JP4293042B2 - Drawing method using liquid droplet ejection apparatus, liquid droplet ejection apparatus, and electro-optical device manufacturing method - Google Patents

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本発明は、基板上の画素領域に機能液滴を吐出する液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法に関するものである。 The present invention is drawn to methods and droplet discharge device using a droplet discharge device for discharging the functional liquid droplet on the pixel region on the substrate, as well as about the preparation how the electro-optical device.

従来、多数の被着色部（画素領域）を主走査方向および副走査方向にマトリクス状に配列したカラーフィルタ等の基板に対し、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）を被着色部の長手方向（主走査方向）に移動させながら、インクジェットヘッドから各被着色部にインク滴（機能液滴）を吐出させる液滴吐出装置を用いた描画方法が知られている。そして、各被着色部の長手方向の両端部には、被着色部の長手方向にインク滴の着弾位置がずれた場合にその方向に隣接する被着色部に着弾してしまうことを防止すべく、吐出量の小さいインク滴（小液滴）を吐出し、各被着色部の長手方向の中央部には、各被着色部にドット抜けが生じないようにすべく、吐出量の大きいインク滴（大液滴）を吐出することが考えられている。また、かかる描画方法による場合に、被着色部の長手方向の両端部においてドット抜けが生じたときには、吐出量の小さいインク滴の吐出を複数とし、さらに、吐出ピッチを小さくすることが提案されている（特許文献１参照。）。
特開２００１−１５４００８号公報 Conventionally, an inkjet head (functional liquid droplet ejection head) is disposed in a longitudinal direction of a colored portion (a liquid droplet discharge head) on a substrate such as a color filter in which a large number of colored portions (pixel regions) are arranged in a matrix in the main scanning direction and the sub-scanning direction. A drawing method using a droplet discharge device that discharges ink droplets (functional droplets) from an inkjet head to each colored portion while moving in the main scanning direction is known. Then, at both ends in the longitudinal direction of each colored portion, when the landing position of the ink droplet is shifted in the longitudinal direction of the colored portion, it should be prevented from landing on the colored portion adjacent in that direction. Ink droplets with a large discharge amount are ejected at the center in the longitudinal direction of each colored portion so that no dot dropout occurs at each colored portion. It is considered to discharge (large droplets). In addition, in the case of such a drawing method, when dot missing occurs at both ends in the longitudinal direction of the colored portion, it has been proposed to discharge a plurality of ink droplets with a small discharge amount and further reduce the discharge pitch. (See Patent Document 1).
JP 2001-154008 A

しかしながら、従来の液滴吐出装置を用いた描画方法を用いたとしても、被着色部の長手方向の両端部においては、吐出量の小さいインク滴が吐出される箇所がその幅方向の中央部のみであることから、その幅方向の両端部（被着色部の隅部）にインクを十分に拡げることができず、被着色部の全域にインクを満たすことができない（ドット抜け）という問題があった。   However, even if a drawing method using a conventional droplet discharge device is used, at the both ends in the longitudinal direction of the portion to be colored, only a central portion in the width direction discharges an ink droplet with a small discharge amount. Therefore, there is a problem that the ink cannot be sufficiently spread at both ends in the width direction (the corners of the colored portion), and the entire colored portion cannot be filled (dot missing). It was.

本発明は、バンク部への機能液滴の着弾を抑制しつつ、画素領域の全域を機能液で満たすことができる液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention relates to a drawing method, a droplet discharge device, and an electro-optical device using a droplet discharge device capable of filling the entire area of a pixel region with a functional liquid while suppressing landing of a functional droplet on a bank unit. an object of the present invention is to provide a manufacturing how.

本発明の液滴吐出装置を用いた描画方法は、バンク部により区画した複数の画素領域を主走査方向および副走査方向に配列した基板に対し、液滴吐出量を制御可能な多数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドを主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、複数の画素領域内のそれぞれに複数ショットの機能液滴を吐出・着弾させて各画素領域の全域を機能液で満たすように描画動作を行う液滴吐出装置を用いた描画方法であって、各画素領域の周縁部に対し、各ノズルから液滴吐出量の小さい小液滴を吐出・着弾させると共に、各画素領域の中央部に対し、各ノズルから液滴吐出量の大きい大液滴を吐出・着弾させて描画動作を行う吐出工程を備え、吐出工程は、周縁部における副走査方向の両端縁部位への小液滴の吐出と、周縁部における主走査方向の両端縁部位への小液滴の吐出および中央部への大液滴の吐出とが、互いに異なる主走査で行われることを特徴とする。 In the drawing method using the droplet discharge device of the present invention, a large number of nozzles capable of controlling the droplet discharge amount are provided on a substrate in which a plurality of pixel regions partitioned by a bank portion are arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction. While moving the functional liquid droplet ejection head relatively in the main scanning direction and the sub scanning direction, a plurality of shots of functional liquid droplets are ejected and landed in each of the plurality of pixel areas so that the entire area of each pixel area is functional liquid Is a drawing method using a droplet discharge device that performs a drawing operation so as to satisfy the above, and discharges and lands a small droplet with a small droplet discharge amount from each nozzle to the peripheral portion of each pixel region, A discharge step is performed in which a large droplet with a large droplet discharge amount is discharged and landed from each nozzle to the central portion of the pixel region to perform a drawing operation . Of small droplets and And discharging the large droplet to discharge and the central portion of the droplets to both edges site of the main scanning direction in the section, characterized in that takes place in different main scanning from each other.

また、本発明の液滴吐出装置は、バンク部により区画した複数の画素領域を主走査方向および副走査方向に配列した基板に対し、多数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドを主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、複数の画素領域内のそれぞれに複数ショットの機能液滴を吐出・着弾させて各画素領域の全域を機能液で満たすように描画動作を行う液滴吐出装置であって、機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、基板に対し機能液滴吐出ヘッドを主走査方向および副走査方向へ相対的に移動させる移動手段と、移動手段を制御すると共に、多数のノズルの吐出タイミングおよび液滴吐出量を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、描画動作に際して、各画素領域の周縁部に対し、各ノズルから液滴吐出量の小さい小液滴の吐出と、周縁部における主走査方向の両端縁部位への小液滴の吐出および各画素領域の中央部への各ノズルから液滴吐出量の大きい大液滴の吐出とを、互いに異なる主走査で行わせることを特徴とする。 The liquid droplet ejection apparatus according to the present invention also includes a functional liquid droplet ejection head having a number of nozzles in the main scanning direction and a substrate in which a plurality of pixel regions partitioned by a bank unit are arranged in the main scanning direction and the sub scanning direction. Droplet discharge that performs drawing operation so that the entire area of each pixel area is filled with the functional liquid by discharging and landing multiple shots of functional liquid droplets in each of the plurality of pixel areas while relatively moving in the sub-scanning direction An apparatus comprising a functional liquid droplet ejection head, a functional liquid droplet ejection head, a moving means for moving the functional liquid droplet ejection head relative to the substrate in the main scanning direction and the sub scanning direction, and a moving means Control means for controlling the discharge timing and the droplet discharge amount of a large number of nozzles, and the control means controls the liquid from each nozzle to the peripheral edge of each pixel region during the drawing operation. And discharging the small discharge amount small droplets from the nozzles to the central portion of the discharge and the respective pixel regions of the small droplets of the opposite end edges site of the main scanning direction in the peripheral portion of the large large droplet of the droplet ejection volume The ejection is performed by different main scans .

この構成によれば、各画素領域の周縁部および中央部に機能液滴を吐出・着弾させることで、画素領域の全域を機能液で満たすことができる。すなわち、周縁部に対しては、小液滴を吐出・着弾させるため、吐出された機能液滴が各画素領域に対して主走査方向または副走査方向にずれて着弾したとしても、着弾した機能液滴がバンク部に付着したり隣接する画素領域に流れ込んでしまうことがなく、複数の画素領域間において色ムラや混色が生ずることを防止することができる。さらに、中央部に対しては、大液滴を吐出・着弾させるため、少ないショット数で画素領域の全域を機能液で満たすことができ、効率良く描画動作を行うことができる。
また、この構成によれば、周縁部における副走査方向の両端縁部位に対する小液滴の吐出と、中央部に対する大液滴の吐出とが時間を隔てて行われ、小液滴と大液滴とが近接して且つほぼ同時に画素領域内に着弾することがない。そのため、周縁部に着弾した小液滴は、着弾直後に振動している大液滴に引き込まれてしまうことがない。したがって、周縁部における副走査方向の両端縁部位において機能液滴を精度よく着弾させることができ、機能液滴の吐出タイミングに起因するドット抜けが生ずることを確実に防止することができる。
なお、機能液滴の着弾直後の振動とは、着弾から数十マイクロ秒の間、着弾した機能液滴の縦軸が長短変化する変形挙動、すなわち、着弾した機能液滴がワーク上で偏平になろうとする挙動（短変化）と、伸び上がろうとする挙動（長変化）とを繰り返す周期的な挙動をいう。 According to this configuration, the entire area of the pixel region can be filled with the functional liquid by ejecting and landing the functional liquid droplets on the peripheral edge and the center of each pixel area. That is, since the small droplets are ejected and landed on the peripheral portion, even if the ejected functional droplets land on the respective pixel areas in the main scanning direction or the sub-scanning direction, Liquid droplets do not adhere to the bank portion or flow into adjacent pixel areas, and color unevenness or color mixing between a plurality of pixel areas can be prevented. Furthermore, since large droplets are ejected and landed on the central portion, the entire pixel area can be filled with the functional liquid with a small number of shots, and the drawing operation can be performed efficiently.
In addition, according to this configuration, the small liquid droplets are ejected from the peripheral edge portions in the sub-scanning direction at the both end edge portions and the large liquid droplets are ejected from the central portion at intervals. Are close to each other and do not land in the pixel region almost simultaneously. For this reason, the small droplets that have landed on the peripheral edge are not drawn into the large droplets that are vibrating immediately after the landing. Therefore, the functional liquid droplets can be landed with high precision at the edge portions in the sub-scanning direction at the peripheral edge, and it is possible to surely prevent the dot dropout caused by the functional liquid droplet ejection timing.
The vibration immediately after the landing of the functional droplet is a deformation behavior in which the vertical axis of the landed functional droplet changes for a few tens of microseconds from landing, that is, the landed functional droplet is flattened on the workpiece. It refers to a periodic behavior that repeats a behavior (short change) of trying to become and a behavior (long change) of going up.

上記の液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドは、副走査方向における多数のノズルのノズルピッチが画素領域内に着弾した小液滴の着弾径よりも小さくなるように構成されていることが好ましい。   In the drawing method and the droplet ejection apparatus using the above-described droplet ejection device, the functional droplet ejection head has a nozzle pitch of a large number of nozzles in the sub-scanning direction that is smaller than the landing diameter of the small droplets landed in the pixel region. It is preferable to be configured to be small.

この構成によれば、各画素領域に対して、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる（主走査を行う）だけで、画素領域の全域を機能液で満たすことができ、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に相対的に移動させる必要がない。   According to this configuration, the entire functional area of the pixel area can be functioned by simply ejecting the functional liquid droplets (main scanning is performed) while moving the functional liquid droplet ejection head relative to the pixel area in the main scanning direction. The liquid can be filled with liquid, and there is no need to move the functional liquid droplet ejection head relatively in the sub-scanning direction.

この場合、多数のノズルは、１の描画ラインを構成すると共に、副走査方向と平行なｎ個のノズル列で構成されていることが好ましい。   In this case, it is preferable that the large number of nozzles constitute one drawing line and n nozzle rows parallel to the sub-scanning direction.

この構成によれば、ｎ個のノズル列が副走査方向に対して傾いていないことで、同一ノズル列内の複数のノズル間で吐出タイミングを変える必要がない。したがって、機能液滴吐出ヘッドに対して複雑な吐出駆動制御を行う必要がない。   According to this configuration, since the n nozzle rows are not inclined with respect to the sub-scanning direction, there is no need to change the discharge timing among a plurality of nozzles in the same nozzle row. Therefore, it is not necessary to perform complicated ejection drive control on the functional droplet ejection head.

この場合、各ノズル列における複数のノズルのノズル列内ピッチは、ノズルピッチのｎ倍のピッチであり、ｎ個のノズル列は、多数のノズルが副走査方向にノズルピッチで配置されるように副走査方向に相互に位置ずれして、主走査方向に配設されていることが好ましい。   In this case, the pitch in the nozzle row of the plurality of nozzles in each nozzle row is n times the nozzle pitch, and the n nozzle rows are arranged such that a large number of nozzles are arranged at the nozzle pitch in the sub-scanning direction. It is preferable that they are displaced in the sub-scanning direction and arranged in the main scanning direction.

この構成によれば、複数のノズルが比較的大きいノズル列内ピッチでノズル列を構成している機能液滴吐出ヘッドを用いた場合であっても、副走査方向における多数のノズルのノズルピッチを所望のピッチに構成することができ、ノズルピッチをノズル径より小さくすることも可能である。
なお、この場合、機能液滴吐出ヘッドは、ｎ個のノズル列のうち１または複数個のノズル列を有する複数の単位ヘッドにより構成されていることが好ましい。これによれば、機能液滴吐出ヘッドが複数の単位ヘッドによって構成されていることで、同型の単位ヘッドを大量生産することができるため、機能液滴吐出ヘッドを安価に製造することができる。 According to this configuration, even when a functional liquid droplet ejection head is used in which a plurality of nozzles form a nozzle row with a relatively large pitch within the nozzle row, the nozzle pitch of a large number of nozzles in the sub-scanning direction It can be configured to a desired pitch, and the nozzle pitch can be made smaller than the nozzle diameter.
In this case, the functional liquid droplet ejection head is preferably composed of a plurality of unit heads having one or a plurality of nozzle rows out of the n nozzle rows. According to this, since the functional liquid droplet ejection head is composed of a plurality of unit heads, the same type of unit head can be mass-produced, and thus the functional liquid droplet ejection head can be manufactured at low cost.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。   A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming portion made of functional droplets is formed on a substrate using the above-described droplet discharge device.

この構成によれば、複数の画素領域間において色ムラや混色が生ずることなく、画素領域の全域を機能液で満たすことができる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。 According to this configuration, since it is manufactured using a droplet discharge device that can fill the entire area of the pixel area with the functional liquid without causing color unevenness or color mixing between the plurality of pixel areas, highly reliable electric An optical device can be manufactured. As the electro-optical device (flat panel display), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device.

以下、添付の図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の実施形態について説明する。この液滴吐出装置は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上に機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、液滴吐出装置による機能液滴の吐出対象（描画対象）となる基板について簡単に説明する。   Hereinafter, embodiments of a droplet discharge device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This liquid droplet ejection device introduces a functional liquid such as special ink or light-emitting resin liquid into a functional liquid droplet ejection head, and forms a film forming portion with functional liquid droplets on a substrate such as a color filter. is there. Therefore, first, a substrate that is a functional liquid droplet ejection target (drawing target) by the liquid droplet ejection apparatus will be briefly described.

図１に示すように、カラーフィルタ５００の基板Ｗ上には、複数のパネル形成領域Ｗａがマトリクス状に配列されている。このパネル形成領域Ｗａは、後述する液滴吐出装置１（図３参照）による描画処理等の製造工程を経た後、個々に切り出されることにより、カラーフィルタ等の電気光学装置となるものである。さらに、基板Ｗの左右短辺部位には、それぞれ基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍが形成されており、この基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍにより、液滴吐出装置１に導入された基板Ｗが位置認識される。   As shown in FIG. 1, on the substrate W of the color filter 500, a plurality of panel formation regions Wa are arranged in a matrix. The panel formation region Wa is an electro-optical device such as a color filter by being cut out individually after a manufacturing process such as a drawing process by a droplet discharge device 1 (see FIG. 3) described later. Further, substrate alignment marks Wm and Wm are formed on the left and right short sides of the substrate W, respectively, and the position of the substrate W introduced into the droplet discharge device 1 is recognized by the substrate alignment marks Wm and Wm. .

図２（ａ）に示すように、各パネル形成領域Ｗａには、縦方向（同図の上下方向）に延在する縦バンク部位５０７ｂｖおよび横方向（同図の左右方向）に延在する横バンク部位５０７ｂｈから成る区画壁部５０７ｂ（バンク部）により区画した複数の画素領域５０７ａがマトリクス状に配列されている。各画素領域５０７ａは、区画壁部５０７ｂで囲まれた凹部となっており、後述する機能液滴吐出ヘッド１６によりＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色の成膜部（着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）を形成する際に、機能液滴の着弾領域となる（図１４参照）。なお、複数の画素領域５０７ａの配列パターンは、マトリクスの縦列においてすべて同色となるストライプ配列となっているが、マトリクスの縦列・横列に並んだ任意の３つの画素が、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列であってもよい。また、複数の画素領域５０７ａが千鳥を為すデルタ配列であってもよい。   As shown in FIG. 2A, each panel forming area Wa has a vertical bank portion 507bv extending in the vertical direction (vertical direction in the figure) and a horizontal bank extending in the horizontal direction (horizontal direction in the figure). A plurality of pixel regions 507a partitioned by partition wall portions 507b (bank portions) made up of bank portions 507bh are arranged in a matrix. Each pixel region 507a is a concave portion surrounded by a partition wall portion 507b, and R (red), G (green), and B (blue) three-color film forming portions ( When the colored layers 508R, 508G, and 508B) are formed, they become the landing areas of the functional liquid droplets (see FIG. 14). The arrangement pattern of the plurality of pixel regions 507a is a stripe arrangement in which all the columns in the matrix have the same color. However, any three pixels arranged in the columns and rows of the matrix are R, G, and B. It may be a mosaic arrangement of colors. Further, a delta arrangement in which the plurality of pixel regions 507a staggers may be used.

また、詳細は後述するが、基板Ｗが液滴吐出装置１に導入されると、上記の基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍにより、複数の画素領域５０７ａのマトリクスの縦方向および横方向（各画素領域５０７ａの幅方向および長手方向）が液滴吐出装置１の主走査方向および副走査方向とそれぞれ平行になるように、位置補正される。   Although details will be described later, when the substrate W is introduced into the droplet discharge device 1, the vertical and horizontal directions of the matrix of the plurality of pixel regions 507a (each pixel region 507a) are formed by the substrate alignment marks Wm and Wm. The position is corrected so that the main scanning direction and the sub-scanning direction of the droplet discharge device 1 are parallel to each other.

図２（ｂ）に示すように、複数の画素領域５０７ａは、例えば４０インチの高精細テレビに使用されるカラーフィルタでは精細度８０ｐｐｉに構成されており、マトリクスの横方向（副走査方向）における画素ピッチＰＤｈが略３２０μｍ、マトリクスの縦方向（主走査方向）における画素ピッチＰＤｖが略１８０μｍで配列されている。また、この場合、各画素領域５０７ａは、その長手方向（副走査方向）の画素寸法ＬＬが略３００μｍであり、その幅方向（主走査方向）の画素寸法ＬＷが略１００μｍである。すなわち、縦バンク部位５０７ｂｖの幅Ｗｖは略２０μｍであり、横バンク部位５０７ｂｈの幅Ｗｈは略８０μｍである。また、各画素領域５０７ａに対する液滴着弾量は例えば７００ピコリットル程度であり、機能液滴吐出ヘッド１６の各ノズル７５（図４参照）から略２．８ピコリットルまたは略１０ピコリットルの機能液滴が複数ショット打ち込まれることとなる（詳細は後述する）。   As shown in FIG. 2B, the plurality of pixel regions 507a are configured to have a resolution of 80 ppi in a color filter used in, for example, a 40-inch high-definition television, and are in the horizontal direction (sub-scanning direction) of the matrix. The pixel pitch PDh is arranged at about 320 μm, and the pixel pitch PDv in the vertical direction (main scanning direction) of the matrix is arranged at about 180 μm. In this case, each pixel region 507a has a pixel dimension LL in the longitudinal direction (sub-scanning direction) of approximately 300 μm and a pixel dimension LW in the width direction (main scanning direction) of approximately 100 μm. That is, the width Wv of the vertical bank portion 507bv is approximately 20 μm, and the width Wh of the horizontal bank portion 507bh is approximately 80 μm. The amount of droplet landing on each pixel region 507a is about 700 picoliters, for example, and approximately 2.8 picoliters or approximately 10 picoliters of functional liquid from each nozzle 75 (see FIG. 4) of the functional liquid droplet ejection head 16. A plurality of droplets are shot (details will be described later).

なお、図２（ｂ）の符号５０７ａｒおよび５０７ａｃは、それぞれ画素領域５０７ａの周縁部および中央部であり、さらに、符号５０７ａｍおよび５０７ａｓは、それぞれ周縁部５０７ａｒにおける主走査方向の両端縁部位（横両端縁部位）および副走査方向の両端縁部位（縦両端縁部位）である。   2B, reference numerals 507ar and 507ac in FIG. 2B are a peripheral part and a central part of the pixel area 507a, respectively, and reference numerals 507am and 507as are both end edge parts (lateral ends in the main scanning direction) in the peripheral part 507ar, respectively. Edge portion) and both end edge portions (vertical both end edge portions) in the sub-scanning direction.

また、後述するように、区画壁部５０７ｂ（バンク５０３、図１４参照）は疎液（疎水）性の樹脂材料で構成されているため、区画壁部５０７ｂに機能液滴が着弾しても、その機能液滴は隣接する画素領域５０７ａ内へ流れ込むようになっている。一方、ガラス板（石英ガラス）で構成された基板Ｗの表面は、表面処理により親液（親水）性となっており、着弾した機能液滴は、基板Ｗに対して５°〜１５°の接触角φを為す球冠状（ドーム状）となる（図７参照）。もっとも、吐出された機能液滴は、着弾直後（着弾から数十マイクロ秒間）は、基板Ｗ上で振動（機能液滴の縦軸が長短変化する変形挙動）しており、その後、表面張力により球冠状となって安定した状態となる。
なお、カラーフィルタ等の電気光学装置の構造およびその製造方法については、後程詳細に説明する。 Further, as will be described later, the partition wall portion 507b (bank 503, see FIG. 14) is made of a lyophobic (hydrophobic) resin material, so that even if functional droplets land on the partition wall portion 507b, The functional liquid droplet flows into the adjacent pixel region 507a. On the other hand, the surface of the substrate W composed of a glass plate (quartz glass) is lyophilic (hydrophilic) by the surface treatment, and the landed functional droplets are 5 ° to 15 ° with respect to the substrate W. It has a spherical crown shape (dome shape) with a contact angle φ (see FIG. 7). However, the ejected functional liquid droplets vibrate immediately after landing (several tens of microseconds after landing) on the substrate W (deformation behavior in which the vertical axis of the functional liquid droplet changes long and short). It becomes a spherical crown and is in a stable state.
The structure of an electro-optical device such as a color filter and the manufacturing method thereof will be described in detail later.

続いて、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。図３に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に設置されたヘッド機能回復装置４と、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、を備え、ヘッド機能回復装置４により機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ上に機能液滴を吐出する描画動作を行うようにしている。さらに、同図では図示省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド１６に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構６（図８参照）や、上記の描画装置３やヘッド機能回復装置４等の各構成装置を統括制御する制御装置７（図８参照）等が組み込まれている。   Next, the droplet discharge device according to the present invention will be described. As shown in FIG. 3, the droplet discharge device 1 includes a machine base 2, a drawing device 3 that is widely placed on the entire area of the machine base 2, and a head function recovery that is installed at the end of the machine base 2. And a maintenance system moving table 5 on which various units of the head function recovery device 4 are collectively mounted and moved on the machine base 2, and the function recovery of the functional liquid droplet ejection head 16 is performed by the head function recovery device 4. In addition to performing the processing, a drawing operation for discharging functional droplets onto the substrate W is performed by the drawing apparatus 3. Furthermore, although not shown in the figure, the liquid droplet ejection apparatus 1 includes a functional liquid supply mechanism 6 (see FIG. 8) including a liquid supply tank that supplies functional liquid to each functional liquid droplet ejection head 16, and the like. A control device 7 (see FIG. 8) and the like for controlling each component device such as the drawing device 3 and the head function recovery device 4 are incorporated.

まず、液滴吐出装置１の描画装置３およびこれによる描画動作について説明する。描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを有している。そして、ヘッドユニット１５には、サブキャリッジ５１（図４参照）を介して、複数（２４個）の機能液滴吐出ヘッド１６（図３では、単一の長方形で示す）が搭載されている。そして、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ１７，１７により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。   First, the drawing device 3 of the droplet discharge device 1 and the drawing operation by this will be described. The drawing apparatus 3 includes an XY movement mechanism 11 including an X-axis table 12 and a Y-axis table 13 orthogonal to the X-axis table 12, a main carriage 14 that is movably attached to the Y-axis table 13, and a main carriage 14 that is suspended from the main carriage 14. The head unit 15 is provided. A plurality (24) of functional liquid droplet ejection heads 16 (indicated by a single rectangle in FIG. 3) are mounted on the head unit 15 via a sub-carriage 51 (see FIG. 4). The substrate W is mounted in a state of being positioned on the X-axis table 12 by a pair of substrate recognition cameras 17 and 17 facing the end of the X-axis table 12.

Ｘ軸テーブル１２は、基板Ｗを吸着搭載する吸着テーブル２３および基板θ軸テーブル２４等から成るセットテーブル２２と、セットテーブル２２をＸ軸方向（主走査方向）にスライド自在に支持するＸ軸スライダ２１と、主走査方向に延在し、セットテーブル２２を介して基板Ｗを主走査方向に移動させる一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、一対のＸ軸リニアモータの間に並設され、Ｘ軸スライダ２１の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール（図示省略）と、を備えている。一対のＸ軸リニアモータを駆動すると、一対のＸ軸ガイドレールをガイドにしながら、Ｘ軸スライダ２１が主走査方向に移動し、セットテーブル２２にセットされた基板Ｗが主走査方向に移動する。一対のＸ軸ガイドレールの間には、Ｘ軸リニアスケール（図示省略）が併設されており、詳細は後述するが、タイミング信号供給手段１２２（図９参照）は、これに基づいて、Ｘ軸テーブル１２を移動するセットテーブル２２の刻々の位置を正確に把握し、駆動波形生成手段１２３（図９参照）に供給する吐出タイミング用基準パルスを得ている。
なお、図３では図示しないが、基板θ軸テーブル２４には、ヘッド認識カメラ２５（図８参照）が固定されており、セットテーブル２２に対して、ヘッドユニット１５の位置を補正可能となっている。 The X-axis table 12 includes a set table 22 including a suction table 23 on which a substrate W is sucked and mounted, a substrate θ-axis table 24, and the like, and an X-axis slider that slidably supports the set table 22 in the X-axis direction (main scanning direction). 21, a pair of X-axis linear motors (not shown) that extend in the main scanning direction and move the substrate W in the main scanning direction via the set table 22, and a pair of X-axis linear motors. And a pair of X-axis guide rails (not shown) for guiding the movement of the X-axis slider 21. When the pair of X-axis linear motors are driven, the X-axis slider 21 moves in the main scanning direction while using the pair of X-axis guide rails as guides, and the substrate W set on the set table 22 moves in the main scanning direction. An X-axis linear scale (not shown) is provided between the pair of X-axis guide rails. Although details will be described later, the timing signal supply means 122 (see FIG. 9) The position of the set table 22 that moves the table 12 is accurately grasped, and the ejection timing reference pulse to be supplied to the drive waveform generating means 123 (see FIG. 9) is obtained.
Although not shown in FIG. 3, a head recognition camera 25 (see FIG. 8) is fixed to the substrate θ-axis table 24, and the position of the head unit 15 can be corrected with respect to the set table 22. Yes.

同様に、Ｙ軸テーブル１３は、メインキャリッジ１４を吊設するブリッジプレート（図示省略）と、ブリッジプレートを支持するＹ軸スライダ３１と、Ｙ軸方向（副走査方向）に延在し、Ｙ軸スライダ３１を介してブリッジプレートを副走査方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータに並設され、ブリッジプレートの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、ブリッジプレートの移動位置を検出するためのＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｙ軸リニアモータを駆動すると、Ｙ軸スライダ３１がＹ軸ガイドレールを案内にして副走査方向を平行移動し、ブリッジプレートを副走査方向に移動させる。   Similarly, the Y-axis table 13 extends in the Y-axis direction (sub-scanning direction), a bridge plate (not shown) that suspends the main carriage 14, a Y-axis slider 31 that supports the bridge plate, and a Y-axis. A pair of Y-axis linear motors (not shown) that move the bridge plate in the sub-scanning direction via the slider 31 and a pair of Y-axis guide rails that are arranged in parallel to the pair of Y-axis linear motors and guide the movement of the bridge plate (Not shown) and a Y-axis linear scale (not shown) for detecting the moving position of the bridge plate. When the Y-axis linear motor is driven, the Y-axis slider 31 translates in the sub-scanning direction using the Y-axis guide rail as a guide, and moves the bridge plate in the sub-scanning direction.

Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３３，３３に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、主走査方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。   The X-axis table 12 is directly supported on the machine base 2, while the Y-axis table 13 is supported by left and right columns 33, 33 erected on the machine base 2. The X-axis table 12 and the maintenance system moving table 5 are arranged in parallel to each other in the main scanning direction, and the Y-axis table 13 extends so as to straddle the X-axis table 12 and the maintenance system moving table 5. is doing.

そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置する機能回復エリア４２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア４１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行う場合には、ヘッドユニット１５を機能回復エリア４２に臨ませる。   The Y-axis table 13 includes the head unit 15 mounted on the Y-axis table 13 between the drawing area 41 positioned immediately above the X-axis table 12 and the function recovery area 42 positioned directly above the maintenance system moving table 5. Move appropriately between. In other words, the Y-axis table 13, when drawing on the substrate W introduced into the X-axis table 12, faces the head unit 15 to the drawing area 41 and performs the function recovery process of the functional liquid droplet ejection head 16. Causes the head unit 15 to face the function recovery area 42.

一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、基板ＷをＸ軸テーブル１２にセットするための基板導入エリア４３となっており、この基板導入エリア４３には、上記一対の基板認識カメラ１７，１７が配設されている。そして、この一対の基板認識カメラ１７，１７により、吸着テーブル２３上に供給された基板Ｗの２箇所の基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍが同時に認識され、この認識結果に基づいて、基板Ｗのアライメントが為される。
なお、上述したように、基板Ｗがθ補正されると、複数の画素領域５０７ａのマトリクスの縦列および横列は、主走査方向および副走査方向とそれぞれ平行になる。したがって、基板Ｗは、機能液滴吐出ヘッド１６に対し、複数の画素領域５０７ａがＸ軸方向（主走査方向）およびＹ軸方向（副走査方向）にマトリクス状に配列された状態で、セットテーブル２２にセットされることとなる。 On the other hand, one end of the X-axis table 12 serves as a substrate introduction area 43 for setting the substrate W on the X-axis table 12. The substrate introduction area 43 includes the pair of substrate recognition cameras 17, 17 is disposed. The pair of substrate recognition cameras 17 and 17 simultaneously recognize the two substrate alignment marks Wm and Wm of the substrate W supplied on the suction table 23, and the alignment of the substrate W is performed based on the recognition result. Done.
As described above, when the substrate W is θ-corrected, the vertical and horizontal rows of the matrix of the plurality of pixel regions 507a are parallel to the main scanning direction and the sub-scanning direction, respectively. Therefore, the substrate W is set in a state where a plurality of pixel regions 507a are arranged in a matrix in the X-axis direction (main scanning direction) and the Y-axis direction (sub-scanning direction) with respect to the functional liquid droplet ejection head 16. Will be set to 22.

図４に示すように、ヘッドユニット１５は、サブキャリッジ５１と、サブキャリッジ５１に搭載した２４個の機能液滴吐出ヘッド１６と、各機能液滴吐出ヘッド１６をサブキャリッジ５１に個々に取り付けるための２４個のヘッド保持部材（図示省略）とを備えている。各機能液滴吐出ヘッド１６は、複数（１８０個）のノズル７５から構成される２列のノズル列７４を有しており、液滴吐出装置１に搭載されたヘッドユニット１５では、各ノズル列７４が副走査方向と平行になっている。これによれば、２列のノズル列７４が副走査方向に対して傾いていないことで、同一ノズル列７４内の複数のノズル７５間で吐出タイミングを変える必要がない。   As shown in FIG. 4, the head unit 15 is provided for attaching the sub-carriage 51, 24 functional liquid droplet ejection heads 16 mounted on the sub-carriage 51, and each functional liquid droplet ejection head 16 to the sub-carriage 51 individually. 24 head holding members (not shown). Each functional liquid droplet ejection head 16 has two nozzle rows 74 composed of a plurality (180) of nozzles 75. In the head unit 15 mounted on the liquid droplet ejection device 1, each nozzle row is arranged. 74 is parallel to the sub-scanning direction. According to this, since the two nozzle rows 74 are not inclined with respect to the sub-scanning direction, there is no need to change the discharge timing between the plurality of nozzles 75 in the same nozzle row 74.

２４個の機能液滴吐出ヘッド１６は、１２個ずつ左右に二分され配設されている。さらに、各１２個の機能液滴吐出ヘッド１６は、４個ずつ３組に分けられ、３組の機能液滴吐出ヘッド１６が主走査方向に相互に位置ずれするように、階段状に配設されている。すなわち、２４個の機能液滴吐出ヘッド１６の多数のノズル７５により、１の描画ラインＬＰが構成され、各組４個の機能液滴吐出ヘッド１６により、部分描画ラインＬＰｐが構成されるようになっている。
なお、図４では表されていないが、各組４個の機能液滴吐出ヘッド１６は、副走査方向に互いにわずかに位置ずれしている（詳細は後述する）。もっとも、機能液滴吐出ヘッド１６の個数および配列は任意であり、例えば、複数の機能液滴吐出ヘッド１６を副走査方向に１列に並べてもよく、また、単一の機能液滴吐出ヘッド１６によりヘッドユニット１５を構成してもよい。 Twenty-four functional liquid droplet ejection heads 16 are divided into left and right halves. Furthermore, each of the twelve functional liquid droplet ejection heads 16 is divided into three groups of four, and the three functional liquid droplet ejection heads 16 are arranged in a stepped manner so that they are displaced from each other in the main scanning direction. Has been. That is, one drawing line LP is constituted by a large number of nozzles 75 of 24 functional liquid droplet ejection heads 16, and a partial drawing line LPp is constituted by four functional liquid droplet ejection heads 16 in each group. It has become.
Although not shown in FIG. 4, the four functional liquid droplet ejection heads 16 in each set are slightly displaced from each other in the sub-scanning direction (details will be described later). However, the number and arrangement of the functional liquid droplet ejection heads 16 are arbitrary. For example, a plurality of functional liquid droplet ejection heads 16 may be arranged in a line in the sub-scanning direction. The head unit 15 may be configured as described above.

サブキャリッジ５１は、略方形のヘッドプレート５２と、ヘッドプレート５２の短辺方向の中間位置に設けられ、裏面に突設させた左右一対の基準ピン５３，５３とを有している。ヘッドプレート５２は、ステンレス等の厚板で構成され、２４個の機能液滴吐出ヘッド１６を取り付けるための装着開口（図示省略）が形成されている。一対の基準ピン５３，５３は、ヘッド認識カメラ２５の画像認識により、ヘッドユニット１５をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決めするための基準となるものである。   The sub-carriage 51 has a substantially square head plate 52 and a pair of left and right reference pins 53 and 53 provided at an intermediate position in the short side direction of the head plate 52 and projecting from the back surface. The head plate 52 is made of a thick plate such as stainless steel, and has mounting openings (not shown) for mounting the 24 functional liquid droplet ejection heads 16. The pair of reference pins 53 and 53 serves as a reference for positioning the head unit 15 in the X-axis, Y-axis, and θ-axis directions by image recognition of the head recognition camera 25.

さらに、サブキャリッジ５１には、図示しないが、２４個の機能液滴吐出ヘッド１６にそれぞれ接続される２４個のヘッド側配管部材と、機能液供給機構の給液タンクに連なる２４個の装置側配管部材とをそれぞれ着脱自在に接続する配管ジョイントが設けられている。また、２４個の機能液滴吐出ヘッド１６の上方に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド１６に接続される配線接続アッセンブリが設けられている。そして、配線接続アッセンブリは、フレキシブルフラットケーブを介して後述するヘッドドライバ１１１（図８参照）に接続されるようになっている。   Further, although not shown, the sub-carriage 51 includes 24 head-side piping members respectively connected to the 24 functional liquid droplet ejection heads 16 and 24 apparatus sides connected to the liquid supply tank of the functional liquid supply mechanism. Piping joints are provided for detachably connecting the piping members. Further, a wiring connection assembly connected to the functional droplet discharge heads 16 is provided above the 24 functional droplet discharge heads 16. The wiring connection assembly is connected to a head driver 111 (see FIG. 8) described later via a flexible flat cable.

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針６２，６２を有する機能液導入部６１と、機能液導入部６１に連なる２連のヘッド基板６３と、機能液導入部６１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体６４と、を備えている。各接続針６２は、図示しないが、配管アダプタを介してヘッド側配管部材に接続されており、機能液導入部６１は、各接続針６２から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体６４は、圧電振動子等で構成される２連のポンプ部７１と、２本のノズル列７４，７４を相互に平行に形成したノズル面７３を有するノズルプレート７２と、を有している。各ノズル列７４は、１８０個のノズル７５が等ピッチで並べられて構成されている。   As shown in FIG. 5, the functional liquid droplet ejection head 16 has a so-called double structure, and includes a functional liquid introduction part 61 having two connection needles 62 and 62, and two series of functional liquid introduction parts 61 connected to the functional liquid introduction part 61. A head substrate 63 and a head main body 64 which is connected to the lower side (upper side in the figure) of the functional liquid introducing portion 61 and has an in-head flow path filled with the functional liquid therein. Although not shown, each connection needle 62 is connected to the head side piping member via a pipe adapter, and the functional liquid introduction unit 61 is supplied with the functional liquid from each connection needle 62. The head body 64 includes a dual pump unit 71 composed of a piezoelectric vibrator or the like, and a nozzle plate 72 having a nozzle surface 73 in which two nozzle rows 74 and 74 are formed in parallel to each other. is doing. Each nozzle row 74 is configured by 180 nozzles 75 arranged at an equal pitch.

図６に示すように、各ノズル７５のノズル径Ｒｎは、例えば、２５μｍである。また、各ノズル列７４の長さＬｎは、例えば１インチ（略２５．４ｍｍ）であり、１８０個のノズル７５のノズル列内ピッチＰＮｉは略１４０μｍである。そして、２列のノズル列７４は、ノズル列内ピッチＰＮｉの１／２倍の長さ（略７０μｍ）ずつノズル列方向（副走査方向）に相互に位置ずれするように、形成されている。さらに、上述した各組４個の機能液滴吐出ヘッド１６は、ノズル列内ピッチＰＮｉの１／８倍の長さ（略１７．５μｍ）ずつノズル列方向（副走査方向）に相互に位置ずれするように、ヘッドプレート５２に配設されている。   As shown in FIG. 6, the nozzle diameter Rn of each nozzle 75 is, for example, 25 μm. The length Ln of each nozzle row 74 is, for example, 1 inch (approximately 25.4 mm), and the nozzle row pitch PNi of the 180 nozzles 75 is approximately 140 μm. The two nozzle rows 74 are formed so as to be displaced from each other in the nozzle row direction (sub-scanning direction) by a length (approximately 70 μm) of ½ times the nozzle row pitch PNi. Further, the above-mentioned four functional liquid droplet ejection heads 16 are displaced from each other in the nozzle row direction (sub-scanning direction) by a length (approximately 17.5 μm) that is 1/8 times the nozzle row pitch PNi. Thus, the head plate 52 is disposed.

そのため、各組４個の機能液滴吐出ヘッド１６は、副走査方向における多数のノズル７５のノズルピッチＰＮが、ノズル列内ピッチＰＮｉの１／８倍のピッチ（略１７．５μｍ）となるように構成されている。すなわち、各組４個の機能液滴吐出ヘッド１６において、各ノズル列７４における複数のノズル７５のノズル列内ピッチＰＮｉは、ノズルピッチＰＮの８倍のピッチであり、８個のノズル列７４は、多数（１８０×８個）のノズル７５が副走査方向にノズルピッチＰＮで配置されるように副走査方向に相互に位置ずれして、主走査方向に配設されている。これによれば、１８０個のノズル７５が比較的大きいノズル列内ピッチＰＮｉ（略１４０μｍ）でノズル列７４を構成している機能液滴吐出ヘッド１６を用いた場合であっても、ノズルピッチＰＮを所望のピッチ（略１７．５μｍ）に構成することができる。   Therefore, each set of four functional liquid droplet ejection heads 16 has a nozzle pitch PN of a large number of nozzles 75 in the sub-scanning direction such that the nozzle row pitch PNi is 1/8 times the pitch (approximately 17.5 μm). It is configured. That is, in each group of four functional liquid droplet ejection heads 16, the nozzle row pitch PNi of the plurality of nozzles 75 in each nozzle row 74 is eight times the nozzle pitch PN, and the eight nozzle rows 74 are A large number (180 × 8) of the nozzles 75 are displaced in the sub-scanning direction and arranged in the main scanning direction so as to be arranged at the nozzle pitch PN in the sub-scanning direction. According to this, even when the functional liquid droplet ejection head 16 in which the nozzle array 74 is configured with 180 nozzles 75 having a relatively large nozzle array pitch PNi (approximately 140 μm), the nozzle pitch PN is used. Can be configured to have a desired pitch (approximately 17.5 μm).

なお、本実施形態では、各組４個の機能液滴吐出ヘッド１６において、副走査方向における並び順を主走査方向における並び順と異なるものとしているが、副走査方向における並び順を主走査方向における並び順と同一にして、多数のノズル７５のノズルピッチＰＮがノズル列内ピッチＰＮｉの１／８倍のピッチとなるように構成してもよい。
また、各機能液滴吐出ヘッド１６は、ヘッド内流路の構造上両端部に位置するノズル７５からの吐出量が、中央部に位置するノズル７５からの吐出量に比べて多くなることから、例えば、１１番目から１７０番目までの１６０個のノズル７５のみから機能液滴を吐出し、１番目から１０番目および１７１番目から１８０番目までの２０個のノズルからは機能液滴を吐出しないようにすることが好ましい。 In this embodiment, in each group of four functional liquid droplet ejection heads 16, the arrangement order in the sub-scanning direction is different from the arrangement order in the main scanning direction, but the arrangement order in the sub-scanning direction is different from the main scanning direction. The nozzle pitch PN of a large number of nozzles 75 may be configured to be 1/8 times the nozzle row pitch PNi.
In addition, each functional liquid droplet ejection head 16 has a larger ejection amount from the nozzles 75 located at both ends of the flow path in the head than the ejection amount from the nozzle 75 located at the center. For example, functional droplets are ejected from only the 160 nozzles 75 from the 11th to the 170th, and no functional droplets are ejected from the 20 nozzles from the 1st to the 10th and from the 171st to the 180th. It is preferable to do.

一方、図５に示すように、ヘッド基板６３には、２連のコネクタ７６，７６が設けられており、各コネクタ７６は上記の配線接続アッセンブリを介してヘッドドライバ１１１に接続されている。そして、上記のタイミング信号供給手段１２２から出力された吐出タイミング用基準パルスに応じて、制御装置７からヘッドドライバ１１１を介して各ポンプ部７１に駆動波形が印加される（詳細は後述する）。なお、各ノズル７５の吐出周波数は、例えば略１０ｋＨｚである。   On the other hand, as shown in FIG. 5, the head substrate 63 is provided with two connectors 76, 76, and each connector 76 is connected to the head driver 111 through the above-described wiring connection assembly. Then, in accordance with the ejection timing reference pulse output from the timing signal supply means 122, a drive waveform is applied from the control device 7 to each pump section 71 via the head driver 111 (details will be described later). In addition, the discharge frequency of each nozzle 75 is about 10 kHz, for example.

この場合、各ポンプ部７１に対する駆動波形の大きさ（印加電圧値の大きさ）に応じて、圧力発生室に生ずる圧力変動幅が変化するため、各ポンプ部７１に印加電圧値の異なる複数種の駆動波形を印加することで、各ノズル７５から液滴吐出量の異なる複数種の機能液滴を吐出させることができる。このようにして、制御装置７によりヘッドドライバ１１１を介して機能液滴吐出ヘッド１６の吐出タイミングおよび液滴吐出量が制御されている。   In this case, since the pressure fluctuation range generated in the pressure generating chamber changes according to the magnitude of the drive waveform for each pump section 71 (the magnitude of the applied voltage value), a plurality of types with different applied voltage values are applied to each pump section 71. By applying this driving waveform, a plurality of types of functional liquid droplets having different liquid droplet ejection amounts can be ejected from each nozzle 75. In this way, the control device 7 controls the discharge timing and the droplet discharge amount of the functional droplet discharge head 16 via the head driver 111.

図７に示すように、本実施形態では、各ノズル７５に対して、電圧値の小さい小駆動波形（同図（ａ）参照）と電圧値の大きい大駆動波形（同図（ｅ）参照）との２種類の駆動波形が印加され、各ノズル７５は、小駆動波形が印加されると液滴吐出量の小さい（略２．８ピコリットル）小液滴ＤＲｓを吐出し（同図（ｂ）参照）、大駆動波形が印加されると液滴吐出量の大きい（略１０ピコリットル）大液滴ＤＲｂを吐出する（同図（ｆ）参照）。   As shown in FIG. 7, in this embodiment, for each nozzle 75, a small drive waveform with a small voltage value (see FIG. 7A) and a large drive waveform with a large voltage value (see FIG. 7E). When the small drive waveform is applied, each nozzle 75 discharges a small droplet DRs with a small droplet discharge amount (approximately 2.8 picoliters) (FIG. 5B). )), When a large driving waveform is applied, a large droplet DRb having a large droplet discharge amount (approximately 10 picoliters) is discharged (see FIG. 8F).

各画素領域５０７ａ内に着弾した小液滴ＤＲｓおよび大液滴ＤＲｂは、着弾直後は振動している（同図（ｃ）および（ｇ）参照）。その後、それぞれ基板Ｗと接触角φを為し、小液滴ＤＲｓの着弾径ＲＤｓは、略２０μｍとなり（同図（ｄ）参照）、大液滴ＤＲｂの着弾径ＲＤｂは、略３０μｍとなる（同図（ｈ）参照）。したがって、機能液滴吐出ヘッド１６は、副走査方向における多数のノズル７５のノズルピッチＰＮ（略１７．５μｍ）が小液滴ＤＲｓの着弾径ＲＤｓ（略２０μｍ）よりも小さくなるように構成されている。これによれば、各画素領域５０７ａに対して、機能液滴吐出ヘッド１６を主走査方向に相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる（主走査を行う）だけで、画素領域５０７ａの全域に機能液を拡げることができる（図１２参照）。したがって、機能液滴吐出ヘッド１６を副走査方向に相対的に移動させる必要がないため、効率良く描画動作を行うことができる（詳細は後述する）。   The small droplet DRs and the large droplet DRb that have landed in each pixel region 507a vibrate immediately after the landing (see (c) and (g) in the figure). Thereafter, the contact angle φ with the substrate W is made, the landing diameter RDs of the small droplet DRs is about 20 μm (see FIG. 4D), and the landing diameter RDb of the large droplet DRb is about 30 μm ( (See (h) in the figure). Therefore, the functional liquid droplet ejection head 16 is configured such that the nozzle pitch PN (approximately 17.5 μm) of the large number of nozzles 75 in the sub-scanning direction is smaller than the landing diameter RDs (approximately 20 μm) of the small liquid droplet DRs. Yes. According to this, the entire area of the pixel area 507a can be obtained by simply ejecting the functional liquid droplets (main scanning is performed) with respect to each pixel area 507a while moving the functional liquid droplet ejection head 16 relatively in the main scanning direction. It is possible to spread the functional liquid (see FIG. 12). Accordingly, it is not necessary to relatively move the functional liquid droplet ejection head 16 in the sub-scanning direction, so that the drawing operation can be performed efficiently (details will be described later).

ここで、図１を参照して、基板Ｗに対する描画装置３の一連の吐出動作（描画動作）について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、基板Ｗと平行な面内における基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド１６とのアライメントが行われる。
すなわち、作業に供する基板Ｗ用のヘッドユニット１５が液滴吐出装置１に運び込まれ、これがメインキャリッジ１４にセットされると、Ｙ軸テーブル１３がヘッドユニット１５を、ヘッド認識カメラ２５の位置（描画エリア４１）に移動させ、ヘッド認識カメラ２５で基準ピン５３を検出することにより、ヘッドユニット１５が位置認識される。そして、この認識結果に基づいて、メインキャリッジ１４のヘッドθ軸テーブル３２によりヘッドユニット１５がθ補正され、且つヘッドユニット１５の主走査方向および副走査方向の位置補正がデータ上で行われる。位置補正後、ヘッドユニット１５はホーム位置に戻る。一方、Ｘ軸テーブル１２のセットテーブル２２上に、基板導入エリア４３において基板Ｗが導入されると、この位置で一対の基板認識カメラ１７，１７により、２箇所の基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍを検出することで、基板Ｗを位置認識する。そして、この認識結果に基づいて、基板θ軸テーブル２４により基板Ｗがθ補正され、且つ、基板Ｗの主走査方向および副走査方向の位置補正がデータ上で行われる。位置補正後、基板Ｗはホーム位置に戻る。このようにして、基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド１６とのアライメントが完了する。 Here, with reference to FIG. 1, a series of ejection operations (drawing operations) of the drawing apparatus 3 on the substrate W will be briefly described. First, as a preparation before ejecting functional droplets, alignment of the substrate W and the functional droplet ejection head 16 in a plane parallel to the substrate W is performed.
That is, when the head unit 15 for the substrate W to be used for work is brought into the droplet discharge device 1 and set on the main carriage 14, the Y-axis table 13 moves the head unit 15 to the position of the head recognition camera 25 (drawing). By moving to the area 41) and detecting the reference pin 53 by the head recognition camera 25, the position of the head unit 15 is recognized. Based on the recognition result, the head unit 15 is θ-corrected by the head θ-axis table 32 of the main carriage 14, and the position correction of the head unit 15 in the main scanning direction and the sub-scanning direction is performed on the data. After the position correction, the head unit 15 returns to the home position. On the other hand, when the substrate W is introduced on the set table 22 of the X-axis table 12 in the substrate introduction area 43, two substrate alignment marks Wm and Wm are detected by the pair of substrate recognition cameras 17 and 17 at this position. As a result, the position of the substrate W is recognized. Then, based on the recognition result, the substrate W is θ-corrected by the substrate θ-axis table 24, and the position correction of the substrate W in the main scanning direction and the sub-scanning direction is performed on the data. After the position correction, the substrate W returns to the home position. In this way, the alignment between the substrate W and the functional liquid droplet ejection head 16 is completed.

そして、詳細は後述するが、描画装置３は、Ｘ軸方向への基板Ｗの移動を主走査とし、Ｙ軸方向へのヘッドユニット１５の移動を副走査として、制御装置７による制御を受けながら、各画素領域５０７ａの周縁部５０７ａｒに対し、各ノズル７５から小液滴ＤＲｓを吐出・着弾させ、各画素領域の中央部５０７ａｃに対し、各ノズル７５から大液滴ＤＲｂを吐出・着弾させ、基板Ｗに描画を行っている。すなわち、ヘッドユニット１５を描画エリア４１に臨ませておいて、Ｘ軸テーブル１２による基板Ｗの往復移動に同期して、複数の画素領域５０７ａ内のそれぞれに複数ショットの機能液滴を吐出・着弾させ、主走査が行われる。また、Ｙ軸テーブル１３により適宜、ヘッドユニット１５を往復移動させ、副走査が行われる。この一連の動作により、基板Ｗに所望の機能液滴の選択的吐出、すなわち描画動作が行われる。そして、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液でカラー描画された基板Ｗの全パネル形成領域Ｗａを個々に切り出すことにより、複数のパネルを得ることができる。
なお、本実施形態では、ヘッドユニット１５に対して、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット１５を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット１５を固定とし、基板Ｗを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。また、本実施形態では、往動時および復動時のいずれにも機能液滴の吐出（往復描画動作）が行われるが、復動時には機能液滴の吐出が行われない構成としてもよい。 As will be described in detail later, the drawing device 3 is controlled by the control device 7 with the movement of the substrate W in the X-axis direction as main scanning and the movement of the head unit 15 in the Y-axis direction as sub-scanning. The small droplets DRs are discharged and landed from the nozzles 75 to the peripheral portion 507ar of each pixel region 507a, and the large droplets DRb are discharged and landed from the nozzles 75 to the central portion 507ac of each pixel region, Drawing is performed on the substrate W. That is, with the head unit 15 facing the drawing area 41, a plurality of shots of functional liquid droplets are ejected and landed in each of the plurality of pixel regions 507a in synchronization with the reciprocation of the substrate W by the X-axis table 12. Main scanning is performed. Further, the head unit 15 is appropriately reciprocated by the Y-axis table 13 to perform sub-scanning. By this series of operations, desired functional droplets are selectively ejected onto the substrate W, that is, a drawing operation is performed. A plurality of panels can be obtained by individually cutting out all the panel forming regions Wa of the substrate W color-drawn with the functional liquids of three colors of R, G, and B.
In the present embodiment, the substrate W is moved in the main scanning direction with respect to the head unit 15, but the head unit 15 may be moved in the main scanning direction. Alternatively, the head unit 15 may be fixed and the substrate W may be moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction. In the present embodiment, the functional liquid droplets are ejected (reciprocating drawing operation) during both the forward movement and the backward movement, but the functional liquid droplets may not be ejected during the backward movement.

続いて、図３を参照して、液滴吐出装置１におけるヘッド機能回復装置４およびこれによる機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理について簡単に説明する。機能液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理は、メンテナンス系移動テーブル５によりこれに載置したヘッド機能回復装置４の各種ユニットを機能回復エリア４２に移動させると共に、上述したようにＹ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５を機能回復エリア４２に移動させることで行われる。   Next, with reference to FIG. 3, the head function recovery device 4 in the droplet discharge device 1 and the function recovery processing of the function droplet discharge head 16 by this will be briefly described. The function recovery process of the functional droplet discharge head 16 is performed by moving the various units of the head function recovery device 4 placed on the maintenance system moving table 5 to the function recovery area 42 and using the Y-axis table 13 as described above. This is done by moving the head unit 15 to the function recovery area 42.

メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（主走査方向）に延在しており、機能回復処理を行うヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース９１と、共通ベース９１を主走査方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール９２と、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）とを備えており、共通ベース９１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットを主走査方向に移動して機能回復エリア４２に位置させる。   The maintenance system moving table 5 extends in the longitudinal direction (main scanning direction) of the main body 2 and has a common base 91 on which various units of the head function recovery device 4 that performs function recovery processing are distributed and placed. And a pair of guide rails 92 that slidably support the common base 91 in the main scanning direction, and a motor-driven X-axis moving mechanism (not shown), which are dispersedly placed on the common base 91. Various units of the head function recovery device 4 are moved in the main scanning direction to be positioned in the function recovery area 42.

ヘッド機能回復装置４は、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置され、液滴吐出装置１の稼動停止時に機能液滴吐出ヘッド１６のノズル７５の乾燥を防止すべくこれを封止する保管ユニット８１と、機能液滴吐出ヘッド１６内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う吸引ユニット８２と、機能液滴吐出ヘッド１６のノズル面７３を払拭するワイピングユニット８３とを備えている。
なお、吸引ユニット８２による吸引は、上記の機能回復処理のほか、機能液滴吐出ヘッド１６を交換等して、給液タンクから機能液滴吐出ヘッド１６に至る機能液流路に機能液を導入する場合にも行われる。 The head function recovery device 4 is placed adjacent to each other on the maintenance system moving table 5 and is used to prevent drying of the nozzles 75 of the functional droplet discharge head 16 when the operation of the droplet discharge device 1 is stopped. The storage unit 81 to be sealed, the suction unit 82 that performs suction (cleaning) for removing the functional liquid thickened in the functional liquid droplet ejection head 16, and the nozzle surface 73 of the functional liquid droplet ejection head 16 are wiped off. And a wiping unit 83.
The suction by the suction unit 82 introduces the functional liquid into the functional liquid flow path from the liquid supply tank to the functional liquid droplet ejection head 16 by replacing the functional liquid droplet ejection head 16 in addition to the above function recovery processing. It is also done when you do.

次に、図８を参照して、制御装置７により構成される液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。まず、制御装置７は、パソコン等で構成されており、制御装置本体には、キーボード１０１ａやマウス等の入力装置、ＦＤドライブやＣＤ−ＲＯＭドライブ等の各種ドライブ、モニター等の周辺機器が接続されている。   Next, with reference to FIG. 8, a control system of the entire droplet discharge device 1 constituted by the control device 7 will be described. First, the control device 7 is composed of a personal computer or the like, and the control device main body is connected with input devices such as a keyboard 101a and a mouse, various drives such as an FD drive and a CD-ROM drive, and peripheral devices such as a monitor. ing.

液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、キーボード１０１ａを有してオペレータが各種データを入力操作する操作部１０１と、ヘッド認識カメラ２５や基板認識カメラ１７および各種カメラを有し、画像認識を行う画像認識部１０２と、機能液滴吐出ヘッド１６等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１０３と、これら各部を含め液滴吐出装置１を統括制御する制御部１０４と、を備えている。   The control system of the droplet discharge device 1 basically includes an operation unit 101 that has a keyboard 101a and allows an operator to input various data, a head recognition camera 25, a substrate recognition camera 17, and various cameras. An image recognition unit 102 that performs recognition, a drive unit 103 that includes various drivers that drive the functional liquid droplet ejection head 16 and the like, and a control unit 104 that collectively controls the liquid droplet ejection apparatus 1 including these units. .

駆動部１０３は、機能液滴吐出ヘッド１６を吐出駆動制御するヘッドドライバ１１１と、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の各モータをそれぞれ駆動制御する描画系移動用ドライバ１１２と、メンテナンス系移動テーブル５を駆動制御するメンテナンス系移動用ドライバ１１３と、ヘッド機能回復装置４の吸引ユニット８２およびワイピングユニット８３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１１４とを備えている。   The drive unit 103 includes a head driver 111 that controls the ejection of the functional liquid droplet ejection head 16, a drawing system movement driver 112 that drives and controls the motors of the X-axis table 12 and the Y-axis table 13, and a maintenance system movement table. And a maintenance driver 114 for driving and controlling the suction unit 82 and the wiping unit 83 of the head function recovery device 4.

制御部１０４は、ＣＰＵ１２０、ＲＯＭ１３０と、ＲＡＭ１４０と、Ｐ−ＣＯＮ１５０とを備え、これらは互いにバス１６０を介して接続されている。ＲＯＭ１３０は、ＣＰＵ１２０で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域や、描画動作を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ１４０は、各種レジスタ群や、オペレータが操作部１０１により入力した各種データ等を記憶する記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ１５０には、操作部１０１、画像認識部１０２の各種カメラおよび駆動部１０３の各種ドライバのほか、上記の機能液供給機構６等が接続されており、ＣＰＵ１２０の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。   The control unit 104 includes a CPU 120, a ROM 130, a RAM 140, and a P-CON 150, which are connected to each other via a bus 160. The ROM 130 has a control program area for storing a control program to be processed by the CPU 120, and a control data area for storing control data for performing a drawing operation. The RAM 140 includes various register groups and a storage unit that stores various data input by the operator through the operation unit 101, and is used as various work areas for control processing. The P-CON 150 is connected to the operation unit 101, various cameras of the image recognition unit 102, various drivers of the drive unit 103, the above-described functional liquid supply mechanism 6 and the like, and supplements the functions of the CPU 120 and peripheral circuits. A logic circuit for handling the interface signal is constructed and incorporated.

そして、ＣＰＵ１２０は、ＲＯＭ１３０内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１５０を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１４０内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１５０を介して駆動部１０３に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。   Then, the CPU 120 inputs various detection signals, various commands, various data, etc. via the P-CON 150 according to the control program in the ROM 130, processes various data, etc. in the RAM 140, and then drives via the P-CON 150. The entire droplet discharge device 1 is controlled by outputting various control signals to the unit 103.

ここで、制御装置７による描画装置３の描画動作に対する制御について詳細に説明する。制御装置７は、描画装置３による描画動作に際し、各画素領域５０７ａの周縁部５０７ａｒに対し、各ノズル７５から小液滴ＤＲｓを吐出・着弾させ、各画素領域の中央部５０７ａｃに対し、各ノズル７５から大液滴ＤＲｂを吐出・着弾させている。   Here, the control with respect to the drawing operation of the drawing device 3 by the control device 7 will be described in detail. In the drawing operation by the drawing device 3, the control device 7 discharges and lands small droplets DRs from the nozzles 75 on the peripheral portion 507ar of each pixel region 507a, and each nozzle on the central portion 507ac of each pixel region. From 75, large droplets DRb are discharged and landed.

図９に示すように、制御部１０４（制御装置７）において、ＲＯＭ１３０は、ヘッドユニット１５を搭載したＹ軸テーブル１３のホーム位置に関するヘッド位置データを記憶するヘッド位置データ記憶部１３１と、基板Ｗを載置したＸ軸テーブル１２のホーム位置に関する基板位置データを記憶する基板位置データ記憶部１３２とを有している。また、ＲＡＭ１４０は、ヘッド認識カメラ２５の位置認識により補正されたヘッド位置データを記憶するヘッド位置補正データ記憶部１４１と、基板認識カメラ１７の位置認識により補正された基板位置データを記憶する基板位置補正データ記憶部１４２とを有している。さらに、ＲＡＭ１４０は、上記の操作部１０１を介して入力された多数のノズル７５の個数およびノズルピッチＰＮ等に関するノズル情報を記憶するノズル情報記憶部１４３と、複数の画素領域５０７ａの個数、各画素領域の画素寸法ＬＬ，ＬＷ、画素ピッチＰＤｈ，ＰＤｖ等に関する画素情報を記憶する画素情報記憶部１４４とを有している。   As shown in FIG. 9, in the control unit 104 (control device 7), the ROM 130 includes a head position data storage unit 131 that stores head position data related to the home position of the Y-axis table 13 on which the head unit 15 is mounted, and a substrate W. And a substrate position data storage unit 132 for storing substrate position data relating to the home position of the X-axis table 12 on which is mounted. The RAM 140 stores a head position correction data storage unit 141 that stores head position data corrected by position recognition of the head recognition camera 25 and a substrate position that stores substrate position data corrected by position recognition of the substrate recognition camera 17. And a correction data storage unit 142. Further, the RAM 140 includes a nozzle information storage unit 143 that stores nozzle information related to the number of nozzles 75 and the nozzle pitch PN input via the operation unit 101, the number of pixel regions 507a, and each pixel. A pixel information storage unit 144 that stores pixel information related to the pixel dimensions LL and LW of the region, the pixel pitches PDh and PDv, and the like.

一方、ＣＰＵ１２０は、ノズル特定手段１２１と、タイミング信号供給手段１２２と、駆動波形生成手段１２３と、移動制御手段１２４と、これら各手段を関連付けて制御する統括制御手段１２５と、を備えている。   On the other hand, the CPU 120 includes a nozzle specifying unit 121, a timing signal supply unit 122, a drive waveform generation unit 123, a movement control unit 124, and an overall control unit 125 that controls these units in association with each other.

ノズル特定手段１２１は、ヘッド位置補正データ記憶部１４１に記憶されたデータ補正されたヘッド位置データと、基板位置補正データ記憶部１４２に記憶されたデータ補正された基板位置データとに基づいて、すなわち、基板Ｗと水平な面内における基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド１６とのアライメントに基づいて、多数のノズル７５のうち、上記の縦バンク部位５０７ｂｖに臨むものを画素間ノズル７５ｂとし、その他のノズル７５を画素内ノズル７５ｉとして特定する。   The nozzle specifying means 121 is based on the data-corrected head position data stored in the head position correction data storage unit 141 and the data-corrected substrate position data stored in the substrate position correction data storage unit 142, that is, Based on the alignment between the substrate W and the functional liquid droplet ejection head 16 in a plane parallel to the substrate W, among the many nozzles 75, the one facing the vertical bank portion 507bv is the inter-pixel nozzle 75b, and the other The nozzle 75 is specified as the in-pixel nozzle 75i.

具体的には、ノズル特定手段１２１は、図１０に示すように画素間ノズル７５ｂおよび画素内ノズル７５ｉを特定する。すなわち、上述したように、各画素領域５０７ａは、ノズルピッチＰＮが略１７．５μｍ、副走査方向における画素ピッチＰＮｈが略３２０μｍであることから、ノズルピッチＰＮが画素ピッチＰＮｈの整数倍となっていない（略１８．３倍）ため、ノズル特定手段１２１により、各縦バンク部位５０７ｂｖに臨む１個または２個（同図では１個）のノズル７５が画素間ノズル７５ｂ（同図では白抜きして示す）として特定され、各画素領域５０７ａに臨む１６個または１７個（同図では１７個）のノズル７５が画素内ノズル７５ｉ（同図では塗りつぶして示す）として特定される。
なお、同図では、部分描画ラインＬＰｐを構成する８個のノズル列７４の複数のノズル７５を１列に並べて示している。そのため、各ノズル７５は、実際のノズル径Ｒｎ（図６参照）よりも小さくして描かれている。 Specifically, the nozzle specifying unit 121 specifies the inter-pixel nozzle 75b and the intra-pixel nozzle 75i as shown in FIG. That is, as described above, each pixel region 507a has a nozzle pitch PN of approximately 17.5 μm and a pixel pitch PNh in the sub-scanning direction of approximately 320 μm, so that the nozzle pitch PN is an integral multiple of the pixel pitch PNh. Since there is no (approximately 18.3 times), the nozzle specifying means 121 causes one or two (one in the figure) nozzles 75 facing each vertical bank portion 507bv to be inter-pixel nozzles 75b (in the figure, whitened). 16 or 17 (17 in the figure) nozzles 75 that face each pixel region 507a are specified as in-pixel nozzles 75i (shown as filled in the figure).
In the figure, the plurality of nozzles 75 of the eight nozzle rows 74 constituting the partial drawing line LPp are shown in a single row. Therefore, each nozzle 75 is drawn smaller than the actual nozzle diameter Rn (see FIG. 6).

さらに、ノズル特定手段１２１は、各画素領域５０７ａにおいて、特定した画素内ノズル７５ｉのうち、副走査方向の両端に位置するものを外端ノズル７５ｅ（同図では点々で塗りつぶす）とし、また、その他のものを中間ノズル７５ｍ（同図では斜線で塗りつぶす）として特定する。そして、特定した画素間ノズル７５ｂ、外端ノズル７５ｅおよび中間ノズル７５ｍに関するノズル特定情報を統括制御手段１２５へ出力する。   Further, the nozzle specifying unit 121 sets the nozzles 75i located at both ends in the sub-scanning direction among the specified intra-pixel nozzles 75i in each pixel area 507a as outer end nozzles 75e (filled with dots in the same figure), and others Is identified as an intermediate nozzle 75m (filled with diagonal lines in the figure). Then, the nozzle specifying information related to the specified inter-pixel nozzle 75b, the outer end nozzle 75e, and the intermediate nozzle 75m is output to the overall control means 125.

タイミング信号供給手段１２２は、上述したように、セットテーブル２２の移動に伴って得られた吐出タイミング用基準パルスを統括制御手段１２５に供給する。この吐出タイミング用基準パルスに基づいて駆動波形が生成されるため、主走査方向へ移動する基板Ｗに対して、適切なタイミングで機能液滴を吐出することができる。   As described above, the timing signal supply unit 122 supplies the overall timing control unit 125 with the ejection timing reference pulse obtained as the set table 22 moves. Since the drive waveform is generated based on the ejection timing reference pulse, the functional liquid droplets can be ejected to the substrate W moving in the main scanning direction at an appropriate timing.

駆動波形生成手段１２３は、ノズル特定手段１２１から出力されたノズル特定情報と、タイミング信号供給手段１２２から供給された吐出タイミング用基準パルスとを統括制御手段１２５から受け、これらに基づいてヘッドドライバ１１１を介して各ノズル７５に印加される駆動波形を生成する。
具体的には、駆動波形生成手段１２３は、各外端ノズル７５ｅに対し、縦両端縁部位５０７ａｓへ小液滴ＤＲｓを均等な吐出ピッチで７ショット吐出するように、７個の小駆動波形を生成する。さらに、各中間ノズル７５ｍに対し、横両端縁部位５０７ａｍ，５０７ａｍのそれぞれへ小液滴ＤＲｓを１ショット吐出すると共に、中央部５０７ａｃへ大液滴ＤＲｂを均等な吐出ピッチで４ショット吐出するように、２個の小駆動波形および４個の大駆動波形を生成する。このため、各画素領域５０７ａに対して、小液滴ＤＲｓが４４ショット、大液滴ＤＲｂが６０ショット吐出され、液滴着弾量は略７１２ピコリットルとなる。
なお、ノズルピッチＰＮや機能液滴の着弾径ＲＤｓ，ＲＤｂ等に応じて、複数の画素内ノズル７５ｉの一部からは、横両端縁部位５０７ａｍ，５０７ａｍのそれぞれへ小液滴ＤＲｓを１ショット吐出させるだけで、中央部５０７ａｃへは大液滴ＤＲｂを吐出させないようにしてもよい。 The drive waveform generation unit 123 receives the nozzle identification information output from the nozzle identification unit 121 and the ejection timing reference pulse supplied from the timing signal supply unit 122 from the overall control unit 125, and based on these, the head driver 111. A drive waveform to be applied to each nozzle 75 is generated.
Specifically, the drive waveform generation means 123 generates seven small drive waveforms so that each outer end nozzle 75e discharges seven small droplets DRs to the longitudinal both ends 507as at a uniform discharge pitch. Generate. Further, for each intermediate nozzle 75m, one shot of small droplets DRs is discharged to each of the lateral edge portions 507am and 507am, and four droplets of large droplets DRb are discharged to the central portion 507ac at a uniform discharge pitch. Two small drive waveforms and four large drive waveforms are generated. For this reason, 44 shots of small droplets DRs and 60 shots of large droplets DRb are discharged to each pixel region 507a, and the droplet landing amount is approximately 712 picoliters.
Note that, according to the nozzle pitch PN, the landing diameters RDs, RDb, and the like of the functional liquid droplets, a small droplet DRs is ejected from each of the plurality of intra-pixel nozzles 75i to each of the lateral edge portions 507am, 507am. It is possible to prevent the large droplet DRb from being discharged to the central portion 507ac.

移動制御手段１２４は、ノズル情報記憶部１４３に記憶されたノズル情報および画素情報記憶部１４４に記憶された画素情報に基づいて、基板Ｗの全域（全パネル形成領域Ｗａ）が描画されるように、主走査および副走査の回数を制御する。そして、本実施形態では、１描画ラインＬＰ分の各画素領域５０７ａに対して、２回に亘る主走査を行った後、次の１描画ラインＬＰ分の副走査を行うようにしている（詳細は後述する）。また、移動制御手段１２４は、基板Ｗを載置したＸ軸テーブル１２およびヘッドユニット１５を搭載したＹ軸テーブル１３が定速で移動するように、描画系移動用ドライバ１１２に駆動信号を出力している。   Based on the nozzle information stored in the nozzle information storage unit 143 and the pixel information stored in the pixel information storage unit 144, the movement control unit 124 draws the entire area of the substrate W (the entire panel formation area Wa). The number of main scans and sub-scans is controlled. In this embodiment, the main scanning is performed twice for each pixel region 507a for one drawing line LP, and then the sub-scanning for the next one drawing line LP is performed (details). Will be described later). The movement control means 124 outputs a drive signal to the drawing system moving driver 112 so that the X-axis table 12 on which the substrate W is placed and the Y-axis table 13 on which the head unit 15 is mounted move at a constant speed. ing.

ここで、図１０ないし図１２を参照して、描画装置３の各画素領域５０７ａに対する一連の吐出動作について説明する。まず、上述したように、機能液滴を吐出する前の準備として、基板Ｗの位置補正と、ヘッドユニット１５の位置補正が行われ、基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド１６とのアライメントが為される。続いて、制御装置７のノズル特定手段１２１により、縦バンク部位５０７ｂｖに臨む画素間ノズル７５ｂと、その他の外端ノズル７５ｅおよび中間ノズル７５ｍとが特定される（図１０参照）。   Here, with reference to FIG. 10 to FIG. 12, a series of ejection operations for each pixel region 507a of the drawing apparatus 3 will be described. First, as described above, as preparation before discharging functional droplets, position correction of the substrate W and position correction of the head unit 15 are performed, and alignment of the substrate W and the functional droplet discharge head 16 is performed. The Subsequently, the inter-pixel nozzle 75b facing the vertical bank portion 507bv, the other outer end nozzle 75e, and the intermediate nozzle 75m are specified by the nozzle specifying means 121 of the control device 7 (see FIG. 10).

そして、第１回目の主走査が行われ、外端ノズル７５ｅのみから縦両端縁部位５０７ａｓ，５０７ａｓへ小液滴ＤＲｓが吐出される（図１１参照）。これによれば、周縁部５０７ａｒに対しては、小液滴ＤＲｓを吐出・着弾させるため、吐出された小液滴ＤＲｓが各画素領域５０７ａに対して主走査方向または副走査方向にずれて着弾したとしても、着弾した小液滴ＤＲｓが区画壁部５０７ｂへ付着したり、隣接する画素領域５０７ａに流れ込んでしまうことがなく、複数の画素領域５０７ａ間において色ムラや混色が生ずることを防止することができる。   Then, the first main scanning is performed, and the small droplets DRs are discharged from only the outer end nozzle 75e to the longitudinal both ends 507as and 507as (see FIG. 11). According to this, since the small droplets DRs are ejected and landed on the peripheral portion 507ar, the ejected small droplets DRs land on the pixel regions 507a by shifting in the main scanning direction or the sub-scanning direction. Even if it does, the landed small droplet DRs does not adhere to the partition wall portion 507b and does not flow into the adjacent pixel region 507a, thereby preventing color unevenness and color mixing between the plurality of pixel regions 507a. be able to.

その後、第２回目の主走査（往動、復動のいずれでも可）が行われ、中間ノズル７５ｍのみから横両端縁部位５０７ａｍ，５０７ａｍへ小液滴ＤＲｓが着弾し、中央部５０７ａｃへ大液滴ＤＲｂが着弾する（図１２参照）。これによれば、中央部５０７ａｃに対しては、大液滴ＤＲｂを吐出・着弾させるため、少ないショット数で画素領域５０７ａの全域を機能液で満たすことができ、効率良く描画動作を行うことができる。さらに、周縁部５０７ａｒにおける縦両端縁部位５０７ａｓ，５０７ａｓに対する小液滴ＤＲｓの吐出と、中央部５０７ａｃに対する大液滴ＤＲｂの吐出とが時間を隔てて行われ、小液滴ＤＲｓと大液滴ＤＲｂとが近接して且つほぼ同時に画素領域内に着弾することがない。すなわち、第１回目の主走査により小液滴ＤＲｓが縦両端縁部位５０７ａｓ，５０７ａｓへ小液滴ＤＲｓが着弾すると、その直後には着弾した小液滴ＤＲｓが振動しているが、第２の主走査が行われるまでに小液滴ＤＲｓの振動は停止し、小液滴ＤＲｓは基板Ｗ上で球冠状となって安定した状態となる。そのため、第２回目の主走査により、小液滴ＤＲｓが着弾した位置の近傍に大液滴ＤＲｂが着弾したとしても、着弾直後に振動している大液滴ＤＲｂに引き込まれてしまうことがない。したがって、縦両端縁部位５０７ａｓ，５０７ａｓにおいて小液滴ＤＲｓを精度よく着弾させることができ、機能液滴の吐出タイミングに起因するドット抜けが生ずることを確実に防止することができる。   Thereafter, the second main scanning (forward or backward movement is possible) is performed, and the small liquid droplets DRs land from only the intermediate nozzle 75m to the lateral edge portions 507am and 507am, and the large liquid reaches the central portion 507ac. The droplet DRb is landed (see FIG. 12). According to this, since the large droplet DRb is ejected and landed on the central portion 507ac, the entire pixel region 507a can be filled with the functional liquid with a small number of shots, and the drawing operation can be performed efficiently. it can. Further, the small droplet DRs is ejected from the longitudinal end portions 507as and 507as at the peripheral edge portion 507ar and the large droplet DRb is ejected from the central portion 507ac at a time interval. Are close to each other and do not land in the pixel region almost simultaneously. That is, when the small droplet DRs lands on the longitudinal both ends 507as and 507as by the first main scanning, the landed small droplet DRs vibrates immediately after that, but the second droplet DRs oscillates. By the time the main scanning is performed, the vibration of the small droplet DRs stops, and the small droplet DRs becomes a spherical crown shape on the substrate W and is in a stable state. Therefore, even if the large droplet DRb has landed in the vicinity of the position where the small droplet DRs has landed by the second main scanning, it is not drawn into the vibrating large droplet DRb immediately after landing. . Therefore, the small droplets DRs can be landed with high precision at the longitudinal end portions 507as and 507as, and it is possible to reliably prevent the occurrence of missing dots due to the ejection timing of the functional droplets.

このようにして、各画素領域５０７ａの周縁部５０７ａｒおよび中央部５０７ａｃに機能液滴を吐出・着弾させることで、画素領域５０７ａの全域を機能液で満たすことができる。２回に亘る主走査が終了すると、１描画ラインＬＰ分の副走査が行われ、次の１描画ラインＬＰに対応する各画素領域５０７ａに対して、同様に、２回に亘る主走査が行われる。そして、２回に亘る主走査および１描画ラインＬＰ分の副走査を繰り返すことで、基板Ｗ全域の複数の画素領域５０７ａに対して吐出動作が行われる。   In this manner, by ejecting and landing functional droplets on the peripheral portion 507ar and the central portion 507ac of each pixel region 507a, the entire pixel region 507a can be filled with the functional liquid. When two main scans are completed, sub-scan for one drawing line LP is performed, and two main scans are similarly performed for each pixel region 507a corresponding to the next one drawing line LP. Is called. Then, by repeating the main scanning and sub-scanning for one drawing line LP twice, the ejection operation is performed on the plurality of pixel regions 507a in the entire area of the substrate W.

なお、本実施形態では、第１回目の主走査において、周縁部５０７ａｒにおける縦両端縁部位５０７ａｓ，５０７ａｓに対して小液滴ＤＲｓを吐出させ、第２回目の主走査において、周縁部５０７ａｒにおける横両端縁部位５０７ａｍ，５０７ａｍに対して小液滴ＤＲｓを吐出さると共に、中央部５０７ａｃに対して大液滴ＤＲｂを吐出させたが、この順序が逆であってもよい。
また、複数の画素領域５０７ａがデルタ配列である場合、例えば、主走査方向に並ぶ複数の画素領域列に対し、奇数番目の画素領域列に対して偶数番目の画素領域列が副走査方向の画素ピッチＰＤｈの１／２だけ副走査方向に位置ずれしている場合は、まず、奇数番目の画素領域列の各画素領域５０７ａに対して上記の吐出動作を行い、その後、偶数番目の画素領域列の各画素領域５０７ａに対して上記の吐出動作を行うようにする。 In the present embodiment, in the first main scan, small droplets DRs are ejected to the longitudinal end portions 507as and 507as in the peripheral portion 507ar, and in the second main scan, the horizontal droplet in the peripheral portion 507ar is discharged. While the small droplets DRs are ejected to both end edge portions 507am and 507am, and the large droplet DRb is ejected to the central portion 507ac, this order may be reversed.
Further, when the plurality of pixel regions 507a are in a delta arrangement, for example, with respect to the plurality of pixel region columns arranged in the main scanning direction, the even-numbered pixel region column is the pixel in the sub-scanning direction with respect to the odd-numbered pixel region column. When the position is shifted in the sub-scanning direction by 1/2 of the pitch PDh, first, the above-described ejection operation is performed on each pixel region 507a of the odd-numbered pixel region column, and then the even-numbered pixel region column The above discharge operation is performed on each of the pixel regions 507a.

以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、区画壁部５０７ｂへの機能液滴の着弾を抑制しつつ、画素領域５０７ａの全域を機能液で満たすことができる。   As described above, according to the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the entire region of the pixel region 507a can be filled with the functional liquid while suppressing landing of the functional droplet on the partition wall portion 507b.

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。   Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the droplet discharge device 1 of this embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device ( FED devices, SED devices), and active matrix substrates formed in these display devices will be described as an example for their structures and manufacturing methods. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１３は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１４は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１４（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。 First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device, or the like will be described. FIG. 13 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter base body 500A) of this embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S101), a black matrix 502 is formed on a substrate (W) 501 as shown in FIG. The black matrix 502 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, resin black, or the like. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 502 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 502 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１４（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１４（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。 Subsequently, in the bank formation step (S102), a bank 503 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 502. That is, first, as shown in FIG. 14B, a resist layer 504 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 501 and the black matrix 502. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 505 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 14C, the resist layer 504 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 504 to form a bank 503. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 503 and the black matrix 502 below the bank 503 serve as partition wall portions 507b that partition the pixel regions 507a. When forming 508B, the landing area of the functional droplet is defined.

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。 The filter substrate 500A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material for the bank 503, a resin material whose surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 501 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 507a surrounded by the bank 503 (partition wall portion 507b) in the colored layer forming step described later. Variations in landing position can be automatically corrected.

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１４（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 14 (d), functional droplets are ejected by the functional droplet ejection head 16, and each pixel region 507a surrounded by the partition wall portion 507b is placed. Let it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 16 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１４（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。 Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three colored layers 508R, 508G, and 508B are formed. If the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S104), and as shown in FIG. A protective film 509 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 501 where the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the protective film 509 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 509, the color filter 500 moves to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図１５は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１４に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 15 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 500 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 520, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 500 is the same as that shown in FIG. 14, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。 The liquid crystal device 520 is roughly configured by a color filter 500, a counter substrate 521 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 522 made of an STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, The filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the counter substrate 521 and the color filter 500 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 522 side), and the polarizing plates located on the counter substrate 521 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１５において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer side), a plurality of strip-shaped first electrodes 523 elongated in the left-right direction in FIG. 15 are formed at predetermined intervals. The color of the first electrode 523 A first alignment film 524 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 500 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 526 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 523 of the color filter 500 are formed on the surface of the counter substrate 521 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 527 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 526 on the liquid crystal layer 522 side. The first electrode 523 and the second electrode 526 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The spacer 528 provided in the liquid crystal layer 522 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 522 constant. The sealing material 529 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 522 from leaking to the outside. Note that one end of the first electrode 523 extends to the outside of the sealing material 529 as a lead-out wiring 523a.
A portion where the first electrode 523 and the second electrode 526 intersect with each other is a pixel, and the color layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 523 and application of the first alignment film 524 are performed on the color filter 500 to create a portion on the color filter 500 side. Patterning of the electrode 526 and application of the second alignment film 527 are performed to create a portion on the counter substrate 521 side. Thereafter, a spacer 528 and a sealing material 529 are formed in the portion on the counter substrate 521 side, and the portion on the color filter 500 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 522 is injected from the inlet of the sealing material 529, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１６で行うことも可能である。   The droplet discharge device 1 according to the embodiment applies, for example, a spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap, and before the portion on the color filter 500 side is bonded to the portion on the counter substrate 521 side, the sealing material Liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to the region surrounded by 529. Further, the printing of the sealing material 529 can be performed by the functional liquid droplet ejection head 16. Furthermore, the first and second alignment films 524 and 527 can be applied by the functional liquid droplet ejection head 16.

図１６は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。 FIG. 16 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the color filter 500 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 530 is significantly different from the liquid crystal device 520 in that the color filter 500 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 530 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 532 made of STN liquid crystal between a color filter 500 and a counter substrate 531 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 531 and the color filter 500, respectively.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer 532 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 533 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 533 is formed. A first alignment film 534 is formed so as to cover the surface on the layer 532 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 536 extending in a direction orthogonal to the first electrode 533 on the color filter 500 side are formed on the surface of the counter substrate 531 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 537 is formed so as to cover the surface of the second electrode 536 on the liquid crystal layer 532 side.

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The liquid crystal layer 532 is provided with a spacer 538 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 532 constant and a sealing material 539 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 532 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 520 described above, a portion where the first electrode 533 and the second electrode 536 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located at the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図１７は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。 FIG. 17 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using the color filter 500 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 550, the color filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。 The liquid crystal device 550 includes a color filter 500, a counter substrate 551 disposed so as to face the color filter 500, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 500. The polarizing plate 555 and the polarizing plate (not shown) arranged on the lower surface side of the counter substrate 551 are roughly configured.
A liquid crystal driving electrode 556 is formed on the surface of the protective film 509 of the color filter 500 (the surface on the counter substrate 551 side). The electrode 556 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 560 described later is formed. An alignment film 557 is provided so as to cover the surface of the electrode 556 opposite to the pixel electrode 560.

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 558 is formed on the surface of the counter substrate 551 facing the color filter 500, and the scanning lines 561 and the signal lines 562 are formed on the insulating layer 558 in a state of being orthogonal to each other. A pixel electrode 560 is formed in a region surrounded by the scanning lines 561 and the signal lines 562. In an actual liquid crystal device, an alignment film is provided on the pixel electrode 560, but the illustration is omitted.

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 563 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 560 and the scanning line 561 and the signal line 562. . The thin film transistor 563 is turned on / off by application of signals to the scanning line 561 and the signal line 562 so that energization control to the pixel electrode 560 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Note that the liquid crystal devices 520, 530, and 550 in the above examples are transmissive, but a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device is provided by providing a reflective layer or a transflective layer. You can also

次に、図１８は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。   Next, FIG. 18 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。 The display device 600 is schematically configured with a circuit element portion 602, a light emitting element portion 603, and a cathode 604 laminated on a substrate (W) 601.
In the display device 600, light emitted from the light emitting element portion 603 to the substrate 601 side is transmitted through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 603 is opposite to the substrate 601. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 604, the light passes through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and is emitted to the observer side.

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。   A base protective film 606 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 602 and the substrate 601, and an island-shaped semiconductor film 607 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 606 (on the light emitting element portion 603 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 607, a source region 607a and a drain region 607b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no positive ions are implanted is a channel region 607c.

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。   In the circuit element portion 602, a transparent gate insulating film 608 covering the base protective film 606 and the semiconductor film 607 is formed, and a position corresponding to the channel region 607c of the semiconductor film 607 on the gate insulating film 608 is formed. For example, a gate electrode 609 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. On the gate electrode 609 and the gate insulating film 608, a transparent first interlayer insulating film 611a and a second interlayer insulating film 611b are formed. Further, contact holes 612a and 612b are formed through the first and second interlayer insulating films 611a and 611b and communicating with the source region 607a and the drain region 607b of the semiconductor film 607, respectively.

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。 A transparent pixel electrode 613 made of ITO or the like is patterned and formed in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 611b, and the pixel electrode 613 is connected to the source region 607a through the contact hole 612a. .
A power supply line 614 is disposed on the first interlayer insulating film 611a, and the power supply line 614 is connected to the drain region 607b through the contact hole 612b.

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 615 connected to the pixel electrodes 613 are formed in the circuit element portion 602, respectively.

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。 The light emitting element portion 603 includes a functional layer 617 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 613, and a bank portion 618 provided between each pixel electrode 613 and the functional layer 617 to partition each functional layer 617. It is roughly structured.
The pixel electrode 613, the functional layer 617, and the cathode 604 provided on the functional layer 617 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 613 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 618 is formed between the pixel electrodes 613.

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。 The bank unit 618 is laminated on the inorganic bank layer 618a (first bank layer) 618a formed of an inorganic material such as SiO, SiO 2 , TiO 2, and the like, and is made of an acrylic resin, a polyimide resin, or the like. It is composed of an organic bank layer 618b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank unit 618 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 613.
An opening 619 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618.

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。 The functional layer 617 includes a hole injection / transport layer 617a formed in a stacked state on the pixel electrode 613 in the opening 619, and a light emitting layer 617b formed on the hole injection / transport layer 617a. Has been. Note that another functional layer having other functions may be further formed adjacent to the light emitting layer 617b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 617a has a function of transporting holes from the pixel electrode 613 side and injecting them into the light emitting layer 617b. The hole injection / transport layer 617a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。   The light emitting layer 617b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material that is insoluble in the hole injection / transport layer 617a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 617b. By using the light emitting layer 617b, the light emitting layer 617b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 617a.

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 617b is configured such that the holes injected from the hole injection / transport layer 617a and the electrons injected from the cathode 604 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 604 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 603, and plays a role of flowing current to the functional layer 617 in a pair with the pixel electrode 613. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 604.

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１９〜図２７を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１９に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。 Next, a manufacturing process of the display device 600 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 19, the display device 600 includes a bank part forming step (S111), a surface treatment step (S112), a hole injection / transport layer forming step (S113), a light emitting layer forming step (S114), It is manufactured through an electrode formation step (S115). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２０に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２１に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。 First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 20, an inorganic bank layer 618a is formed on the second interlayer insulating film 611b. The inorganic bank layer 618a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film using a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 618 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 613.
When the inorganic bank layer 618a is formed, an organic bank layer 618b is formed on the inorganic bank layer 618a as shown in FIG. The organic bank layer 618b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like in the same manner as the inorganic bank layer 618a.
In this way, the bank portion 618 is formed. Accordingly, an opening 619 opening upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618. The opening 619 defines a pixel region.

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１６を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。 In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The regions to be subjected to lyophilic treatment are the first stacked portion 618aa of the inorganic bank layer 618a and the electrode surface 613a of the pixel electrode 613. These regions are made lyophilic by plasma treatment using oxygen as a treatment gas, for example. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 613.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 618s of the organic bank layer 618b and the upper surface 618t of the organic bank layer 618b. )
By performing this surface treatment process, when the functional layer 617 is formed using the functional liquid droplet ejection head 16, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functional droplets from overflowing from the opening 619.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。   Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the set table 22 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. .

図２２に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１６から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２３に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。   As shown in FIG. 22, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid droplet ejection head 16 to each opening 619 that is a pixel region. Discharge inside. Thereafter, as shown in FIG. 23, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, and a hole injection / transport layer 617a is formed on the pixel electrode (electrode surface 613a) 613.

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。 Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 617a, the hole injection / transport layer 617a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in.
However, since the hole injection / transport layer 617a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 617a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 617a. There is a possibility that the injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b cannot be adhered to each other, or the light emitting layer 617b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 617a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in the formation of the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 617a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such treatment, the surface of the hole injection / transport layer 617a is easily adapted to the nonpolar solvent. In the subsequent step, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 617a.

そして次に、図２４に示すように、各色のうちのいずれか（図２４の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。   Then, as shown in FIG. 24, the pixel composition (second liquid composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 24)) is used as a functional droplet. A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 617a and fills the opening 619. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 618t of the bank portion 618, the upper composition 618t is subjected to the liquid repellent treatment as described above. Things are easy to roll into the opening 619.

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２５に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。   Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 25, the hole injection / transport layer 617a A light emitting layer 617b is formed thereon. In this figure, a light emitting layer 617b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド１６を用い、図２６に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 16, as shown in FIG. 26, the same steps as in the case of the light emitting layer 617b corresponding to the blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 617b corresponding to green (G) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 617b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. In addition, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。   As described above, the functional layer 617, that is, the hole injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b are formed on the pixel electrode 613. And it transfers to a counter electrode formation process (S115).

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２７に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。 In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 27, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 617b and the organic bank layer 618b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 604 is configured by, for example, laminating a calcium layer and an aluminum layer.
At the top of the cathode 604, Al film as the electrode, Ag film and a protective layer of SiO 2, SiN, or the like for its antioxidant is appropriately provided.

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。   After forming the cathode 604 in this way, the display device 600 is obtained by performing other processes such as a sealing process for sealing the upper part of the cathode 604 with a sealing member and a wiring process.

次に、図２８は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。 Next, FIG. 28 is an exploded perspective view of an essential part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the display device 700 is shown with a part thereof cut away.
The display device 700 is schematically configured to include a first substrate 701, a second substrate 702, and a discharge display portion 703 formed between them, which are disposed to face each other. The discharge display unit 703 includes a plurality of discharge chambers 705. Among the plurality of discharge chambers 705, the three discharge chambers 705 of the red discharge chamber 705R, the green discharge chamber 705G, and the blue discharge chamber 705B are arranged to form one pixel.

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。 Address electrodes 706 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 701, and a dielectric layer 707 is formed so as to cover the address electrodes 706 and the upper surface of the first substrate 701. On the dielectric layer 707, partition walls 708 are provided so as to be positioned between the address electrodes 706 and along the address electrodes 706. The partition 708 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 706 as shown, and one not shown extending in the direction orthogonal to the address electrode 706.
A region partitioned by the partition 708 is a discharge chamber 705.

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。   A phosphor 709 is disposed in the discharge chamber 705. The phosphor 709 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence, and the red phosphor 709R is disposed at the bottom of the red discharge chamber 705R, and the green discharge chamber 705G. A green phosphor 709G and a blue phosphor 709B are arranged at the bottom and the blue discharge chamber 705B, respectively.

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。 On the lower surface of the second substrate 702 in the drawing, a plurality of display electrodes 711 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 706. A dielectric layer 712 and a protective film 713 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 701 and the second substrate 702 are bonded so that the address electrodes 706 and the display electrodes 711 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 706 and the display electrode 711 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 706 and 711 are energized, the phosphor 709 emits light in the discharge display portion 703, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１６により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。 In the present embodiment, the address electrode 706, the display electrode 711, and the phosphor 709 can be formed by using the droplet discharge device 1 shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 706 on the first substrate 701 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 701 placed on the set table 22 of the droplet discharge device 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 16. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 706 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１６から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。 By the way, although the formation of the address electrode 706 has been exemplified in the above, the display electrode 711 and the phosphor 709 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 711, as in the case of the address electrode 706, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
Further, in the case of forming the phosphor 709, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the functional liquid droplet ejection head 16 to cope with it. Land in the color discharge chamber 705.

次に、図２９は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。 Next, FIG. 29 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the display device 800 is shown as a cross section.
The display device 800 is schematically configured to include a first substrate 801, a second substrate 802, and a field emission display portion 803 formed therebetween, which are disposed to face each other. The field emission display unit 803 includes a plurality of electron emission units 805 arranged in a matrix.

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。   On the upper surface of the first substrate 801, a first element electrode 806a and a second element electrode 806b constituting the cathode electrode 806 are formed so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 807 having a gap 808 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 806a and the second element electrode 806b. That is, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 constitute a plurality of electron emission portions 805. The conductive film 807 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 808 is formed by forming after forming the conductive film 807.

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 809 that faces the cathode electrode 806 is formed on the lower surface of the second substrate 802. A grid-like bank portion 811 is formed on the lower surface of the anode electrode 809, and a phosphor 813 is disposed in each downward opening 812 surrounded by the bank portion 811 so as to correspond to the electron emission portion 805. Yes. The phosphor 813 emits fluorescence of any one of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 812 has a red phosphor 813R, a green phosphor 813G, and a blue color. The phosphors 813B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 801 and the second substrate 802 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 800, electrons that jump out of the first element electrode 806 a or the second element electrode 806 b that are cathodes through the conductive film (gap 808) 807 are formed on the phosphor 813 that is formed on the anode electrode 809 that is an anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, the conductive film 807, and the anode electrode 809 can be formed using the droplet discharge device 1 and each color. The phosphors 813R, 813G, and 813B can be formed using the droplet discharge device 1.

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３０（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３０（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 have the planar shape shown in FIG. 30A, and when these are formed, as shown in FIG. 30B. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 are previously formed. Next, the first element electrode 806a and the second element electrode 806b were formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using the droplet discharge device 1), and the solvent was dried to form a film. After that, a conductive film 807 is formed (an ink jet method using the droplet discharge device 1). Then, after forming the conductive film 807, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 801 and the second substrate 802 and a lyophobic process on the bank portions 811 and BB.

上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   By using the droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.

実施形態に係る基板を模式的に表した平面図である。It is a top view showing typically the substrate concerning an embodiment. 実施形態に係るパネル形成領域を模式的に表した平面図である。It is a top view showing typically the panel formation field concerning an embodiment. 実施形態に係る液滴吐出装置を模式的に表した平面図である。1 is a plan view schematically illustrating a droplet discharge device according to an embodiment. 実施形態に係るヘッドユニットを模式的に表した底面図である。It is a bottom view showing typically the head unit concerning an embodiment. 実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。1 is an external perspective view of a functional liquid droplet ejection head according to an embodiment. 実施形態に係る機能液滴吐出ヘッドの複数のノズルの配列を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | sequence of the some nozzle of the functional droplet discharge head which concerns on embodiment. （ａ）ないし（ｄ）は、小駆動波形が印加された機能液滴吐出ヘッドから小液滴が吐出され、基板上に着弾した状態を示す図、（ｅ）ないし（ｈ）は、大駆動波形が印加された機能液滴吐出ヘッドから大液滴が吐出され、基板上に着弾した状態を示す図である。(A) to (d) are diagrams showing a state in which small droplets are ejected from a functional droplet ejection head to which a small driving waveform is applied and land on a substrate, and (e) to (h) are large driving states. It is a figure which shows the state which the large droplet was discharged from the functional droplet discharge head to which the waveform was applied, and landed on the board | substrate. 実施形態に係る液滴吐出装置の制御構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control structure of the droplet discharge apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る描画装置の描画動作における機能ブロック図である。It is a functional block diagram in the drawing operation of the drawing apparatus according to the embodiment. 実施形態に係る描画装置による各画素領域に対する吐出動作において、画素間ノズルおよび画素内ノズルを特定した状態を説明する図である。It is a figure explaining the state which specified the nozzle between pixels and the nozzle in a pixel in the discharge operation | movement with respect to each pixel area by the drawing apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る描画装置による各画素領域に対する吐出動作において、第１回目の主走査が行われた状態を説明する図である。It is a figure explaining the state in which the 1st main scan was performed in the discharge operation | movement with respect to each pixel area by the drawing apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係る描画装置による各画素領域に対する吐出動作において、第２回目の主走査が行われた状態を説明する図である。It is a figure explaining the state by which the 2nd main scanning was performed in the discharge operation | movement with respect to each pixel area by the drawing apparatus which concerns on embodiment. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

符号の説明Explanation of symbols

１…液滴吐出装置 ７…制御装置 １１…ＸＹ移動機構 １６…機能液滴吐出ヘッド ７５…ノズル ５０７ａ…画素領域 ５０７ａｃ…中央部 ５０７ａｒ…周縁部 ５０７ａｓ…縦両端縁部位 ５０７ｂ…区画壁部 ＤＲｂ…大液滴 ＤＲｓ…小液滴 ＬＰ…描画ライン ＰＮ…ノズルピッチ ＰＮｉ…ノズル列内ピッチ ＲＤｂ…着弾径（大液滴） ＲＤｓ…着弾径（小液滴） Ｗ…基板   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge device 7 ... Control apparatus 11 ... XY moving mechanism 16 ... Functional droplet discharge head 75 ... Nozzle 507a ... Pixel area 507ac ... Center part 507ar ... Peripheral part 507as ... Vertical both-ends edge part 507b ... Partition wall part DRb ... Large droplet DRs ... Small droplet LP ... Drawing line PN ... Nozzle pitch PNi ... Nozzle row pitch RDb ... Landing diameter (large droplet) RDs ... Landing diameter (small droplet) W ... Substrate

Claims (7)

バンク部により区画した複数の画素領域を主走査方向および副走査方向に配列した基板に対し、液滴吐出量を制御可能な多数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドを前記主走査方向および前記副走査方向に相対的に移動させながら、前記複数の画素領域内のそれぞれに複数ショットの機能液滴を吐出・着弾させて前記各画素領域の全域を機能液で満たすように描画動作を行う液滴吐出装置を用いた描画方法であって、
前記各画素領域の周縁部に対し、前記各ノズルから前記液滴吐出量の小さい小液滴を吐出・着弾させると共に、前記各画素領域の中央部に対し、前記各ノズルから前記液滴吐出量の大きい大液滴を吐出・着弾させて前記描画動作を行う吐出工程を備え、
前記吐出工程は、前記周縁部における前記副走査方向の両端縁部位への前記小液滴の吐出と、前記周縁部における前記主走査方向の両端縁部位への前記小液滴の吐出および前記中央部への前記大液滴の吐出とが、互いに異なる主走査で行われることを特徴とする液滴吐出装置を用いた描画方法。 A functional liquid droplet ejection head having a large number of nozzles capable of controlling the liquid droplet ejection amount is arranged on the substrate in which a plurality of pixel areas partitioned by the bank section are arranged in the main scanning direction and the sub scanning direction. Liquid droplets that perform a drawing operation so that a plurality of shots of functional liquid droplets are ejected and landed in each of the plurality of pixel areas while being moved relatively in the scanning direction, and the entire area of each pixel area is filled with the functional liquid. A drawing method using a discharge device,
A small droplet having a small droplet discharge amount is discharged and landed from each nozzle to the peripheral portion of each pixel region, and the droplet discharge amount from each nozzle to the central portion of each pixel region A discharge step of performing the drawing operation by discharging and landing large droplets of
The discharging step includes discharging the small droplets to both edge portions in the sub-scanning direction at the peripheral edge, discharging the small droplets to both edge portions in the main scanning direction at the peripheral edge, and the center. A drawing method using a droplet discharge device , wherein the large droplets are discharged to the portion by different main scans . 前記機能液滴吐出ヘッドは、前記副走査方向における前記多数のノズルのノズルピッチが前記画素領域内に着弾した前記小液滴の着弾径よりも小さくなるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置を用いた描画方法。   The functional droplet discharge head is configured such that a nozzle pitch of the plurality of nozzles in the sub-scanning direction is smaller than a landing diameter of the small droplet landed in the pixel region. A drawing method using the droplet discharge device according to claim 1. バンク部により区画した複数の画素領域を主走査方向および副走査方向に配列した基板に対し、多数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドを前記主走査方向および前記副走査方向に相対的に移動させながら、前記複数の画素領域内のそれぞれに複数ショットの機能液滴を吐出・着弾させて前記各画素領域の全域を機能液で満たすように描画動作を行う液滴吐出装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、前記基板に対し前記機能液滴吐出ヘッドを前記主走査方向および前記副走査方向へ相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御すると共に、前記多数のノズルの吐出タイミングおよび液滴吐出量を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記描画動作に際して、前記各画素領域の周縁部に対し、前記各ノズルから前記液滴吐出量の小さい小液滴の吐出と、前記周縁部における前記主走査方向の両端縁部位への前記小液滴の吐出および前記各画素領域の中央部への前記各ノズルから前記液滴吐出量の大きい大液滴の吐出とを、互いに異なる主走査で行わせることを特徴とする液滴吐出装置。 A functional liquid droplet ejection head having a large number of nozzles is relatively moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction with respect to a substrate in which a plurality of pixel regions partitioned by the bank portion are arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction. However, a liquid droplet ejection apparatus that performs a drawing operation so that a plurality of shots of functional liquid droplets are ejected and landed in each of the plurality of pixel areas to fill the entire area of each pixel area with the functional liquid,
The functional liquid droplet ejection head;
A moving means for mounting the functional liquid droplet ejection head and moving the functional liquid droplet ejection head relative to the substrate in the main scanning direction and the sub-scanning direction;
Control means for controlling the moving means, and controlling the discharge timing and the droplet discharge amount of the multiple nozzles,
The control means, the time of drawing operation, the relative peripheral portion of each pixel region, the ejection and small droplets of the droplet discharge quantity from each nozzle, both edges portions of the main scanning direction in the peripheral portion liquid above the central portion of the discharge of large large droplet of the droplet discharge quantity from each nozzle, characterized in that to perform a different main scanning from each other in the discharge and the respective pixel areas of the small droplets to Drop ejection device. 前記機能液滴吐出ヘッドは、前記副走査方向における前記多数のノズルのノズルピッチが前記画素領域内に着弾した前記小液滴の着弾径よりも小さくなるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。 The functional droplet discharge head is configured such that a nozzle pitch of the plurality of nozzles in the sub-scanning direction is smaller than a landing diameter of the small droplet landed in the pixel region. The droplet discharge device according to claim 3 . 前記多数のノズルは、１の描画ラインを構成すると共に、前記副走査方向と平行なｎ個のノズル列で構成されていることを特徴とする請求項３または４に記載の液滴吐出装置。 The plurality of nozzles, as well as constituting one of the drawing line, The apparatus according to claim 3 or 4, characterized in that it is constituted by the sub-scanning direction parallel to n number of nozzle rows. 前記各ノズル列における前記複数のノズルのノズル列内ピッチは、前記ノズルピッチのｎ倍のピッチであり、
前記ｎ個のノズル列は、前記多数のノズルが前記副走査方向に前記ノズルピッチで配置されるように前記副走査方向に相互に位置ずれして、前記主走査方向に配設されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。 The pitch in the nozzle row of the plurality of nozzles in each nozzle row is a pitch n times the nozzle pitch,
The n nozzle rows are arranged in the main scanning direction so as to be displaced from each other in the sub scanning direction so that the large number of nozzles are arranged at the nozzle pitch in the sub scanning direction. The droplet discharge device according to claim 5 . 請求項３ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 Method of manufacturing an electro-optical device characterized by claims 3 to using the liquid droplet ejecting apparatus according to any one of 6, to form a film-forming portion by the functional liquid droplet on the substrate.
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