JP4639971B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
前記分光結晶を平板結晶とし、該平板結晶と前記X線源との間に、該X線源に向いた入射端面側で点焦点を有し、出射端面側で略平行光を出射するマルチキャピラリX線レンズを設けたことを特徴としている。
前記X線源と前記分光結晶との間に、該X線源に向いた入射端面側で点焦点を有し、出射端面側で略平行光を出射するマルチキャピラリX線レンズを設け、前記分光結晶を、前記マルチキャピラリX線レンズによる出射X線の広がり角に応じた湾曲形状の回折面を有する湾曲結晶としたことを特徴としている。
2…試料
3…微小領域
4…マルチキャピラリX線レンズ
4a…キャピラリ
5…ローランド円
6…平板結晶
7…スリット
8…X線検出器
9…湾曲結晶
9a…回折面
Claims (2)
- X線を放出するX線源、前記X線を波長分散する分光結晶、及び波長分散されたX線を検出するX線検出器が、同一のローランド円に沿って移動されるX線分析装置において、
前記分光結晶を平板結晶とし、該平板結晶と前記X線源との間に、該X線源に向いた入射端面側で点焦点を有し、出射端面側で略平行光を出射するマルチキャピラリX線レンズを設けたことを特徴とするX線分析装置。 - X線を放出するX線源、前記X線を波長分散する分光結晶、及び波長分散されたX線を検出するX線検出器が、同一のローランド円に沿って移動されるX線分析装置において、
前記X線源と前記分光結晶との間に、該X線源に向いた入射端面側で点焦点を有し、出射端面側で略平行光を出射するマルチキャピラリX線レンズを設け、前記分光結晶を、前記マルチキャピラリX線レンズによる出射X線の広がり角に応じた湾曲形状の回折面を有する湾曲結晶としたことを特徴とするX線分析装置。
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