生する回転磁界を磁気センサ１５で検出することができる。

［実施の形態３］
図８は、本発明の実施の形態３に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態３に係る磁気エンコーダにおいて、永久磁石に形成されている磁界の向きを平面的にみたときの説明図、斜めにみたときの説明図、および側方からみたときの説明図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と共通するので、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

図８に示すように、本形態の磁気エンコーダ１も、実施の形態１と同様、磁気センサ１５と永久磁石２０とを有しており、永久磁石では、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラック２１が形成されている。本形態では、１列のトラック２１が形成されている。

本形態の磁気エンコーダ１において、永久磁石２０では、図９を参照して後述するように、トラック２１の幅方向の縁部分２１１では、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されている。

そこで、本形態では、かかるトラック２１の縁部分２１１に対して磁気センサ１５のセンサ面１６を面対向させている。ここで、トラック２１の幅寸法は、例えば１ｍｍであり、センサ面１６の幅寸法は、例えば２ｍｍである。また、トラック２１は、センサ面１６の幅方向の中央に位置しているため、センサ面１６の幅方向における端部１６１、１６２は、トラック２１の幅方向外側にはみ出している。

このように構成した磁気エンコーダ１において、永久磁石２０の磁界の面内方向の向きを、マトリクス状の微小領域毎に磁場解析したところ、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、トラック２１の幅方向の縁部分２１１では、円Ｌで囲んだ領域のように、面内方向の向きが変化する回転磁界が形成されている。

従って、本形態の磁気エンコーダ１では、トラック２１の縁部分２１１に形成されている回転磁界を磁気センサ１５で検出でき、その結果に基づいて、センサヘッド１０と永久磁石２０との相対移動速度や相対移動距離を検出することができる。

［その他の実施の形態］
上記形態はいずれも、磁気エンコーダをリニアエンコーダとして構成した例であったが、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、磁気エンコーダ１によってロータリエンコーダを構成してもよい。この場合、図１０（ａ）に示すように、回転体５の端面５１において、周方向にトラック２１が延びるように永久磁石２０を構成し、このように構成したトラック２１に対して、磁気センサ１５のセンサ面１６を対向させればよい。また、図１０（ｂ）に示すように、回転体５の外周面５２において、周方向にトラック２１が延びるように永久磁石２０を構成し、このように構成したトラック２１に対して、磁気センサ１５のセンサ面１６を対向させてもよい。

（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明を適用した磁気エンコーダ（リニアエンコーダ）の構成を模式的に示す斜視図、断面図、およびその原理を示す説明図である。本発明の実施の形態１に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態１に係る磁気エンコーダにおいて、永久磁石に形成されている磁界の向きを平面的にみたときの説明図、斜めにみたときの説明図、および側方からみたときの説明図である。本発明の実施の形態２に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態２に係る磁気エンコーダにおいて、永久磁石に形成されている磁界の向きを平面的にみたときの説明図、斜めにみたときの説明図、および側方からみたときの説明図である。本発明の実施の形態２の変形例に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。本発明の実施の形態１、２の変形例に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。本発明の実施の形態３に係る磁気エンコーダにおける永久磁石と磁気センサとの平面的な位置関係を示す説明図である。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、本発明の実施の形態３に係る磁気エンコーダにおいて、永久磁石に形成されている磁界の向きを平面的にみたときの説明図、斜めにみたときの説明図、および側方からみたときの説明図である。（ａ）、（ｂ）は各々、本発明を適用した磁気エンコーダによってロータリエンコーダを構成したときの説明図である。（ａ）、（ｂ）は各々、従来の磁気エンコーダの説明図である。（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各々、回転磁界検出型の磁気エンコーダの説明図である。

符号の説明

１磁気エンコーダ
１０センサヘッド
１２磁気抵抗素子
１５磁気センサ
１６センサ面
２０永久磁石（磁気スケール）
２１トラック

Claims

磁気抵抗素子をセンサ面に備えた磁気センサと、該磁気センサに対して相対移動する永久磁石とを有し、当該永久磁石には、移動方向に沿ってＮ極とＳ極が交互に並ぶトラックが形成されている磁気エンコーダにおいて、
前記磁気センサは、前記センサ面が前記トラックの幅方向の縁部分に面対向し、当該縁部分で面内方向の向きが変化する回転磁界を検出することを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項１において、前記永久磁石は、前記トラックが幅方向で複数、並列し、
前記複数のトラックでは、隣接するトラック間でＮ極およびＳ極の位置が前記移動方向でずれていることを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項２において、前記複数のトラックでは、隣接するトラック間でＮ極およびＳ極の位置が前記移動方向で１磁極分、ずれていることを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項２または３において、前記永久磁石は、前記トラックが幅方向で２列、並列していることを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項２または３において、前記永久磁石は、前記トラックが幅方向で３列以上、並列し、
前記磁気センサは、前記センサ面が幅方向において３列以上のトラックと対向し、かつ、前記センサ面の両端部分が対向するトラック間では前記移動方向におけるＮ極およびＳ極の位置が一致していることを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項１において、前記永久磁石は、前記トラックが１列、形成されていることを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項１ないし６のいずれかにおいて、リニアエンコーダまたはロータリエンコーダとして構成されていることを特徴とする磁気エンコーダ。
請求項１ないし６のいずれかにおいて、前記永久磁石が回転体の端面または周面に形成されたロータリエンコーダとして構成されていることを特徴とする磁気エンコーダ。