JP2007006495A - Ｂａｗ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＢＡＷ共振器の寸法を大幅に増大させる事無く、ＢＡＷ共振器の非線形特性を低減する事の出来るＢＡＷ装置の提供。
【解決手段】特定の調波において非線形効果を低減するために、互いに逆平行に接続された第１のＢＡＷ共振器（７２）と、第２のＢＡＷ共振器（７４）とを有するＢＡＷ装置に関する。
【選択図】図１Ａ

Description

発明の詳細な説明

本発明は、ＢＡＷ（bulk acoustic wave)フィルタなどの、ＢＡＷ装置に関する。

ＢＡＷ共振器は、特に移動無線通信において共振周波数が高く、かつ品質が高いため、幅広く使用されている。最も簡素な形態のＢＡＷ共振器としては、２つの金属電極間に配置された薄い圧電性材料の層を有した構成である。一般的な圧電性材料としては、例えば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）が挙げられる。図３は、静電容量Ｃを有する典型的なＢＡＷ共振器３０を示しており、第１の電極（または上部電極Ｔ）と第２の電極（または下部電極Ｂ）との間に圧電性材料の層（以下では、圧電層３２と称する）が配置されている。なお、上部電極および下部電極という名称は、単に部位を定義する目的のために使用されているものであって、ＢＡＷ共振器の空間的な配置および位置を限定するものではない。しかし、上部電極および下部電極という名称は、圧電性材料の極性に対するこれら電極の位置（これついては以下に説明する）を定義するために使用されており、各ＢＡＷ共振器の極性は、ＴおよびＢ電極が示された等価回路図から生じる。

ＢＡＷ共振器３０の第１の電極Ｔと、第２の電極Ｂとの間に電界が印加されると、相互（reciprocal）圧電効果または逆圧電効果によって、ＢＡＷ共振器３０が機械的に拡張または縮小する。拡張するのか、あるいは縮小するのかは、上述したように圧電性材料の極性に依存している。すなわち、Ｔ電極とＢ電極との間に逆方向の電界が印加された場合は、反対の状況になる。電界が交番磁界の場合は、圧電層３２内に音波が発生する。この音波は、ＢＡＷ共振器の使用に応じて、例えば電界に平行な縦波、あるいは電界に直角な横波として伝播し、そして例えば圧電層３２の界面において反射する。圧電層３２の厚みｄが、音波の波長λの半分の整数倍と等しい場合は常に、共鳴状態および／または音響共振振動が生じる。基本的な共振周波数、すなわち最低共振周波数ｆ_ｒｅｓは、圧電層３２の厚みｄに反比例する。つまり、ＢＡＷ共振器は、外部で特定された周波数で振動する。

ＢＡＷ共振器の圧電特性、すなわち共振特性もまた、例えば圧電性材料、製造方法、製造中にＢＡＷ共振器に与えられる極性、および結晶の大きさなどの様々な要因に依存している。前述したように、圧電層の厚みｄに依存するものは、具体的には共振周波数である。

前述したように、ＢＡＷ共振器は電気分極を示す。ＢＡＷ共振器が機械的に変形、拡張、または縮小する方向は、第１の電極Ｔと第２の電極Ｂとに印加される電界の方向と、ＢＡＷ共振器３０の分極方向とに依存している。例えば、ＢＡＷ共振器の分極および電界の方向が同じ方向を指している場合は、ＢＡＷ共振器３０は縮小し、ＢＡＷ共振器３０の分極および電界の方向が反対の方向を指している場合は、ＢＡＷ共振器３０は拡張する。

様々な構成のＢＡＷ共振器が知られている。一般的には、いわゆるＦＢＡＲ（film bulk acoustic resonator）と、ＳＭＲ（solidly mounted resonator）とは区別される。さらに当技術分野では、圧電層３２を１つ有したＢＡＷ共振器だけでなく、圧電層を複数有したＢＡＷ共振器がさらに知られている。

ＢＡＷ共振器は、例えばフィルタに使用される。図４は、梯子構造のＢＡＷフィルタの回路図を示している。このＢＡＷフィルタは、電気接地４２と、信号入力４４と、信号出力４６と、第１の直列共振器４８と、第２の直列共振器５０と、第３の直列共振器５２と、第１のシャント共振器５４と、第２のシャント共振器５６と、第３のシャント共振器５８と、第４のシャント共振器６０とを有している。上記直列共振器４８、５０、および５２は、信号入力４４と信号出力４６との間で直列接続されている。上記第１のシャント共振器５４は、信号入力４４と電気接地４２との間で並列接続されている。上記第２のシャント共振器は、上記第１の直列共振器４８と上記第２の直列共振器５０との間にある接続ノードと、電気接地４２との間に接続されている。第３のシャント共振器５８は、第２の直列共振器５０と第３の直列共振器５２との間にある接続ノードと、電気接地４２との間に接続されている。第４のシャント共振器６０は、信号出力４６と電気接地４２との間に平行に接続されている。各直列共振器およびシャント共振器は、上部電極Ｔおよび下部電極Ｂを有している。上部電極Ｔおよび下部電極Ｂは、ＢＡＷ共振器の極性を示すために、図４に示す等価回路図内に図示されている。

例えばフィルタ回路に関する問題として、ＢＡＷ共振器の熱応力が挙げられる。しかしこの問題は、例えば、ＢＡＷ共振器の「カスケード」方法を用いることによって解決できる。上記方法は、ＢＡＷ装置に対して幅広く使用されている。以下では、カスケードは、スイッチング素子の連鎖もしくは直列接続を意味する。静電容量Ｃを示すＢＡＷ共振器の代わりに、静電容量２Ｃをそれぞれ示す２つのＢＡＷ共振器を用いると、全容量が再びＣとなる。原理上は、このようなカスケード式のＢＡＷ共振器は、対応する個々のＢＡＷ共振器と同一のインピーダンス特性を有している。カスケードする主な目的は、前述したように、ＢＡＷ共振器の熱応力を４分の１に低減することにある。熱応力の低減は、静電容量２Ｃを示すカスケード式の対のＢＡＷ共振器の大きさが、静電容量Ｃを示す対応した個々のＢＡＷ共振器の４倍であるという事実によって得られる。

ＵＳ００５２３１３２７Ａは、例えば、静電容量Ｃを示す１つのＢＡＷ共振器の代わりに、静電容量２Ｃを示し、かつ１つの圧電層を共有する、直列接続された２つのＢＡＷ共振器を用いたカスケード方法について記載している。

さらに、例えばＢＡＷ共振器、ＢＡＷフィルタ、またはＢＡＷアンテナデュプレクサなど、移動無線システムのアンテナで直接動作するＢＡＷデバイスは、非線形の動作を示すという別の問題がある。この問題は、例えば、ＢＡＷアンテナデュプレクサを用いて、伝播力が０．１Ｗを超過した場合に起こる。

上述したカスケードでは、エネルギー密度が４分の１になるため、カスケード式のＢＡＷ共振器では非線形効果が６ｄＢ分低減するという副次的な影響もある。

しかしカスケードには、フィルタの全てのＢＡＷ共振器をカスケードした場合には、ＢＡＷデバイスのサイズが大幅に増大するという重大な不都合がある。一般的には、フィルタの全ての共振器の分岐にカスケードを用いることは不可能である。通常は、カスケードは、直接信号路の最も小さいＢＡＷ共振器（例えば、図４に示す梯子構造を有するフィルタ内の直列共振器４８、５０、および５２）に対して用いられる。なぜなら、これらのＢＡＷ共振器は、過熱の危険によって最も影響を受けるからである。

そこで本発明は、ＢＡＷ共振器の寸法を大幅に増大させることなく、ＢＡＷ共振器の非線形特性を低減することのできるＢＡＷ装置を提供することを目的とする。

上記目的は、請求項１に記載のＢＡＷ装置によって達成される。

本発明に係るＢＡＷ装置は、第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）と第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）とが互いに逆平行に接続されていることを特徴としている。

本発明は、相互変調効果とともに、ＢＡＷアンテナデュプレクサの出力スペクトル内で著しい第２高調波が生成されるという非線形の動作における主効果に基づいている。非線形性の主な原因は、ＢＡＷの全ての能動層（active layers）においてこれらのパワーレベルで見られる著しく高いエネルギー密度にある。これにより、圧電効果自体は、変形および／またはストレスと、電界との間の純線形関係にはもはや従わない。

加えて、本発明は、２つのＢＡＷ共振器の高調波が、相互に低減するか、理想的には相殺されるという知見に基づいている。これは、逆平行接続、つまり互いに逆分極で並列接続されていることによるものであるとともに、供給電圧の符号の反転、および／または印加電圧間での位相シフトによるものである。これにより、非線形効果が低減および／または排除される。

厳密に言えば、本発明は、小さな電圧および／または小さな電界で、ＢＡＷ共振器の変形が、変形を引き起こす電界に比例する、もしくは、変形を引き起こす電界が、ＢＡＷ共振器の変形に比例することを可能にする。けれども、高い電圧および／または電界にとって、電界により生じた変形に対するその電界の割合は、もはや比例的なもの、つまり非線形になるもの、ではない。上記の内容に関して、以下の知見および考察を本発明の説明として含めるものとする。

まず本発明は、以下の新しい知見に基づくものである。すなわち、線形の動作からＢＡＷ共振器の偏移を引き起こす主なメカニズムが、バイアスストレスおよび／または追加ストレスの存在下での共振周波数のシフトであるというものである。このバイアスストレスは、機械的もしくは電気的であり、ストレス硬化を引き起こす。このストレス硬化は、線形圧電方程式によって説明できるものではない。

また、このバイアスストレスは、例えば圧電層に従った機械的圧力によって生じるものであるが、圧電層を渡って適用された高電圧、特に高い直（ダイレクト）電圧によっても生じるものである。共振周波数がほぼ線形で上下する一方で、直電圧は、高い負（ネガィブ）の電圧から高い正（ポジティブ）の電圧までの広域内で、変化もしく流される（スイープされる）。この効果は、ＶＣＦ（voltages coefficient of frequency：周波数の電圧係数）効果と呼ばれる。そのシフトの方向に関しては、ＢＡＷ共振器の共振周波数のシフトが、例えば直電圧の符号に依存する。そして、シフト量に関しては、電圧量に依存する。窒化アルミニウムに基づいたＢＡＷ共振器の場合、周波数を変化させる電圧は、例えば２０ｐｐｍ／Ｖの域で、２ＧＨｚであった。このストレス硬化は、ここでは、高周波信号の高い振幅と関連性があり、励振信号および／または入力信号の２倍の周波数で、大きな比率および／または音を生み出す。上記したＢＡＷ共振器における高周波測定では、パワー反射は、＋３０ｄＢｍの基本波で、−１０ｄＢｍの幅の間では、第２の高周波を有していた。

これらのことから、ＶＣＦ効果を考慮するシミュレーションモデルが実現され、ＶＣＦ効果は、ＢＡＷ共振器の非線形特性を支配し、または、ＢＡＷ共振器の非線形特性に決定的に影響を及ぼし、伝導性を改善するための鍵である、という結果となった。ＶＣＦ効果は、電圧の符号が変わることによって反転することから、同一サイズを有する２つの領域に分割することによって、およびこれらの領域を逆相で操作することによって、並びに、静電容量Ｃを示すＢＡＷ共振器を、Ｃ／２の静電容量を示す２つの領域に分割することによって、更には、分割した上記２つの領域を逆平行構成において操作および／または切り替えることによって、共振器のＶＣＦ効果のインパクトを補償することも可能である。これにより、これらは、静電容量Ｃを示す一つのＢＡＷ共振器として機能する、一方、上記２つの領域におけるＶＣＦ効果は無くなっているので、非線形性を大幅に低減されている。本発明に係るＢＡＷ共振器の高周波、および／または逆平行に接続された２つのＢＡＷ共振器は、適切な寸法で、一つずつ積み上げられ、一つずつ弱められ、一つずつ消去される。

従って、本発明に係るＢＡＷ装置は、逆平行に接続された２つのＢＡＷ共振器を有しており、これらは従来のＢＡＷ共振器と比較してその特性を改良させている。すなわち、非線形特性を低減し、および／または高周波を低減している。

本発明によれば、フィルタ回路においても、ＢＡＷ共振器の代わりに改良されたＢＡＷ装置を用いることによって、改良される。本発明の好適な実施形態としては、２つのＢＡＷ共振器を備えており、各共振器の共振周波数は同一であり、同一のＶＣＦをもっている。そして、各共振器の共振周波数は、ＶＣＦ効果により、同じ方向に同じ量だけシフトする。このような組み合わせで、同じ周波数値をもつ高調波が補償される。

加えて、本発明の特に好ましい実施形態では、２つのＢＡＷ共振器が、同じ共振周波数および同じＶＣＦを有しているという以外にも、同じインピーダンスと、特に同じ静電容量を有していることが好ましい。これにより、逆平行に接続されたＢＡＷ共振器の高調波の振幅は、同じ大きさとなり、第２の高調波を相殺する。

従って、本発明に係るＢＡＷ装置は、ＢＡＷ装置の線形を改善するとともに、ＢＡＷデバイスにおける占有する空間を増加させることなく、高周波の発生を著しく低減および／または除去することができる。

カスケード法に比べて、ＢＡＷ装置はフィルタに必要な全幅をわずかに増加させるだけである。従って、この方法は、ＢＡＷ装置ブランチにとって、特にカスケードを行うには非常に大きくなるフィルタにとって、非常に優位である。

本発明の好ましい実施形態について、添付図面を参照しながら以下に詳述する。添付図面は次の通りである：
図１Ａ〜Ｃは、本発明の実施形態の断面図である。

図２は、本発明に係る３つのＢＡＷ装置を有する、梯子構造の改良型ＢＡＷフィルタのブロック図である。

図３は、従来技術であり、ＢＡＷ共振器の断面図である。

図４は、従来技術であり、梯子構造を持つ一般的なＢＡＷフィルタのブロック図である。

図１は、本発明によるＢＡＷ装置の実施形態の断面図である。このＢＡＷ装置は、圧電層７２Ｐと、第１の電極７２Ｔと、第２の電極７２Ｂとを有する第１のＢＡＷ共振器７２、および、圧電層７４Ｐと、第１の電極７４Ｔと、第２の電極７４Ｂとを有する第２のＢＡＷ共振器７４を有している。第１のＢＡＷ共振器７２は、第２の電極７２Ｂの方向に向かって、第１の電極７２Ｔから分極している。第２のＢＡＷ共振器７４は、第２の電極７４Ｂの方向に向かって、第１の電極７４Ｔから分極している。第１のＢＡＷ共振器７２の第１の電極７２Ｔは、第２のＢＡＷ共振器７４の第２の電極７４Ｂと、上記ＢＡＷ装置の第１の電気端子７６とに接続されている。第１のＢＡＷ共振器７２の第２の電極７２Ｂは、第２のＢＡＷ共振器７４の第１の電極７４Ｔと、上記ＢＡＷ装置の第２の電気端子７８とに接続されている。矢印７２Ｒは、第１のＢＡＷ共振器７２の典型的な分極方向を指し示している。矢印７４Ｒは、第２のＢＡＷ共振器７４の典型的な分極方向を指し示している。本発明によるＢＡＷ装置、および／または、２つのＢＡＷ共振器７２および７４の逆平行接続では、２つのＢＡＷ共振器７２および７４の極性７２Ｒおよび７４Ｒが、第１の電極７２Ｔ、７４Ｔおよび第２の電極７２Ｂ、７４Ｂと同じ方向にあることが、唯一の必須点である。あるいは、例えば、２つのＢＡＷ共振器７２および７４の極性は、第２の電極７２Ｂおよび７４Ｂから、第１の電極７２Ｔおよび７４Ｔへの方向を指していてもよい。

従って上記ＢＡＷ装置は、逆平行に接続された対のＢＡＷ共振器から構成されている。

第１のＢＡＷ共振器７２および第２のＢＡＷ共振器７４が有する容量は同じである（例えばＣ／２）。この結果、上記ＢＡＷ装置全体が、容量Ｃを示すＢＡＷ共振器として機能すると同時に、非線形特性が大幅に低減されるため、容量Ｃを示す一般的なＢＡＷ共振器と比べて、信号伝送特性および／または周波数特性が改善される。

従来技術の項においても説明した通り、ＢＡＷ共振器は、大幅に変更して実施することができる。例えば、図１では１つの圧電層７２Ｐおよび７４Ｐのみが示されているが、ＢＡＷ共振器７２および７４は、複数の圧電層を有していてもよい。さらに、上記ＢＡＷ装置は、２つの別々の、および／または個々のＢＡＷ共振器７２および７４を相互接続することによって形成されていてよい。あるいは、上記ＢＡＷ装置は、例えば１つの圧電層を共有する２つのＢＡＷ共振器７２および７４を相互接続することによって形成されてもよい。本発明によるＢＡＷ装置に対しては、同一の構造を有するＢＡＷ共振器７２および７４を使用することが好ましい。

図２は、平行素子として、本発明に係る３つのＢＡＷ装置、および／または、対の逆平行ＢＡＷ共振器を有する、梯子構造の改良型ＢＡＷフィルタの典型的な回路図を示している。本発明に係る第１のＢＡＷ装置８２は、逆平行に接続されたＢＡＷ共振器の対８４および８６から構成されている。本発明に係る第２のＢＡＷ装置８８は、逆平行に接続されたＢＡＷ共振器の対９０および９２から構成されている。本発明に係る第３のＢＡＷ装置９４は、逆平行に接続されたＢＡＷ共振器の対９６および９８から構成されている。第１のＢＡＷ装置８２の第１のＢＡＷ共振器８４は、第１の電極８４Ｔおよび第２の電極８４Ｂを有している。第１のＢＡＷ装置８２の第２のＢＡＷ共振器８６は、第１の電極８６Ｔおよび第２の電極８６Ｂを有している。第２のＢＡＷ装置８８の第１のＢＡＷ共振器９０は、第１の電極９０Ｔおよび第２の電極９０Ｂを有している。第２のＢＡＷ装置８８の第２のＢＡＷ共振器９２は、第１の電極９２Ｔおよび第２の電極９２Ｂを有している。第３のＢＡＷ装置９４の第１のＢＡＷ共振器９６は、第１の電極９６Ｔおよび第２の電極９６Ｂを有している。第３のＢＡＷ装置９４の第２のＢＡＷ共振器９８は、第１の電極９８Ｔおよび第２の電極９８Ｂを有している。第４の平行素子として、図２は、第１の電極１００Ｔと第２の電極１００Ｂとを有する、共通のＢＡＷ共振器１００を有している。図２はさらに、信号入力１０２Ｅと信号出力１０２Ａとの間の直列路において、従来のＢＡＷ共振器を３つ有している。すなわち、第１の電極１０４Ｔと第２の電極１０４Ｂとを有する第１の直列ＢＡＷ共振器１０４と、第１の電極１０６Ｔと第２の電極１０６Ｂとを有する第２の直列ＢＡＷ共振器１０６と、第１の電極１０８Ｔと第２の電極１０８Ｂとを有する第３の直列ＢＡＷ共振器１０８と、である。信号入力１０２Ｅ（ＩＮ）および信号出力１０２Ａ（ＯＵＴ）は、いずれも、共通の接地１０２Ｇ（ＧＮＤ）に関連している。図４と比べて、図２は、図４の平行共振器５６、５８、および６０に代わって、本発明に係るＢＡＷ装置８２、８８、および９４（同一の容量を示していることが好ましい）が用いられている、梯子構造を有した改良型ＢＡＷフィルタを示している。本発明によると、個々のＢＡＷ装置のＢＡＷ共振器は、逆平行に接続されている。例えば、第２のＢＡＷ共振器８６の第１の電極８６Ｔを、第１のＢＡＷ共振器８４の第１の電極８４Ｔと交換し、そして／あるいは、第２のＢＡＷ共振器８６の第２の電極８６Ｂを、第１のＢＡＷ共振器８４の第２の電極８４Ｂと交換することによって、第１のＢＡＷ装置８２の第１のＢＡＷ共振器８４および第２のＢＡＷ共振器８６は、回路図に示されているように、逆平行に接続されている。従って、ＢＡＷ装置８２、８８、および９４の第１のＢＡＷ共振器８４、９０、および９６の第１の電極８４Ｔ、９０Ｔ、および９６Ｔは、ＢＡＷ装置８２、８８、および９４の第２のＢＡＷ共振器８６、９２、および９８の第２の電極８６Ｂ、９２Ｂ、および９８Ｂに電気的に接続されていて、この逆もまた同様である。

図２に示されている本発明に係る実施形態とは関係なく、本発明に係るＢＡＷ装置は、任意の位置において使用することができ、そして当然ながら直列路において（すなわち、直列ＢＡＷ共振器１０４、１０６、および１０８の代わりに）使用することができる。

あるいは、ＢＡＷ共振器７２、７４、１０４、１０６、および１０８の容量は、Ｃ／２以外であってもよい。

先に図示および／または説明した本発明に係る実施形態とは関係なく、本発明に係るＢＡＷ装置は、基本的には、あらゆるＢＡＷ共振器の形態に適合させることができる。例えば、複数の圧電層を有するＢＡＷ共振器、ＦＢＡＲまたはＳＭＲタイプのＢＡＷ共振器、極性が電極と平行に並んでいないＢＡＷ共振器、あるいは両電極が圧電層の同一面上に配置されているＢＡＷ共振器などに適合させることができる。

従って、本発明の実施形態におけるＢＡＷ装置は、効果的かつ省スペース化を図る目的で、ＢＡＷ共振器、ＢＡＷフィルタ、またはＢＡＷデュプレクサとして、および／またはＢＡＷ共振器の代わりに、例えばフィルタ回路、デュプレクサ回路、または発振回路に適用でき、周波数特性の改善、および／または非線形性の低減を可能とする。

さらに、本発明によるＢＡＷ装置は、２つのＢＡＷ共振器だけでなく、逆平行に接続された複数のＢＡＷ共振器をさらに含んでいてよい。つまり、本発明によるＢＡＷ装置は、逆平行に接続された共振器の対または共振器群をＢＡＷフィルタ内において用いることによって、（例えば上記ＢＡＷフィルタにおける）非線形効果を低減および／または除去することができる。逆平行に接続された上記共振器の対または共振器群によって、非線形効果および／または高調波の生成を大幅に低減することができるが、ＢＡＷ装置またはフィルタ全体の寸法を大きくする必要はなく、あるいはＢＡＷ装置またはフィルタ全体に要するコストが増えることもない。

本発明の実施形態の断面図である。 本発明の実施形態の断面図である。 本発明の実施形態の断面図である。 本発明に係る３つのＢＡＷ装置を有する、梯子構造の改良型ＢＡＷフィルタのブロック図である。 従来技術であり、ＢＡＷ共振器の断面図である。 従来技術であり、梯子構造を持つ一般的なＢＡＷフィルタのブロック図である。

符号の説明

３０ ＢＡＷ共振器
３２ 圧電層
Ｔ 第１の電極、または上部電極
Ｂ 第２の電極、または下部電極
４２ 電気接地
４４ 信号入力
４６ 信号出力
４８ 第１の直列共振器
５０ 第２の直列共振器
５２ 第３の直列共振器
５４ 第１の平行共振器
５６ 第２の平行共振器
５８ 第３の平行共振器
６０ 第４の平行共振器
７２ 第１のＢＡＷ共振器
７２Ｐ 第１のＢＡＷ共振器の圧電層
７２Ｔ 第１のＢＡＷ共振器の第１の電極
７２Ｂ 第１のＢＡＷ共振器の第２の電極
７４ 第２のＢＡＷ共振器
７４Ｐ 第２のＢＡＷ共振器の圧電層
７４Ｔ 第２のＢＡＷ共振器の第１の電極
７４Ｂ 第２のＢＡＷ共振器の第２の電極
７６ ＢＡＷ装置の第１の電気端子
７８ ＢＡＷ装置の第２の電気端子
８２ 第１のＢＡＷ装置
８４ 第１のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器
８４Ｔ 第１のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器の第１の電極
８４Ｂ 第１のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器の第２の電極
８６ 第１のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器
８６Ｔ 第１のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器の第１の電極
８６Ｂ 第１のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器の第２の電極
８８ 第２のＢＡＷ装置
９０ 第２のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器
９０Ｔ 第２のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器の第１の電極
９０Ｂ 第２のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器の第２の電極
９２ 第２のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器
９２Ｔ 第２のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器の第１の電極
９２Ｂ 第２のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器の第２の電極
９４ 第３のＢＡＷ装置
９６ 第３のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器
９６Ｔ 第３のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器の第１の電極
９６Ｂ 第３のＢＡＷ装置の第１のＢＡＷ共振器の第２の電極
９８ 第３のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器
９８Ｔ 第３のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器の第１の電極
９８Ｂ 第３のＢＡＷ装置の第２のＢＡＷ共振器の第２の電極
１００ 従来のＢＡＷ共振器
１００Ｔ 従来のＢＡＷ共振器の第１の電極
１００Ｂ 従来のＢＡＷ共振器の第２の電極
１０２Ｅ 信号入力
１０２Ａ 信号出力
１０２Ｇ 電気接地

Claims (10)

1. 第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）と第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）とが逆平行に接続されていることを特徴とするＢＡＷ装置。
2. 上記第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）の共振周波数と、上記第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）の共振周波数とは等しいことを特徴とする請求項１に記載のＢＡＷ装置。
3. 上記第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）の共振周波数と、上記第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）の共振周波数とは、ＶＣＦ効果により、同一量および同一方向へのシフトを示すことを特徴とする請求項２に記載のＢＡＷ装置。
4. 上記第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）のインピーダンスと、上記第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）のインピーダンスとは等しいことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。
5. 上記第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）の静電容量と、上記第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）の静電容量とは等しく、且つ、
   ＢＡＷ装置の静電容量の合計をＣとすると、上記第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）の静電容量と、上記第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）の静電容量とはＣ／２値を有していることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。
6. 上記第１のＢＡＷ共振器（７２，８４，９０，９６）と、上記第２のＢＡＷ共振器（７４，８６，９２，９８）とは、同一構造であることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。
7. 共振器として構成されていることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。
8. 上記第１のＢＡＷ共振器（７２）の第１の電極（７２Ｔ）は、上記第２のＢＡＷ共振器（７４）の第２の電極（７４Ｂ）と、ＢＡＷ装置の第１の電気端子（７６）とに接続されており、
   上記第１のＢＡＷ共振器（７２）の第２の電極（７２Ｂ）は、上記第２のＢＡＷ共振器（７４）の第１の電極（７４Ｔ）と、ＢＡＷ装置の第２の電気端子（７８）とに接続されており、
   ＢＡＷ共振器（７２、７４）が、第１の電極（７２Ｔ、７４Ｔ）および第２の電極（７２Ｂ、７４Ｂ）に対して同一の極性を有していることを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。
9. フィルタとして用いられることを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。
10. デュプレクサとして用いられることを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載のＢＡＷ装置。

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