JP2006343618A - Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment - Google Patents

Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment Download PDF

Info

Publication number
JP2006343618A
JP2006343618A JP2005170461A JP2005170461A JP2006343618A JP 2006343618 A JP2006343618 A JP 2006343618A JP 2005170461 A JP2005170461 A JP 2005170461A JP 2005170461 A JP2005170461 A JP 2005170461A JP 2006343618 A JP2006343618 A JP 2006343618A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
head
substrate
heads
ejection
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005170461A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuaki Nagae
信明 長江
Kazumi Ariga
和巳 有賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2005170461A priority Critical patent/JP2006343618A/en
Publication of JP2006343618A publication Critical patent/JP2006343618A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a head unit which allows striped unevenness of a functional liquid to become inconspicuous on the whole of a substrate, and to provide an apparatus and a method for discharging a liquid droplet, an electro-optical device and electronic equipment. <P>SOLUTION: Since positions of heads 114 to be apt to form the striped unevenness, namely, positions of heads 114 in the X direction of a reference nozzle 118R are shifted from one another, the position of the striped unevenness of a liquid material 111 discharged from one of heads 114 is not superimposed on those of the striped unevenness of the liquid material discharged from other heads even when a carriage 103 discharges the liquid material 111 while scanning on the substrate 10A. Therefore, the striped unevenness of the liquid material can be made inconspicuous on the whole of the substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ヘッドユニット、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器に関する。   The present invention relates to a head unit, a droplet discharge device, a droplet discharge method, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

インクジェットプリンタの液滴吐出ヘッドは、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルタや有機EL表示装置の発光部等を形成する場合にも応用することができる。具体的には、液滴吐出ヘッドに特殊なインクや感光性の樹脂液等(機能液)を含ませ、電気光学装置用の基板に対して当該機能液の液滴を吐出するものである(例えば、特許文献1参照。)。   A droplet discharge head of an ink jet printer is capable of discharging minute ink droplets in a dot shape, and has extremely high accuracy in terms of ink droplet size and pitch uniformity. This technology has been applied to the field of manufacturing various products. For example, the present invention can also be applied when forming a color filter of a liquid crystal device, a light emitting portion of an organic EL display device, or the like. Specifically, the droplet discharge head includes special ink, photosensitive resin liquid, or the like (functional liquid), and discharges the droplet of the functional liquid onto the substrate for the electro-optical device ( For example, see Patent Document 1.)

このような方法によって形成される膜状のカラーフィルタ層や発光部には、複数種類の色が形成されることが多い。特許文献1に記載の装置では、複数種類の機能液を1種類ずつ異なる装置によって基板に吐出するようになっているため、吐出時間が長くなってしまう。吐出時間を短縮することを目的として1つの装置で全種類の液体材料を一走査で同時に吐出させようとする場合、例えば、各種類の液体材料を吐出するノズルが設けられたヘッドを、ノズルの配置を揃えて走査方向に配列させ、1回の走査で各ヘッドから同時に液体材料を吐出させる手法等が考えられる。
特開2004−267927号公報
In many cases, a plurality of types of colors are formed on the film-like color filter layer and the light emitting portion formed by such a method. In the apparatus described in Patent Document 1, a plurality of types of functional liquids are discharged onto the substrate by different apparatuses one by one, resulting in a long discharge time. When one type of apparatus is intended to simultaneously discharge all types of liquid material for the purpose of shortening the discharge time, for example, a head provided with nozzles for discharging each type of liquid material is connected to the nozzle. A method may be considered in which the arrangement is aligned and arranged in the scanning direction, and the liquid material is simultaneously ejected from each head in one scanning.
JP 2004-267927 A

しかしながら、ヘッドから液体材料を吐出する際、ヘッドの両端部に設けられたノズルから吐出された液体材料にスジムラが生じることが多いため、各ヘッドの両端が揃っていると、各ヘッドから吐出された液体材料のスジムラの位置が重なってしまい、基板全体において液体材料のスジムラが目立ちやすくなってしまう。
上記のような事情に鑑み、本発明の目的は、基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能なヘッドユニット、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。
However, when discharging the liquid material from the head, the liquid material discharged from the nozzles provided at both ends of the head often causes uneven stripes. Therefore, if both ends of each head are aligned, the liquid is discharged from each head. As a result, the liquid material stripes are overlapped, and the liquid material stripes are easily noticeable over the entire substrate.
In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a head unit, a droplet discharge device, a droplet discharge method, an electro-optical device, and an electronic apparatus that can make the functional liquid non-uniformity inconspicuous over the entire substrate. There is to do.

上記目的を達成するため、本発明に係るヘッドユニットは、基板と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出するヘッドユニットであって、前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、前記各吐出ヘッドの前記複数のノズルのうち前記走査方向に略直交する直交方向の両端部に設けられたノズルの、前記直交方向における位置が、前記吐出ヘッドごとにずれるように設けられていることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a head unit according to the present invention comprises a plurality of types of functional liquids on a substrate from a plurality of nozzles provided on each discharge head while relatively scanning the substrate and the plurality of discharge heads. The plurality of ejection heads are arranged in a scanning direction, and at both ends of the plurality of nozzles of each ejection head in the orthogonal direction substantially orthogonal to the scanning direction. The position of the nozzle provided in the orthogonal direction is provided so as to be shifted for each of the ejection heads.

本発明によれば、個々の吐出ヘッドにおいてスジムラが発生しやすい位置、すなわち吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらしているので、本発明に係るヘッドユニットにより基板上を走査しながら機能液を吐出する場合であっても、個々の吐出ヘッドから吐出された機能液のスジムラの位置が重なることは無い。これにより、基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。   According to the present invention, the position at which unevenness is likely to occur in each discharge head, that is, the positions of the nozzles provided at both ends of the discharge head are shifted for each discharge head. Even when the functional liquid is ejected while scanning, the position of the non-uniformity of the functional liquid ejected from the individual ejection heads does not overlap. As a result, it is possible to make the functional liquid unevenness inconspicuous over the entire substrate.

なお、従来の吐出ヘッドのように、例えば、直交方向の寸法や1つのヘッドの中でのノズルの直交方向の位置が同一の複数の吐出ヘッドを用いた場合であっても、各吐出ヘッドを直交方向にずらして配列することで、直交方向のノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらすことができる。このように、既成の吐出ヘッドの設計のままであっても本発明に適用することができ、装置形成の簡略化を図ることができる。   Note that, even when a plurality of ejection heads having the same size in the orthogonal direction and the same position in the orthogonal direction of nozzles in one head are used as in the conventional ejection head, each ejection head is By arranging the nozzles in the orthogonal direction, the nozzle positions in the orthogonal direction can be shifted for each ejection head. Thus, even if the design of the existing ejection head is used as it is, it can be applied to the present invention and the formation of the apparatus can be simplified.

本発明の別の観点に係る液滴吐出装置は、上記のヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする。
本発明によれば、個々の吐出ヘッドにおいてスジムラが発生しやすい位置、すなわち吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの位置を吐出ヘッド毎にずらしたヘッドユニットが搭載されているので、基板全体においてスジムラが目立ちにくくなるように機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置を得ることができる。
A liquid droplet ejection apparatus according to another aspect of the present invention is characterized in that the head unit is mounted.
According to the present invention, a head unit is mounted in which each discharge head is likely to cause uneven stripes, that is, the nozzle units provided at both ends of the discharge head are shifted for each discharge head. It is possible to obtain a droplet discharge device that discharges droplets of functional liquid so that uneven stripes are less noticeable.

本発明の別の観点に係る液滴吐出方法は、基板上と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、前記複数のノズルのうち前記吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの、前記走査方向に略直交する直交方向における位置を、前記吐出ヘッドごとにずらした状態で前記基板上を走査しながら、前記機能液の液滴を吐出することを特徴とする。   According to another aspect of the present invention, there is provided a droplet discharge method in which a plurality of types of functional liquids are applied to the substrate from a plurality of nozzles provided in the discharge heads while relatively scanning the substrate and the plurality of discharge heads. A plurality of ejection heads arranged in a scanning direction, and the nozzles provided at both ends of the ejection head among the plurality of nozzles in the scanning direction. The liquid droplets of the functional liquid are ejected while scanning over the substrate in a state where the position in the orthogonal direction substantially orthogonal to is shifted for each of the ejection heads.

本発明によれば、複数の吐出ヘッドについて直交方向におけるノズルの位置が吐出ヘッド毎にずれた状態にして基板上を走査しながら機能液を吐出するので、個々の吐出ヘッドによるスジムラの位置が重なることは無く、基板全体において機能液のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。   According to the present invention, since the functional liquid is ejected while scanning the substrate with the nozzle positions in the orthogonal direction being shifted for each ejection head for a plurality of ejection heads, the positions of the uneven stripes by the individual ejection heads overlap. There is no such thing, and it becomes possible to make the functional liquid unevenness inconspicuous in the whole substrate.

本発明の別の観点に係る電気光学装置は、上記の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする。
本発明によれば、機能液のスジムラを目立ちにくい基板を含んでいるため、表示にムラが無い良質の電気光学装置を得ることができる。
An electro-optical device according to another aspect of the invention includes a substrate on which a functional liquid is discharged by the droplet discharge method described above.
According to the present invention, a high-quality electro-optical device with no display unevenness can be obtained because the substrate contains a substrate that is less noticeable of functional liquid unevenness.

本発明の別の観点に係る電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
本発明によれば、表示にムラが無い良質の電気光学装置を搭載したので、表示性能の優れた電子機器を得ることができる。
An electronic apparatus according to another aspect of the present invention includes the above-described electro-optical device.
According to the present invention, since a high-quality electro-optical device having no display unevenness is mounted, an electronic apparatus with excellent display performance can be obtained.

(電気光学装置)
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。
図1は、本実施形態に係る液晶装置1の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、液晶装置1は、液晶パネル40と、バックライト41とを主体として構成されている。液晶パネル40は、アクティブマトリクス基板2とカラーフィルタ基板3とがシール材26を介して貼り合わされ、当該アクティブマトリクス基板2とカラーフィルタ基板3とシール材26との間に液晶6が挟持された構成になっている。図中破線で表された表示領域2aは、画像や動画等が表示される領域である。
(Electro-optical device)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale is appropriately changed to make each member a recognizable size.
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a liquid crystal device 1 according to the present embodiment.
As shown in the figure, the liquid crystal device 1 is mainly composed of a liquid crystal panel 40 and a backlight 41. The liquid crystal panel 40 has a configuration in which the active matrix substrate 2 and the color filter substrate 3 are bonded to each other through a sealing material 26, and the liquid crystal 6 is sandwiched between the active matrix substrate 2, the color filter substrate 3 and the sealing material 26. It has become. A display area 2a represented by a broken line in the figure is an area where an image, a moving image, or the like is displayed.

なお、本実施形態の液晶装置1は、スイッチング素子として二端子型非線形素子である薄膜ダイオード(TFD)素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を採用しているが、例えばスイッチング素子として薄膜トランジスタ(TFT)素子を用いた液晶装置や、パッシブマトリクス方式の液晶装置であっても勿論構わない。また、液晶パネル40は、2枚の大判のマザー基板を張り合わせ、切断することにより形成される(多数個取り)。2枚のマザー基板としては、カラーフィルタ基板3を生成するカラーフィルタ側マザー基板と、アクティブマトリクス基板2を生成するアクティブマトリクス側マザー基板とがある。   The liquid crystal device 1 of the present embodiment employs an active matrix type liquid crystal device using a thin-film diode (TFD) element that is a two-terminal nonlinear element as a switching element. For example, a thin film transistor (TFT) is used as the switching element. Of course, a liquid crystal device using an element or a passive matrix liquid crystal device may be used. Further, the liquid crystal panel 40 is formed by laminating and cutting two large-sized mother substrates (many pieces). The two mother substrates include a color filter side mother substrate that generates the color filter substrate 3 and an active matrix side mother substrate that generates the active matrix substrate 2.

図2は、カラーフィルタ基板3の構成を示す平面図である。図2(a)はカラーフィルタ基板3の全体構成を示す図であり、図2(b)はカラーフィルタ基板3の一部を拡大して示す図である。
図2(a)に示すように、カラーフィルタ基板3は、例えばガラスやプラスチック等の透明な材料によって形成された矩形の基板である。カラーフィルタ基板3上には遮光層13が設けられており、遮光層13で囲まれた領域(画素)に対応して赤色層16R、緑色層16G、青色層16Bを有するカラーフィルタ16が設けられている。なお、カラーフィルタ基板3には、当該カラーフィルタ16を覆うようにオーバーコート層(図示せず)が形成され、オーバーコート層上には配向膜(図示せず)が形成されている。当該配向膜は、例えばポリイミド等からなり、表面がラビング処理された水平配向膜である。
FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the color filter substrate 3. FIG. 2A is a diagram illustrating the entire configuration of the color filter substrate 3, and FIG. 2B is a diagram illustrating a part of the color filter substrate 3 in an enlarged manner.
As shown in FIG. 2A, the color filter substrate 3 is a rectangular substrate formed of a transparent material such as glass or plastic. A light shielding layer 13 is provided on the color filter substrate 3, and a color filter 16 having a red layer 16R, a green layer 16G, and a blue layer 16B corresponding to a region (pixel) surrounded by the light shielding layer 13 is provided. ing. An overcoat layer (not shown) is formed on the color filter substrate 3 so as to cover the color filter 16, and an alignment film (not shown) is formed on the overcoat layer. The alignment film is a horizontal alignment film made of, for example, polyimide and the surface of which is rubbed.

また、図2(b)に示すように、1個の赤色層16R(または緑色層16G、青色層16B)については、短辺の長さSが例えば170μm程度、長辺の長さLが例えば510μm程度の矩形に設けられている。また、隣接するカラーフィルタ16同士の間隔については、行方向の間隔T1は約20μmとなっており、列方向の間隔T2は約40μmとなっている。   As shown in FIG. 2B, for one red layer 16R (or green layer 16G, blue layer 16B), the short side length S is, for example, about 170 μm, and the long side length L is, for example, It is provided in a rectangle of about 510 μm. As for the interval between adjacent color filters 16, the interval T1 in the row direction is about 20 μm, and the interval T2 in the column direction is about 40 μm.

(液滴吐出装置)
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置(以下、「吐出装置」と称呼する。)100について説明する。
図3に示すように、吐出装置100は、液体材料111を保持するタンク101と、チューブ110を介してタンク101から液体材料111が供給される吐出走査部102とを主体として構成されている。
(Droplet discharge device)
Next, a droplet discharge apparatus (hereinafter referred to as “discharge apparatus”) 100 according to the present embodiment will be described.
As shown in FIG. 3, the ejection device 100 is mainly configured by a tank 101 that holds a liquid material 111 and an ejection scanning unit 102 that is supplied with the liquid material 111 from the tank 101 via a tube 110.

液体材料111には、例えば上述した液晶装置1のカラーフィルタ16の赤色層16Rを構成する材料(以下、「赤色材料」という。)111Rと、緑色層16Gを構成する材料(以下、「緑色材料」という。)111Gと、青色層16Bを構成する材料(以下、「青色材料」という。)111Bとの3種類がある。   The liquid material 111 includes, for example, a material constituting the red layer 16R (hereinafter referred to as “red material”) 111R of the color filter 16 of the liquid crystal device 1 and a material constituting the green layer 16G (hereinafter referred to as “green material”). There are three types, 111G, and a material constituting the blue layer 16B (hereinafter referred to as “blue material”) 111B.

タンク101は、赤色材料111Rを保持する赤色材料タンク101Rと、緑色材料111Gを保持する緑色材料タンク101Gと、青色材料111Bを保持する青色材料タンク101Bとを有しており、上述した3種類の液体材料111を個別に保持するようになっている。各タンク101には、例えば図示しない圧力ポンプが取り付けられている。当該圧力ポンプが駆動してタンク101内部に圧力を加えることで、液体材料111がタンク101内から吐出走査部102へと供給されるようになっている。   The tank 101 includes a red material tank 101R that holds a red material 111R, a green material tank 101G that holds a green material 111G, and a blue material tank 101B that holds a blue material 111B. The liquid material 111 is held individually. For example, a pressure pump (not shown) is attached to each tank 101. When the pressure pump is driven to apply pressure to the inside of the tank 101, the liquid material 111 is supplied from the tank 101 to the discharge scanning unit 102.

ここで、赤色材料111Rとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに赤色の無機顔料(例えば、赤色酸化鉄(III)やカドミウム赤等)を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、緑色材料111Gとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに緑色の無機顔料(例えば、酸化クロム緑やコバルト緑等)を分散させた後、溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、青色材料111Bとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに青色の無機顔料(例えば、群青や紺青等)を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
Here, as the red material 111R, for example, a red inorganic pigment (for example, red iron oxide (III), cadmium red, etc.) is dispersed in a polyurethane oligomer, and then butyl carbitol acetate is added as a solvent. A solution in which a surfactant is added as a dispersant and the viscosity is adjusted to a predetermined range is used.
As the green material 111G, for example, a green inorganic pigment (for example, chromium oxide green or cobalt green) is dispersed in a polyurethane oligomer, and then cyclohexanone and butyl acetate are added as a solvent to disperse a nonionic surfactant. A solution which is added as an agent and has a viscosity adjusted to a predetermined range is used.
As the blue material 111B, for example, a blue inorganic pigment (for example, ultramarine blue or bitumen) is dispersed in a polyurethane oligomer, butyl carbitol acetate is added as a solvent, and a nonionic surfactant is added as a dispersant. However, a solution having a viscosity adjusted to a predetermined range is used.

吐出走査部102は、複数のヘッド114(図4参照)を保持するキャリッジ103と、キャリッジ103の位置を制御するキャリッジ位置制御装置104と、カラーフィルタ側マザー基板を構成する基体10Aを保持するステージ106と、ステージ106の位置を制御するステージ位置制御装置108と、制御部112とを有している。なお、実際には、吐出装置100には複数(例えば10個)のキャリッジ103が設置されている。図3では、説明の簡単のため、1個のキャリッジ103を図示して説明することにした。   The ejection scanning unit 102 includes a carriage 103 that holds a plurality of heads 114 (see FIG. 4), a carriage position control device 104 that controls the position of the carriage 103, and a stage that holds a base 10A that forms a color filter-side mother substrate. 106, a stage position control device 108 that controls the position of the stage 106, and a control unit 112. Actually, a plurality of (for example, ten) carriages 103 are installed in the ejection device 100. In FIG. 3, for the sake of simplicity, one carriage 103 is illustrated and described.

キャリッジ位置制御装置104は、制御部112からの信号に応じて、キャリッジ103をX軸方向又はZ軸方向に沿って移動させると共に、Z軸を軸とする回転方向にキャリッジ103を回転させる機能も有している。ステージ位置制御装置108は、制御部112からの信号に応じて、Y軸方向に沿ってステージ106を移動させると共に、Z軸を軸とする回転方向にステージ106を回転させる機能も有している。   The carriage position control device 104 has a function of moving the carriage 103 along the X-axis direction or the Z-axis direction in accordance with a signal from the control unit 112 and rotating the carriage 103 in the rotation direction about the Z-axis. Have. The stage position control device 108 has a function of moving the stage 106 along the Y-axis direction in accordance with a signal from the control unit 112 and rotating the stage 106 in the rotation direction about the Z-axis. .

上述のように、キャリッジ103はキャリッジ位置制御装置104の制御によってX軸方向に移動するようになっている。一方、ステージ106はステージ位置制御装置108の制御によってY軸方向に移動するようになっている。つまり、キャリッジ位置制御装置104およびステージ位置制御装置108によって、ステージ106に対するヘッド114の相対位置が変わるようになっている。   As described above, the carriage 103 is moved in the X-axis direction under the control of the carriage position control device 104. On the other hand, the stage 106 moves in the Y-axis direction under the control of the stage position controller 108. That is, the relative position of the head 114 with respect to the stage 106 is changed by the carriage position control device 104 and the stage position control device 108.

つまり、キャリッジ103及びステージ106のうち双方若しくはいずれか一方を移動させることで、キャリッジ103がステージ106(あるいはステージ106に保持される基体10A)を走査することができるようになっている。以下、本実施形態では、キャリッジ103を静止させ、ステージ106を移動させることで走査を行う場合について説明する。   That is, by moving both or one of the carriage 103 and the stage 106, the carriage 103 can scan the stage 106 (or the base body 10A held by the stage 106). Hereinafter, in the present embodiment, a case will be described in which the carriage 103 is stationary and the stage 106 is moved to perform scanning.

図4は、1個のキャリッジ103をステージ106側から観察した図であり、図4の紙面に垂直な方向がZ軸方向である。また、図4の紙面の左右方向がX軸方向であり、紙面の上下方向がY軸方向である。
同図に示すように、キャリッジ103は、それぞれ同じ構造・寸法を有する複数のヘッド114を保持している。ヘッド114には、液体材料111のうち赤色材料111Rを吐出するヘッド114R、緑色材料111Gを吐出するヘッド114G、青色材料111Bを吐出するヘッド114Bの3種類がある。
4 is a view of one carriage 103 observed from the stage 106 side, and the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 4 is the Z-axis direction. 4 is the X-axis direction, and the vertical direction of the paper is the Y-axis direction.
As shown in the figure, the carriage 103 holds a plurality of heads 114 each having the same structure and dimensions. There are three types of heads 114: a head 114R that ejects a red material 111R, a head 114G that ejects a green material 111G, and a head 114B that ejects a blue material 111B.

本実施例では、1個のキャリッジ103に、ヘッド114R、ヘッド114G、ヘッド114Bがそれぞれ4個ずつ設けられており、ヘッド114の数は計12個となっている。なお、ヘッド114同士の位置関係については後述する。なお、本明細書では、Y軸方向に隣接する4つのヘッド114を「ヘッド群114P」と表記することもある。   In this embodiment, four heads 114R, four heads 114G, and four heads 114B are provided on one carriage 103, and the total number of heads 114 is twelve. The positional relationship between the heads 114 will be described later. In the present specification, the four heads 114 adjacent in the Y-axis direction may be referred to as a “head group 114P”.

図5は、ヘッド114の底面114aを示した図である。底面114aの形状は、対向する2つの長辺及び対向する2つの短辺を有する矩形である。当該底面114aはステージ106側(図中Z軸方向)を向いている。ヘッド114の長辺方向と図中X軸方向、また、ヘッド114の短辺方向と図中Y軸方向については、それぞれ平行になっている。   FIG. 5 is a view showing the bottom surface 114 a of the head 114. The shape of the bottom surface 114a is a rectangle having two long sides facing each other and two short sides facing each other. The bottom surface 114a faces the stage 106 side (Z-axis direction in the figure). The long side direction of the head 114 and the X-axis direction in the drawing are parallel, and the short side direction of the head 114 and the Y-axis direction in the drawing are parallel to each other.

また、当該底面114aには、ノズル118がX軸方向に例えば90個ずつ、2列(列116Aと列116B)に配置されている。また、各ノズル118のノズル径rは、約30μmとなっている。列116A側のノズル118及び列116B側のノズル118は、それぞれ各列において所定のピッチLNP(LNP:約140μm)で配置されている。また、ノズル列116Bの各ノズル118の位置が、ノズル列116Aの各ノズル118位置に対して、ノズルピッチLNPの半分の長さ(約70μm)だけX軸方向の負の方向(図5の下方向)にずれるように配置されている。なお、ヘッド114に設けられるノズル列は2列でなくても良い。例えば、3列、4列、・・・M列(Mは自然数)と列数を増やしても良いし、あるいは1列であっても構わない。   In addition, on the bottom surface 114a, for example, 90 nozzles 118 are arranged in two rows (row 116A and row 116B) in the X-axis direction. The nozzle diameter r of each nozzle 118 is about 30 μm. The nozzles 118 on the row 116A side and the nozzles 118 on the row 116B side are arranged at a predetermined pitch LNP (LNP: about 140 μm) in each row. In addition, the position of each nozzle 118 in the nozzle row 116B is negative in the X-axis direction (lower part in FIG. 5) by a length half the nozzle pitch LNP (about 70 μm) with respect to each nozzle 118 position in the nozzle row 116A. (Direction). The number of nozzle rows provided in the head 114 may not be two. For example, the number of columns may be increased to three columns, four columns,... M columns (M is a natural number), or one column.

ノズル列116Aおよびノズル列116Bのそれぞれが90個のノズルからなるため、1つのヘッド114には180個のノズルが設けられている。ただし、ノズル列116Aの両端から5つ目までのノズルは、液体材料111が吐出されないようになっている(休止ノズル:図5中、破線で囲まれた部分)。同様に、ノズル列116Bの両端から5つ目までのノズルも液体材料111が吐出されない休止ノズルとなっている(図5中、破線で囲まれた部分)。このため、ヘッド114における180個のノズル118のうち、両端の20個のノズルを除いた160個のノズル118が液体材料111を吐出するようになっている(吐出ノズル)。   Since each of the nozzle row 116A and the nozzle row 116B is composed of 90 nozzles, one head 114 is provided with 180 nozzles. However, the liquid material 111 is not discharged from the fifth nozzle from the both ends of the nozzle row 116A (pause nozzle: a portion surrounded by a broken line in FIG. 5). Similarly, the fifth nozzle from the both ends of the nozzle row 116B is also a pause nozzle from which the liquid material 111 is not discharged (a portion surrounded by a broken line in FIG. 5). For this reason, of the 180 nozzles 118 in the head 114, 160 nozzles 118 excluding 20 nozzles at both ends are adapted to eject the liquid material 111 (ejection nozzles).

本明細書では、ヘッド114の位置関係を説明する目的で、ノズル列116Aに含まれる90個のノズル118のうち、図中上端から6番目のノズル118をヘッド114の「基準ノズル118R」と表記する。つまり、ノズル列116Aにおける80個の吐出ノズルのうち、図中最上部に位置する吐出ノズルがヘッド114の「基準ノズル118R」である。なお、すべてのヘッド114に対して、「基準ノズル118R」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル118R」の位置は、上記位置でなくてもよい。   In the present specification, for the purpose of explaining the positional relationship of the head 114, among the 90 nozzles 118 included in the nozzle row 116 </ b> A, the sixth nozzle 118 from the upper end in the drawing is expressed as “reference nozzle 118 </ b> R” of the head 114. To do. That is, among the 80 discharge nozzles in the nozzle row 116A, the discharge nozzle located at the top of the drawing is the “reference nozzle 118R” of the head 114. Note that the “reference nozzle 118R” may be specified in the same manner for all the heads 114, so the position of the “reference nozzle 118R” does not have to be the above position.

次に、ヘッド群114Pにおける6つのヘッド114の位置関係について説明する。
図6は、ヘッド114の相対位置関係を示す図である。なお、本図において、図4に示す2組のヘッド114R、114G、114Bについては、それぞれヘッド114R、114G、114B及びヘッド114R、114G、114Bと表記して区別するものとする。
Next, the positional relationship of the six heads 114 in the head group 114P will be described.
FIG. 6 is a diagram illustrating the relative positional relationship of the head 114. In FIG. 4, the two sets of heads 114R, 114G, and 114B shown in FIG. 4 are distinguished from each other by being represented as heads 114R 1 , 114G 1 , 114B 1 and heads 114R 2 , 114G 2 , 114B 2. To do.

図6に示すように、ヘッド群114Pは、隣接するヘッド114同士がX方向にずれるように配置されている。ヘッド114Rに隣接するヘッド114Gは、ヘッド114Rに対して、例えば図中X方向下側にずれるように設けられている。また、ヘッドGに隣接するヘッドBについても同様に、隣接するヘッドGに対して、例えば図中X方向下側にずれるように設けられている。ヘッド114Bに隣接するヘッド114R、また、当該ヘッド114Rに隣接するヘッド114G、また、当該ヘッド114Gに隣接するヘッド114Bについても同様に、それぞれ隣接するヘッド114に対して図中X方向下側にずれるように設けられている。 As shown in FIG. 6, the head group 114P is arranged such that adjacent heads 114 are displaced in the X direction. Head 114G adjacent to the head 114R 1 1 is the head 114R 1, provided so as to be offset in the X direction of the figure lower, for example. Similarly, the head B 1 adjacent the head G 1, is provided so as the head G 1 adjacent, deviated in the X direction lower side, for example. Similarly, the head 114R 2 adjacent to the head 114B 1 , the head 114G 2 adjacent to the head 114R 2 , and the head 114B 2 adjacent to the head 114G 2 are similarly illustrated in the drawing with respect to the adjacent head 114, respectively. It is provided so as to be shifted downward in the X direction.

また、図中において、ヘッド114Rに設けられた基準ノズル118RのX方向の位置は「1−a」及び「1−b」(実線で示す)である。ヘッド114Gに設けられた基準ノズル118RのX方向の位置は「2−a」及び「2−b」(破線で示す)である。ヘッド114Bに設けられた基準ノズル118RのX方向の位置は「3−a」及び「3−b」(一点鎖線で示す)である。ヘッド114Rに設けられた基準ノズル118RのX方向の位置は「4−a」及び「4−b」(実線で示す)である。ヘッド114Gに設けられた基準ノズル118RのX方向の位置は「5−a」及び「5−b」(破線で示す)である。ヘッド114Bに設けられた基準ノズル118RのX方向の位置は「6−a」及び「6−b」(一点鎖線で示す)である。 Also, in, X direction in the drawing of the position of the reference nozzles 118R provided in a head 114R 1 is "1-a" and "1-b" (shown by a solid line). X-direction position of the reference nozzles 118R provided in a head 114G 1 is "2-a" and "2-b" (shown in dashed lines). X-direction position of the reference nozzles 118R provided in a head 114B 1 is "3-a" and "3-b" (shown by a chain line). X-direction position of the reference nozzles 118R provided in a head 114R 2 is "4-a" and "4-b" (shown by a solid line). X-direction position of the reference nozzles 118R provided in a head 114G 2 is "5-a" and "5-b" (shown in dashed lines). X-direction position of the reference nozzles 118R provided in a head 114B 2 is "6-a" and "6-b" (shown by a chain line).

同じ構造である各ヘッド114同士がX方向にずれるように配置されていることで、自身に設けられる基準ノズル118RのX方向の位置(1−a)〜(6−b)が互いにずれるようになっている。この結果、キャリッジ103が走査(スキャン)する際には、ノズル118の最端部である基準ノズルRから吐出される液体材料111のスジムラが重ならずに済むようになっている。   Since the heads 114 having the same structure are arranged so as to be displaced in the X direction, the positions (1-a) to (6-b) in the X direction of the reference nozzle 118R provided on the head 114 are shifted from each other. It has become. As a result, when the carriage 103 scans, the unevenness of the liquid material 111 discharged from the reference nozzle R that is the endmost portion of the nozzle 118 does not overlap.

次に、ヘッド114の内部の構成を説明する。図7(a)および図7(b)に示すように、それぞれのヘッド114は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド114は、振動板126と、ノズルプレート128とを備えている。振動板126と、ノズルプレート128との間には、タンク101から孔131を介して供給される液体材料111が常に充填される液たまり129が設けられている。   Next, the internal configuration of the head 114 will be described. As shown in FIGS. 7A and 7B, each head 114 is an inkjet head. More specifically, each head 114 includes a diaphragm 126 and a nozzle plate 128. Between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128, there is provided a liquid pool 129 that is always filled with the liquid material 111 supplied from the tank 101 through the hole 131.

また、振動板126と、ノズルプレート128との間には、複数の隔壁122が設けられている。そして、振動板126と、ノズルプレート128と、1対の隔壁122とによって囲まれた部分がキャビティ120である。キャビティ120は、ノズル118ごとに設けられているおり、キャビティ120の数とノズル118の数とは同じである。キャビティ120には、1対の隔壁122間に設けられた供給口130を介して、液たまり129から液体材料111が供給される。   In addition, a plurality of partition walls 122 are provided between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is a cavity 120. The cavities 120 are provided for each nozzle 118, and the number of cavities 120 and the number of nozzles 118 are the same. The liquid material 111 is supplied from the liquid pool 129 to the cavity 120 through the supply port 130 provided between the pair of partition walls 122.

振動板126上には、それぞれのキャビティ120に対応して、振動子124が位置する。振動子124は、ピエゾ素子124Cと、ピエゾ素子124Cを挟む1対の電極124A、124Bとを有している。この1対の電極124A、124Bとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル118から液体材料111が吐出される。なお、ノズル118からZ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル118の形状が調整されている。なお、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して液体材料111を吐出する構成を有していてもよい。   On the diaphragm 126, the vibrator 124 is positioned corresponding to each cavity 120. The vibrator 124 includes a piezo element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B that sandwich the piezo element 124C. By applying a driving voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, the liquid material 111 is discharged from the corresponding nozzle 118. The shape of the nozzle 118 is adjusted so that a liquid material is discharged from the nozzle 118 in the Z-axis direction. In addition, you may have an electrothermal conversion element instead of a piezo element. That is, you may have the structure which discharges the liquid material 111 using the thermal expansion of the material by an electrothermal conversion element.

次に、図8をもとにして制御部112の構成を説明する。
制御部112は、液体材料111を吐出するタイミングや、キャリッジ103の固定位置、ステージ106の移動(移動速度、移動距離等)等、吐出装置1の動作に関して統括して制御する部位である。
図8に示すように、制御部112は、入力バッファメモリ200と、記憶手段202と、処理部204と、走査駆動部206と、ヘッド駆動部208とを備えており、各部分同士が通信可能に接続されている。
Next, the configuration of the control unit 112 will be described with reference to FIG.
The control unit 112 is a part that performs overall control regarding the operation of the discharge device 1 such as the timing at which the liquid material 111 is discharged, the fixed position of the carriage 103, the movement of the stage 106 (movement speed, movement distance, etc.).
As shown in FIG. 8, the control unit 112 includes an input buffer memory 200, a storage unit 202, a processing unit 204, a scan driving unit 206, and a head driving unit 208, and each part can communicate with each other. It is connected to the.

入力バッファメモリ200は、外部に接続される例えば情報処理装置等から液体材料111の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ200は、吐出データを処理部204に供給し、処理部204は吐出データを記憶手段202に格納する。記憶手段202としては、例えばRAM等が用いられている。   The input buffer memory 200 receives ejection data for ejecting droplets of the liquid material 111 from, for example, an information processing apparatus connected to the outside. The input buffer memory 200 supplies the ejection data to the processing unit 204, and the processing unit 204 stores the ejection data in the storage unit 202. For example, a RAM or the like is used as the storage unit 202.

処理部204は、記憶手段202内に格納された吐出データにアクセスし、当該吐出データを基にして、走査駆動部206及びヘッド駆動部208に、必要な駆動信号を供給する。
走査駆動部206は駆動信号に基づいて、キャリッジ位置制御装置104およびステージ位置制御装置108に所定の位置制御信号を供給する。また、ヘッド駆動部208は駆動信号に基づいて、各ヘッド114に液体材料111を吐出する吐出信号を供給する。
The processing unit 204 accesses the ejection data stored in the storage unit 202, and supplies necessary drive signals to the scanning drive unit 206 and the head drive unit 208 based on the ejection data.
The scanning drive unit 206 supplies a predetermined position control signal to the carriage position control device 104 and the stage position control device 108 based on the drive signal. Further, the head drive unit 208 supplies an ejection signal for ejecting the liquid material 111 to each head 114 based on the drive signal.

次に、このように構成された液晶装置1の製造工程について説明する。
本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断によって個々の液晶装置1に分離する方法を例に挙げて説明する。
まず、カラーフィルタ側マザー基板の形成工程について簡単に説明する。
吐出装置100のステージ106に、基体10Aを保持させる。当該基体10Aには、カラーフィルタ16を保持する被吐出部18(18R、18G、18B:図9等参照)が形成されている。被吐出部18Rには赤色層16Rが保持され、被吐出部18Gには緑色層16Gが保持され、被吐出部18Bには青色層16Bが保持されるようになっている。なお、基体10Aをステージ106に保持する際には、基体10Aの短辺方向がX軸方向に一致し、長辺方向がY軸方向に一致するように位置を調節する。
Next, a manufacturing process of the liquid crystal device 1 configured as described above will be described.
In the present embodiment, a method in which a plurality of liquid crystal devices are collectively formed using a mother substrate having a large area and separated into individual liquid crystal devices 1 by cutting will be described as an example.
First, the process of forming the color filter side mother substrate will be briefly described.
The base 10 </ b> A is held on the stage 106 of the discharge device 100. On the base 10A, a discharge target portion 18 (18R, 18G, 18B: refer to FIG. 9 or the like) that holds the color filter 16 is formed. The discharged layer 18R holds the red layer 16R, the discharged portion 18G holds the green layer 16G, and the discharged portion 18B holds the blue layer 16B. When holding the base 10A on the stage 106, the position is adjusted so that the short side direction of the base 10A matches the X-axis direction and the long side direction matches the Y-axis direction.

この状態で、図9に示すようにステージ106を図中左側から右側へ移動させる。キャリッジ103は、例えば図中右側から左側に基体10A上を走査する。このとき、キャリッジ103が基体10A上を走査しながら、各ヘッド114から液体材料111を吐出する。
例えば、1回の走査によって、図9に示すように、図中最上行の被吐出部18には赤色材料111Rが最初に吐出され、図中上から2行目の被吐出部18には緑色材料111Gが最初に吐出され、図中下から2行目の被吐出部18には青色材料111Bが最初に吐出され、図中最下行の被吐出部18には赤色材料111Rが最初に吐出される。このように、吐出する領域によって最初に吐出される液体材料111の種類が異なる。
In this state, the stage 106 is moved from the left side to the right side as shown in FIG. For example, the carriage 103 scans the base 10A from the right side to the left side in the drawing. At this time, the liquid material 111 is discharged from each head 114 while the carriage 103 scans the base 10A.
For example, as shown in FIG. 9, the red material 111 </ b> R is first discharged to the uppermost row target 18 in the drawing and green is discharged to the second row target portion 18 from the top in the drawing, as shown in FIG. 9. The material 111G is discharged first, the blue material 111B is discharged first to the discharged portion 18 in the second row from the bottom in the drawing, and the red material 111R is discharged first to the discharged portion 18 in the bottom row in the drawing. The As described above, the type of the liquid material 111 to be discharged first differs depending on the region to be discharged.

この後、ステージ106を移動させて、キャリッジ103に基体10A上を走査させると同時に、各ヘッド114から液体材料111を吐出する。例えば図10に示すように、各被吐出部18が液体材料111が計1回ずつ吐出された状態になるように走査しながら、被吐出部18に液体材料111を吐出する。   Thereafter, the stage 106 is moved to cause the carriage 103 to scan the base 10 </ b> A, and at the same time, the liquid material 111 is discharged from each head 114. For example, as shown in FIG. 10, the liquid material 111 is discharged to the discharge target 18 while scanning the discharge target 18 so that the liquid material 111 is discharged once in total.

各被吐出部18に液体材料111が計1回ずつ吐出されたら、図11に示すように、今度は各被吐出部18に液体材料111が計2回ずつ吐出されるまで、図10の走査を繰り返す。以下、当該走査を繰り返しながら、各被吐出部18に液体材料111が計3回ずつ、計4回ずつ、と吐出回数を徐々に増やしていくことにより、図12に示すように、各被吐出部18全体に液体材料111が吐出されることになる。   When the liquid material 111 is discharged to each discharge target 18 once in total, as shown in FIG. 11, until the liquid material 111 is discharged to each discharge target 18 twice in total, the scanning in FIG. repeat. Thereafter, while repeating the scanning, the liquid material 111 is discharged to each discharge target portion 18 three times in total and four times in total, thereby gradually increasing the number of discharges as shown in FIG. The liquid material 111 is discharged to the entire portion 18.

以降の工程については簡単に説明する。カラーフィルタ16が形成された基材10A上には、図示しない電極や配線等を形成し、平坦化膜を形成する。また、基材10Aの表面にギャップ制御用の図示しないスペーサ及び隔壁を形成する。この基材10Aに形成された配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。配向膜は、例えばポリイミドを塗布又は印刷することによって形成することができる。また、エポキシ樹脂等からなるシール材を矩形環状に形成し、シール材で囲まれた領域に液晶を塗布する。   The subsequent steps will be briefly described. On the base material 10A on which the color filter 16 is formed, electrodes, wirings, etc. (not shown) are formed, and a planarizing film is formed. In addition, spacers and partition walls (not shown) for gap control are formed on the surface of the substrate 10A. An alignment film is formed so as to cover the wiring and color filter formed on the substrate 10A, and a rubbing process is performed on the alignment film. The alignment film can be formed by applying or printing polyimide, for example. In addition, a sealing material made of epoxy resin or the like is formed in a rectangular ring shape, and liquid crystal is applied to a region surrounded by the sealing material.

次に、アクティブマトリクス側マザー基板の形成については、ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材に配線、電極等を形成し、当該配線、電極等が形成された領域に、平坦化膜を形成する。平坦化膜を形成したら、ポリイミド等からなる配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。   Next, with respect to the formation of the active matrix side mother substrate, wiring, electrodes, etc. are formed on a large base material made of a light-transmitting material such as glass or plastic, and the area where the wiring, electrodes, etc. are formed is flat. A chemical film is formed. After the planarization film is formed, an alignment film made of polyimide or the like is formed, and a rubbing process is performed on the alignment film.

次に、カラーフィルタ側マザー基板とアクティブマトリクス側マザー基板とをパネル状に貼り合わせる。両基板を近接させ、アクティブマトリクス側マザー基板がカラーフィルタ側マザー基板上のシール材に接着させるようにする。その後、接着した両マザー基板にスクライブ線を形成し、当該スクライブ線に沿ってパネルを切断し、切断した各パネルの洗浄を行い、各パネルに駆動ドライバ等を実装する。各液晶パネルの外側表面に偏光板を貼着し、バックライト41を取り付けて、液晶装置1が完成する。   Next, the color filter side mother substrate and the active matrix side mother substrate are bonded together in a panel shape. Both substrates are brought close to each other so that the active matrix side mother substrate adheres to the sealing material on the color filter side mother substrate. After that, scribe lines are formed on both bonded mother substrates, the panel is cut along the scribe lines, each cut panel is cleaned, and a drive driver or the like is mounted on each panel. A liquid crystal device 1 is completed by attaching a polarizing plate to the outer surface of each liquid crystal panel and attaching a backlight 41.

このように、本実施形態によれば、個々のヘッド114におけるスジムラの発生しやすい位置、すなわち、各ヘッド114の基準ノズル118RのX方向上の位置を、ヘッド114毎にずらしているので、上記のようにキャリッジ103が基体10A上を走査しながら液体材料111を吐出する場合であっても、個々のヘッド114により吐出された液体材料111のスジムラの位置が重なることが無く、全体において液体材料のスジムラを目立ちにくくすることが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, the position where each head 114 is likely to cause unevenness, that is, the position of the reference nozzle 118R of each head 114 in the X direction is shifted for each head 114. Thus, even when the carriage 103 ejects the liquid material 111 while scanning the base 10A, the positions of the stripes of the liquid material 111 ejected by the individual heads 114 do not overlap, and the liquid material as a whole This makes it possible to make the stripes less noticeable.

(電子機器)
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。
図13は、携帯電話300の全体構成を示す斜視図である。
携帯電話300は、筺体301、複数の操作ボタンが設けられた操作部302、画像や動画、文字等を表示する表示部303を有する。表示部303には、本発明に係る液晶装置1が搭載される。本発明に係る液晶装置1は、液体材料111のスジムラが目立ちにくくなっているため、表示にムラの無い良質の液晶装置である。このような液晶装置1を搭載した電子機器(携帯電話300)は、表示性能に優れている。
(Electronics)
Next, an electronic apparatus according to the present invention will be described using a mobile phone as an example.
FIG. 13 is a perspective view showing the overall configuration of the mobile phone 300.
The cellular phone 300 includes a housing 301, an operation unit 302 provided with a plurality of operation buttons, and a display unit 303 that displays images, moving images, characters, and the like. The liquid crystal device 1 according to the present invention is mounted on the display unit 303. The liquid crystal device 1 according to the present invention is a high-quality liquid crystal device with no unevenness in display because the unevenness of the liquid material 111 is less noticeable. An electronic device (mobile phone 300) equipped with such a liquid crystal device 1 has excellent display performance.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態の説明は、本発明を液晶装置1のカラーフィルタ基板3にカラーフィルタ層16を形成する場合の例であるが、この例に限られることは無く、例えば本発明を有機EL装置用基板に有機層(発光層等)を形成する場合にも適用することが可能である。
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the description of the above embodiment is an example of the case where the color filter layer 16 is formed on the color filter substrate 3 of the liquid crystal device 1. However, the present invention is not limited to this example. The present invention can also be applied when an organic layer (such as a light emitting layer) is formed on a device substrate.

本発明の実施形態に係る液晶装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the liquid crystal device which concerns on embodiment of this invention. 本実施形態に係るカラーフィルタ基板の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the color filter board | substrate which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an overall configuration of a droplet discharge device according to an embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のキャリッジの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the carriage of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの外部構成を示す平面図である。It is a top view which shows the external structure of the head of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの内部構成を示す図である。It is a figure which shows the internal structure of the head of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control part of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッド駆動部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the head drive part of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of the head of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図(その1)である。It is FIG. (1) which shows operation | movement of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図(その2)である。FIG. 6 is a diagram (part 2) illustrating an operation of the droplet discharge device according to the embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の動作を示す図(その3)である。FIG. 6 is a diagram (part 3) illustrating the operation of the droplet discharge device according to the embodiment. 本発明に係る電子機器の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the electronic device which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…液晶装置 2…アクティブマトリクス基板 3…カラーフィルタ基板 10A…基体 16…カラーフィルタ 18(18R、18G、18B)…被吐出部 100…液滴吐出装置(吐出装置) 103…キャリッジ 106…ステージ 111(111R、111G、111B)…液体材料 114(114R、114G、114B)…ヘッド 114P…ヘッド群 114G…ヘッド 118…ノズル 300…携帯電話

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal device 2 ... Active matrix board | substrate 3 ... Color filter board | substrate 10A ... Base | substrate 16 ... Color filter 18 (18R, 18G, 18B) ... To-be-discharged part 100 ... Droplet discharge apparatus (discharge apparatus) 103 ... Carriage 106 ... Stage 111 (111R, 111G, 111B) ... Liquid material 114 (114R, 114G, 114B) ... Head 114P ... Head group 114G ... Head 118 ... Nozzle 300 ... Mobile phone

Claims (5)

基板と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出するヘッドユニットであって、
前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、
前記各吐出ヘッドの前記複数のノズルのうち前記走査方向に略直交する直交方向の両端部に設けられたノズルの、前記直交方向における位置が、前記吐出ヘッドごとにずれるように設けられていることを特徴とするヘッドユニット。
A head unit that ejects droplets of a plurality of types of functional liquid onto the substrate from a plurality of nozzles provided in each of the ejection heads while relatively scanning the substrate and the plurality of ejection heads,
The plurality of ejection heads are arranged in a scanning direction;
Among the plurality of nozzles of each of the ejection heads, nozzles provided at both ends in the orthogonal direction substantially orthogonal to the scanning direction are provided so that the positions in the orthogonal direction are shifted for each of the ejection heads. Head unit characterized by.
請求項1に記載のヘッドユニットが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。   A liquid droplet ejection apparatus, wherein the head unit according to claim 1 is mounted. 基板上と複数の吐出ヘッドとを相対的に走査しながら、前記各吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから前記基板に複数種類の機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
前記複数の吐出ヘッドが走査方向に配列されており、
前記複数のノズルのうち前記吐出ヘッドの両端部に設けられたノズルの、前記走査方向に略直交する直交方向における位置を、前記吐出ヘッドごとにずらした状態で前記基板上を走査しながら、前記機能液の液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
A droplet discharge method of discharging a plurality of types of functional liquid droplets onto the substrate from a plurality of nozzles provided in each of the discharge heads while relatively scanning a substrate and a plurality of discharge heads,
The plurality of ejection heads are arranged in a scanning direction;
While scanning the substrate with the positions of the nozzles provided at both ends of the ejection head in the orthogonal direction substantially orthogonal to the scanning direction being shifted for each ejection head among the plurality of nozzles, A droplet discharge method characterized by discharging a droplet of a functional liquid.
請求項3に記載の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device comprising a substrate on which a functional liquid is discharged by the droplet discharge method according to claim 3. 請求項4に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 4.

JP2005170461A 2005-06-10 2005-06-10 Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment Withdrawn JP2006343618A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005170461A JP2006343618A (en) 2005-06-10 2005-06-10 Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005170461A JP2006343618A (en) 2005-06-10 2005-06-10 Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006343618A true JP2006343618A (en) 2006-12-21

Family

ID=37640623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005170461A Withdrawn JP2006343618A (en) 2005-06-10 2005-06-10 Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006343618A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009004913A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-08 Ulvac, Inc. Coat forming method
WO2009022663A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-19 Toray Engineering Co., Ltd. Inkjet head bar and coating device using same

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009004913A1 (en) * 2007-06-29 2009-01-08 Ulvac, Inc. Coat forming method
JPWO2009004913A1 (en) * 2007-06-29 2010-08-26 株式会社アルバック Film formation method
JP5412282B2 (en) * 2007-06-29 2014-02-12 株式会社アルバック Film formation method
US8685498B2 (en) 2007-06-29 2014-04-01 Ulvac, Inc. Coated film forming method
WO2009022663A1 (en) * 2007-08-10 2009-02-19 Toray Engineering Co., Ltd. Inkjet head bar and coating device using same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4345716B2 (en) Droplet ejection method
KR100690539B1 (en) Droplet-discharging apparatus, electrooptic device, method for producing electrooptic device, and electronic apparatus
JP4935152B2 (en) Droplet ejection method
US7784425B2 (en) Droplet ejecting apparatus, electro-optic device, electronic apparatus, and droplet ejecting method
JP4935153B2 (en) Droplet ejection method
JP4341589B2 (en) Droplet ejection method
KR100813510B1 (en) Liquid droplet ejection method, head unit, and liquid droplet ejection device
JP2006343618A (en) Head unit, apparatus and method for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment
JP2007007544A (en) Droplet discharging method, droplet discharging device, electro-optic device, and electronic equipment
JP2005349385A (en) Droplet discharge device, electro-optical device, electronic device, and droplet discharging method
JP2006334488A (en) Method for discharging liquid droplet, head unit, apparatus for discharging liquid droplet, electro-optical device and electronic equipment
JP2005134639A (en) Method and device for manufacturing color filter substrate and method for manufacturing optoelectronic device
JP2009139613A (en) Droplet ejection device, control method of droplet ejection device, manufacturing equipment of electrooptical device and manufacturing method of electrooptical device
JP2007117898A (en) Thin film forming method and its device
JP2010279874A (en) Liquid ejection head, liquid ejection device, liquid ejection method, method of manufacturing electro-optical device and electronic equipment
JP2004361492A (en) Color filter substrate and its manufacturing method, electrooptical device and its manufacturing method, and electronic equipment and its manufacturing method
JP2006198506A (en) Pattern forming method and liquid drop discharge device
JP2005319425A (en) Liquid droplet discharge apparatus, electrooptical apparatus and electronic equipment
JP2010279946A (en) Droplet-discharging device, electrooptical apparatus, method of manufacturing electrooptical apparatus and electronic equipment
JP2010271345A (en) Apparatus and method for discharging droplet
JP2005319424A (en) Liquid droplet discharge device, electro-optical device, and electronic equipment

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20070404

A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080902