JP2007012504A - Method for manufacturing organic el device, and organic el device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an organic EL element in which rugged parts are covered with an organic luminescent medium layer without being influenced by the rugged parts existing on the surface of a transparent electrode layer, and the organic EL element. <P>SOLUTION: In this manufacturing method of the organic EL element in which the transparent electrode layer 3 formed on a translucent substrate 2 is formed, the organic luminescent medium layer 5 which emits light if a voltage is impressed on the transparent electrode layer 3 is formed, and a counter electrode layer 6 is formed on the organic luminescent medium layer 5, an organic luminescent layer 8 is formed by applying ink containing a low molecule organic luminescent material the molecular weight of which is not more than 5,000 by using a letterpress printing method. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機薄膜のエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬと省略する）現象を利用した有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL element and an organic EL element utilizing an electroluminescence (hereinafter abbreviated as EL) phenomenon of an organic thin film.

有機ＥＬ素子は、導電性の有機発光層とこの有機発光層の厚さ方向の両側に配置された透明電極層及び対向電極層とを備えており、透光性の基板上に透明電極層、有機発光層、対向電極層の順に積層して形成することで製造される。そして、有機発光層に電圧を印加して電子及び正孔を注入して再結合させ、この結合の際に有機発光層を発光させる。
ここで、有機発光層による発光効率を増大させるなどのために、陽極である透明電極層と有機発光層との間に正孔輸送層を設けたり、陰極である対向電極層と有機発光層との間に電子輸送層を設けたりすることがある。 The organic EL element includes a conductive organic light-emitting layer and a transparent electrode layer and a counter electrode layer disposed on both sides in the thickness direction of the organic light-emitting layer, and a transparent electrode layer on a translucent substrate, It is manufactured by laminating and forming an organic light emitting layer and a counter electrode layer in this order. Then, a voltage is applied to the organic light emitting layer to inject electrons and holes for recombination, and the organic light emitting layer emits light during this combination.
Here, in order to increase the light emission efficiency of the organic light emitting layer, a hole transport layer is provided between the transparent electrode layer serving as the anode and the organic light emitting layer, or the counter electrode layer serving as the cathode and the organic light emitting layer are provided. An electron transport layer may be provided between the two.

一般に、これら有機発光層、正孔輸送層及び電子輸送層は、分子量が高く溶媒に溶解しやすい高分子材料によって構成された機能性材料によって形成されている。これにより、大気圧下におけるスピンコート法などのウェットコーティング法や、凸版印刷法や凸版反転オフセット印刷法（例えば、特許文献１参照）、インクジェット印刷法（例えば、特許文献２参照）などの印刷法を用いて各層を形成することができ、製造設備のコストを削減や生産性の向上が図れる。
特開２００３−１７２４８号公報 特許第３５４１６２５号公報 In general, the organic light emitting layer, the hole transport layer, and the electron transport layer are formed of a functional material made of a polymer material having a high molecular weight and easily dissolved in a solvent. Accordingly, a printing method such as a wet coating method such as a spin coating method under atmospheric pressure, a letterpress printing method, a letterpress reverse printing method (for example, see Patent Document 1), an ink jet printing method (for example, see Patent Document 2), or the like. Each layer can be formed using, so that the cost of manufacturing equipment can be reduced and productivity can be improved.
JP 2003-17248 A Japanese Patent No. 3541625

しかしながら、上記従来の有機ＥＬ素子の製造方法には、以下の課題が残されている。すなわち、上記従来の有機ＥＬ素子の製造方法では、透明電極層の表面に凹凸が存在する場合に、この凹凸を均一に被覆することができないことがあるという問題がある。これは、有機発光層、正孔輸送層及び電子輸送層がそれぞれ高分子材料によって構成された機能性材料の溶解液を用いて形成されており、この溶解液の濃度が高くなるにしたがって溶解液の粘度が高くなることに起因している。これにより、印刷法を用いて印刷対象の表面に印刷された溶解液が乾燥するまでに、印刷対象の表面に存在する凹凸を被覆することができなくなる。したがって、有機発光層のうち層厚の薄い箇所に対して局所的に高電界が印加されるので大きな負荷がかかることがある。
そのため、基板上に透明電極層を形成した後で透明電極層の表面を研磨するなどによって、別途電極層表面を平坦化する必要がある。 However, the following problems remain in the conventional method for manufacturing an organic EL element. In other words, the conventional method for manufacturing an organic EL element has a problem that when the surface of the transparent electrode layer has irregularities, the irregularities may not be uniformly coated. The organic light emitting layer, the hole transport layer, and the electron transport layer are each formed using a solution of a functional material composed of a polymer material, and as the concentration of the solution increases, the solution This is due to the increase in the viscosity of the. As a result, it is impossible to cover the unevenness present on the surface of the printing target until the solution printed on the surface of the printing target using the printing method is dried. Accordingly, a high load may be applied because a high electric field is locally applied to a thin portion of the organic light emitting layer.
Therefore, it is necessary to flatten the surface of the electrode layer separately by polishing the surface of the transparent electrode layer after forming the transparent electrode layer on the substrate.

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、透明電極層の表面に存在する凹凸の影響を受けずに、この凹凸が有機発光媒体層によって覆われた有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems. An organic EL element manufacturing method and an organic EL device in which the unevenness is covered with an organic light emitting medium layer without being affected by the unevenness existing on the surface of the transparent electrode layer. An object is to provide an EL element.

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に第１電極層を形成し、該第１電極層上に、少なくとも１層の機能性層を有し、電圧を印加することで発光する有機発光媒体層を形成し、該有機発光媒体層上に第２電極層を形成する有機ＥＬ素子の製造方法において、前記機能性層のうち少なくとも１層を、分子量が５０００以下の低分子材料で構成された機能性材料を含有するインクを塗布することによって形成することを特徴とする。
また、本発明の有機ＥＬ素子は、第１電極層上に、少なくとも１層の機能性層を有する有機発光媒体層を介して第２電極層が設けられ、前記第１及び第２電極層間に電圧を印加することで前記有機発光媒体層が発光する有機ＥＬ素子において、前記機能性層のうち少なくとも１層が、分子量が５０００以下の低分子材料で構成された機能性材料によって形成されていることを特徴とする。 The present invention employs the following configuration in order to solve the above problems. That is, the organic EL device manufacturing method of the present invention forms a first electrode layer on a substrate, has at least one functional layer on the first electrode layer, and emits light by applying a voltage. In the method of manufacturing an organic EL element, in which an organic light emitting medium layer is formed and a second electrode layer is formed on the organic light emitting medium layer, at least one of the functional layers is formed of a low molecular material having a molecular weight of 5000 or less It is formed by applying an ink containing a functional material composed of
In the organic EL device of the present invention, a second electrode layer is provided on the first electrode layer via an organic light emitting medium layer having at least one functional layer, and the first and second electrode layers are interposed between the first and second electrode layers. In the organic EL element in which the organic light emitting medium layer emits light by applying a voltage, at least one of the functional layers is formed of a functional material composed of a low molecular material having a molecular weight of 5000 or less. It is characterized by that.

この発明によれば、塗布されたインクのレベリング性により、第１電極層の表面に存在する凹凸を被覆してその表面を平坦化するので、有機発光媒体層に対して局所的に高電界が印加されることを防止して多大な負荷がかかることを抑制し、長寿命化することができる。すなわち、機能性材料が低分子材料によって構成されているので、インクが乾燥していくことでインク中の機能性材料の濃度が上昇しても流動性やレベリング性を維持することができる。これにより、インクを塗布する塗布対象の表面に凹凸が存在しても、この凹凸を被覆することができる。したがって、歩留まりの向上が図れ、層厚を均一にすることができるので耐電圧が向上し、発光時の輝度を増大させることができる。
また、第１電極の表面に研磨などの平坦化処理を別途施す必要がないので、製造工程の簡略化や製造コストの削減が図れる。さらに、低分子材料を用いることで、高分子材料を用いることと比較して精製が容易であり、寿命や特性の劣化を引き起こす不純物を含みにくくなることから、材料コストを削減することができる。 According to this invention, the unevenness existing on the surface of the first electrode layer is covered by the leveling property of the applied ink and the surface is flattened, so that a high electric field is locally applied to the organic light emitting medium layer. It can be prevented from being applied to prevent a great load from being applied, and the life can be extended. That is, since the functional material is composed of a low-molecular material, fluidity and leveling properties can be maintained even when the concentration of the functional material in the ink increases as the ink dries. Thereby, even if unevenness exists on the surface of the application target to which the ink is applied, the unevenness can be covered. Therefore, the yield can be improved and the layer thickness can be made uniform, so that the withstand voltage is improved and the luminance during light emission can be increased.
In addition, since it is not necessary to separately perform a flattening process such as polishing on the surface of the first electrode, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, the use of a low molecular material facilitates purification as compared with the use of a high molecular material, and makes it difficult to contain impurities that cause deterioration of life and characteristics, so that the material cost can be reduced.

また、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、前記第１電極の上面全体を被覆するように前記有機発光媒体層を形成することが好ましい。
また、本発明の有機ＥＬ素子は、前記有機発光媒体層が、前記第１電極層の上面全体を被覆するように形成されていることが好ましい。
この発明によれば、低分子材料によって形成された機能性層が第１電極層の周縁と基板との間に存在する段差のように大きな凹凸であっても、その側面を被覆することができ、画素の開口面積を大きくすることができる。すなわち、有機発光媒体層の上面に第２電極層を形成したときに第１電極層と第２電極層との短絡を防止するので、第１電極層上に有機発光媒体層を形成するときに第１電極層の周縁部を避けて形成する必要がなく、画素における開口面積の増大が図れる。 In the method for producing an organic EL element of the present invention, the organic light emitting medium layer is preferably formed so as to cover the entire top surface of the first electrode.
In the organic EL device of the present invention, the organic light emitting medium layer is preferably formed so as to cover the entire top surface of the first electrode layer.
According to this invention, even if the functional layer formed of the low molecular material is a large unevenness such as a step existing between the periphery of the first electrode layer and the substrate, the side surface can be covered. The opening area of the pixel can be increased. That is, when the second electrode layer is formed on the upper surface of the organic light emitting medium layer, a short circuit between the first electrode layer and the second electrode layer is prevented, so that the organic light emitting medium layer is formed on the first electrode layer. There is no need to form the first electrode layer so as to avoid the peripheral portion, and the opening area of the pixel can be increased.

また、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、前記インクを、凸版印刷法を用いた転写によって塗布することとしてもよい。
この発明によれば、塗布対象の表面に凸版印刷法を用いてインクを転写し、塗布対象の表面に低分子材料によって形成された機能性層を印刷する。 Moreover, the manufacturing method of the organic EL element of this invention is good also as apply | coating the said ink by the transfer using a relief printing method.
According to this invention, the ink is transferred onto the surface of the application target using the relief printing method, and the functional layer formed of the low molecular material is printed on the surface of the application target.

また、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、前記インクを、凸版反転オフセット法を用いた転写によって塗布することとしてもよい。
この発明によれば、凸版反転オフセット印刷法を用いて低分子材料によって形成された機能性層を印刷する。ここで、インクが低分子材料によって構成されており、上述と同様に粘度を維持することができるので、印刷用のブランケット表面に塗布されたインクの切れ性が向上し、パターン通りの形状とすることができる。 Moreover, the manufacturing method of the organic EL element of this invention is good also as apply | coating the said ink by the transfer using a letterpress inversion offset method.
According to this invention, the functional layer formed of the low molecular weight material is printed using the relief reverse printing method. Here, since the ink is made of a low molecular material and the viscosity can be maintained in the same manner as described above, the cutting performance of the ink applied to the printing blanket surface is improved, and the shape according to the pattern is obtained. be able to.

また、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、前記インクを、該インクの微小液滴を噴射、定着させることとしてもよい。
この発明によれば、いわゆるインクジェット印刷法を用いてインクを定着させることで機能性層を印刷する。ここで、インクが低分子材料によって構成されており、濃度が上昇しても粘度を維持することができるので、インクの微小液滴を噴射する噴出口が詰まることを防止することができる。 In the organic EL device manufacturing method of the present invention, the ink may be ejected and fixed with fine droplets of the ink.
According to this invention, the functional layer is printed by fixing the ink using a so-called inkjet printing method. Here, since the ink is made of a low molecular material and the viscosity can be maintained even when the concentration increases, it is possible to prevent clogging of the ejection port that ejects the fine droplets of the ink.

本発明の有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子によれば、機能性材料を低分子材料で構成するので、塗布対象の表面に凹凸が存在しても、この凹凸を被覆することができ、歩留まりの向上が図れ、耐電圧が向上して発光時の輝度を増大させることができる。さらに、第１電極の表面に平坦化処理を別途施す必要がないので、製造工程の簡略化や製造コストの削減が図れる。   According to the method for producing an organic EL element and the organic EL element of the present invention, the functional material is composed of a low-molecular material, so that even if the surface to be coated has unevenness, the unevenness can be covered. The yield can be improved, the withstand voltage can be improved, and the luminance during light emission can be increased. Furthermore, since it is not necessary to separately perform a planarization process on the surface of the first electrode, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

以下、本発明にかかる有機ＥＬ素子の第１の実施形態を、図１を参照しながら説明する。
本実施形態による有機ＥＬ素子１は、いわゆるパッシブマトリックス構造を有する有機ＥＬ素子であって、透光性基板（基板）２と、透光性基板２の一方の面上に複数形成された透明電極層（第１電極層）３と、各透明電極層３の間に形成された隔壁４と、透明電極層３上に積層された有機発光媒体層５と、有機発光媒体層５上に積層されて透明電極層３と対向配置された対向電極層（第２電極層）６とを備えている。 Hereinafter, a first embodiment of an organic EL element according to the present invention will be described with reference to FIG.
The organic EL element 1 according to the present embodiment is an organic EL element having a so-called passive matrix structure, and a transparent substrate (substrate) 2 and a plurality of transparent electrodes formed on one surface of the transparent substrate 2. A layer (first electrode layer) 3, a partition wall 4 formed between the transparent electrode layers 3, an organic light emitting medium layer 5 stacked on the transparent electrode layer 3, and a layer stacked on the organic light emitting medium layer 5. And a transparent electrode layer 3 and a counter electrode layer (second electrode layer) 6 disposed to face each other.

透光性基板２は、透明電極層３や有機発光媒体層５、対向電極層６を支持する基板であって、ガラス基板やプラスチック製のフィルムまたはシートによって構成されている。プラスチック製のフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートやポリプロピレン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエーテルサルフォン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネートを用いることができる。なお、透光性基板２の透明電極層３が形成されない他方の面に、セラミック蒸着フィルムやポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体鹸化物などの他のガスバリア性フィルムを積層してもよい。   The translucent substrate 2 is a substrate that supports the transparent electrode layer 3, the organic light emitting medium layer 5, and the counter electrode layer 6, and is made of a glass substrate or a plastic film or sheet. As the plastic film, polyethylene terephthalate, polypropylene, cycloolefin polymer, polyamide, polyethersulfone, polymethyl methacrylate, or polycarbonate can be used. In addition, another gas barrier film such as a ceramic vapor-deposited film, polyvinylidene chloride, polyvinyl chloride, ethylene-vinyl acetate copolymer saponified product is laminated on the other surface of the transparent substrate 2 where the transparent electrode layer 3 is not formed. May be.

透明電極層３は、透光性基板２上に短冊状に一定の間隔をあけて形成されており、層厚が０．０５μｍ〜０．２μｍとなっている。また、透明電極層３は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide：酸化インジウムスズ）のように可視光領域において透光性を有する導電性材料によって形成されている。この透明電極層３は、透光性基板２の一面上に蒸着またはスパッタリング法によって成膜した後、所定の開口形状を有するマスクを用いたエッチングによって形成されている。なお、透明電極層３として、ＩＴＯの他に、ＩＺＯ（Indium Zinc Oxide：酸化インジウム亜鉛）や亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの金属複合酸化物、酸化スズ（ＳｎＯ２）や、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）などを用いることができる。また、オクチル酸インジウムやアセトンインジウムなどの前駆体を透光性基板２上に塗布後、熱分解により酸化物を形成する塗布熱分解法などによって形成してもよい。 The transparent electrode layer 3 is formed on the translucent substrate 2 in a strip shape at regular intervals, and has a layer thickness of 0.05 μm to 0.2 μm. The transparent electrode layer 3 is formed of a conductive material having translucency in the visible light region, such as ITO (Indium Tin Oxide). The transparent electrode layer 3 is formed on one surface of the translucent substrate 2 by vapor deposition or sputtering, and then formed by etching using a mask having a predetermined opening shape. As the transparent electrode layer 3, in addition to ITO, metal composite oxides such as IZO (Indium Zinc Oxide), zinc composite oxide, zinc aluminum composite oxide, tin oxide (SnO 2 ), oxidation Zinc (ZnO), indium oxide (In 2 O 3 ), or the like can be used. Alternatively, a precursor such as indium octylate or indium acetone may be formed on the light-transmitting substrate 2 by a coating pyrolysis method in which an oxide is formed by thermal decomposition.

隔壁４は、各透明電極層３上に形成された有機発光媒体層５が互いに混合することを防止するために各透明電極層３の間であって透光性基板２上に形成されており、その高さが例えば２μｍとなっている。また、隔壁４は、透明電極層３の周縁部から離間するように形成されている。そして、この隔壁４は、ポジ型またはネガ型の感光性樹脂によって構成されており、透光性基板２上にスピンコータやバーコータ、ロールコータ、ダイコータ、グラビアコータなどの塗布方法を用いて感光性樹脂を塗布した後、フォトリソグラフィ技術を用いて所定の形状にパターニングされることによって形成されている。
ここで、隔壁４として適用可能な感光性樹脂としては、ポリイミド系やアクリル樹脂系、ノボラック樹脂系などが挙げられる。 The partition walls 4 are formed on the translucent substrate 2 between the transparent electrode layers 3 in order to prevent the organic light emitting medium layers 5 formed on the transparent electrode layers 3 from mixing with each other. The height is, for example, 2 μm. Further, the partition 4 is formed so as to be separated from the peripheral edge of the transparent electrode layer 3. The partition 4 is made of a positive or negative photosensitive resin, and the photosensitive resin is coated on the light-transmitting substrate 2 using a spin coater, bar coater, roll coater, die coater, gravure coater or the like. After coating, the film is patterned into a predetermined shape using a photolithography technique.
Here, examples of the photosensitive resin applicable as the partition walls 4 include polyimide, acrylic resin, and novolac resin.

有機発光媒体層５は、透明電極層３の上面に形成された正孔輸送層７と、正孔輸送層７の上面に形成された有機発光層８とのように機能性層を２層積層した構成となっている。
正孔輸送層７は、層厚が例えば０．０５μｍとなっており、陽極である透明電極層３から注入された正孔を陰極である対向電極層６の方向へ進め、正孔を通しながらも電子が透明電極層３の方向へ進行することを防止する機能を有している。そして、正孔輸送層７は、正孔輸送層７の機能性材料である正孔輸送材料の溶解液または分散液をスピンコートやバーコート、ワイヤーコート、スリットコートなどのウェットコーティング法を用いて透明電極層３上に付着させることによって形成されている。なお、膜厚は、０．０１μｍ〜０．２μｍの範囲であればよく、０．０２μｍ〜０．１５μｍであることがより好ましい。 The organic light emitting medium layer 5 is formed by laminating two functional layers such as a hole transport layer 7 formed on the upper surface of the transparent electrode layer 3 and an organic light emitting layer 8 formed on the upper surface of the hole transport layer 7. It has become the composition.
The hole transport layer 7 has a layer thickness of, for example, 0.05 μm, and advances holes injected from the transparent electrode layer 3 as an anode in the direction of the counter electrode layer 6 as a cathode while passing the holes. Has a function of preventing electrons from traveling in the direction of the transparent electrode layer 3. The hole transport layer 7 is prepared by using a solution or dispersion of a hole transport material, which is a functional material of the hole transport layer 7, using a wet coating method such as spin coating, bar coating, wire coating, or slit coating. It is formed by adhering onto the transparent electrode layer 3. The film thickness may be in the range of 0.01 μm to 0.2 μm, and more preferably 0.02 μm to 0.15 μm.

ここで、正孔輸送層７として適用可能な正孔輸送材料としては、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン））、ＰＥＤＯＴとポリスチレンスルホン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）との混合物などの高分子材料が挙げられる。
また、正孔輸送材料を溶解または分散させる溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、水などのうち、いずれかまたはこれらの混合液が挙げられる。
なお、上述した正孔輸送材料の溶解液または分散液には、必要に応じて界面活性剤や酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤などを添加してもよい。ここで、粘度調整剤としては、例えばポリスチレン、ポリビニルカルバゾールなどを用いることができる。 Here, as a hole transport material applicable as the hole transport layer 7, polyaniline derivatives, polythiophene derivatives, polyvinylcarbazole derivatives, PEDOT (poly (3,4-ethylenedioxythiophene)), PEDOT and polystyrene sulfonic acid ( Polymer materials such as mixtures with PEDOT / PSS).
As a solvent for dissolving or dispersing the hole transport material, one of toluene, xylene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, ethyl acetate, butyl acetate, water, or the like These liquid mixtures are mentioned.
Note that a surfactant, an antioxidant, a viscosity modifier, an ultraviolet absorber, or the like may be added to the above-described solution or dispersion of the hole transport material, if necessary. Here, as the viscosity modifier, for example, polystyrene, polyvinyl carbazole, or the like can be used.

有機発光層８は、透明電極層３の表面からの層厚が例えば０．０５μｍとなっており、電圧を印加することによって赤色、緑色または青色の各色に発光する有機発光層８の機能性材料であってその分子量が５０００以下である低分子有機発光材料の溶解液または分散液を正孔輸送層７上に付着させることによって形成されている。また、有機発光層８は、凸版印刷法やオフセット印刷法、インクジェット印刷法、反転オフセット印刷法を用いて正孔輸送層７上に溶解液または分散液である有機発光インク（インク）を付着させ、その後乾燥させることで形成されている。なお、膜厚は、０．０１μｍ〜０．１μｍの範囲であればよく、０．０３μｍ〜０．１μｍであることがより好ましい。   The organic light emitting layer 8 has a layer thickness from the surface of the transparent electrode layer 3 of, for example, 0.05 μm, and the functional material of the organic light emitting layer 8 emits light in each color of red, green, or blue when a voltage is applied. In this case, a solution or dispersion of a low molecular weight organic light emitting material having a molecular weight of 5000 or less is deposited on the hole transport layer 7. Moreover, the organic light emitting layer 8 is made to adhere the organic light emitting ink (ink) which is a solution or a dispersion liquid on the positive hole transport layer 7 using a relief printing method, an offset printing method, an inkjet printing method, and a reverse offset printing method. Then, it is formed by drying. In addition, a film thickness should just be the range of 0.01 micrometer-0.1 micrometer, and it is more preferable that it is 0.03 micrometer-0.1 micrometer.

ここで、赤色に発光する有機発光層８に用いられる低分子有機発光材料として、トリス（８−キノリノール）アルミニウム（Ａｌｑ３）と、ピラン系化合物のドープ材であるＤＣＭ（４−ジシアノメチレン−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−２−メチル−４Ｈ−ピラン）と、ＤＣＪＴＢ（４−ジシアノメチレン−６−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）−２−（ｔ−ブチル）−４Ｈ−ピラン）とをそれぞれドーピング濃度が２％となるように添加したものが挙げられる。そして、この低分子有機発光材料をトルエンとＣＨＢ（シクロヘキシルベンゼン）とが９０質量％：１０質量％となるように混合した混合液に溶解し、溶解液を形成している。
なお、溶解液中の低分子有機発光材料の濃度は、例えば１．５重量％となっている。なお、濃度は、０．１重量％〜１０重量％の範囲であればよく、０．３重量％〜３重量％であることがより好ましい。このように、濃度を０．１重量％〜１０重量％以下とすることで印刷時の膜厚が大きくなりすぎず、印刷によるパターン精度を維持することができる。 Here, as a low-molecular organic light-emitting material used for the organic light-emitting layer 8 that emits red light, DCM (4-dicyanomethylene-6) that is a doping material of tris (8-quinolinol) aluminum (Alq 3 ) and a pyran compound is used. -(P-dimethylaminostyryl) -2-methyl-4H-pyran) and DCJTB (4-dicyanomethylene-6- (p-dimethylaminostyryl) -2- (t-butyl) -4H-pyran). Examples thereof include those added to have a doping concentration of 2%. And this low molecular organic luminescent material is melt | dissolved in the liquid mixture which mixed toluene and CHB (cyclohexyl benzene) so that it might become 90 mass%: 10 mass%, and forms the solution.
In addition, the density | concentration of the low molecular organic luminescent material in a solution is 1.5 weight%, for example. The concentration may be in the range of 0.1 wt% to 10 wt%, and more preferably 0.3 wt% to 3 wt%. Thus, by setting the concentration to 0.1 wt% to 10 wt% or less, the film thickness at the time of printing does not become too large, and the pattern accuracy by printing can be maintained.

また、緑色に発光する有機発光層８に用いられる低分子有機発光材料として、Ａｌｑ３が挙げられる。そして、ここの低分子有機発光材料をトルエンとＣＨＢとが９０質量％：１０質量％となるように混合した混合液に溶解し、溶解液を形成している。なお、溶解液中の低分子有機発光材料の濃度は、例えば２重量％となっている。なお、濃度は、上述と同様に、０．１重量％〜１０重量％の範囲であればよく、０．３重量％〜３重量％であることがより好ましい。
また、青色に発光する有機発光層８に用いられる低分子有機発光材料として、Ａｌｑ３と、ドープ材であるＤＰＶＢｉ（４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）−ビフェニル）と、Ｚｎ（ＢＯＸ）２（２−（Ｏ−ヒドロキシフェニル）ベンゾチアゾール亜鉛錯体）とをドーピング濃度が２％となるように添加したものが挙げられる。そして、この低分子有機発光材料をトルエンとＣＨＢとが９０質量％：１０質量％となるように混合した混合液に溶解し、溶解液を形成している。なお、溶解液中の低分子有機発光材料の濃度は、例えば２重量％となっている。なお、濃度は、上述と同様に、０．１重量％〜１０重量％の範囲であればよく、０．３重量％〜３重量％であることがより好ましい。 Further, as the low molecular organic light emitting material used in organic light-emitting layer 8 that emits green light include Alq 3. And this low molecular organic luminescent material is melt | dissolved in the liquid mixture which mixed toluene and CHB so that it might become 90 mass%: 10 mass%, and the solution is formed. In addition, the density | concentration of the low molecular organic luminescent material in a solution is 2 weight%, for example. The concentration may be in the range of 0.1% by weight to 10% by weight as described above, and is more preferably 0.3% by weight to 3% by weight.
Moreover, as a low molecular organic light emitting material used for the organic light emitting layer 8 that emits blue light, Alq 3 and DPVBi (4,4′-bis (2,2′-diphenylvinyl) -biphenyl) as a doping material, Zn (BOX) 2 (2- (O-hydroxyphenyl) benzothiazole zinc complex) is added so that the doping concentration is 2%. And this low molecular organic luminescent material is melt | dissolved in the liquid mixture which mixed toluene and CHB so that it might become 90 mass%: 10 mass%, and the solution is formed. In addition, the density | concentration of the low molecular organic luminescent material in a solution is 2 weight%, for example. The concentration may be in the range of 0.1% by weight to 10% by weight as described above, and is more preferably 0.3% by weight to 3% by weight.

対向電極層６は、透明電極層３と同様に、有機発光層８上にその長手方向が透明電極層３の長手方向と平面視で直交する方向で短冊状に一定の間隔をあけて形成されており、層厚が０．０１μｍ〜０．５μｍとなっている。
対向電極層６としては、発光層の発光特性に合わせて、リチウム、マグネシウム、カルシウム、イッテルビウム、アルミニウムなどの金属単体やこれらと金、銀などの安定な金属との合金または多層体が用いられる。また、インジウム、亜鉛、錫などの導電性酸化物を用いることもできる。これらの材料は、通常の抵抗加熱、ＥＢ加熱などの真空蒸着やスパッタリング法などによって形成されている。 Similar to the transparent electrode layer 3, the counter electrode layer 6 is formed on the organic light emitting layer 8 with a predetermined interval in a strip shape in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the transparent electrode layer 3 in plan view. The layer thickness is 0.01 μm to 0.5 μm.
As the counter electrode layer 6, a single metal such as lithium, magnesium, calcium, ytterbium, or aluminum, or an alloy or a multilayer body of these with a stable metal such as gold or silver is used in accordance with the light emission characteristics of the light emitting layer. Alternatively, a conductive oxide such as indium, zinc, or tin can be used. These materials are formed by vacuum deposition such as normal resistance heating and EB heating, sputtering, or the like.

次に、以上のような構成の有機ＥＬ素子１の製造方法を説明する。
まず、透光性基板２上に透明電極層３を形成する。これは、透光性基板２上の全面にスパッタリング法を用いてＩＴＯ膜を形成し、さらにフォトリソグラフィ技術による露光、現像を行って、透明電極層３として残存させる要部をフォトレジストで被覆すると共に、不要部を酸溶液でエッチングしてＩＴＯ膜を除去する。このようにして、所定の間隔をあけて配置された短冊状の透明電極層３が形成される。 Next, a method for manufacturing the organic EL element 1 having the above configuration will be described.
First, the transparent electrode layer 3 is formed on the translucent substrate 2. In this method, an ITO film is formed on the entire surface of the light-transmitting substrate 2 by using a sputtering method, and exposure and development are performed by a photolithography technique so that a main part remaining as the transparent electrode layer 3 is covered with a photoresist. At the same time, unnecessary portions are etched with an acid solution to remove the ITO film. In this way, the strip-shaped transparent electrode layer 3 arranged at a predetermined interval is formed.

次に、各透明電極層３の間に隔壁４を形成する。これは、透光性基板２あるいは透明電極層３上にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術による露光、現像を行って、各透明電極層３の間にフォトレジストを残存させる。その後、ベーキングを行うことでフォトレジストを硬化させる。
そして、正孔輸送層７を形成する。これは、正孔輸送材料の分散液を透光性基板２上あるいは透明電極層３上にスピンコート法によって塗布する。 Next, partition walls 4 are formed between the transparent electrode layers 3. In this method, a photoresist is applied on the translucent substrate 2 or the transparent electrode layer 3, and exposure and development are performed by a photolithography technique so that the photoresist remains between the transparent electrode layers 3. Thereafter, the photoresist is cured by baking.
Then, the hole transport layer 7 is formed. For this, a dispersion of a hole transport material is applied onto the light-transmitting substrate 2 or the transparent electrode layer 3 by a spin coating method.

その後、図２に示す凸版印刷装置１０を用いて有機発光材料の溶解液である有機発光インクを印刷することで有機発光層８を形成する。この凸版印刷装置１０は、有機発光インクが収容されるインクタンク１１と、インクが供給されるインクチャンバ１２と、アニックスロール１３と、表面に凸版１４が設けられた版胴１５とを備えている。   Then, the organic light emitting layer 8 is formed by printing the organic light emitting ink which is a solution of an organic light emitting material using the relief printing apparatus 10 shown in FIG. The letterpress printing apparatus 10 includes an ink tank 11 in which organic light emitting ink is accommodated, an ink chamber 12 to which ink is supplied, an anix roll 13, and a plate cylinder 15 having a letterpress 14 on the surface. .

そして、赤色に発光する有機発光インクが収容されたインクタンク１１からインクチャンバ１２にインクを供給し、アニックスロール１３の表面にインクを塗布する。
次に、凸版１４にアニックスロール１３の表面に塗布されたインクを転移し、このインクを正孔輸送層７上に転写する。転写されたインクは、粘度が低いために隔壁４で区切られた領域内で平均化する。すなわち、図３に示すように、透明電極層３の表面や透明電極層３の周縁と透光性基板２との間に存在する凹凸の表面が正孔輸送層７で被覆されていない場合であっても、有機発光層８によって均一に被覆される。したがって、透明電極層３が有機発光層８から露出しない。そして、転写されたインクを乾燥する。その後、赤色の場合と同様に、緑色、青色に発光する有機発光インクをこの順番で印刷する。 Then, the ink is supplied to the ink chamber 12 from the ink tank 11 containing the organic light emitting ink that emits red light, and the ink is applied to the surface of the anix roll 13.
Next, the ink applied on the surface of the anix roll 13 is transferred to the relief plate 14, and the ink is transferred onto the hole transport layer 7. Since the transferred ink has a low viscosity, it is averaged in the area delimited by the partition 4. That is, as shown in FIG. 3, the surface of the transparent electrode layer 3 or the uneven surface existing between the periphery of the transparent electrode layer 3 and the translucent substrate 2 is not covered with the hole transport layer 7. Even if it exists, it is uniformly covered by the organic light emitting layer 8. Therefore, the transparent electrode layer 3 is not exposed from the organic light emitting layer 8. Then, the transferred ink is dried. Thereafter, as in the case of red, organic light emitting inks that emit green and blue are printed in this order.

続いて、対向電極層６を形成する。これは、短冊状の開口が形成されたマスクを有機発光層８上に配置し、抵抗加熱蒸着法によって蒸着して形成する。ここで、マスクは、その開口の長手方向が透明電極層３の長手方向と平面視で直交するように配置する。このようにして、有機発光層８上にその長手方向が透明電極層３の長手方向と平面視で直交する方向で短冊状に一定の間隔をあけて形成する。
最後に、これら透明電極層３、有機発光媒体層５及び対向電極層６を空気中の酸素や水分から保護するためにガラスキャップで被覆、封止する。以上のようにして、有機ＥＬ素子１を製造する。 Subsequently, the counter electrode layer 6 is formed. This is formed by disposing a mask having a strip-shaped opening on the organic light emitting layer 8 and vapor-depositing it by a resistance heating vapor deposition method. Here, the mask is arranged so that the longitudinal direction of the opening is orthogonal to the longitudinal direction of the transparent electrode layer 3 in plan view. In this way, the organic light emitting layer 8 is formed in a strip shape with a certain interval in the direction in which the longitudinal direction is orthogonal to the longitudinal direction of the transparent electrode layer 3 in plan view.
Finally, the transparent electrode layer 3, the organic light emitting medium layer 5, and the counter electrode layer 6 are covered and sealed with a glass cap in order to protect them from oxygen and moisture in the air. The organic EL element 1 is manufactured as described above.

以上のように構成された有機ＥＬ素子１の製造方法及び有機ＥＬ素子１によれば、有機発光層８を低分子有機発光材料で形成することで、透明電極層３の表面や透明電極層３の周縁と透光性基板２との間に存在する凹凸の表面が正孔輸送層７で被覆されていない場合であっても、有機発光層８で確実に被覆することができる。これにより、有機発光層８において局所的に高電界が印加されることによって大きな負荷がかかることを防止し、長寿命化することができる。そして、有機発光層８の耐電圧が向上し、発光時の輝度を増大させることができる。
また、透明電極層３の形成後にその表面を研磨するなどすることで平坦化する必要がないので、製造工程の簡略化と共にコストの削減が図れる。
さらに、有機発光媒体層５が平面視で透明電極層３を覆うように形成されているので、画素に対する開口面積を大きくすることができる。 According to the manufacturing method of the organic EL element 1 and the organic EL element 1 configured as described above, the surface of the transparent electrode layer 3 or the transparent electrode layer 3 is formed by forming the organic light emitting layer 8 with a low molecular organic light emitting material. Even when the uneven surface existing between the periphery of the light-transmitting substrate 2 and the translucent substrate 2 is not covered with the hole transport layer 7, it can be reliably covered with the organic light emitting layer 8. Thereby, it is possible to prevent a large load from being applied by locally applying a high electric field in the organic light emitting layer 8 and to extend the life. And the withstand voltage of the organic light emitting layer 8 improves, and the brightness | luminance at the time of light emission can be increased.
Further, since it is not necessary to flatten the surface by polishing the surface after the transparent electrode layer 3 is formed, the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced.
Furthermore, since the organic light emitting medium layer 5 is formed so as to cover the transparent electrode layer 3 in plan view, the opening area for the pixel can be increased.

次に、第２の実施形態について、図４を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態で説明した構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
第２の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態では凸版反転オフセット印刷法によって有機発光層８を形成している点である。 Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. In the following description, the same reference numerals are given to the components described in the above embodiment, and the description thereof is omitted.
The difference between the second embodiment and the first embodiment is that the organic light emitting layer 8 is formed by a letterpress reverse offset printing method in the present embodiment.

すなわち、本実施形態における有機ＥＬ素子の製造方法は、正孔輸送層７を形成した後、図４に示すような凸版反転オフセット印刷装置２０を用いて有機発光層８を印刷する。この凸版反転オフセット印刷装置２０は、有機発光インクが収容されるインクタンク１１と、表面にシリコーンゴム層を有するブランケット２１を備える回転胴２２と、インクをブランケット２１に塗布するキャップコータ２３と、凸型２４とを備えている。   That is, in the manufacturing method of the organic EL element in the present embodiment, after forming the hole transport layer 7, the organic light emitting layer 8 is printed using a relief reversal offset printing apparatus 20 as shown in FIG. 4. This letterpress reversal offset printing apparatus 20 includes an ink tank 11 in which organic light emitting ink is accommodated, a rotary drum 22 having a blanket 21 having a silicone rubber layer on the surface, a cap coater 23 for applying ink to the blanket 21, and a convex And a mold 24.

そして、キャップコータ２３でインクをブランケット２１に塗布し（図４（ａ））、凸型２４をブランケット２１に接触させて正孔輸送層７に転写しない不要部を凸型２４に転写し、除去する（図４（ｂ））。この除去は、ブランケット２１の表面に設けられたシリコーンゴムが有する剥離作用により生じるものである。また、凸型２４の凸部は、形成すべき有機発光層８のパターンとは逆のパターンが加工されている。ここで、インクが低分子材料で構成された有機発光材料を含有しているので、インクの切れ性が向上し、パターン通りにインクが除去される。
その後、ブランケット２１に残存しているインクを正孔輸送層７に転写する（図４（ｃ））。転写されたインクは、隔壁４で区切られた領域内で平均化する。そして、緑色、青色に発光する有機発光インクをそれぞれこの順番で転写し、転写されたインクを乾燥する。 Then, the ink is applied to the blanket 21 with the cap coater 23 (FIG. 4A), and the unnecessary portion that is not transferred to the hole transport layer 7 by bringing the convex mold 24 into contact with the blanket 21 is transferred to the convex mold 24 and removed. (FIG. 4B). This removal is caused by the peeling action of the silicone rubber provided on the surface of the blanket 21. Further, the convex portion of the convex mold 24 is processed with a pattern opposite to the pattern of the organic light emitting layer 8 to be formed. Here, since the ink contains an organic light emitting material composed of a low molecular material, the ink cutting performance is improved and the ink is removed according to the pattern.
Thereafter, the ink remaining in the blanket 21 is transferred to the hole transport layer 7 (FIG. 4C). The transferred ink is averaged in the area divided by the partition 4. Then, the organic light-emitting inks that emit green and blue light are transferred in this order, and the transferred ink is dried.

以上のように構成された有機ＥＬ素子及びその製造方法においても、上述した第１の実施形態と同様の作用、効果を有する。   The organic EL element configured as described above and the method for manufacturing the same also have the same operations and effects as those of the first embodiment described above.

次に、第３の実施形態について、図５を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態で説明した構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
第３の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、本実施形態ではインクジェット印刷法によって有機発光層８を形成している点である。 Next, a third embodiment will be described with reference to FIG. In the following description, the same reference numerals are given to the components described in the above embodiment, and the description thereof is omitted.
The difference between the third embodiment and the first embodiment is that the organic light emitting layer 8 is formed by the ink jet printing method in this embodiment.

すなわち、本実施形態における有機ＥＬ素子の製造方法は、正孔輸送層７を形成した後、図５に示すようなインクジェット印刷装置３０を用いて有機発光層８を印刷する。このインクジェット印刷装置３０は、有機発光インクが収容されるインクタンク１１と、インクの液滴を噴射するインクジェットヘッド３１とを備えている。   That is, in the manufacturing method of the organic EL element in this embodiment, after forming the hole transport layer 7, the organic light emitting layer 8 is printed using the inkjet printing apparatus 30 as shown in FIG. The ink jet printing apparatus 30 includes an ink tank 11 that contains organic light-emitting ink and an ink jet head 31 that ejects ink droplets.

そして、インクジェットヘッド３１からインクの液滴を正孔輸送層７の表面に向けて噴射する。正孔輸送層７に付着したインクは、粘度が低いために隔壁４で区切られた領域内で平均化する。ここで、インクが低分子材料で構成された有機発光材料を含有しているので、インクジェットヘッド３１の噴出口の詰まりが防止される。
そして、緑色、青色に発光する有機発光インクをそれぞれこの順番で印刷し、印刷されたインクを乾燥する。 Then, ink droplets are ejected from the inkjet head 31 toward the surface of the hole transport layer 7. The ink adhering to the hole transport layer 7 is averaged within the region partitioned by the partition walls 4 because of its low viscosity. Here, since the ink contains an organic light emitting material composed of a low molecular material, clogging of the ejection port of the inkjet head 31 is prevented.
Then, the organic light emitting inks that emit green and blue light are printed in this order, and the printed ink is dried.

以上のように構成された有機ＥＬ素子及びその製造方法においても、上述した第１の実施形態と同様の作用、効果を有する。   The organic EL element configured as described above and the method for manufacturing the same also have the same operations and effects as those of the first embodiment described above.

次に、本発明にかかる有機ＥＬ素子１を実施例により具体的に説明する。
まず、実施例１として、上述した第１の実施形態における、有機発光層８を上述した凸版印刷法による印刷を用いて形成した有機ＥＬ素子を製造した。
本実施例において、透光性基板２として厚さが０．７ｍｍ、一辺が１００ｍｍ四方のガラスを用い、幅８０μｍ、厚さ０．１５μｍの短冊状の透明電極層３を１２０μｍ間隔で形成した。ここで、透明電極層３の表面粗さＲａは、２００μｍ２からなる任意の面内において２０ｎｍとなった。
また、隔壁４は、透光性基板２と接触する下端の幅が３０μｍ、上端の幅が１５μｍ、高さが１μｍであり、断面ほぼ台形状となっている。ここで、隔壁４は、フォトリソグラフィ技術による現像後に、約２００℃、６０分間のベーキングを行うことによって形成されている。
また、正孔輸送層７は、正孔輸送材料としてＰＥＤＯＴを用いてこれを水に分散させて濃度を１重量％とした分散液をスピンコート法で塗布し、これを乾燥させることによって形成されている。
有機発光層８は、赤色に発光する画素に用いられる低分子有機発光材料として、Ａｌｑ３にドープ材であるＤＣＪＴＢをドーピング濃度が２％となるように添加したものが用いられている。また、緑色に発光する画素に用いられる低分子有機発光材料として、Ａｌｑ３が用いられている。また、青色に発光する画素に用いられる低分子有機発光材料として、Ａｌｑ３にドープ材としてＺｎ（ＢＯＸ）２をドーピング濃度が２％となるように添加したものが用いられている。そして、この低分子有機発光材料をそれぞれトルエンとＣＨＢとが９０質量％：１０質量％となるように混合した混合液に溶解して３種の溶解液としたものを有機発光インクとして用いた。ここで、各色の低分子有機発光材料の濃度は、２重量％となっている。
そして、各色を印刷するごとに、１５０℃、３０分、不活性ガス雰囲気下で乾燥を行い、厚さ７０ｎｍの有機発光層８を得た。 Next, the organic EL element 1 according to the present invention will be specifically described with reference to examples.
First, as Example 1, an organic EL element in which the organic light emitting layer 8 in the above-described first embodiment was formed by printing using the above-described relief printing method was manufactured.
In this example, a transparent transparent electrode layer 3 having a width of 80 μm and a thickness of 0.15 μm was formed at intervals of 120 μm using glass having a thickness of 0.7 mm and a side of 100 mm square as the translucent substrate 2. Here, the surface roughness Ra of the transparent electrode layer 3 was 20 nm in an arbitrary plane of 200 μm 2 .
Further, the partition 4 has a lower end width of 30 μm, an upper end width of 15 μm, and a height of 1 μm in contact with the translucent substrate 2, and has a substantially trapezoidal cross section. Here, the partition walls 4 are formed by baking at about 200 ° C. for 60 minutes after development by a photolithography technique.
Further, the hole transport layer 7 is formed by applying a dispersion liquid having a concentration of 1% by weight using PEDOT as a hole transport material and dispersing it in water, followed by drying. ing.
The organic light emitting layer 8 is a low molecular organic light emitting material used for a pixel that emits red light, and a material in which DCJTB, which is a doping material, is added to Alq 3 so as to have a doping concentration of 2% is used. In addition, Alq 3 is used as a low-molecular organic light-emitting material used for pixels that emit green light. Further, as a low molecular organic light emitting material used for a pixel emitting blue light, a material obtained by adding Zn (BOX) 2 as a doping material to Alq 3 so as to have a doping concentration of 2% is used. Then, this low molecular organic light emitting material was dissolved in a mixed solution in which toluene and CHB were mixed at 90% by mass and 10% by mass, respectively, and three types of dissolved liquids were used as the organic light emitting ink. Here, the density | concentration of the low molecular organic luminescent material of each color is 2 weight%.
And whenever it printed each color, it dried in 150 degreeC and the inert gas atmosphere for 30 minutes, and obtained the organic light emitting layer 8 with a thickness of 70 nm.

このようにして製造された有機ＥＬ素子を１の透明電極層３及び対向電極層６に電圧を印加し、１０Ｖで輝度が１００００ｃｄ／ｃｍ２である表示試験結果が得られ、発光不良画素は認められなかった。 A voltage was applied to the transparent electrode layer 3 and the counter electrode layer 6 of the organic EL device manufactured in this way to obtain a display test result with a luminance of 10,000 cd / cm 2 at 10 V. I couldn't.

次に、実施例２として、上述した第２の実施形態における、有機発光層８を凸版反転オフセット印刷法による印刷を用いて形成した有機ＥＬ素子を製造した。
本実施例において、有機発光層８は、各色を印刷するごとに、１６０℃、３０分、不活性ガス雰囲気下で乾燥を行うことによって形成されており、その厚さが７０ｎｍとなっている。 Next, as Example 2, an organic EL element in which the organic light emitting layer 8 in the above-described second embodiment was formed by printing by a letterpress reverse offset printing method was manufactured.
In this embodiment, the organic light emitting layer 8 is formed by drying in an inert gas atmosphere at 160 ° C. for 30 minutes every time each color is printed, and the thickness thereof is 70 nm.

このようにして製造された有機ＥＬ素子を１の透明電極層３及び対向電極層６に電圧を印加し、１０Ｖで輝度が８５００ｃｄ／ｃｍ２である表示試験結果が得られ、発光不良画素は認められなかった。 A voltage was applied to the transparent electrode layer 3 and the counter electrode layer 6 of the organic EL device manufactured in this way to obtain a display test result with a luminance of 8500 cd / cm 2 at 10 V, and a defective pixel was recognized. I couldn't.

次に、実施例３として、上述した第３の実施形態における、有機発光層８をインクジェット印刷法による印刷を用いて形成した有機ＥＬ素子を製造した。なお、本実施例においては上述した実施例１と同様の箇所の説明を省略する。
本実施例において、有機発光層８は、各色を印刷するごとに、１５０℃、３０分、不活性ガス雰囲気下で乾燥を行うことによって形成されており、その厚さが７０ｎｍとなっている。 Next, as Example 3, an organic EL element in which the organic light emitting layer 8 in the above-described third embodiment was formed by printing using an inkjet printing method was manufactured. In the present embodiment, description of the same parts as those in the first embodiment will be omitted.
In this embodiment, the organic light emitting layer 8 is formed by drying in an inert gas atmosphere at 150 ° C. for 30 minutes every time each color is printed, and the thickness thereof is 70 nm.

このようにして製造された有機ＥＬ素子を１の透明電極層３及び対向電極層６に電圧を印加し、１０Ｖで輝度が８７００ｃｄ／ｃｍ２である表示試験結果が得られ、発光不良画素は認められなかった。 A voltage was applied to the transparent electrode layer 3 and the counter electrode layer 6 of the organic EL device manufactured in this way to obtain a display test result with a luminance of 8700 cd / cm 2 at 10 V, and a defective pixel was recognized. I couldn't.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態において、有機ＥＬ素子１はパッシブマトリックス構造を有しているが、アクティブマトリックス構造としてもよい。アクティブマトリックス構造は、透光性基板２上に薄膜トランジスタやこれに接続される信号線などの配線を形成し、この薄膜トランジスタあるいは透光性基板２の上に透明電極層３が形成された構成となっている。したがって、透明電極層３の表面に、これら薄膜トランジスタなどの形状に応じた凹凸が形成されることとなる。ここで、有機発光層８が低分子有機発光材料で構成されているので、有機発光層８の印刷時に有機発光層８を構成するインクがこの凹凸を被覆すると共に表面を平坦化することができる。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change can be added in the range which does not deviate from the meaning of this invention.
For example, in the above embodiment, the organic EL element 1 has a passive matrix structure, but may have an active matrix structure. The active matrix structure has a configuration in which wiring such as a thin film transistor and a signal line connected thereto is formed on the translucent substrate 2, and the transparent electrode layer 3 is formed on the thin film transistor or the translucent substrate 2. ing. Therefore, irregularities corresponding to the shape of these thin film transistors and the like are formed on the surface of the transparent electrode layer 3. Here, since the organic light emitting layer 8 is made of a low molecular organic light emitting material, the ink constituting the organic light emitting layer 8 can cover the unevenness and flatten the surface when the organic light emitting layer 8 is printed. .

また、有機発光層８の上面に電子輸送層を積層してもよい。ここで、電子輸送層として、例えばＮ，Ｎ’−ジ（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−１，１’−ビフィニル−４，４’−ジアミンをポリスチレン、ポリメチレンメタクリレート、ポリビニルカルバゾールなどの高分子材料を溶解させたものを用いることができる。また、正孔ブロック層や正孔注入層、電子注入層、電子ブロック層を形成してもよい。ここで、正孔注入層や電子ブロック層は、正孔輸送層７と同様に、陽極である透明電極層３から正孔を陰極である対向電極層６の方向へ進めて正孔を通しながらも、電子が透明電極層３の方向へ進行することを防止する機能を有している。また、正孔ブロック層や電子輸送層、電子注入層は、陰極である対向電極層６から電子を陽極である透明電極層３の方向へ進めて電子を通しながらも、正孔が対向電極層６の方向へ進行することを防止する機能を有している。   Further, an electron transport layer may be laminated on the upper surface of the organic light emitting layer 8. Here, as the electron transport layer, for example, N, N′-di (1-naphthyl) -N, N′-diphenyl-1,1′-bifinyl-4,4′-diamine is polystyrene, polymethylene methacrylate, polyvinylcarbazole. A material in which a polymer material such as, for example, is dissolved can be used. In addition, a hole blocking layer, a hole injection layer, an electron injection layer, or an electron block layer may be formed. Here, as with the hole transport layer 7, the hole injection layer and the electron block layer pass holes from the transparent electrode layer 3 as the anode toward the counter electrode layer 6 as the cathode. Also has a function of preventing electrons from traveling in the direction of the transparent electrode layer 3. In addition, the hole blocking layer, the electron transport layer, and the electron injection layer are formed so that electrons are passed from the counter electrode layer 6 serving as the cathode toward the transparent electrode layer 3 serving as the anode while passing the electrons. 6 has a function of preventing the traveling in the direction of 6.

また、有機発光媒体層５のうち、有機発光層８のみが低分子材料を用いた機能性材料の溶解液を印刷することによって形成されているが、正孔輸送層７が低分子材料を用いた機能性材料の溶解液を印刷することによって形成されてもよく、有機発光層８及び正孔輸送層７共に低分子材料を用いた機能性材料によって形成されてもよい。さらに、上述した、電子輸送層や正孔ブロック層、電子注入層、電子ブロック層に低分子材料を用いた機能性材料を適用して形成するような構成としてもよい。また、有機発光媒体層５のうち有機発光層８を除いた他の機能性層のうち少なくとも１層を低分子材料を用いた機能性材料を適用して形成するような構成としてもよい。   Of the organic light emitting medium layer 5, only the organic light emitting layer 8 is formed by printing a solution of a functional material using a low molecular material, but the hole transport layer 7 uses a low molecular material. The organic light emitting layer 8 and the hole transport layer 7 may be formed of a functional material using a low molecular material. Furthermore, it is good also as a structure which applies and forms the functional material using a low molecular material for the electron carrying layer, the hole block layer, the electron injection layer, and the electron block layer which were mentioned above. Moreover, it is good also as a structure which forms the functional material which used at least 1 layer among the other functional layers except the organic light emitting layer 8 among the organic light emitting medium layers 5 using the low molecular material.

また、フッ化リチウムなどの薄膜を対向電極層６と有機発光媒体層５との間に設けてもよい。対向電極層６を短冊状にパターニングするには、金属膜、セラミック膜の蒸着マスクなどを用いることができる。さらに、対向電極層６上に絶縁性の無機物や樹脂などによる保護層を設けてもよい。
隔壁４が各透明電極層３間に形成されているが、透明電極層３の周縁部と隣接する他の透明電極層３の周縁部との間にわたって形成されていてもよく、隔壁４を設けない構成としてもよい。 Further, a thin film such as lithium fluoride may be provided between the counter electrode layer 6 and the organic light emitting medium layer 5. In order to pattern the counter electrode layer 6 into a strip shape, a vapor deposition mask of a metal film or a ceramic film can be used. Furthermore, a protective layer made of an insulating inorganic material or resin may be provided on the counter electrode layer 6.
The partition walls 4 are formed between the transparent electrode layers 3. However, the partition walls 4 may be formed between the peripheral edge portion of the transparent electrode layer 3 and the peripheral edge portion of another adjacent transparent electrode layer 3. There may be no configuration.

この発明によれば、有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ素子に関して、透明電極層の表面に存在する凹凸の影響を受けずに、この凹凸が有機発光媒体層によって覆われ、産業上の利用可能性が認められる。   According to this invention, regarding the manufacturing method of an organic EL element and the organic EL element, the unevenness is covered by the organic light emitting medium layer without being affected by the unevenness existing on the surface of the transparent electrode layer, and can be used industrially. Sex is recognized.

本発明の第１の実施形態における有機ＥＬ素子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the organic EL element in the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態における凸版印刷装置を示す該略図である。1 is a schematic diagram showing a relief printing apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図１の透明電極層の周縁近傍を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the periphery vicinity of the transparent electrode layer of FIG. 本発明の第２の実施形態における凸版反転オフセット印刷装置を示す該略図である。4 is a schematic diagram showing a relief reversal offset printing apparatus according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第３の実施形態におけるインクジェット印刷装置を示す該略図である。It is this schematic diagram which shows the inkjet printing apparatus in the 3rd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 有機ＥＬ素子
２ 透光性基板（基板）
３ 透明電極層（第１電極層）
５ 有機発光媒体層
６ 対向電極層（第２電極層）
７ 正孔輸送層（機能性層）
８ 有機発光層（機能性層）
1 Organic EL element 2 Translucent substrate (substrate)
3 Transparent electrode layer (first electrode layer)
5 Organic light emitting medium layer 6 Counter electrode layer (second electrode layer)
7 Hole transport layer (functional layer)
8 Organic light emitting layer (functional layer)

Claims (7)

基板上に第１電極層を形成し、
該第１電極層上に、少なくとも１層の機能性層を有し、電圧を印加することで発光する有機発光媒体層を形成し、
該有機発光媒体層上に第２電極層を形成する有機ＥＬ素子の製造方法において、
前記機能性層のうち少なくとも１層を、分子量が５０００以下の低分子材料で構成された機能性材料を含有するインクを塗布することによって形成することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 Forming a first electrode layer on the substrate;
On the first electrode layer, an organic light emitting medium layer that has at least one functional layer and emits light by applying a voltage is formed.
In the method for producing an organic EL element in which the second electrode layer is formed on the organic light emitting medium layer,
At least 1 layer is formed by apply | coating the ink containing the functional material comprised with the low molecular material whose molecular weight is 5000 or less among the said functional layers, The manufacturing method of the organic EL element characterized by the above-mentioned. 前記第１電極の上面全体を被覆するように前記有機発光媒体層を形成することを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the organic light emitting medium layer is formed so as to cover the entire top surface of the first electrode. 前記インクを、凸版印刷法を用いた転写によって塗布することを特徴とする請求項１または２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。   3. The method for producing an organic EL element according to claim 1, wherein the ink is applied by transfer using a relief printing method. 前記インクを、凸版反転オフセット法を用いた転写によって塗布することを特徴とする請求項１または２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the ink is applied by transfer using a relief reversal offset method. 前記インクを、該インクの微小液滴を噴射、定着させることを特徴とする請求項１または２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the ink is ejected and fixed with fine droplets of the ink. 第１電極層上に、少なくとも１層の機能性層を有する有機発光媒体層を介して第２電極層が設けられ、前記第１及び第２電極層間に電圧を印加することで前記有機発光媒体層が発光する有機ＥＬ素子において、
前記機能性層のうち少なくとも１層が、分子量が５０００以下の低分子材料で構成された機能性材料によって形成されていることを特徴とする有機ＥＬ素子。 A second electrode layer is provided on the first electrode layer via an organic light emitting medium layer having at least one functional layer, and the organic light emitting medium is applied by applying a voltage between the first and second electrode layers. In the organic EL element in which the layer emits light,
An organic EL element, wherein at least one of the functional layers is formed of a functional material made of a low molecular material having a molecular weight of 5000 or less. 前記有機発光媒体層が、前記第１電極層の上面全体を被覆するように形成されていることを特徴とする請求項６に記載の有機ＥＬ素子。
The organic EL element according to claim 6, wherein the organic light emitting medium layer is formed so as to cover the entire top surface of the first electrode layer.
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