JP2007012042A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 印刷方向に沿って第１の開口部と第２の開口部とが並んだスクリーン印刷版を用いたアンテナの作製方法であって、
   前記第１の開口部から導電性ペーストを押し出してダミーパターンを形成した後、続けて前記第２の開口部から前記導電性ペーストを押し出して前記アンテナを形成することを特徴とするアンテナの作製方法。
2. 請求項１において、
   前記印刷方向と垂直方向における前記ダミーパターンの幅は、前記印刷方向と垂直方向における前記アンテナの幅よりも広いことを特徴とするアンテナの作製方法。
3. 印刷方向に沿って第１の開口部と第２の開口部とが並んだスクリーン印刷版を用いたアンテナの作製方法であって、
   前記第１の開口部から導電性ペーストを押し出して第１の導電膜を形成した後、続けて前記第２の開口部から前記導電性ペーストを押し出して第２の導電膜を形成することにより、前記第１の導電膜及び前記第２の導電膜からなる前記アンテナを形成し、
   前記印刷方向と垂直方向における前記第１の導電膜の幅は、前記印刷方向と垂直方向における前記第２の導電膜の幅よりも広いことを特徴とするアンテナの作製方法。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
   前記第２の開口部はコイル状であることを特徴とするアンテナの作製方法。
5. トランジスタを有する素子群と、
   前記トランジスタと電気的に接続され、且つ、印刷方向に沿って第１の開口部と第２の開口部とが並んだスクリーン印刷版を用いて形成されたアンテナと、を有する半導体装置の作製方法であって、
   前記第１の開口部から導電性ペーストを押し出してダミーパターンを形成した後、続けて前記第２の開口部から前記導電性ペーストを押し出して前記アンテナを形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。
6. 請求項５において、
   前記印刷方向と垂直方向における前記ダミーパターンの幅は、前記印刷方向と垂直方向における前記アンテナの幅よりも広いことを特徴とする半導体装置の作製方法。
7. トランジスタを有する素子群と、
   前記トランジスタと電気的に接続され、且つ、印刷方向に沿って第１の開口部と第２の開口部とが並んだスクリーン印刷版を用いて形成されたアンテナと、を有する半導体装置の作製方法であって、
   前記第１の開口部から導電性ペーストを押し出して第１の導電膜を形成した後、続けて前記第２の開口部から前記導電性ペーストを押し出して第２の導電膜を形成することにより、前記第１の導電膜及び前記第２の導電膜からなる前記アンテナを形成し、
   前記印刷方向と垂直方向における前記第１の導電膜の幅は、前記印刷方向と垂直方向における前記第２の導電膜の幅よりも広いことを特徴とする半導体装置の作製方法。
8. 請求項５乃至請求項８のいずれか一項において、
   前記第２の開口部はコイル状であることを特徴とする半導体装置の作製方法。