JP2007002862A - Hydrostatic bearing - Google Patents

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義晃 伊藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hydrostatic bearing in which cost for working bearing components is not increased, and adjustment in the loading process is not required. <P>SOLUTION: The hydrostatic bearing 1 has a constitution where a radial bearing part 3 and a thrust bearing part 4 are axially coupled to each other. In the bearing parts 3, 4, orifice groups 15, 25A, 25B are formed by bringing close two each of orifices 16, 26A, 26B. Referring to the intervals in positioning the orifices 16, 26A, 26B in one of the orifice groups 15, 25A, 25B, the interval is set smaller than the distance between the orifices 16, 26A, 26B in the adjacent other orifice groups 15, 25A, 25B. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、精密加工機、精密測定機、半導体製造装置、半導体検査装置、機械要素等に使用され、軸と軸受の隙間に圧縮空気を噴射して軸を非接触支持する静圧軸受に関する。   The present invention relates to a hydrostatic bearing that is used in precision processing machines, precision measuring machines, semiconductor manufacturing apparatuses, semiconductor inspection apparatuses, machine elements, and the like and that supports a shaft in a non-contact manner by injecting compressed air into a gap between the shaft and the bearing.

静圧軸受は、例えば回転軸のような被支持体（以下、回転軸とする）を支持する軸受部材を有し、軸受部材と回転軸との間に形成される軸受隙間に圧縮空気を供給し、気体膜によって回転軸を非接触で保持するように構成されている。このような静圧軸受は、高精度、低摩擦、長寿命、クリーンなど多くの特徴を有し、精密加工機、精密測定機、半導体製造装置、半導体検査装置、機械要素等に多く使用されてきている。   The hydrostatic bearing has a bearing member that supports a supported body (hereinafter referred to as a rotating shaft) such as a rotating shaft, and supplies compressed air to a bearing gap formed between the bearing member and the rotating shaft. The rotating shaft is held in a non-contact manner by the gas film. Such hydrostatic bearings have many features such as high accuracy, low friction, long life, and clean, and have been widely used in precision processing machines, precision measuring machines, semiconductor manufacturing equipment, semiconductor inspection equipment, mechanical elements, etc. ing.

このような静圧軸受の一例として、特許文献１に開示されているような多孔質静圧軸受について図６を参照して説明する。ハウジング１００は、ハウジング部材１００Ａと、ハウジング部材１００Ｂと、ハウジング部材１００Ｃとから構成され、ハウジング１００の内径面には、多孔質材料からなる一対の軸受部材１０５、１０６が取り付けられており、これら軸受部材１０５、１０６でフランジ部１０１を有する回転軸１０２を回転自在に支持している。軸受部材１０５、１０６は、ラジアル方向の軸受面１０３とスラスト方向の軸受面１０４とが一体成形された一対のフランジ付きスリーブ形状に成形されている。また、軸受部材１０５の右隣りには、ラジアル方向軸受面１０７を有するラジアル軸受部材１０８が取り付けられている。さらに、ハウジング１００の外側面には、給気孔１０９が設けられており、給気孔１０９は給気経路１１０、１１１を経て、環状室１１２，１１３に連通している。環状室１１２，１１３は、軸受部材１０５、１０６、ラジアル軸受部材１０８のそれぞれの外径面と、スラスト方向の軸受面１０４の裏側になる外側面とに連通している。したがって、給気孔１０９から圧縮空気を供給すると、多孔質の各軸受部材１０５，１０６，１０８を通ってそれぞれの軸受面１０３，１０４，１０７から圧縮空気が噴出し、回転軸１０２を軸支する。なお、圧縮空気は、回転軸１０２の外側面の間や、フランジ部１０１のスラスト面の間と、軸受面１０３，１０４，１０７との間からそれぞれ気体貯め１１４、１１５に導かれ、排気経路１１６、１１７を経て、ハウジング１００の外側面にある排気孔１１８から排出される。
特開２００１−２０８０６１号公報 As an example of such a hydrostatic bearing, a porous hydrostatic bearing disclosed in Patent Document 1 will be described with reference to FIG. The housing 100 includes a housing member 100A, a housing member 100B, and a housing member 100C, and a pair of bearing members 105 and 106 made of a porous material are attached to the inner diameter surface of the housing 100. The rotating shaft 102 having the flange portion 101 is rotatably supported by the members 105 and 106. The bearing members 105 and 106 are formed into a pair of flanged sleeve shapes in which a radial bearing surface 103 and a thrust bearing surface 104 are integrally formed. A radial bearing member 108 having a radial bearing surface 107 is attached to the right of the bearing member 105. Further, an air supply hole 109 is provided on the outer surface of the housing 100, and the air supply hole 109 communicates with the annular chambers 112 and 113 through the air supply paths 110 and 111. The annular chambers 112 and 113 communicate with the outer diameter surfaces of the bearing members 105 and 106 and the radial bearing member 108 and the outer surface on the back side of the bearing surface 104 in the thrust direction. Therefore, when compressed air is supplied from the air supply holes 109, the compressed air is ejected from the respective bearing surfaces 103, 104, and 107 through the porous bearing members 105, 106, and 108, thereby supporting the rotating shaft 102. The compressed air is guided to the gas reservoirs 114 and 115 from between the outer surface of the rotating shaft 102, between the thrust surfaces of the flange portion 101, and between the bearing surfaces 103, 104, and 107, respectively. 117, the air is discharged from the exhaust hole 118 on the outer surface of the housing 100.
JP 2001-208061 A

しかしながら、上記従来例の静圧軸受には以下の課題があった。
軸受部材１０５、１０６をフランジ付きスリーブ形状に一体成形するには、別途型を製作して成形加工してから更に機械加工する方法と、ブランク材から切削等の機械加工を行う方法とのいずれかが用いられるが、成形加工では別途の型費が必要になり、切削加工等を行う場合には、加工量が多く、加工時間が多くなると共に、材料費が高くなる。このように、成形、切削のどちらの加工方法を選択したとしても加工費用や、材料費用が高くなるという問題があった。
また、多孔質材料を用いた静圧軸受では、一般的に給気流量を調整するために多孔質材料の一部の孔を目詰まりさせる工程が必要であるが、所定の給気流量になるよう目詰まりをさせるには、試行錯誤を繰り返す必要があり、加工時間を増大させる原因となっていた。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、軸受部品の加工費用が高額にならず、目詰まりによる吸気流量の調整が不要になるような静圧軸受を提供することを主な目的とする。 However, the conventional hydrostatic bearing has the following problems.
In order to integrally form the bearing members 105 and 106 into a flanged sleeve shape, either a method of manufacturing a separate die and then performing further machining, or a method of performing machining such as cutting from a blank material is performed. However, a separate mold cost is required for the forming process, and in the case of performing a cutting process or the like, the processing amount increases, the processing time increases, and the material cost increases. As described above, there is a problem that the processing cost and the material cost become high regardless of which one of the processing methods of molding and cutting is selected.
In addition, in a hydrostatic bearing using a porous material, a process of clogging some holes in the porous material is generally required to adjust the air supply flow rate. Such clogging requires repeated trial and error, which increases the processing time.
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems. It is an object of the present invention to provide a hydrostatic bearing that does not require high processing costs for bearing parts and eliminates the need for adjustment of the intake flow rate due to clogging. With a purpose.

上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、被支持体に対向する軸受面を備える軸受部材を有し、前記被支持体に向けて設けられた開口部から圧縮空気を噴出し、前記軸受部材と前記被支持体との間で静圧を発生させることで前記被支持体を軸支する静圧軸受において、前記開口部と、前記開口部よりも小径の絞り部とからなるオリフィス絞りを有し、複数の前記オリフィス絞りを近接配置してオリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする静圧軸受とした。
この静圧軸受では、多孔質材料を用いる代わりに、絞り部を有するオリフィス絞りを用いて被支持体を軸支する構成を有し、さらに複数のオリフィス絞りが集中的に配置されたオリフィス絞り群を複数形成してある。オリフィス絞りから噴出する圧縮空気は、同じオリフィス絞り群内の他のオリフィス絞りから噴出する圧縮空気と干渉して気体膜を形成し、この気体膜で被支持体を軸支する。 The invention according to claim 1 of the present invention for solving the above-mentioned problems has a bearing member having a bearing surface facing the supported body, and jets compressed air from an opening provided toward the supported body. In the hydrostatic bearing that pivotally supports the supported body by generating a static pressure between the bearing member and the supported body, the opening portion and the throttle portion having a smaller diameter than the opening portion. The hydrostatic bearing is characterized in that a plurality of orifice restrictors are formed by arranging a plurality of orifice restrictors close to each other.
In this hydrostatic bearing, instead of using a porous material, an orifice restrictor group having a configuration in which a supported body is supported by using an orifice restrictor having a restricting portion, and a plurality of orifice restrictors are concentratedly arranged. A plurality of are formed. The compressed air ejected from the orifice restrictor interferes with the compressed air ejected from other orifice restrictors in the same orifice restrictor group to form a gas film, and the supported body is supported by the gas film.

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の静圧軸受において、隣り合う２つの前記オリフィス絞り群の間の距離は、１つの前記オリフィス絞り群に含まれる複数の前記オリフィス絞りの中で最も離れて配置された２つの前記オリフィス絞りの間の距離よりも大きいことを特徴とする。
この静圧軸受では、１つのオリフィス絞り群を形成する複数のオリフィス絞り同士の距離が、各オリフィス絞りから噴出する圧縮空気が干渉するように設定されている。これに対して、隣り合う２つのオリフィス絞り群の間の距離は、圧縮空気が干渉しないように設定されている。 According to a second aspect of the present invention, in the hydrostatic bearing according to the first aspect, the distance between the two orifice throttle groups adjacent to each other is within the plurality of orifice throttles included in one orifice throttle group. It is characterized in that it is larger than the distance between the two orifice throttles arranged farthest apart.
In this hydrostatic bearing, the distance between a plurality of orifice restrictors forming one orifice restrictor group is set so that the compressed air ejected from each orifice restrictor interferes. On the other hand, the distance between two adjacent orifice throttle groups is set so that the compressed air does not interfere.

請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受において、前記オリフィス絞り群は、前記軸受部材に着脱自在に構成されていることを特徴とする。
この静圧軸受では、オリフィス絞り群は軸受部材と別に加工成形されたものが用いられる。これによって、製造が容易になる。また、例えば、オリフィス絞り群を構成するオリフィス絞りの数や、オリフィス絞りの大きさを容易に変化させることができる。 The invention according to claim 3 is the hydrostatic bearing according to claim 1 or 2, wherein the orifice throttle group is configured to be detachable from the bearing member.
In this hydrostatic bearing, the orifice throttle group is processed and molded separately from the bearing member. This facilitates manufacturing. Further, for example, the number of orifice diaphragms constituting the orifice diaphragm group and the size of the orifice diaphragm can be easily changed.

請求項４に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受において、前記軸受部材に前記絞り部が形成され、前記軸受部材の前記軸受面側に装着される環状部材に前記開口部が形成されており、前記環状部材を前記軸受部材に装着することで前記オリフィス絞りが形成されていることを特徴とする。
この静圧軸受では、開口径の異なる絞り部と開口部とを別々の部材から製造し、絞り部と開口部とが一致するように環状部材を装着することでオリフィス絞りおよびオリフィス絞り群を形成する。 The invention according to claim 4 is the hydrostatic bearing according to claim 1 or 2, wherein the throttle part is formed in the bearing member, and the annular member mounted on the bearing surface side of the bearing member An opening is formed, and the orifice restrictor is formed by mounting the annular member on the bearing member.
In this hydrostatic bearing, an orifice restrictor and an orifice restrictor group are formed by manufacturing a restrictor and an opening having different opening diameters from different members and attaching an annular member so that the restrictor and the opening coincide with each other. To do.

請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の静圧軸受において、前記被支持体は、フランジが突設された回転軸であって、前記回転軸のラジアル方向を軸支するラジアル軸受部と、前記回転軸のスラスト方向を軸支するスラスト軸受部とを別体で構成し、ラジアル軸受部および前記スラスト軸受部のそれぞれの軸受面側に、前記オリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする。
この静圧軸受は、ラジアル軸受部とスラスト軸受部とを別体で構成したので、複雑な金型などを用いる必要がなくなる。また、加工量が増大することがなくなり、製作費用が安価になる。 According to a fifth aspect of the present invention, in the hydrostatic bearing according to any one of the first to fourth aspects, the supported body is a rotary shaft with a flange projecting thereon, A radial bearing portion that supports the radial direction and a thrust bearing portion that supports the thrust direction of the rotary shaft are configured separately, and the orifice is provided on each bearing surface side of the radial bearing portion and the thrust bearing portion. A plurality of aperture groups are formed.
In this hydrostatic bearing, since the radial bearing portion and the thrust bearing portion are formed separately, it is not necessary to use a complicated mold. Further, the processing amount is not increased, and the manufacturing cost is reduced.

本発明によれば、多孔質材料を使用しないので、目詰まり調整等が不要であり、製造が容易である。また、オリフィス絞りの配置が粗な部分と密な部分とを形成し、オリフィス絞りが密に配置された部分で開口部から噴出する圧縮空気を干渉させるようにしたので、軸受部分の剛性を向上させることができる。   According to the present invention, since no porous material is used, clogging adjustment and the like are unnecessary, and manufacturing is easy. In addition, the arrangement of the orifice restrictor forms a rough part and a dense part, and the compressed air ejected from the opening part interferes with the part where the orifice restrictor is densely arranged, so the rigidity of the bearing part is improved. Can be made.

〔第１の実施の形態〕
本発明の第１の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
最初に、被支持体について説明する。図１に示すように、被支持体は、静圧軸受１に軸支される回転軸２であり、回転軸２は、中実の円柱部２Ａの一部にフランジ２Ｂが径方向外側に環状に突設されている。 [First Embodiment]
A first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
First, the supported body will be described. As shown in FIG. 1, the supported body is a rotating shaft 2 that is pivotally supported by a hydrostatic bearing 1, and the rotating shaft 2 has a flange 2B annularly formed radially outward in a part of a solid cylindrical portion 2A. Projected to

静圧軸受１は、回転軸２の円柱部２Ａをラジアル方向で軸支するラジアル軸受部３と、フランジ２Ｂをスラスト方向で軸支するスラスト軸受部４とを有している。
ラジアル軸受部３は、回転軸２の円柱部２Ａを隙間５をもって覆う環状のラジアル軸受部材１０と、ラジアル軸受部材１０の外周を覆う環状のハウジング１１とを有している。ラジアル軸受部材１０は、その内周面が回転軸２に臨むラジアル軸受面１２になっている。さらに、ラジアル軸受部材１０の外周面側には、給気溜まり１３が外周側の全周に亘って凹設されている。給気溜まり１３の長さは、ラジアル軸受部材１０の軸方向に沿って所定長さになっており、圧縮空気を導入できるようになっている。さらに、この給気溜まり１３の底面（内周側の面）で、かつ軸線方向の両方の端部の近傍のそれぞれには、給気マニホールド１４が全周に亘って環状に凹設されている。この給気マニホールド１４からは、ラジアル軸受部材１０の軸線に向けて、オリフィス絞り群１５が形成されている。オリフィス絞り群１５は、ラジアル軸受部材１０の軸線の方向の複数箇所に形成されており、図２に示すように、軸線に直交する断面視では同一円周上に４箇所形成されている。この実施の形態では、図１に示すように、ラジアル軸受部材１０の軸線方向に２箇所形成されており、図２とは異なる断面上でもオリフィス絞り群１５が同一円周上に４箇所形成されている。したがって、このラジアル軸受部３には、２列で一列あたり４箇所の合計８つのオリフィス絞り群１５が形成されている。 The hydrostatic bearing 1 has a radial bearing portion 3 that supports the cylindrical portion 2A of the rotary shaft 2 in the radial direction, and a thrust bearing portion 4 that supports the flange 2B in the thrust direction.
The radial bearing portion 3 includes an annular radial bearing member 10 that covers the cylindrical portion 2 </ b> A of the rotating shaft 2 with a gap 5, and an annular housing 11 that covers the outer periphery of the radial bearing member 10. The radial bearing member 10 has a radial bearing surface 12 whose inner peripheral surface faces the rotary shaft 2. Further, an air supply reservoir 13 is recessed on the outer peripheral surface side of the radial bearing member 10 over the entire outer periphery. The length of the air supply reservoir 13 is a predetermined length along the axial direction of the radial bearing member 10 so that compressed air can be introduced. Further, an air supply manifold 14 is annularly recessed over the entire circumference at the bottom surface (inner peripheral surface) of the air supply reservoir 13 and in the vicinity of both ends in the axial direction. . From this air supply manifold 14, an orifice throttle group 15 is formed toward the axis of the radial bearing member 10. The orifice restricting groups 15 are formed at a plurality of locations in the axial direction of the radial bearing member 10, and, as shown in FIG. 2, are formed at four locations on the same circumference in a cross-sectional view orthogonal to the axis. In this embodiment, as shown in FIG. 1, two locations are formed in the axial direction of the radial bearing member 10, and four orifice restricting groups 15 are formed on the same circumference even on a cross section different from FIG. ing. Therefore, the radial bearing portion 3 is formed with a total of eight orifice restricting groups 15 in four locations in two rows.

各オリフィス絞り群１５は、２つのオリフィス絞り１６が軸線方向に配列して形成されている。オリフィス絞り１６は、給気溜まり１３に連通する絞り部であるノズル１７と、ノズル１７よりも大径でラジアル軸受面１２に開口する開口部であるポケット１８とからなる。１つのオリフィス絞り群１５を構成する２つのオリフィス絞り１６は、近接して設けられており、この近接する２つのオリフィス絞り１６のそれぞれから噴出される圧縮空気が互いに干渉して乱流状態を形成するようになっている。これに対して、隣り合う２つのオリフィス絞り群１５の間では、それぞれのノズル１７の内で最も近くにあるノズル１７の中心間の距離は、１つのオリフィス絞り群１５の中のノズル１７の中心間の距離よりも十分に大きい。つまり、図２で周方向のノズル１７の中心間の距離Ｌ１よりも図１に示すオリフィス絞り群１５の中の２つのノズル１７の中心間の距離Ｌ２の方が小さい。さらに、図１で軸線方向に離間して配置される２つのオリフィス絞り群１５の間で最も近いノズル１７の中心間の距離Ｌ３は、１つのオリフィス絞り群１５の中の２つのノズル１７の中心間の距離Ｌ２よりも十分に大きい。このように、この静圧軸受１のラジアル軸受部３は、軸線方向および周方向のそれぞれにおいてオリフィス絞り１６が粗な部分と密な部分とが形成されている。   Each orifice throttle group 15 is formed by arranging two orifice throttles 16 in the axial direction. The orifice throttle 16 includes a nozzle 17 that is a throttle portion that communicates with the air supply reservoir 13, and a pocket 18 that is an opening that is larger in diameter than the nozzle 17 and opens in the radial bearing surface 12. The two orifice restrictors 16 constituting one orifice restrictor group 15 are provided close to each other, and the compressed air ejected from each of the two adjacent orifice restrictors 16 interferes with each other to form a turbulent flow state. It is supposed to be. On the other hand, the distance between the centers of the nozzles 17 closest to each other between the two orifice restriction groups 15 is the center of the nozzles 17 in one orifice restriction group 15. Large enough than the distance between. That is, the distance L2 between the centers of the two nozzles 17 in the orifice throttle group 15 shown in FIG. 1 is smaller than the distance L1 between the centers of the nozzles 17 in the circumferential direction in FIG. Further, the distance L3 between the centers of the nozzles 17 that are closest to each other between the two orifice throttle groups 15 that are spaced apart in the axial direction in FIG. 1 is the center of the two nozzles 17 in one orifice throttle group 15. It is sufficiently larger than the distance L2. Thus, the radial bearing portion 3 of the hydrostatic bearing 1 is formed with a rough portion and a dense portion of the orifice restrictor 16 in each of the axial direction and the circumferential direction.

ここで、１つの円周上に形成されるオリフィス絞り群１５の数は、４つに限定されない。また、軸線方向におけるオリフィス絞り群１５の数は、２つに限定されない。さらに、１つのオリフィス絞り群１５を構成するオリフィス絞り１６の数は、３つ以上でも良い。この場合には、１つのオリフィス絞り群１５内の最も離れて配置される２つのノズル１７の中心間の距離よりも、隣り合う２つのオリフィス絞り群１５の間で最も近い２つのノズル１７の中心間の距離の方が、大きく設定される。   Here, the number of orifice restriction groups 15 formed on one circumference is not limited to four. Further, the number of orifice restriction groups 15 in the axial direction is not limited to two. Further, the number of orifice restrictors 16 constituting one orifice restrictor group 15 may be three or more. In this case, the centers of the two nozzles 17 closest to each other between the two adjacent orifice throttle groups 15 are larger than the distance between the centers of the two nozzles 17 arranged farthest in one orifice throttle group 15. The distance between is set larger.

ハウジング１１は、給気溜まり１３の外周部分を塞ぐようにラジアル軸受部材１０に取り付けられており、接着剤、または不図示のＯリングによって気密構造を形成するように固定されている。このハウジング１１には、給気孔１９がラジアル軸受部材１０の給気溜まり１３に連通するように穿設されている。さらに、ハウジング１１およびラジアル軸受部材１０を径方向に貫通するように排気孔２０が穿設されている。   The housing 11 is attached to the radial bearing member 10 so as to close the outer peripheral portion of the air supply reservoir 13, and is fixed so as to form an airtight structure by an adhesive or an O-ring (not shown). An air supply hole 19 is formed in the housing 11 so as to communicate with the air supply reservoir 13 of the radial bearing member 10. Further, an exhaust hole 20 is formed so as to penetrate the housing 11 and the radial bearing member 10 in the radial direction.

また、スラスト軸受部４は、ラジアル軸受部材１０、およびハウジング１１の共通端面に密着する第１スラスト軸受部材２１Ａと、第１スラスト軸受部材２１Ａに環状のスペーサ２２を介して連結される第２スラスト軸受部材２１Ｂとを有している。これらスラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂおよびスペーサ２２には、回転軸２との間で、前記と同様の隙間５が形成されている。   The thrust bearing portion 4 includes a radial bearing member 10, a first thrust bearing member 21 </ b> A that is in close contact with the common end surface of the housing 11, and a second thrust that is coupled to the first thrust bearing member 21 </ b> A via an annular spacer 22. Bearing member 21B. A gap 5 similar to the above is formed between the thrust bearing members 21 </ b> A and 21 </ b> B and the spacer 22 with the rotary shaft 2.

第１スラスト軸受部材２１Ａは、環状の部材からなり、回転軸２のフランジ２Ｂの一方の面に臨むスラスト軸受面２４Ａに開口するオリフィス絞り群２５Ａが形成されている。図３に示すように、オリフィス絞り群２５Ａは、軸線に直交する断面において周方向に等間隔で４つ形成されている。１つのオリフィス絞り群２５Ａには、２つのオリフィス絞り２６Ａが径方向に並んで配設されている。図１に示すように、各オリフィス絞り２６Ａは、環状の給気溜まり２７Ａに連通する絞り部であるノズル２８Ａと、ノズル２８Ａよりも大径で、スラスト軸受面２４Ａに開口する開口部であるポケット２９Ａとからなる。１つのオリフィス絞り群２５Ａにおける２つのオリフィス絞り２６Ａは、近接して設けられており、この近接する互いのオリフィス絞り２６Ａから噴出される圧縮空気が互いに干渉して乱流状態を形成するように配置間隔が設定されている。これに対して周方向でのオリフィス絞り２６Ａの中心間の距離Ｌ４は、１つのオリフィス絞り群２５Ａの中での２つのオリフィス絞り２６Ａの中心間の距離Ｌ５に比べて十分に大きい。このように、この静圧軸受１のスラスト軸受部４は、周方向においてオリフィス絞り２６Ａが粗な部分と密な部分とが形成されている。   The first thrust bearing member 21A is formed of an annular member, and is formed with an orifice throttle group 25A that opens to a thrust bearing surface 24A facing one surface of the flange 2B of the rotary shaft 2. As shown in FIG. 3, four orifice restricting groups 25A are formed at equal intervals in the circumferential direction in a cross section orthogonal to the axis. Two orifice restrictors 26A are arranged in the radial direction in one orifice restrictive group 25A. As shown in FIG. 1, each orifice restrictor 26A includes a nozzle 28A that is a restrictor communicating with an annular air supply reservoir 27A, and a pocket that is an opening that is larger in diameter than the nozzle 28A and opens to the thrust bearing surface 24A. 29A. The two orifice restrictors 26A in one orifice restrictor group 25A are provided close to each other, and are arranged so that the compressed air ejected from the adjacent orifice restrictors 26A interfere with each other to form a turbulent state. An interval is set. On the other hand, the distance L4 between the centers of the orifice restrictors 26A in the circumferential direction is sufficiently larger than the distance L5 between the centers of the two orifice restrictors 26A in one orifice restrictor group 25A. Thus, the thrust bearing portion 4 of the hydrostatic bearing 1 is formed with a rough portion and a dense portion of the orifice restrictor 26A in the circumferential direction.

ここで、周方向におけるオリフィス絞り群２５Ａの数は、４つに限定されない。また、１つのオリフィス絞り群２５Ａを構成するオリフィス絞り２６Ａの数は、３つ以上でも良い。この場合には、１つのオリフィス絞り群２５Ａ内の最も離れて配置される２つのノズル２８Ａの中心間の距離よりも、近接する２つのオリフィス絞り群２５Ａの間で最も近い２つのノズル２８Ａの中心間の距離の方が大きく設定される。   Here, the number of orifice restriction groups 25A in the circumferential direction is not limited to four. Further, the number of orifice restrictors 26A constituting one orifice restrictive group 25A may be three or more. In this case, the centers of the two nozzles 28A closest to each other between the two orifice throttle groups 25A which are adjacent to each other than the distance between the centers of the two nozzles 28A which are arranged farthest in the orifice orifice group 25A. The distance between is set larger.

なお、給気溜まり２７Ａは、給気経路３０に連結しており、この給気経路３０は、スペーサ２２を貫通し、第２スラスト軸受部材２１Ｂの給気孔３１に接続され、給気孔３１を介して外部の圧縮空気の供給源に接続可能になっている。   The air supply reservoir 27A is connected to the air supply path 30. The air supply path 30 passes through the spacer 22, is connected to the air supply hole 31 of the second thrust bearing member 21B, and is connected via the air supply hole 31. And can be connected to an external compressed air supply source.

第２スラスト軸受部材２１Ｂは、環状の部材からなり、回転軸２のフランジ２Ｂの他方の面に臨むスラスト軸受面２４Ｂにオリフィス絞り群２５Ｂが形成されている。オリフィス絞り群２５Ｂは、周方向に複数形成されており、各オリフィス絞り群２５Ｂには、スラスト軸受面２４Ｂに開口する２つのオリフィス絞り２６Ｂが近接配置されている。各オリフィス絞り２６Ｂは、絞り部であるノズル２８Ｂと、ノズル２８Ｂよりも大径な開口部であるポケット２９Ｂとからなる。なお、第２スラスト軸受部材２１Ｂにおいて、１つのオリフィス絞り群２５Ｂを構成するオリフィス絞り２６Ｂの配置間隔は、オリフィス絞り２６Ａの配置間隔に等しい。さらに、各オリフィス絞り群２５Ｂと、第１スラスト軸受部材２１Ａの各オリフィス絞り群２５Ａとは、周方向で一致する位置に配設されているが、オリフィス絞り群２５Ｂの形成位置をオリフィス絞り群２５Ａに対して周方向にずらしても良い。   The second thrust bearing member 21B is an annular member, and an orifice throttle group 25B is formed on a thrust bearing surface 24B facing the other surface of the flange 2B of the rotary shaft 2. A plurality of orifice restrictive groups 25B are formed in the circumferential direction, and two orifice restrictors 26B that open to the thrust bearing surface 24B are arranged close to each orifice restrictive group 25B. Each orifice restrictor 26B includes a nozzle 28B that is a restrictor and a pocket 29B that is an opening having a larger diameter than the nozzle 28B. In the second thrust bearing member 21B, the arrangement interval of the orifice orifices 26B constituting one orifice orifice group 25B is equal to the arrangement interval of the orifice orifices 26A. Further, each orifice restricting group 25B and each orifice restricting group 25A of the first thrust bearing member 21A are arranged at positions that coincide with each other in the circumferential direction. May be shifted in the circumferential direction.

また、第２スラスト軸受部材２１Ｂには、オリフィス絞り群２５Ｂに連通する環状の給気溜まり２７Ｂが形成されており、この給気溜まり２７Ｂは給気孔３１を介して不図示の圧縮空気の供給源に接続可能になっている。さらに、スラスト軸受面２４Ｂとは反対側の面はフタ３２が配置され、不図示のボルト、または接着剤によってスラスト軸受部材２１Ｂと一体的に固定されている。   The second thrust bearing member 21B is formed with an annular supply reservoir 27B communicating with the orifice throttle group 25B. The supply reservoir 27B is supplied via a supply hole 31 with a compressed air supply source (not shown). Can be connected to. Further, a lid 32 is disposed on the surface opposite to the thrust bearing surface 24B, and is fixed integrally with the thrust bearing member 21B by a bolt or an adhesive (not shown).

次に、静圧軸受１の作用について説明する。
不図示の供給源からラジアル軸受部３の給気孔１９に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は給気孔１９、給気溜まり１３を通過して、給気マニホールド１４からオリフィス絞り１６へ到達する。さらに、圧縮空気は、オリフィス絞り１６のポケット１８を通過して回転軸２の円柱部２Ａに噴射される。この際、１つのポケット１８から噴射された圧縮空気は、同じオリフィス絞り群１５の他のポケット１８から噴射された圧縮空気と干渉する。これによって、圧縮空気の乱流状態が局所的に形成され、オリフィス絞り１６を軸受部材に１つだけ配置した時と比較して軸受の剛性が高まる。 Next, the operation of the hydrostatic bearing 1 will be described.
When compressed air is supplied from a supply source (not shown) to the air supply hole 19 of the radial bearing portion 3, the compressed air passes through the air supply hole 19 and the air supply reservoir 13 and reaches the orifice restrictor 16 from the air supply manifold 14. . Further, the compressed air passes through the pocket 18 of the orifice restrictor 16 and is injected into the cylindrical portion 2 </ b> A of the rotating shaft 2. At this time, the compressed air injected from one pocket 18 interferes with the compressed air injected from the other pocket 18 of the same orifice throttle group 15. Thereby, a turbulent state of compressed air is locally formed, and the rigidity of the bearing is increased as compared with the case where only one orifice restrictor 16 is disposed on the bearing member.

また、不図示の供給源からスラスト軸受部４の給気孔３１に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、給気孔３１、給気溜まり２７Ａ，２７Ｂを通過して、オリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂへ到達する。さらに、圧縮空気は、オリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂのポケット２９Ａ，２９Ｂを通過して回転軸２のフランジ２Ｂに噴射される。この際、１つのポケット２９Ａ，２９Ｂから噴射された圧縮空気は、同じオリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂの他のポケット２９Ａ，２９Ｂから噴射された圧縮空気と干渉する。これによって、圧縮空気の乱流状態が局所的に形成され、オリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂを軸受部材に１つだけ配置した時と比較して軸受の剛性が高まる。なお、噴射された圧縮空気は、隙間５を通過して排気孔２０、および回転軸２とラジアル軸受部材１０との隙間５を通過してラジアル軸受部材１０の端部やフタ３２の端部から外部へ、およびフランジ部２Ｂとスラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂとの隙間を通過して該スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂにそれぞれ穿設した排気孔３３を介して外部へ排出される。   Further, when compressed air is supplied from a supply source (not shown) to the air supply hole 31 of the thrust bearing portion 4, the compressed air passes through the air supply hole 31 and the air supply reservoirs 27A and 27B to the orifice restrictors 26A and 26B. To reach. Further, the compressed air passes through the pockets 29A and 29B of the orifice restrictors 26A and 26B and is injected to the flange 2B of the rotary shaft 2. At this time, the compressed air injected from one pocket 29A, 29B interferes with the compressed air injected from the other pockets 29A, 29B of the same orifice throttle group 25A, 25B. Thereby, a turbulent state of compressed air is locally formed, and the rigidity of the bearing is increased as compared with the case where only one orifice restrictor 26A, 26B is arranged on the bearing member. The injected compressed air passes through the gap 5 and passes through the exhaust hole 20 and the gap 5 between the rotary shaft 2 and the radial bearing member 10 and from the end of the radial bearing member 10 and the end of the lid 32. It is discharged to the outside through the exhaust hole 33 formed in each of the thrust bearing members 21A and 21B through the clearance between the flange portion 2B and the thrust bearing members 21A and 21B.

この実施の形態によれば、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂを近接して配置することでオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを形成したので、従来の多孔質絞りと同様に圧縮空気の乱流を発生させることができ、このとき形成される気体膜によって回転軸２を非接触で軸支することができる。さらに、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂが集中して配置されることで、軸受部分の剛性を向上させることができる。ここで、ラジアル軸受部３とスラスト軸受部４とを別体で構成したので、製造が容易になる。また、多孔質材料を使用しないので、目詰まり調整等が不要になる。   According to this embodiment, the orifice throttle groups 15, 25A, 25B are formed by arranging the orifice throttles 16, 26A, 26B close to each other. The rotating shaft 2 can be supported in a non-contact manner by the gas film formed at this time. Furthermore, since the orifice restrictors 16, 26A, and 26B are arranged in a concentrated manner, the rigidity of the bearing portion can be improved. Here, since the radial bearing portion 3 and the thrust bearing portion 4 are configured separately, the manufacture becomes easy. Further, since no porous material is used, it is not necessary to adjust clogging.

なお、同一円周上に複数のオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを配置した例を示したが、これに限らず、オリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを１つの円周を基準にして径方向の内側と外側とにずらして交互に配置したり、他の曲率を有する円周上に一定間隔離して千鳥状に複数配置したりしても同様の効果を有することができる。   In addition, although the example which has arrange | positioned the several orifice aperture groups 15, 25A, 25B on the same circumference was shown, not only this but the orifice throttle groups 15, 25A, 25B are radial direction on the basis of one circumference. The same effect can be obtained even if they are alternately arranged on the inner side and the outer side, or are arranged in a staggered manner on the circumference having other curvatures while being spaced apart from each other by a certain distance.

［第２の実施の形態］
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図４に示すように、静圧軸受１Ａは、ラジアル軸受部３のラジアル軸受部材１０に給気溜まり１３とラジアル軸受面１２の内周側とを連通させる挿入孔４０が形成されている。挿入孔４０は、第１の実施の形態におけるオリフィス絞り群１５と同じ配置で形成されている。すなわち、軸線方向に２列、かつ同一円周上に等間隔に４つで合計８つ形成されている。この挿入孔４０には、絞りピン４１が装着されており、絞りピン４１にオリフィス絞り群１５および給気マニホールド１４が形成されている。絞りピン４１は、接着等によってラジアル軸受部材１０に固定されている。 [Second Embodiment]
A second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the description which overlaps with 1st Embodiment is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 4, the hydrostatic bearing 1 </ b> A has an insertion hole 40 that allows the air supply reservoir 13 and the inner peripheral side of the radial bearing surface 12 to communicate with the radial bearing member 10 of the radial bearing portion 3. The insertion hole 40 is formed in the same arrangement as the orifice throttle group 15 in the first embodiment. That is, a total of eight are formed in two rows in the axial direction and four at equal intervals on the same circumference. A throttle pin 41 is attached to the insertion hole 40, and an orifice throttle group 15 and an air supply manifold 14 are formed on the throttle pin 41. The aperture pin 41 is fixed to the radial bearing member 10 by adhesion or the like.

同様に、スラスト軸受部４の第１、第２スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂには、給気溜まり２７Ａ，２７Ｂとスラスト軸受面２４Ａ，２４Ｂの内周側とを連通させる挿入孔４２Ａ，４２Ｂがそれぞれ形成されている。挿入孔４２Ａ，４２Ｂは、第１の実施の形態におけるオリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂと同じ配置で形成されている。すなわち、同一円周上に４つ等間隔で形成されている。この挿入孔４２Ａ、４２Ｂには、絞りピン４３Ａ，４３Ｂが装着されており、絞りピン４３Ａ，４３Ｂには、給気溜まり２７Ａ，２７Ｂに連通する環状の給気マニホールド４４Ａ，４４Ｂと、オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂとが形成されている。絞りピン４３Ａ，４３Ｂは、接着等によって各スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂに固定されている。   Similarly, the first and second thrust bearing members 21A and 21B of the thrust bearing portion 4 have insertion holes 42A and 42B for communicating the air supply reservoirs 27A and 27B with the inner peripheral sides of the thrust bearing surfaces 24A and 24B, respectively. Is formed. The insertion holes 42A and 42B are formed in the same arrangement as the orifice throttle groups 25A and 25B in the first embodiment. That is, four are formed at equal intervals on the same circumference. The insertion holes 42A and 42B are fitted with throttle pins 43A and 43B. The throttle pins 43A and 43B have annular supply manifolds 44A and 44B communicating with the supply reservoirs 27A and 27B, and orifice restriction groups. 25A and 25B are formed. The aperture pins 43A and 43B are fixed to the thrust bearing members 21A and 21B by adhesion or the like.

ここで、この静圧軸受１Ａにおけるオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの配置、及びオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂの配置及び数は、第一の実施の形態と同じになっている。しかしながら、これらの配置や数、挿入孔４０，４２Ａ，４２Ｂの配置や数は、第１の実施の形態と同様に種々の配置にすることができる。また、１つの絞りピン４１，４３Ａ，４３Ｂに形成されるオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの数は、３つ以上でも良い。   Here, the arrangement of the orifice restrictors 16, 26A, 26B and the arrangement and number of the orifice restrictors 15, 25A, 25B in the hydrostatic bearing 1A are the same as those in the first embodiment. However, the arrangement and number of these and the arrangement and number of the insertion holes 40, 42A, and 42B can be variously arranged as in the first embodiment. Further, the number of orifice restrictors 16, 26A, 26B formed on one restrictor pin 41, 43A, 43B may be three or more.

この実施の形態では、オリフィス絞り群１５、２５Ａ，２５Ｂを絞りピン４１、４３Ａ、４３Ｂに形成することによって、各軸受部材１０，２１Ａ，２１Ｂに直接にオリフィス絞り群１５、２５Ａ，２５Ｂを形成するよりも、加工が容易になる。さらに、給気量を微調整したい場合には、ノズル１７，２８Ａ，２８Ｂの直径やポケット１８，２９Ａ，２９Ｂの直径、深さなどを変更した絞りピン４１，４３Ａ、４３Ｂに交換することで容易に対応することができる。その他の効果は、第１の実施の形態と同じである。   In this embodiment, the orifice restricting groups 15, 25A, 25B are formed on the restricting pins 41, 43A, 43B, thereby forming the orifice restricting groups 15, 25A, 25B directly on the bearing members 10, 21A, 21B. It becomes easier to process. Further, when it is desired to finely adjust the air supply amount, it is easy to replace the throttle pins 41, 43A, 43B with the diameters of the nozzles 17, 28A, 28B and the diameters, depths, etc. of the pockets 18, 29A, 29B changed. It can correspond to. Other effects are the same as those of the first embodiment.

なお、ラジアル軸受部３、スラスト軸受部４共に絞りピン４１，４３Ａ，４３Ｂを使用する例を示したが、ラジアル軸受部３、またはスラスト軸受部４のどちらか一方のみに絞りピン４１，４３Ａ，４３Ｂを使用しても同様の効果が得られる。
また、円筒形状のピン４１，４３Ａ，４３Ｂの外周部に雄ネジを形成し、軸受部材１０，２１Ａ，２１Ｂの挿入孔４０，４２Ａ，４２Ｂの内周部に雌ネジを形成し、ピン４１，４３Ａ，４３Ｂを挿入孔４０，４２Ａ，４２Ｂに螺入することで固定しても良い。この場合は、前記した効果に加えてピン４１，４３Ａ，４３Ｂの着脱が容易になる。 In addition, although the example which uses throttle pin 41, 43A, 43B was shown for both the radial bearing part 3 and the thrust bearing part 4, the throttle pin 41, 43A, only to either the radial bearing part 3 or the thrust bearing part 4 was shown. The same effect can be obtained by using 43B.
Further, male screws are formed on the outer peripheral portions of the cylindrical pins 41, 43A, 43B, and female screws are formed on the inner peripheral portions of the insertion holes 40, 42A, 42B of the bearing members 10, 21A, 21B. 43A and 43B may be fixed by screwing into the insertion holes 40, 42A and 42B. In this case, the pins 41, 43A, and 43B can be easily attached and detached in addition to the effects described above.

［第３の実施の形態］
本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図５に示すように、静圧軸受１Ｂは、ラジアル軸受部材１０の内周側に環状の取付溝５１が形成されており、ここに環状部材であるラジアル絞りリング５２が装着されている。ラジアル絞りリング５２は、その内周面でラジアル軸受面１２を形成し、ラジアル方向の軸受として、ポケット１８のみが形成されている。ラジアル軸受部材１０側には、ノズル１７がポケット１８と連通可能に穿設されている。したがって、ラジアル絞りリング５２を装着することでオリフィス絞り１６およびオリフィス絞り群１５が形成される。この際のオリフィス絞り１６およびオリフィス絞り群１５の数および配置は、第１の実施の形態と同じである。 [Third Embodiment]
A third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the description which overlaps with 1st Embodiment is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 5, the hydrostatic bearing 1 </ b> B has an annular mounting groove 51 formed on the inner peripheral side of the radial bearing member 10, and a radial throttle ring 52 that is an annular member is attached thereto. The radial aperture ring 52 forms a radial bearing surface 12 on its inner peripheral surface, and only the pocket 18 is formed as a radial bearing. On the radial bearing member 10 side, a nozzle 17 is bored so as to communicate with the pocket 18. Therefore, the orifice restriction 16 and the orifice restriction group 15 are formed by mounting the radial restriction ring 52. The number and arrangement of the orifice restrictors 16 and the orifice restrictor groups 15 at this time are the same as those in the first embodiment.

同様に、スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂのスラスト軸受面２４Ａ，２４Ｂ側に環状の取付溝５３Ａ，５３Ｂが形成されており、ここに環状部材であるスラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂが装着されている。スラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂは、スラスト軸受面２４Ａ，２４Ｂを形成し、スラスト方向の軸受として、オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂが４つずつ形成されている。オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂと、オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂを構成するオリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂの数および配置は、第１の実施の形態と同じである。   Similarly, annular mounting grooves 53A and 53B are formed on the thrust bearing surfaces 24A and 24B side of the thrust bearing members 21A and 21B, and thrust throttle rings 54A and 54B, which are annular members, are attached thereto. The thrust throttle rings 54A and 54B form thrust bearing surfaces 24A and 24B, and four orifice throttle groups 25A and 25B are formed as bearings in the thrust direction. The number and arrangement of the orifice restrictors 25A and 25B and the orifice restrictors 26A and 26B constituting the orifice restrictors 25A and 25B are the same as those in the first embodiment.

この実施の形態では、ラジアル絞りリング５２、スラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂを装着することで、オリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂが形成されるようにしたので、軸受部材１０，２１Ａ，２１Ｂに直接にオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを形成するよりも、加工が容易になる。さらに、給気量を微調整したい場合には、ポケット１８，２９Ａ，２９Ｂの直径を変更したラジアル絞りリング５２、スラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂに交換することで容易に対応することができる。また、オリフィス絞り１６をラジアル軸受部材１０側と、ラジアル絞りリング５２とに分割したので、製造時にノズル１７の径や長さを調整し易い。その他の効果は、第１の実施の形態と同じである。ここにおいて、ラジアル軸受部３、スラスト軸受部４共に絞りリング５２，５４Ａ，５４Ｂを使用する例を示したが、ラジアル軸受部３、またはスラスト軸受部４のどちらか一方のみに絞りリング５２，５４Ａ，５４Ｂを使用しても同様の効果を得ることができる。   In this embodiment, the orifice restricting groups 15, 25A, and 25B are formed by mounting the radial restricting ring 52 and the thrust restricting rings 54A and 54B, so that the bearing members 10, 21A, and 21B are directly formed. Processing is easier than forming the orifice throttle groups 15, 25A, 25B. Further, when it is desired to finely adjust the air supply amount, it can be easily handled by replacing the radial throttle ring 52 and the thrust throttle rings 54A and 54B with the diameters of the pockets 18, 29A and 29B being changed. Further, since the orifice restrictor 16 is divided into the radial bearing member 10 side and the radial restrictor ring 52, the diameter and length of the nozzle 17 can be easily adjusted at the time of manufacture. Other effects are the same as those of the first embodiment. Here, an example in which the throttle rings 52, 54A, 54B are used for both the radial bearing portion 3 and the thrust bearing portion 4 has been shown, but the throttle rings 52, 54A are provided only to either the radial bearing portion 3 or the thrust bearing portion 4. , 54B can be used to obtain the same effect.

なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、第２スラスト軸受部材２１Ｂに、図示しないラジアル軸受部３を連結し、スラスト軸受部４を挟むように２つのラジアル軸受部３を配設しても良い。
また、１つのオリフィス絞り群１５を構成するオリフィス絞り１６は、軸線方向に配置する代わりに周方向または径方向に近接配置しても良い。１つのオリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂを構成するオリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂは、径方向に配置する代わりに周方向または軸線方向に近接配置しても良い。 The present invention can be widely applied without being limited to the above-described embodiments.
For example, the radial bearing portion 3 (not shown) may be connected to the second thrust bearing member 21 </ b> B, and the two radial bearing portions 3 may be disposed so as to sandwich the thrust bearing portion 4.
Further, the orifice restrictors 16 constituting one orifice restrictor group 15 may be disposed close to each other in the circumferential direction or the radial direction instead of being disposed in the axial direction. Orifice restrictors 26A and 26B constituting one orifice restrictive group 25A and 25B may be arranged close to each other in the circumferential direction or the axial direction instead of being arranged in the radial direction.

本発明の実施の形態に係る静圧軸受の軸方向の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction of the hydrostatic bearing which concerns on embodiment of this invention. 図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the AA line of FIG. 図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the BB line of FIG. 静圧軸受の軸方向の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction of a hydrostatic bearing. 静圧軸受の軸方向の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction of a hydrostatic bearing. 従来の静圧軸受の軸方向の断面図である。It is sectional drawing of the axial direction of the conventional hydrostatic bearing.

符号の説明Explanation of symbols

１，１Ａ，１Ｂ 静圧軸受
２ 回転軸
３ ラジアル軸受部
４ スラスト軸受部
２Ｂ フランジ
１２ ラジアル軸受面
１５，２５Ａ，２５Ｂ オリフィス絞り群
１６，２６Ａ，２６Ｂ オリフィス絞り
１７，２８Ａ，２８Ｂ ノズル（絞り部）
１８，２９Ａ，２９Ｂ ポケット（開口部）
２４Ａ，２４Ｂ スラスト軸受面
４１，４３Ａ，４３Ｂ 絞りピン
５２ ラジアル絞りリング
５４Ａ，５４Ｂ スラスト絞りリング

1, 1A, 1B Hydrostatic bearing 2 Rotating shaft 3 Radial bearing part 4 Thrust bearing part 2B Flange 12 Radial bearing surface 15, 25A, 25B Orifice restriction group 16, 26A, 26B Orifice restriction 17, 28A, 28B Nozzle (restriction part)
18, 29A, 29B Pocket (opening)
24A, 24B Thrust bearing surface 41, 43A, 43B Throttling pin 52 Radial throttling ring 54A, 54B Thrust throttling ring

Claims (5)

被支持体に対向する軸受面を備える軸受部材を有し、前記被支持体に向けて設けられた開口部から圧縮空気を噴出し、前記軸受部材と前記被支持体との間で静圧を発生させることで前記被支持体を軸支する静圧軸受において、
前記開口部と、前記開口部よりも小径の絞り部とからなるオリフィス絞りを有し、複数の前記オリフィス絞りを近接配置してオリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする静圧軸受。 A bearing member provided with a bearing surface facing the supported body, wherein compressed air is ejected from an opening provided toward the supported body, and static pressure is applied between the bearing member and the supported body; In the hydrostatic bearing that pivotally supports the supported body by generating,
A hydrostatic bearing having an orifice restrictor comprising an opening and a restrictor having a smaller diameter than the opening, and a plurality of orifice restrictors are formed by arranging a plurality of orifice restrictors close to each other. 隣り合う２つの前記オリフィス絞り群の間の距離は、１つの前記オリフィス絞り群に含まれる複数の前記オリフィス絞りの中で最も離れて配置された２つの前記オリフィス絞りの間の距離よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。   The distance between two adjacent orifice throttle groups is greater than the distance between the two orifice diaphragms arranged farthest among the plurality of orifice throttles included in one orifice throttle group. The hydrostatic bearing according to claim 1. 前記オリフィス絞り群は、前記軸受部材に着脱自在に構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受。   The hydrostatic bearing according to claim 1, wherein the orifice throttle group is configured to be detachable from the bearing member. 前記軸受部材に前記絞り部が形成され、前記軸受部材の前記軸受面側に装着される環状部材に前記開口部が形成されており、前記環状部材を前記軸受部材に装着することで前記オリフィス絞りが形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受。   The throttle part is formed in the bearing member, the opening is formed in an annular member attached to the bearing surface side of the bearing member, and the orifice restrictor is attached by attaching the annular member to the bearing member. The hydrostatic bearing according to claim 1, wherein the hydrostatic bearing is formed. 前記被支持体は、フランジが突設された回転軸であって、前記回転軸のラジアル方向を軸支するラジアル軸受部と、前記回転軸のスラスト方向を軸支するスラスト軸受部とを別体で構成し、ラジアル軸受部および前記スラスト軸受部のそれぞれの軸受面側に、前記オリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の静圧軸受。

The supported body is a rotating shaft with a flange projecting, and a radial bearing portion that supports the radial direction of the rotating shaft and a thrust bearing portion that supports the thrust direction of the rotating shaft are separated. 5. The static pressure according to claim 1, wherein a plurality of orifice restriction groups are formed on the bearing surface side of each of the radial bearing portion and the thrust bearing portion. bearing.

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