JP2007002225A - 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平面状の表面を有する粘着剤層であって、当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有する粘着剤層を、放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤に、さらに前記アクリル系粘着剤とは相溶化しない化合物を配合した粘着剤組成物を、基材上に塗布して、粘着剤組成物層を形成する工程(1)と、前記粘着剤組成物層に、放射線照射または加熱して、前記アクリル系粘着剤を硬化させるとともに、その硬化物と前記不相溶化合物の相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成する工程(2)と、得られた粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去する工程(3)、により製造する。
【選択図】 図1
Description
放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤に、さらに前記アクリル系粘着剤とは相溶化しない化合物を配合した粘着剤組成物を、基材上に塗布して、粘着剤組成物層を形成する工程(1)と、
前記粘着剤組成物層に、放射線照射または加熱して、前記アクリル系粘着剤を硬化させとともに、その硬化物と前記不相溶化合物の相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成する工程(2)と、
得られた粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去する工程(3)、を有することを特徴とする粘着剤層の製造方法、に関する。
使用カラム:TSKgel GMH−H(S)×2本(東ソー社製)
移動相:テトラヒドロフラン
注入量:100μl
サンプル濃度:1.0g/l(テトラヒドロフラン溶液)
分散度は、重量平均分子量と数平均分子量の比として算出した。数平均分子量の測定は、重量平均分子量の測定と同一方法にて実施した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
アクリル酸2−エチルヘキシル30部、アクリル酸メチル70部、及びアクリル酸10部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリル系ポリマー(Mw:約80万〜100万,Mw/Mn:7〜9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、ポリエチレングリコール200ジメタクリレート(新中村化学社製:商品名:NKエステル4G)を35部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を3部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を2部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチルを用いて均一に混合して濃度が23重量%に調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてエチレングリコール(キシダ化学社製)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
前記粘着剤組成物溶液を、幅200mm、厚み50μmの支持体用ポリエステル系フィルムの片面に、乾燥後の厚みが35μmになるように塗布して室温で4分間にて乾燥を行い、エチレングリコールにより凹部を形成した粘着剤組成物層を形成した。次いで、粘着剤組成物層の表面に厚さ50μmのポリエステル系剥離フィルムを貼り、次に紫外線照射を行い、アクリル系粘着剤を硬化して、凹部の構造を固定化して、相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成した。その後、ポリエステル系剥離フィルムを除去し、100℃で10分間、加熱して凹部を形成しているエチレングリコールを除去し、本発明の粘着シートを得た。粘着シートは、50℃で72時間保持して粘着剤層をエージングした。
前記粘着シートをクリーニングシートとした。また、当該クリーニングシートの支持体フィルムの、前記粘着剤層(クリーニング層)の設けられていない側に、粘着剤溶液を乾燥後の厚みが20μmになるように塗布して、固定用の粘着剤層を設け、その表面にポリエステル系剥離フィルムを貼り合わせた、クリーニングシートを作製した。さらに、固定用の粘着剤層は、50℃で72時間加温して粘着剤層をエージングした。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mw約85万〜120万,Mw/Mnが8〜10)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本合成化学社製:商品名:UV1700B)を35部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチルを用いて均一に混合して濃度が18重量%に調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてエチレングリコール(キシダ化学製)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mwが約85万,Mw/Mnが9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本合成化学社製:商品名:UV1700B)を17.5部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチルを用いて均一に混合して濃度が18重量%に調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてエチレングリコール(キシダ化学製)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調製)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mwが約85万,Mw/Mnが9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本合成化学社製:商品名:UV1700B)を10部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651,チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチルを用いて均一に混合して濃度が18重量%に調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和化合物の合計100部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物としてエチレングリコール(キシダ化学製)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調整)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mw85万,Mw/Mn9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本ポリウレタン工業社製,UV1700B)を40重量部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチル、エタノールの混合溶媒で18重量%になるように調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和物の合計100重量部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物として、グリセロール(キシダ化学製)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
前記粘着剤組成物溶液を、幅200mm、厚み50μmの支持体用ポリエステル系フィルムの片面に、乾燥後の厚みが35μmになるように塗布して室温で4分間にて乾燥を行い、グリセロールにより凹部を形成した粘着剤組成物層を形成した。次いで、粘着剤組成物層の表面に厚さ50μmのポリエステル系剥離フィルムを貼り、次に紫外線照射を行い、アクリル系粘着剤を硬化して、凹部の構造を固定化して、相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成した。その後、ポリエステル系剥離フィルムを除去し、150℃で10分間、加熱して凹部を形成しているグリセロールを除去し、本発明の粘着シートを得た。粘着シートは、50℃で72時間保持して粘着剤層をエージングした。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の調整)
実施例5で調製した粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和物の合計100重量部に対して、相分離のための不相溶化合物として、グリセロール(キシダ化学製)5部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調整)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mw85万,Mw/Mn9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本ポリウレタン工業社製,UV1700B)を30重量部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチル、エタノールの混合溶媒で18重量%になるように調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和物の合計100重量部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物として、グリセロール(キシダ化学製)10部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調整)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mw85万,Mw/Mn9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本ポリウレタン工業社製,UV1700B)を20重量部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチル、エタノールの混合溶媒で18重量%になるように調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
前記粘着剤溶液に、当該溶液が含有するアクリルポリマーおよび重合性不飽和物の合計100重量部(固形分)に対して、相分離のための不相溶化合物として、グリセロール(キシダ化学製)25部を均一に混合し、紫外線硬化性アクリル系粘着剤組成物の溶液を調製した。
実施例4において調製した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液に、相分離のための不相溶化合物を添加することなく、当該紫外線硬化性アクリル系粘着剤をそのまま用いたこと以外は、実施例1と同様にして、粘着シート、クリーニングシートを作製した。
(紫外線硬化性アクリル系粘着剤の調整)
アクリル酸ブチル70部、アクリル酸エチル30部、アクリル酸1部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5部からなるモノマー混合液から得たベースポリマーであるアクリルポリマー(Mw85万,Mw/Mn9)100部に対して、重合性不飽和化合物として、多官能ウレタンアクリレート(日本ポリウレタン工業社製,UV1700B)を10重量部、架橋剤としてポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン工業社製:商品名:コロネートL)を2部およびポリエポキシ化合物(三菱瓦斯化学社製:商品名:テトラッドC)を1部、さらに光重合開始剤(イルガキュア651:チバスペシャルティケミカルズ社製)を3部添加し、さらに酢酸エチル、エタノールの混合溶媒で18重量%になるように調整した紫外線硬化性アクリル系粘着剤の溶液を調製した。
粘着剤層の表面を走査電子顕微鏡(日立製作所製,S570)にて撮影し、画像解析にて粘着剤層の表面の凹部の面積比率を算出した。
上記走査電子顕微鏡にて観察した画像を、画像解析ソフトにて画像解析して凹部の平均直径を算出した。
粘着剤層の凹部を液体窒素中にて凍結破断し、断面を上記走査電子顕微鏡にて観察し、断面における凹部の深さhと断面における厚さHからh/Hを算出した。
粘着剤組成物を幅200mm、厚み50μmのシリコーン離型処理したPETフィルム上に塗布し、乾燥、紫外線硬化した後に、PETフィルムから剥離して、試料幅20mm、チャック距離20mm、引張り速度50mm/minで引張り試験を行い、測定時の応力から引張り弾性率を算出した。
クリーニングシートの、クリーニング層(凹部を有する粘着剤層)側を、シリコンウエハの裏面(ミラー面)に、幅10mmで貼り付けた後、室温(23℃)にて引っ張り速度300mm/分にてシリコンウエハに対する90°引き剥がし接着力を測定した。
クリーニング層をシリコンウエハ面に50mm□で貼り付け、加重2kgでφ50mmのプローブを接着させた後、室温(23℃)にて引っ張り速度300mm/minにてクリーニング層に対する180°引き剥がし接着力を測定した。
ウエハステージを持つ基板処理装置(装置名:GR−3000,日東精機社製)内に搬送し下記基準で評価した。
×:各部位、ステージへの付着があり、かつ搬送装置が停止した場合。
○:各部位、ステージへの付着がなく、かつ搬送装置も停止しない場合。
クリーニングシートの固定用の粘着剤層側の剥離フィルムを剥がし、当該粘着剤層を、8インチのシリコンウエハの裏面(ミラー面)にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。次にウエハステージを持つ基板処理装置(装置名:GR−3000,日東精機社製)のステージ上にウエハを数回置き、模擬異物を付着させた。模擬異物は、ウエハの研磨屑であり、サイズ1.7μm以上(上限600μm)のものを、約1万〜2万個、ステージ上に付着させた。初期の汚染状態評価用に8インチシリコンウエハを基板処理装置にミラー面を下側に向けて搬送した後、レーザー式異物測定装置でミラー面を測定し、初期異物量を測定した(8インチウエハサイズのエリア内)。該クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを、基板処理装置にクリーニング面を下側に向けて3回搬送を実施した。搬送後の異物数量をレーザー式異物測定装置(レーザー式パーティクルカウンター,TENCOR社製,SURFSCAN6200)でミラー面を測定し、(初期異物量−搬送後捕集異物量)/初期異物量を算出した。この比率が30%以上であれば「○」と判定した。30%未満の場合を「×」とした。
2 支持体
3 固定用粘着剤層
a 凹部
Claims (17)
- 放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤の硬化物からなる、平面状の表面を有する粘着剤層であって、当該粘着剤層の表面に不連続な凹部を有することを特徴とする粘着剤層。
- 前記粘着剤層の表面の全投影面積に対する、前記不連続な凹部の投影面積の割合が、3%〜80%であることを特徴とする請求項1記載の粘着剤層。
- 前記凹部の開ロ部が略円形であり、その平均直径が0.1〜50μmであることを特徴とする請求項1または2記載の粘着剤層。
- 前記粘着剤層の厚さ(H)に対する、前記凹部の深さ(h)の比(h/H)が、0.01〜0.9であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の粘着剤層。
- 前記粘着剤層の引張り弾性率が10MPa〜500MPaであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の粘着剤層。
- 放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤は、アクリル系ポリマーおよび重合性不飽和化合物を含有することを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の粘着剤層。
- 請求項1〜6記載の粘着剤層の製造方法であって、
放射線硬化性または熱硬化性のアクリル系粘着剤に、さらに前記アクリル系粘着剤とは相溶化しない化合物を配合した粘着剤組成物を、基材上に塗布して、粘着剤組成物層を形成する工程(1)と、
前記粘着剤組成物層に、放射線照射または加熱して、前記アクリル系粘着剤を硬化させるとともに、その硬化物と前記不相溶化合物の相分離構造を有する粘着剤層前駆体を形成する工程(2)と、
得られた粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去する工程(3)、を有することを特徴とする粘着剤層の製造方法。 - 前記工程(1)において、粘着剤組成物として、粘着剤組成物を溶解しうる有機溶媒を配合した粘着剤組成物溶液を基板上に塗布して、さらに乾燥することにより、粘着剤組成物層を形成することを特徴とする請求項7記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記工程(3)は、加熱により、粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記工程(3)は、溶媒抽出により、粘着剤層前駆体から不相溶化合物を除去することを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記溶媒抽出に用いる溶媒が、液化二酸化炭素または超臨界状態にある二酸化炭素であることを特徴とする請求項10記載の粘着剤層の製造方法。
- 前記工程(2)において、粘着剤組成物層表面にカバーフィルムで覆った状態で放射線照射または加熱することを特徴とする請求項6〜11のいずれかに記載の粘着剤層の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の粘着剤層が、その不連続な凹部が表面になるように、支持体の少なくとも片面に設けられていることを特徴とする粘着シート。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の粘着剤層が、その不連続な凹部が表面になるように、支持体の少なくとも片面にクリーニング層として設けられていることを特徴とするクリーニングシート。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の粘着剤層が、その不連続な凹部が表面になるように、支持体の片面にクリーニング層として設けられており、他の片面には、固定用の粘着剤層を有することを特徴とするクリーニングシート。
- 請求項15記載のクリーニングシートが、固定用の粘着剤層を介して搬送部材に設けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。
- 請求項14もしくは15記載のクリーニングシートまたは請求項16記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
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Country Status (1)
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---|---|
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007284620A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
WO2007123116A1 (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Nitto Denko Corporation | クリーニング用粘着剤層、その製造方法、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材および異物のクリーニング方法 |
JP2008019315A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
JP2009138027A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層の製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
EP2419929A2 (en) * | 2009-04-14 | 2012-02-22 | International Test Solutions | Wafer manufacturing cleaning apparatus, process and method of use |
JP2014529653A (ja) * | 2011-08-25 | 2014-11-13 | エルジー・ケム・リミテッド | 粘着剤 |
JP2017217832A (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 東レ株式会社 | 積層フィルム |
JP2019171052A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | アイム株式会社 | 除塵用ロール |
US11155428B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-10-26 | International Test Solutions, Llc | Material and hardware to automatically clean flexible electronic web rolls |
US11211242B2 (en) | 2019-11-14 | 2021-12-28 | International Test Solutions, Llc | System and method for cleaning contact elements and support hardware using functionalized surface microfeatures |
US11318550B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-05-03 | International Test Solutions, Llc | System and method for cleaning wire bonding machines using functionalized surface microfeatures |
US11756811B2 (en) | 2019-07-02 | 2023-09-12 | International Test Solutions, Llc | Pick and place machine cleaning system and method |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0873821A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | New Oji Paper Co Ltd | 感熱性粘着シート及びその製造方法 |
JPH11349902A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-21 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 装飾用シート |
JP2002239476A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-27 | Nitto Denko Corp | クリーニングシート、およびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2003190075A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-08 | Nitomuzu:Kk | 清掃用粘着テープ |
JP2005268483A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材の作製方法および作製装置と基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2005286261A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材と基板処理装置のクリーニング方法 |
-
2006
- 2006-04-19 JP JP2006115931A patent/JP4970835B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0873821A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | New Oji Paper Co Ltd | 感熱性粘着シート及びその製造方法 |
JPH11349902A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-21 | Minnesota Mining & Mfg Co <3M> | 装飾用シート |
JP2002239476A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-27 | Nitto Denko Corp | クリーニングシート、およびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2003190075A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-08 | Nitomuzu:Kk | 清掃用粘着テープ |
JP2005268483A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材の作製方法および作製装置と基板処理装置のクリーニング方法 |
JP2005286261A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Nitto Denko Corp | クリーニング機能付き搬送部材と基板処理装置のクリーニング方法 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007284620A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
WO2007123116A1 (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Nitto Denko Corporation | クリーニング用粘着剤層、その製造方法、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材および異物のクリーニング方法 |
JP2008019315A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層、その製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
JP2009138027A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Nitto Denko Corp | 粘着剤層の製造方法、粘着シート、クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材およびクリーニング方法 |
US9595456B2 (en) | 2009-04-14 | 2017-03-14 | International Test Solutions, Inc. | Wafer manufacturing cleaning apparatus, process and method of use |
EP2419929A4 (en) * | 2009-04-14 | 2014-09-24 | Int Test Solutions Inc | CLEANING DEVICE FOR WASHER PRODUCTION, METHOD AND USE METHOD |
KR101535785B1 (ko) * | 2009-04-14 | 2015-07-13 | 인터내셔널 테스트 솔루션즈, 인코포레이티드 | 웨이퍼 제조 세정 장치, 방법 및 사용 방법 |
EP2419929A2 (en) * | 2009-04-14 | 2012-02-22 | International Test Solutions | Wafer manufacturing cleaning apparatus, process and method of use |
JP2014529653A (ja) * | 2011-08-25 | 2014-11-13 | エルジー・ケム・リミテッド | 粘着剤 |
JP2017217832A (ja) * | 2016-06-08 | 2017-12-14 | 東レ株式会社 | 積層フィルム |
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US11434095B2 (en) | 2018-02-23 | 2022-09-06 | International Test Solutions, Llc | Material and hardware to automatically clean flexible electronic web rolls |
JP2019171052A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | アイム株式会社 | 除塵用ロール |
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US11756811B2 (en) | 2019-07-02 | 2023-09-12 | International Test Solutions, Llc | Pick and place machine cleaning system and method |
US11211242B2 (en) | 2019-11-14 | 2021-12-28 | International Test Solutions, Llc | System and method for cleaning contact elements and support hardware using functionalized surface microfeatures |
US11318550B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-05-03 | International Test Solutions, Llc | System and method for cleaning wire bonding machines using functionalized surface microfeatures |
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